DE3027162A1

DE3027162A1 - Speicherplatte mit einer duennen magnetischen legierungsschicht und verfahren zu ihrer herstellung

Info

Publication number: DE3027162A1
Application number: DE19803027162
Authority: DE
Inventors: Duane R Secrist
Original assignee: Datapoint Corp
Current assignee: Datapoint Corp
Priority date: 1979-07-23
Filing date: 1980-07-17
Publication date: 1981-02-19
Also published as: FR2461997B1; FR2461997A1; JPS5641524A

Description

Die Erfindung bezieht sich allgemein auf magnetische Aufzeichnungsplatten zum Speichern digitaler Information^ und speziell auf magnetische Dünnschichtspeicherplacteri." Noch spezieller bezieht sich die Erfindung auf Schutzüberzüge für solche Dünnschichtspeicherplatten.

Magnetische Dünnschichtspeicherplatten werden in der Computerindustrie allgemein benutzt als Speicherciittel für große Massen von digitalen Daten. Die Daten werden mit Hilfe einer Magnetkopf-Wandler-Vorrichtung, die dicht über der Platte fliegt, auf die sich schnell drelior. ϊ Speicherplatte geschrieben und von dieser gelesen. Die meist benutzten f.peicherplatten sind von dem Typ, der

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ORIGINAL INSPECTS

eine auf einem Substrat ocar einem überzogenen Substrat ausgebildete Schicht einer magnetischen Oxiddispersion aufweist. Z. B. enthält eine Eisenoxidspeicherplatte eine Dispersion eines Feinstpulvers von ferromagnetische!» Eisen(III)Oxid (Y-FE₂O₃) in einem Epoxidbindemittel. Wie Fachleuten bekannt ist, weist eine y-FEpO, Dispersion eine Spitzenqualität auf, die der maximalen Speicherdichte einer Eisenoxidspeicherplatte eine Grenze setzt.

Um magnetische Speicherplatten mit einer höheren digitalen Speicherdichte zu schaffen, wurden Dünnschichtspeicherplatten mit magnetischen Legierungen, die eine magne- ; tische Legierung auf einem Substrat oder einem überzogenen ; Substrat aufweisen, entwickelt. Das magnetische Medium

ist aus ferromagnetisehen Legierungen mit hoher Koerzitiv-1-5 kraft, wie z. B. magnetischen Kobaltlegierungen, gebildet. Als Beispiel weist eine im Handel erhältliche magnetische Dünnschichtspeicherplatte ein magnetisches Medium auf, das aus einer mikrokristallinen, ferromagnetischen Kobalt-Nickel-Legierung besteht. Eine Dünnschicht der Kobalt-Nickel-Legierung ist auf einem überzogenen Scheiwtnsubstrat ausgebildet, das aus einem Aluminium-oder Aluminium-Legierungssubstrat besteht, das mit einer nicht ferromagnetischen Nickellegierung überzogen ist.

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Da die lineare digitale Speicherdichte einer jeden magnetischen Speicherplatte nicht nur von der Natur und der Dicke des magnetischen Aufzeichenmediums und den Eigenschaften des Magnetkopfes abhängt, sondern auch vom Abstand zwischen Magnetkopf und Speichermedium, können höhere Speicherdichten erreicht werden, wenn, man einen Magnetkopf sehr dicht (in der Größenordnung von weniger als 1 μπι) über der Oberfläche der Speicherplatte fliegen läßt. Dieser extrem enge Betriebsabstcid zwisehen der rotierenden Speicherplatte und dem Magnetkopf wie auch die Start-Stop-Operationen des magnetischen Aufzeichensystemes bewirken aber eine solche Menge von dynamischen Kopf-Platten-Kontakten, daß für die Speicherplatten erhebliche Verschleißfestigkeitsanforderungen gestellt werden müssen. Die Oberfläche der Speicherplatte muß einen erheblichen Grad von Schmierfähigkeit aufweisen um einen geringen Reibungskoeffizienten zwischen Magnetkopf und der Oberfläche der Speicherplatte zu gewährleist und dadurch einen zu großen Verschleiß der Plattenoberfläche zu vermeiden.

Für Speicherplatten aus Eisenoxid (und anderen magnetischen Oxiden) werden die notwendigen Schmiereigenschaften typiscl -erweise durch einen Überzug mit einem Schmierpolymer geschaffen, das mit dem Epoxid der magnetischen Oxiddispersion verbunden ist. Im Falle von magnetischen Dünnschicht-Legierungsspeicherplatten, wie den obe.i er-

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wähnten, wurde aber noch kein geeignetes Schmierpolymer gefunden, das sich mit dem Dünnschicht-Magnetmedium verbindet.

Um die notwendige Schmier-Grenzschicht zwischen der Plattenoberfläche und den Magnetaufzeichnungskopf zu schaffen, wurde versucht, eine Schutzschicht aus Rhodium über dem Magnetmedium auszubilden. Während des Betriebs des magnetischen Aufzeichensystems reagiert die Rhodiumschutzschicht mit organischen Dämpfe.*, die in der Umgebung, wenn auch nur in Spurenkonzentrationen, vorhanden sind, und bildet amorpha organische Ablagerungen auf der Oberfläche des Rhodiums. Die organischen Dämpfe werden auf der Oberfläche des Rhodiums adsorbiert, wo sie eine Polymerisation ils Folge der Reibungsaktivierung während dynamischer Kopf-Plattenkontakte durchmachen.

Diese Reibungsaktivierung bewirkt eine Akkumulation organischer Ablagerungen, die in ihren Eigenschaften an gemischte Polymere erinnern, und deshalb Reibungspolymere genannt werden.

Anfangs bilden die auf der Plattenoberfläche abgelagerten Reibungspolymere einen öligen durchscheinenden Film, der eine bemerkenswert wirkungsvolle Schmierung bewirkt. Mit fortgesetztem Eotrieb des Magnetaufzeichnungssystems und der daraus folgenden fortgesetzten ReibungE- aktivierung polymerisieren diese Reibungspolymere aber weiter und wandeln sich um in Harzschichten. In diesem

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Zustand hören die Reibungspolymere auf, eine wirksame Schmierung zu schaffen, was eine übertriebene Abnutzung der Oberfläche der Speicherplatte, ein Ankleben des Magnetkopfes auf der Plattenoberfläche während statischer Kopf-Plattenberührung und aerodynamische Unstabilität des Magnetkopfes bewirkt. Die Entstehungsrate der Reibungspolymere ist schwer vorherzusagen, da sie durch eine Anzahl von Faktoren bestimmt ist, wie z. B. Art und Menge von organischen Dämpfen, die in der Umgebung vorhanden sind, der Umdrehungszahl der Speicherplatte und der Anzahl von Start-Stop-Operationen des magnetischen Aufzeichnungssystems.

Die Unfähigkeit, die Bildung von nicht schmierfähigen organischen Ablagerungen auf der Oberfläche der Speicherplatte zu steuern, ist ein prinzipieller, wenn nicht der prinzipielle, Nachteil von rhodinierten magnetischen Speicherplatten. Wenn einerseits organische Dämpfe völlig aus der Umgebung der Platte ferngehalten werden, tritt übertriebene Abnutzung der Plattenoberfläche auf, aufgrund des Verlustes an Schmierfähigkeit, die durch die Reibungspolymere geliefert wird. Wenn andererseits organische Dämpfe vorhanden sind, in wie kleiner Konzentration auch immer, tritt unvermeidbar eine übertriebene Bildung von Reibungspolymeren auf, besonders bei höheren Temperaturen und höheren Drehgeschwindigkeiten, die mit rationeller Speicheraktivität verknüpft sind, was zu der: oben erwähnten Problem führt und eventuell zum Bruch der

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Speicherplatte. Bis jetzt waren Versuche, die Rhodium- ■ Schutzschicht teilweise zu deaktivieren, um die Bildung von Reibungspolynieren zu unterbinden, erfolglos, ebenso wie die Suche nach einem stabilen schmierfähigen Reibungsp olymer.

In einer Parallelanmeldung mit dem Titel "Schützende Beschichtung von magnetischen Speicherplatten und Verfahren zu deren Herstellung", angemeldet für C. W. Nelson und M. B. Vye für den gleichen Anmelder, wurde vorgeschlagen, die Rhodiumschutzschicht durch eine Schutzschicht zu ersetzen, die eine Oberflächenschicht von aufkondensiertem Kohlenstoff auf einer Grenzschicht von Titan enthält, die wiederum auf dem Magnetmediura ausgebildet 1st. In dieser Anmeldung ist offenbart, daß die aufgesputterte Kohlenstoff-Oberflächenschicht gewünschte Schmiereigenschaften aufweist, während die Grenzschicht vorgesehen ist, um das Anhaften des aufkondensierten Kohlenstoffes an der darunter liegenden Magnetschicht zu fördern. Magnetspeicherplatten, die mit dem Karbon/Titan-Schutzüberzug versehen sind, weisen eine abnutzungswiderstandsfähige Schmierfähigkeit auf, die gleich oder besser als die Schmierfähigkeit der Reibungspolymere auf rhodinierten Speicherplatten ist. Auch werden die Schmiereigenschaften nicht zerstört, was ein merkbares Problem für rhodinierte Platten ist, die Reibungspolymere für die Schmierung verwenden, da die Kohlenstoff/Titan-Schutzschicht die Bildung von Reibungspolymeren nicht katalytisch beeinflußt,

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Während Magnetspeicherplatten, die mit einem Kohlenstoff /Titan-Schutzüberzug versehen sind, eine sehr wirksame Schmierfähigkeit aufweisen, wäre es wünschenswert, die Notwendigkeit für eine Zwischenschicht beseitigen zu können, um das Anhaften der aufkondensierten Kohlenstoffoberflächenschicht auf dem darunter liegenden magnetischen Medium zu verbessern. Vom Wirtschaftlichkeitsstandpunkt würde die Beseitigung der Ti tanzwische::, schicht einen Ablagerungsprozess weniger bedeuten. Noch wichtiger ist, daß durch Weglassen der Zwischenschicht die Gesantdicke des Schutzüberzuges erheblich reduziert werden kann. Wie oben erwähnt, hängt die lineare digitale Speicherdichte einer magnetischen Speicherplatte teilv/eise vom Abstand zwischen Magnetkopf und Speichermedium ab. Deshalb würde das Weglassen des Titans eine nähere Kopf-zu-Platten-Positionierung erlauben und deshalb eine höhere digitale Speicherdichte.

Zusätzlich zum Schaffen einer abnutzungswiderstandsfähigen Schmierfähigkeit sollte eine Schutzbeschichtung für eine magnetische Speicherplatte auch einen hohen Grad von Oberflächeniestigkeit aufweisen. Während der Schwerpunkt bei der Entwicklung von Schutzbeschichtungen fCr magnetische Speicherplatten auf dem Schaffen von Schmierfähigkeit lag, ist der Grad von Oberflächenhärte einer Schutzbeschichtung ein wichtiger Aspekt für den Gesamtabnutzungswidersta.id und die Haltbarkeit der Beschichtung.

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Aufgabe der Erfindung _st es, eine magnetische Dünnschicht-Legierungsspeicherplatte des oben genannten Typs zu schaffen, die sowohl abnutzungswiderstandskräftig als auch haltbar ist, d. h. eine Schutzbeschichtung für eine derartige Speicherplatte zu schaffen, die einen hohen Grad von sowohl Schmierfähigkeit als auch Abnutzungswiderstand aufweist, und die eine optimale Magnetkopf-Magnetmedium-Abstandspositionierung erlaubt.

Diese Aufgabe wird bei einer Speicherplatte der eingangs genannten Art dadurch gelost, daß die Speicherplatten ein Substrat oder beschichtetes Substrat, ein Magnetmedium mit einer magnetischen Legierungsschicht, die auf dem Substrat ausgebildet ist, und eine Schutzbeschichtung aus Kohlenstoff, die durch Kathodenstrahlzerstäubung auf der Oberfläche des Magnetmediums ausgebildet ist, enthält. Um das Anhaften des Kohlenstoffs zu erleichtern und zu fördern, wird die Oberfläche des Majnetmediums zuerst durch einen Sputter-Ätzprozeß gereinigt. Der Sputter-Ätzprozeß hat die Aufgabe, adsorbierte Gase und andere Verunreinigungen zu entfernen. Die Schutzbaschichtung aus auf kondensiertere Kohlenstoff schafft eine verschleißfeste,schir.1 erfähige Oberflächenschicht für die Speicherplatte. In einer bevorzugten Ausführungsform ist der Grundkörper der Speicherplatte ein hart beschichtetes Substrat, das aus eineu Aluminium- oder Aluminiumlegierungs-Substrat besteht, auf das eine Nickellegierungbeschichtung aufgebracht ist. Die

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Nickellegierungsbeschichttang schafft eine harte Unterlage für den Dünnschicht-Magnetmedium- und Kohlenstoff-Überzug, wodurch der Abriebwiderstand und damit die Haltbarkeit der Speicherplatte verbessert wird. Alternativ kann eine Beschichtung von aufkondensiertem Chrom auf das Substrat aufgebracht werden, um die Hartschichtunterlage zu bilden, um den Abriebwiderstand der Schutzbeschichtung zu verbessern.

Im folgenden soll die Erfindung anhand eines Bei- ^⁰ spieles genauer erläutert werden,

Erfindungsgeir.äß weist die Speicherplatte ein hartbeschichtetes Substrat, eine Schicht aus magnetischer Legierung, die auf dem hartbeschichteten Substrat ausgebildet ist, und eine Schutzbeschichtung aus Kohlen-•J5 stoff auf, die mit Kathodenstrahlzerstäubung auf der Oberfläche des fcagnetmediums aufkondensiert ist. Die aufkondensierte Kohlenstoffbeschichtung wird auf das Magnetmedium aufgebracht, nachdem dessen Oberfläche mit Hilfe eines Sputter-A'tzprozesses gereinigt wurde.

Das Sputter-Atzen der Oberfläche des Magnetmediums, auch wenn es nicht wesentlich ist, dient dazu, adsorbierte Gase.und andere Verunreinigungen zu entfernen und dadurch das Anhaften der Kohlenstoff-Schutzbeschichtung auf dem Kagnetmedium zu erleichtern und zu fördern. Die

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Anwesenheit von adsorbierten Gasen und anderen Verunreinigungen auf der Oberfläche des Magnetmediums wirkt als Diffusionsbarriere, die das Anhaften des Kohlenstoffs erheblich reduzieren kann. Vie eingangs erwähnt, wurde eine Grenzschicht aus Titan benutzt, um das Anhaften der aufkondensierten Kohlenstoffoberflächenschicht auf der Oberfläche des Magnetmediums zu fördern, wobei das Titan mehr mit der magnetischen Legierung des Magnetmediums reagiert und deshalb weniger von der An-Wesenheit von adsorbierten Gasen und Verunreinigung berührt wird. Die erfindungsgemäße Speicherplatte vermeidet allgemein die Notwendigkeit für eine Grenzschicht aus Titan (oder für eine andere reaktionsfähige Metallgrenzschicht) durch Anwenden eines Sputter-Ätzprozesses zum Reinigen und Vorbereiten der Oberfläche des Magnetmediums. Eine Kohlenstoffbeschichtung, die direkt auf die sputter-geät2te Oberfläche des Magnetmediums aufkondensiert wird, ist in der Lage eine wirksame Diffusionsgrenzschicht damit zu bilden. Als Folge haftet der aufkondensierte Kohlenstoff wirksam am darunterliegenden Magnetmedium, ohne daß die Notwendigkeit für eine Grenzschicht aus Titan oder einem anderen reaktionsfähigen Metall besteht .

Wie oben erwähnt, weist eine bevorzugte Magnetspeicherplatte ein hartbeschichtetes Substrat auf. Ich habe herausgefunden, daß das Material, das für das Unterlagesubstrat

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oder die Substratbeschichtung verwendet wird, die relative Härte und den Abriebwiderstand und damit die Haltbarkeit der Schutzbeschichtung beeinflußt, während die Oberflächenbeschichtung aus aufkondensiertem Kohlenstoff eine wirksame Schmierfähigkeit und einen geringen Reibungskoeffizienten aufweist, unabhängig vom Material des darunter liegenden Magnetmediums odsr Substrats (oder beschichteten Substrate) Speziell habe ich herausgefunden, daß die relative Härte der Schutzbeschichtung erheblich absinkt,· wenn die Karbon/ Titan-Schutzbeschichtung auf einem Magnetmedium ausgebildet ist, das wiederum auf einem unbeschichteten, relativ weiche. Kupfer-Nickel-Substrat ausgebildet ist, während eine Kohlenstoff/Titan-Schutzbeschichtung, die auf eine Magnetspeicherplatte mit einem Substrat, das mit einer Nickellegierung beschichtet ist, einen relativ hohen Grad von Oberflächenhärte aufweist. Diesbezüglich habe ich auch herausgefunden, daß die Titangrenzschicht weder die Schmierfähigkeit noch die Härte der Kohlenstoffbeschichtung beeinflußt. Die Oberflächenhärte einer Kohlenstoffbeschichtung ist vielmehr, wie oben erwähnt, durch die relative Härte des Unterlagesubstrats oder beschichteten Substrats bestimmt.

Ein bevorzugtes beschichtetes Substrat weist ein Aluminium- oder Aluminiumlegierungssubstrat auf, über aera eine Nickellegierungsbeschichtung aufgebracht ist. Typisch ist das Aluminium- oder Aluminiumlegierungssubstrat ungefähr

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0,125 bis 0,6 cm dick, während die Nickellegierungsbeschichtung typisch 0,005 bis 0,01 cm dick ist. Die Nickellegierungshartbeschichtung liefert die harte Unterlage für das Dünnschicht-Magnetmedium und den Kohlenstoffüberzug, und verbessert dadurch den Abriebwiderstand und somit die Haltbarkeit des Überzugs.

Eine bevorzugte magnetische Legierung für das Magnetmedium weist eine Legierung aus mikrokristallinem ferromagnetischem Kobaltnickel auf. Typischerweise wird die Kobalt-Nickellegierung durch elektrolytische Ablagerung aus einer wässrigen Lösung auf das hartbeschichtete Plattensubstrat abgelagert bis zu einertDicke, die typischerweise weniger als 1 μΐη (normalerweise 0,1 bis 0,5 μπι) beträgt. Üblicherweise wird ein Kobalt-zu-Nickel Atomverhältnis von ungefähr 3 : 1 verwendet, was ein Maximum in der Koerzitivkraft bewirkt.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Kohlenstoff schutzbeschichtung auf der Oberfläche des Magret-Mediums durch Kathodenstrahlzerstäubung in einer Dicke von der Größenordnung von 0,1 μΐη aufgebracht. Wie eingangs erwähnt, hängt die lineare digitale Speicherdichte einer beliebigen Magnetspeicherplatte teilweise vom Abstand zwischen Magnetkopf und Magnetmedium ab, der wiederum teilweise von der Dicke der aufkondensierten Kohlenstoffschutzbeschichtung abhängt. Bis zu einem gewissen Grade

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ist die Dicke der Schutzbeschichtung nicht kritisch. Wenn aber die Dicke des aufkondensierten Kohlenstoffes erheblich unter 0,1 μΐη reduziert wird, werden die Schmiereigenschaften und der Abriebwiderstand der Schutzbeschichtung ungünstig beeinflußt.

Eine magnetische Dünnschichtlegierungsspeicherplatte gemäß der Erfindung kann nach folgendem Verfahren hergestellt werden. Ein scheibenförmiges Aluminium- cder Aluminiumlegierungssubstrat mit den gewünschten Abmessungen wird abgedreht und geschliffen und dann auf beiden Seiten mit einer amorphen (oder extrem mikrokristallinen) nicht magnetischen Nickel-Phosphor-Legierung beschichtet durch elektrodenlose Ablagerung aus einer wässrigen Lösung. Die Oberflächen der elektrodenlpsen Nickelbeschichtung werden geläppt und chemisch gereinigt und dann auf beiden Seiten mit einer Schicht einer mikrokristallinen ferromagnetischen Kobalt-Nickel-Phosphor-Legierung beschichtet, die durch elektrolytische Ablagerung aus einer wässrigen Lösung gebildet wird. Als nächst« wird die Oberfläche des Kobalt-Nickel-Magnetmediums mit Hilfe eines Sputter-Ätzprozesses gereinigt,um so adsorbierte Gase und andere Verunreinigungen zu entfernen. Zuletzt wird die Schutzbeschichtung aus Kohlenstoff auf der sputter-gereinigten Oberfläche des Magnetmediums aufkondensiert mit Hilfe von Kathodenstrahlζerstäubung von einem Karbontarget in einer Niederdruckargongasentladung.

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Der aufkondensierte Kohlenstoff verbindet sieh wirksam mit dem Kobalt-Nickel-Magnetmedium, um eine Schutzbeschichtung für die Speicherplatte zu bilden.

Die Kathodenstrahlzerstäubung der Kohlenstoffschutzbeschichtung kann entweder durch Gleichstrom- oder durch Hochfrequenz-Sputtemerzeugt werden. Es muß Sorgfalt darauf verwendet werden, jegliches aktives Restgas aus dem KathodenzerstäubungEsystem zu entfernen, da aktive Gase in einer Glimmentladung ein sehr reaktionsfreudiges chemisches Medium für den Kohlenstoff sind. Wie oben erwähnt bilden auf der Oberfläche des Magnetmediums adsorbierte Gase eine Diffusionsbarriere und unterbinden dadurch die Bildung einer Diffusionsgrenzschicht mit der Kohlenstoffbeschichtung und reduzieren dadurch den Haftungsgrad des Kohlenstoffs an die Oberfläche des Magnetmediums.

Folglich ist es, da die Kathodenstrahlzerstäubungsablagerung des Kohlenstoffs nicht in Ultrahochvakuum, sondern in einem Druckbereich von 0,002 bis 0,02 Torr durchgeführt wird, trotzdem sehr wichtig, daß die Zerstäubungsumgebung extrem sauber gehalten wird. Das Untergrundgas im Zerstäubungssystem sollte im wesentlichen nur aus inerten Gasen, wie z. B. Argon, bestehen und sollte kein Restgas, Wasserdampf, Kohlenwasserstoffe oder andere Verunreinigungen enthalten.

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Eine Speicherplatte, die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt wurde, liefert ein zuverlässiges, verschleißfestes, abriebwiderstandsfähiges und haltbares Speichermedium zum Abspeichern von digitalen Daten. Die aufkondensierte Kohlenstoffschutzbeschichtung weist einen hohen Grad von Schmierfähigkeit auf und somit einen geringen Reibungskoeffizienten und einen geringen Verschleißwiderstand. Da die aufkondensierte Kohlenstoffschutzbeschichtung direkt auf die Oberfläche des Magnetmediums aufgebracht werden kann, kann ein minimaler Abstand zwischen Magnetkopf und Magnetmedium erreicht werden, wodurch optimale Speicherdichten erreicht werden können. Das elektrodenlose (electroless) NickelhartSchichtunterlagesubstrat verbessert die Oberflächenhärte und damit den Abriebwiderstand und die Haltbarkeit der Kohlenstoffbeschichtung.

Auch wenn in der bevorzugten Ausführungsform ein elektro denloses Nickel-Hartschichtsubstrat vorgesehen war, werden Fachleute erkennen, daß andere Substrate oder beschichtete Substrate einen vergleichbaren Härtegrad aufweisen, ua &e,i Abriebwiderstand der aufkondensierten Kohlenstoffschutzbeschichtung zu verbessern. Z. B. liefert ein hartbeschichtetes Messing-oder Kupfer-Nickelsubstrat eine vergleichbar harte Unterlage für die Schutzbeschichtung. Ebenso können, auch wenn für die bevorzugte Hartbeschichtung eine elektrodenlos aufgelagerte Nickel-Phosphorlegierung vorgeschlagen wurde, andere Nickellegierungen durch andere Techniken 130008/0702

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(wie ζ. B. Plattieren oder Kathodenstrahlzerstäubung) auf dem Substrat abgelagert werden. Ferner können andere Hartschichtmetalle, wie z. B. Chrom durch verschiedene Techniken auf Aluminium- (oder Aluminiumlegierung), Kupfer-Nickel- oder Messingsubstraten ausgebildet werden.

Es soll bemerkt werden, daß der Grundgedanke der vorliegenden Erfindung angewendet werden kann für die Herstellung einer ganz geeputterten magnetischen Dünnschichtlegierungsspeicherplatte. D. h., daß Jede Schicht oder ^eder Überzug, den die Speicherplatte aufweist, durch Kathodenstrahlzerstäubungsablagerung in einem einzigen Vakuumsystem aufgebracht werden kann, ohne die Notwendigkeit für andere Ablagerungstechniken, wie z. B. Ablagerung aus einer wässrigen Lösung. Als Beispiel könnte eine erfindungsgemäße Speicherplatte ein Kupfer-Nickelsubstrat aufweisen, auf dem eine Chromhartbeschichtung durch Sputtern aufgebracht ist, nachdem die Oberfläche des Kuper-Nickelsubstrates durch Sputter-A'tzreinigung vorbereitet wurde. Das harte chrombeschichtete Substrat kann dann eine magnetische Schicht aus Kobaltlegierung tragen,die durch Sputter-Ablagerung aufgebracht ist. Zuletzt kann die Kohlenstoffschutzbeschichtung durch Sputter-Ablagerung über dem Magnetmedium ausgebildet werden.

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Nachdem die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform beschrieben worden ist, ist es Fachleuten sicher klar, daß sie nicht auf diese Ausführungsform begrenzt ist. Z. B. haftet die Kohlenstoffschutzbeschichtung wirksam auf der sputter-geätzten Oberfläche einer Kobalt-Nickel-Magnetschicht, die mit Hilfe von elektrolytischer Ablagerung aus einer wässrigen Lösimg ausgebildet wurde, ohne die Notwendigkeit einer Zwischenschicht. Trotzdem kann es Fälle geben (z. B. bei verschiedenen Materialien des Magnetmediums oder verschiedenen Ablagerungstechniken des Magnetmediums) bei denen eine Zwischenschicht wünschenswert ist, um das Anhaften der Kohlenstoffbeschichtung auf dem Magnetmedium zu ver-

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bessern. Auch/Hie Benutzung von Titan für die Zwischenschicht vorgeschlagen wurde, habe ich herausgefunden, daß andere reaktionsfähige Metalle gleich wirksam sind für die Haftungsverbesserung. So können z. B. entweder Chrom oder Tantal wie auch verschiedene andere reaktionsfähige Metalle benutzt werden. Durch Gewährleistung, daß die Oberfläche des Magnetmediums im wesentlichen von adsorbierten Gasen und anderen Verunreinigungen gereinigt ist, z. B. durch Sputter-Ätzen, kann der gewünschte Grad von verbesserter Haftung des aufkondensierten Kchlenstoffüberzugs an das Magnetmedium erreicht werden durch Ausbildung einer Grenzschicht aus reaktionsfähigem Metall mit einer minimale:: Dicke, wodurch erreicht wird, daß die optimale Speicherdichder Speicherplatte minimal beeinflußt wird.

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Claims

Patentansprüche

1.) Speicherplatte mit einer dünnen magnetischen Legierungsschicht, die als Speichermedium auf einem scheibenförmigen Grundkörper aufgeschichtet ist, dadurch gekennzeichnet , daß die Oberfläche der magnetischen Legierung zum Entfernen von adsorbierten Gasen und anderen Verunreinigungen sputter-geätzt ist und daß auf der magnetischen Legierungsschicht ein Kohlenstoffüberzug aufgebracht ist.

2. Speicherplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , da3 die magnetische Legierung eine ferromagnetische Kobaltlegierung enthält.

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3. Speicherplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß der Kohlenstoff auf der magnetischen Legierung durch Ablagerung mittels Kathodenstrahlzerstäubung aufgebracht ist.

4. Speicherplatte nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß der Grundkörper aufweist ein Substrat und einen darauf ausgebildeten Überzug;, dessen Oberfläche wesentlich härter als die Oberfläche des Substrats ist.

5. Speicherplatte nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß das Substrat Aluminium, Messing oder Kupfernickellegierung enthält.

6. Speicherplatte nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet , daß der Substratüberzug eine nichtmagnetische Nickellegierung enthält.

7* Speicherplatte nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet , daß der Substratüberzug aus Chrom besteht.

8. Speicherplatte nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet , daß sie ferner eine über dem magnetischen Medium ausgebildete Grenzschicht aufweist, die aus einem Material besteht, das sowohl Kit der magnetischen Legierung als auch mit dem Kohlen-

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stoff verbunden werden kann, und daß der Kohlenstoff auf dieser Grenzschicht aufgeschichtet ist.

9. Speicherplatte nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet , daß die Grenzschicht Titan, Tantal oder Chrom enthält.

10. Verfahren zum Herstellen einer magnetischen Dünnschichtspeicherplatte, die ein scheibenförmiges Substrat aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß es die Schritte aufweist:

a) Ausbilden einer magnetischen Legierungsschicht als Aufzeichnungsmedium auf der Oberfläche des Substrats;

b) anschließendes Sputter-Ätzen der Oberfläche der magnetischen Legierungsschicht und

c) anschließendes Aufbringen eines KohlenstoffÜberzuges auf der magnetischen Legierung.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet , daß es vor dem Verfahrensschritt a) von Anspruch 10 den Verfahrensschritt aufweist:

Ausbilden eines harten Überzugs aus einem Material, dessen Härte wesentlich größer als die des Substrats, auf dem Substrat.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet , daß der Verfahrensschritt a) gemäß Anspruch 10 aus den Schritten besteht:

a) Sputter-Ätzen des harten Substratüberzugs und

b) Aufkondensieren einer magnetischen Legierungsschicht auf dem Substratüberzug mittels Kathodenstr^hlzerstäubung.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet , daß der Verfahrensschritt gemäß Anspruch 11 aus den Schritten besteht:

a) Sputter-Ätzen der Substratoberfläche,

b) Aufkondensieren eines Chromüberzugs auf den Substrat mittels Kathodenstrahlzerstäubung.

14. Verfahren nach Anspruch 12, daß der Verfahrensschritt gemäß Anspruch 11 aus dem Schritt besteht:

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Ausbilden eines Überzugs aus Nickelphosphorlegierung mittels elektrodenloser Ablagerung (electroless deposition).

15. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet , daß der Verfahrensschritt a) nach Anspruch 10 besteht aus dem Schritt:

Ausbilden einer magnetischen Kobalt-Nickel-Legierungsschicht mittels elektrodenloser Ablagerung.

16. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch g e kennzeichne" , daß es zwischen den Verfahrensschritten b) untL c) den zusätzlichen Verfahrensschritt aufweist:

Ausbilden einer Grenzschicht, die Titan, Tantal oder Chrom enthält, mittels Kathodenstrahlzerstäubur.g.

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