DE2625660A1 - Verfahren zur herstellung eines ionenfilters fuer einen massenanalysator - Google Patents
Verfahren zur herstellung eines ionenfilters fuer einen massenanalysatorInfo
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Description
76.012
LEYBOLD-HERAEUS GMBH & CO KG Köln-Bayental
Verfahren zur Herstellung eines Ionenfilters für einen Massenanalysator
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines
Ionenfilters aus einem elektrisch isolierenden Stoff wie Glas, Keramik oder dergleichen mit metallisierten,
im Querschnitt etwa hyperbelförmigen Flächen für die
Erzeugung der notwendigen elektrischen Felder im Ionenfilter. Außerdem bezieht sich die Erfindung auf ein nach
diesem Verfahren hergestelltes Ionenfilter.
Aus der Deutschen Patentschrift 944 900 ist bekannt, ein
Quadrupol-Ionenfliter aus vier Metallelementen (Metallbleche
oder -stäbe1! herzustellen. Die Justierung von vier Einzelelementen,
deren Zuordnung zueinander insbesondere hinsichtlich ihier Parallelität äußerst exakt sein muß,
ist jedoch schwierig. Insbesondere bei den beim Aüsheizen
eines Massenanalysators auftretenden hohen Temperaturdifferenzen (bis zu 450°) verziehen sich die Metallteile
wegen ihres relativ großen Wärmeausdehnungskoeffizienten häufig, so daß der Aufbau elektrischer Felder mit für
die Massenanalyse ausreichend exakter Form nicht mehr möglich ist.
Wegen der beschriebenen Nachteile ist man dazu übergegangen, Ionenfilter aus vier im Querschnitt kreisförmigen,
mit einer Metallschicht versehenen Keramik-Stäben aufzubauen (vergl.z.B. Britische Patentschrift 1 263 762,
US-PS 3 197 633 und US-PS 3 553 451). Die Stäbe müssen wieder in aufwendiger Weise in eine exakte Zuordnung
zueinander gebracht werden, was z.B. durch Keramik fassunger.
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-Sr-
geschieht- Insbesondere wegen der aufwendigen Justierarbeiten
ist die Montage der Ionenfilter immer noch
schwierig und kostspielig.
Um den Schwierigkeiten der Montage aus dem Wege zu gehen,
und ein auch bei hohen Temperaturen verwendungsfreies
Ionenfilter zu schaffen, hat man vorgeschlagen, das
Tonenf liter aus eingn einstückigen Körper aus Keramik,
Glas oder einem anderen ähnlichen Stoff herzustellen, Beim Gegenstand des DT-PS 1 297 360 wird dazu vorgeschlagen,
ζ B. Gh? auf einen Formkörper aufzubringen, Tn der
DT-OS 1 773 194 wird vorgeschlagen, einen zylindrischen
Keramikkörper von innen mit elektrisch leitenden Schichten zur Erzeugung der notwendigen elektrischenFelder zu versehen.
Schließlich ist es aus der DT-OS 2 215 763 bekannt, ein einstückiges lonenfilter dadurch herzustellen, daß
em keramischer Körper durch Extrudieren erzeugt und dann gepreßt und gebrannt wird. Danach erfolgt die
Metallisierung der inneren Flächen.
Der wesentliche Nachteil dieser vorbekannten Herstellungsverfahren
besteht darin, daß die zu metallisierenden Flächen im Innern eines im wesentlichen rohrförmigen
Körpers liegen und deshalb nur schlecht zugänglich sind. Sowohl die Formbehandlung als auch die Metallisierung der
Flächen ist deshalb schwierig durchzuführen, so daß Unebenheiten der Oberflächen nicht, zu vermeiden sind, was zu
ungleichmäßigen elektrischen Feldern führt. Die Länge der in dieser Weise hergestellten Ionenfilter ist deshalb beschränkt,
was insbesondere für hochenergetische Ionen Nachteile hat. Es ist zwar möglich, zwei oder mehrere
lonenfilter hintereinander anzuordnen, was aber wieder die beschriebenen Nachteile der aufwendigen Justierarbeiten
verursacht. Die Beschränkung der Länge des Ionenfilters ist beim Gegenstand der DT-OS 2 215 730 auch noch
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JL
durch die Art des Herstellungsverfahrens yegeben. Hierbei
müssen die durch Extrudieren einer weichen keramischen Masse hergestellten hyperbolischen innenflächen des
Ionenfliters auch während des Brennens ihte exakte Form
beibehalten, was umso schwieriger ist, je langer der
Keramikkörper isf. Gerade bei einem in dieser Weise hergestellten
lonenf liter i<-t wegen de« relativ rngen
axialen Durchgangs und der komplizierten hyperbc ι ;.ε-: en
Form der Innenflächen die Nachbearbeitung dieser Flächen
kaum oder nur mit unvertretbar hohem Aurwand möglich. Außerdem
ist die gleichmäßige Metallisierung dieser Flächen
äußerst problematisch.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,
ein Verfahren zur Herstellung eines Ionenfilters für
einen Massenanalysator aus einem elektrisch isolierenden
Stoff, wie Glas, Keramik oder dergleichen, mit metallisierten,
im Querschnitt, etwa hyperbel f örmigen Flä"hr-n
für die Erzeugung der notwendigen elektrischen Peliler
im Inneren des Ionenfilters anzugeben, das sowohl eine
exakte Formgebung und Nachbearbeitung als au-h eine einfachere Metallisierung dieser Flächen zuläßt. Weiterhin
soll es möglich sein, IonenfLiter mit wesentlich größeren
Baulängen als bisher herzustellen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß
zunächst mindestens zwei Längsteilstücke des Ionenfilters
hergestellt werden, darin das erforderliche Profil eingeschliffen
wird, dann die Metallisierung der der Erzeugung der elektrischen Felder dienenden Flächen vorgenommen
wird und danach die Längsteilen durch Kleben, Kitten,
Fassen von außen oder dergl. zusammengefünt werden.
Dadurch entsteht ein lonenfliter, das hinsicnt1 ich der
Verwändungsfreiheit alle Vorteile der bisher bekannten
e instück igen lonenf ι 11. er hat, O.i lurch . Ίιβ "üuloch d : ^
Bearbeitung der Oberflächen und derr>~ Metallisierung an
709 8 51/0 U 6 bad ORlQlNAW
Längsteilstücken ausgeführt werden, sind diese Oberflächen
frei zugänglich, so daß die exakte Formgebung und die gleichmäßige Metallisierung keine Schwierigkeiten
mehr bereitet. Auch die Herstellung von lonenfiltern mit
wesentlich größeren Baulängen als bisher wird dadurch mög1 ιch.
Zweckmäßig haben die Längsteilstüeke identische Formen,
was das Herstellungsverfahren vereinfacht.
Eine weitere vorteilhafte Maßnahme besteht darin, daß die
miteinander durch Kleben oder dergL. zu verbindenden Flächen der Formteile mit einander entsprechendenNasen und
Nuten versehen werden. Diese Nasen und Nuten können ebenso exakt wie die anderen Flächen hergestellt werden,
so daß das Zusammenfügen der Längstelle in einfacher
Weise ohne Justierarbeiten möglich ist.
Ein nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestelltes
Tonenfliter besteht zweckmäßig aus mindestens zwei durch
Kleben, Kitten,' Fassen von außen oder dgl. zusammengefügten Längsteilstücken.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 bis s dargestellten Ausführungs
beispielen für nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte
Ionenfilter erläutert werden.
In Figur 1 ist ein Längsteilstück 1 für ein zweiteiliges
Quadrupol-Ionenfι lter dargestellt. Die hyperbolischen
Flächen 2 und 3 sind mit hoher Präzision in den Körper 1 eingeschliffen worden. Sowohl für dieses Einschleifen als
auch für die sich daran anschließende Metallisierung
sind die Flächen 2 und 3 fre~ zugänglich. Mit 4 und 5
sind ebene Kontaktflächen bezeichnet, mit diorenHi 1 fe zwei
der in Figur 1 dargestellten Teile zu einum Ionenfilter
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miteinander verklebt oder verkittet werden können.
In der Figur 2 ist ein Schnitt durch ein an dieser Weise
hergestelltes Ionenfilter 6 dargestellt, Die auf den
Flächen 2 und 3 aufgebrachte Metallisierung j st mit 7
bezeichnet.
Die Figur 3 zeigt einen Schnitt dutch en: Aunführunysbei
spiel nach der Erf mdung,bei dem das lonerif liter 6 aus
vier Längstealstücken 8 besteht. Die übrigon Merkmale
dieses Ausführungsbeispieles hahon rinn Figuren ι und 2
entsprechende Bezugszahlen.
Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 4 weisen die Kontakt
flächen 4 Nasen 9 und die Kontaktflächen 5 den Nasen 9
entsprechende Vertiefungen 10 auf. Das Zusammenfügen eines in dieser Weise ausgebildeten Ionen!liters j st besonders
einfach.
In der Figur 5 ist ein IonenfiHei b mit iundfm Querschnitt
dargestellt, Es besteht aus den vier Längste-11 stücken 11,
die von außen mit Hilfe der Ringe 12 und 13 gefaxt, sind.
Diese Ringe 12 und 13 sind auf den zylindrischen Körper
aufgeschrumpft.
Die Erfindung wurde anhand von Quadrupol-Ionenfι lter erläutert.
Es ist natürlich auch möglich, Ionenfilter mit anderen Polzahlen nach dem erfindungsgemäßen Verfahren
herzustellen.
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Leerseite
Claims (6)
1.) Verfahren zur Herstellung eines IonenfLiters für
einen Massenanalysator aus einem elektrisch isolierenden Stoff, wie Glas, Keramik oder dgl. mit metallisierten,
im Querschnitt etwa hyperbelförmigen Flächen
für die Erzeugung der notwendigen elektrischen PfIeier
im Ionenfilter, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst mindestens zwei Längsteilstücke M,11) des ionenf
Eters (6) hergestellt, werden, darin das erforderliche
Profil eingeschliffen wird, dann die Metallisierung(7)
der der Erzeugung der elektrischen Felder dienenden Flächen (2,3) vorgenommen wird und danach die Längsteilstücke
durch Kleben, Kitten, Fassen von außen oder dergleichen zusammengefügt werden.
2, Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Längsteilstücke (1,11) identische Formen haben.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die miteinander durch Kleben oder dgl. zu verbindenden Flächen (4,5) der Längsteilstücke mit einander
entsprechenden Nasen (9) und Vertiefungen (10) versehen werden.
4, Verfahren nach Anspruch 1,2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,
daß das Fassen der Längsteilstücke (1,11)
von außen du tch Aufschrumpfung von Ringen (12,13) oder
Rohrabschnitten erfolgt.
5. Nach einem Verfahren der vorhergehenden Ansprüche hergestelltes Ionenfilter, dadurch gekennzeichnet,
daß es aus mindestens zwei durch Kleben, Kitten,Fassen von außen oder dergleichen zusammengefügten Längsteilstücken
(1,11) besteht.
709851/0146 ORIGINAL INSPECTED
6. Ionenfilter nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die sich miteinander berührenden Flächen (4,5)
der Längsteilstücke (1) einander entsprechende Nasen (9) und Vertiefungen (10) aufweisen.
709851 /0146
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