EP0000866B1 - Verfahren zum Herstellen eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter - Google Patents

Verfahren zum Herstellen eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter Download PDF

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EP0000866B1
EP0000866B1 EP78100260A EP78100260A EP0000866B1 EP 0000866 B1 EP0000866 B1 EP 0000866B1 EP 78100260 A EP78100260 A EP 78100260A EP 78100260 A EP78100260 A EP 78100260A EP 0000866 B1 EP0000866 B1 EP 0000866B1
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EP
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tube
core
metal
grooves
glass
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EP78100260A
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Jochen Dr.Rer.Nat. Franzen
Gerhard Dipl.-Phys. Weiss
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Bruker Daltonics GmbH and Co KG
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Bruken Franzen Analytik GmbH
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    • H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
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    • H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
    • H01J49/4205—Device types
    • H01J49/421—Mass filters, i.e. deviating unwanted ions without trapping
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J49/4205—Device types
    • H01J49/4255—Device types with particular constructional features
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S228/00—Metal fusion bonding
    • Y10S228/903—Metal to nonmetal

Definitions

  • the invention relates to a method according to the first part of patent claim 1.
  • a multipole usually consists of the number of poles corresponding to electrically conductive round or hyperbole rods;
  • a quadrupole consists of four parallel, electrically conductive round or hyperbole rods.
  • the rods are held parallel to one another by one or more electrically insulating mounting parts that surround them on the outside in the form of rings or cages, the rod centers being arranged square in section.
  • the requirements for parallelism, freedom from torsion, the equality of the spacing of diagonally opposite rods and the right angle of these diagonals are used in particular for those mass filters that are used in higher mass ranges with masses greater than 500 atomic mass units (m > 500 u) should be extremely high.
  • GB-B-13 67 638 has therefore described a filter which consists of a tubular, torsion-free and low-deflection insulator with conductive surface coverings, this filter being produced from an extruded ceramic tube by subsequent firing and partial covering of the inner surfaces with a conductive layer becomes.
  • the firing causes the pipe to shrink by about 10% and therefore does not permit the dimensional accuracy requirements described above; therefore the use of such quadrupole filters as residual gas analyzers is only in the lower mass range.
  • DE-B-12 97 360 describes a method according to the first part of claim 1, which allows the production of high-precision glass tubes on a mandrel with subsequent metallization of the indented inner surfaces for use as a quadrupole system.
  • the structure of the mandrel, especially a quadrupole structure, is impressed on the softenable tube material, whereupon the mass filter is produced by subsequent metallization of the indentations.
  • FR-A-22 75 877 describes an analyzer system for a multipole mass filter, in which a carrier is produced from dimensionally stable material, in particular glass, according to the known KPG method, which then receives ground pole rods.
  • a sufficiently high precision of the quadrupole spacing cannot be achieved.
  • the invention has for its object to improve the method according to the first part of claim 1 in such a way that a highly precise and extremely smooth surface of the metal layer is achieved with excellent adhesion of the same to the pipe material.
  • a particularly preferred embodiment of the invention is characterized in that metal foils are used as layers, which are inserted into the grooves of the mandrel. It can in particular be provided that glass is used as the tube material and a highly ductile material is used as the foil material. As an alternative to this, it can also be provided that glass is used as the tube material and a metal with a largely identical coefficient of thermal expansion as the tube material is used as the foil material.
  • Gold and platinum are suitable as film material.
  • the invention optionally further provides that the film surface is provided with a meltable coating, in particular made of glass, before being inserted into the grooves of the mandrel to facilitate melting. This will ver melting the metal foils with the pipe material facilitated.
  • the metal foils are provided with protrusions extending from the foil surface facing away from the mold core, in particular in the form of bent flanges, notches, ribs soldered or welded onto the foils or wires soldered to the foils, before introduction that dig into the soft pipe material when the layer material and pipe material merge.
  • a coating with a conductive metal composition in particular conductive varnish, is applied to the inside of the tube and then dried as metallic components, whereupon Gold, silver or copper can preferably be used as conductive metals.
  • a further modified embodiment of the invention provides that the metallic components are produced by means of reduction metallization, for example tin oxide applied in the dipping process.
  • An essential part of the idea of the invention lies in the fact that during the final shaping process of the tube from softenable material, the metal electrodes are shaped at the same time - in particular by the grooves of the mandrel resting thereon - and pressed there by the surrounding tube material, which results in a highly precise and extremely smooth surface of the metal layer results.
  • the metallization is carried out only after the analyzer tube has been formed on the mandrel, and, as explained, insufficient accuracy is not guaranteed.
  • a pre-machined mandrel which in the case shown is made of ground special steel and ground in the semicircular grooves 3, is provided with metal foils 5, in particular gold foils, by the metal foils 5 being inserted into the semicircular grooves 3 be inserted.
  • a glass tube 7 is then pulled over the mold core 1 provided with metal foils 5 and, if necessary, closed and evacuated.
  • the glass tube 7 filled with the mandrel 1 is then heated, for example in an oven, to a temperature slightly above the transformation point of the glass, the glass tube 7 laying on the metal foils 5 located in the grooves 3 and fusing with them (FIG. 3) .
  • the mandrel 1 contracts more than the shaped glass tube 7, so that the mandrel 1 can be easily pulled out of the shaped glass tube 7.
  • FIG. 4 shows the completely manufactured analyzer system for a quadrupole mass filter as a glass tube 7 provided with tube indentations 9, the metal foils 5 being melted onto the tube indentations 9 in the interior of the glass tube 7.
  • a pre-machined mandrel 1 in the exemplary embodiment shown consisting of ground special steel, is ground in be inserted into the semicircular grooves 2.
  • the metal foils 5 are provided on the side facing away from the mandrel 1 with longitudinally extending flanges 6 perpendicular to the metal surface.
  • a glass tube 7 is pulled over the mold core 1 provided with the metal foils 5 and optionally closed and evacuated. Then will the glass tube 7 filled with the mandrel 1 is heated, for example in an oven, to a temperature slightly above the transformation point of the glass, the glass tube 7 laying on the metal foils in the grooves 3.
  • the flanges 6 dig into the soft material of the glass tube (FIG. 6). When cooling, the mandrel 1 contracts more than the shaped glass tube 7, so that the mandrel 1 can be easily pulled out of the shaped glass tube 7.
  • the metal foils 5 remain firmly connected to the tube indentations 9 of the glass tube 7 formed over the grooves 3 of the mandrel 1, the hold being reinforced in particular by the flanges 6 of the metal foils 5 melted into the glass tube 7.
  • FIG. 7 shows the completely manufactured analyzer system for a quadrupole mass filter as a glass tube provided with the tube indentations 9, the metal foils 5 being applied to the tube indentations 9 in the interior of the glass tube 7 and fused to the tube material in particular by means of their flanges 6.
  • the mandrel 1 is then introduced into the tube 7 provided with the metal coatings in such a way that the metal coatings are located above the grooves 3 of the mandrel and rest on the tube indentations 9 formed in the interior of the glass tube 7 according to the method steps described above.

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Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem ersten Teil des Patentanspruches 1.
  • Das Wirkungsprinzip eines hochpräzisen und formstabilen Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter, das dem Fachmann allgemein als Multipol-Massenfilter nach Paul bekannt ist, ist in der DE-C 9 44 900 beschrieben.
  • Ein Multipol besteht überlicherweise aus der Anzahl der Pole entsprechenden elektrisch leitfähigen Rund- oder Hyperbolstäben; insbesondere besteht also ein Quadrupol aus vier parallelen, elektrisch leitfähigen Rund- oder Hyperbolstäben. Die Stäbe sind dabei durch ein oder mehrere, sie außen umfassende, elektrisch isolierende Montageteile in Form von Ringen oder Käfigen parallel zueinander gehalten, wobei die Stabmitten im Schnitt quadratisch angeordnet sind. Die Anforderungen an die Parallelität, die Verwindungsfreiheit, die Gleichheit der Abstände sich diagonal gegenuberliegender Stäbe und die Rechtwinkeligkeit dieser Diagonalen sind insbesondere für solche Massenfilter, die in höheren Massenbereichen bei Massen, die größer sind als 500 atomare Masseneinheiten (m > 500 u), verwendet werden sollen, außerordentlich hoch.
  • Die vom Quadrupol-Filter durchgelassene lonenmasse m hängt nach der Gleichung
    Figure imgb0001
    (q = const x 0,7) von der Amplitude V und der Kreisfrequenz w der angelegten Hochfrequenzspannung sowie vom Scheitelabstand der jeweiligen Stäbe 2 r ab. Damit bei einer eingestellten Durchlaßmasse m = 1.000 u an zwei beliebigen Stellen im Quadrupolfilter die Differenz der durchgelassenen Masse nicht größer als 0,1 u ist, darf die relative Abweichung des Scheitelabstands
    Figure imgb0002
    höchstens 1/20.000 betragen. Dies ergibt bei einem diagonalen Scheitelabstand 2ro von üblicherweise 8 mm eine Genauigkeitsforderung von 0,4 jum. Dieser Wert wird für zylindrische Stäbe bei einer Zweipunkt-Auflage bereits durch die natürliche Durchbiegung unter dem Einfluß der Schwerkraft überschritten. Eine derartige Anordnung eines Multipol-Filters mit Polstäben und getrennten isolierenden Haltern kann daher die erforderlichen Genauigkeitsbedingungen nur schwer erfüllen.
  • Daher wurde in der GB-B-13 67 638 ein Filter beschrieben, das aus einem rohrförmigen, verwindungsfreien und durchbiegungsarmen Isolator mit leitfähigen Oberflächenbelegungen besteht, wobei dieses Filter aus einem extrudierten Keramikrohr durch nachfolgendes Brennen und teilweises Belegen der inneren Oberflächen mit einer leitfähigen Schicht hergestellt wird. Das Brennen bewirkt jedoch eine Schrumpfung des Rohres von etwa 10% und läßt daher die oben beschriebenen Maßgenauigketis-Anforderungen nicht zu; daher liegt die Verwendung derartiger Quadrupol-Filter als Restgasanalysatoren nur im unteren Massenbereich.
  • In der DE-B-12 97 360 ist ein Verfahren nach dem ersten Teil des Patentanspruches 1 beschrieben, welches die Herstellung hochpräziser Glasrohre auf einem Formkern mit anschließender Metallisierung der eingebuchteten inneren Oberflächen zur Verwendung als Quadrupol-System gestattet. Dabei wird dem erweichungsfähigen Rohrmaterial die Struktur des Formkerns, speziell eine Quadrupol-Struktur, aufgeprägt, woraufhin durch anschließende Metallisierung der Einbuchtungen das Massenfilter hergestellt wird. In der FR-A-22 75 877 ist ein Analysatorsystem für ein Multipol-Massenfilter beschrieben, bei dem nach dem bekannten KPG-Verfahren ein Träger aus formstabilem Material, insbesondere Glas, hergestellt wird, der dann geschliffene Polstäbe aufnimmt. Auch hierbei läßt sich keine hinreichend hohe Präzision des Quadrupolabstandes erzielen.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Verfahren nach dem ersten Teil des Patentanspruchs 1 dahingehend zu verbessern, daß eine hochpräzise und äußerst glatte Oberfläche der Metallschicht unter ausgezeichneter Haftung derselben an dem Rohrmaterial erreicht wird.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei dem gattungsgemäßen Verfahren durch die im Kennzeichen des Patentanspruches 1 aufgeführten Merkmale gelöst.
  • Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß als Lagen Metallfolien verwendet werden, die in die Nuten des Formkerns eingelegt werden. Dabei kann insbesondere vorgesehen sein, daß als Rohrmaterial Glas und als Folienmaterial ein hochduktiles Material verwendet wird. Alternativ hierzu kann auch vorgesehen sein, daß als Rohrmaterial Glas und als Folienmaterial ein Metall mit weitgehend gleichem thermischen Ausdehnungskoeffizienten wie das Rohrmaterial verwendet wird.
  • Als Folienmaterial eignen sich beispielsweise Gold und Platin. Die Erfindung sieht gegebenenfalls weiterhin vor, daß die Folienoberfläche vor Einlegen in die Nuten des Formkerns zur Erleichterung des Verschmelzens mit einem schmelzfähigen Überzug, insbesondere aus Glas, versehen wird. Hierdurch wird das Verschmelzen der Metallfolien mit dem Rohrmaterial erleichtert.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren kann weiterhin vorgesehen sein, daß die Metallfolien vor dem Einbringen mit sich von der dem Formkern abgewandten Folienfläche forterstreckenden Vorsprüngen, insbesondfere in Form von umgebogenen Flanschen, Einkerbungen, auf den Folien aufgelöteten oder aufgeschweißten Rippen oder an die Folien angelöteten Drähten, versehen werden, die sich beim Verschmelzen von Lagenmaterial und Rohrmaterial in das weiche Rohrmaterial eingraben.
  • Alternativ zu den vorstehend beschriebenen Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens, bei denen Metallfolien als Lagen verwendet werden, kann auch vorgesehen sein, daß als metallische Komponenten eine Beschichtung mit einer Leitmetall-Zusammensetzung, insbesondere Leitlack, auf die Innenseite des Rohres aufgebracht und anschließend getrocknet wird, wobei als Leitmetalle vorzugsweise Gold, Silber oder Kupfer verwendet werden können.
  • Eine wiederum abgewandelte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, daß die metallischen Komponenten mittels Reduktionsmetallisierung, zum Beispiel von im Tauchverfahren aufgebrachtem Zinnoxid, hergestellt werden.
  • Ein wesentlicher Bestandteil des Erfindungsgedankens liegt also darin, daß beim abschließenden Formgebungsprozeß des Rohres aus erweichungsfähigem Material gleichzeitig die Metallelektroden mitgeformt - insbesondere durch Aufliegen der Nuten des Formkerns - und durch das umgebende Rohrmaterial dort aufgepreßt werden, wodurch sich eine hochpräzise und äußerst glatte Oberfläche der Metallschicht ergibt. Bei dem gattungsgemäßen Verfahren wird im Gegensatz hierzu die Metallisierung erst nach Formen des Analysatorrohres auf dem Formkern durchgeführt, wobei, wie dargelegt, keine ausreichende Genauigkeit gewährleistet ist.
  • Nachstehend sind Wege zur Ausführung der Erfindung anhand der Zeichnung im einzelnen. Dabei zeigt:
    • Fig. 1 ein herkömmliches Quadrupolsystem aus vier zylindrischen Stäben, die durch isolierende Ringe gehalten sind;
    • Fig. 2 einen Querschnitt durch einen bei einem Weg zur Ausführung der Erfindung verwendeten Formkern mit eingeschliffenen Nuten, eingelegten Metallfolien und übergezogenem Glasrohr;
    • Fig. 3 einen Querschnitt durch den Formkern mit angeschmiegtem Glasrohr und mit ihm verschmolzenen Folien;
    • Fig. 4 einen Querschnitt durch das abgezogene Quadrupolrohr mit aufgeschmolzenen Folien;
    • Fig. 5 in ähnlicher Darstellung wie bei dem in den Figuren 2 bis 4 gezeigten Weg zur Aufführung der Erfindung einen Querschnitt durch einen Formkern mit eingeformten Nuten bei einem abgewandelten Weg zur Ausführung der Erfindung mit eingelegten Folien und übergezogenem Glasrohr;
    • Fig. 6 den Querschnitt durch den Formkern von Fig. 5 mit angeschmiegtem Glasrohr und mit ihm verschmolzenen Folien; und
    • Fig. 7 einen Querschnitt durch das abgezogene Quadrupolrohr von Fig. 5 und 6 mit angeschmolzenen Folien.
  • Beim in Fig. 1 dargestellten herkömmlichen Quadrupolsystem werden vier zylindrische leitende Stäbe, insbesondere aus Metall, durch zwei oder mehr isolierende Ringe gehalten. Durch mechanisches Justieren ist bestenfalls eine Genauigkeit von etwa 3 bis 4 J.Lm zu erhalten. Durch die natürliche Schwerkraft, durch Erschütterungen, und beim Aufheizen des Systems besteht die Gefahr, daß sich die Stäbe verbiegen. Außerdem kann sich das System verwinden.
  • Bei einem Weg zur Ausführung der Erfindung wird entsprechend Fig. 2 ein vorbearbeiteter Formkern, der im dargestellten Fall aus geschliffenem Spezialstahl und in den halbkreisförmige Nuten 3 eingeschliffen sind, mit Metallfolien 5, insbesondere Goldfolien, versehen, indem die Metallfolien 5 in die halbkreisförmigen Nuten 3 eingelegt werden. Anschließend wird über den mit Metallfolien 5 versehenen Formkern 1 ein Glasrohr 7 gezogen und gegebenenfalls verschlossen und evakuiert. Daraufhin wird das mit dem Formkern 1 gefüllte Glasrohr 7 zum Beispiel in einem Ofen auf eine etwas oberhalb des Transformationspunktes des Glases liegende Temperatur erhitzt, wobei sich das Glasrohr 7 auf die den Nuten 3 befindlichen Metallfolien 5 legt und mit diesen verschmilzt (Fig. 3). Beim Abkühlen zieht sich der Formkern 1 stärker zusammen als das geformte Glasrohr 7, so daß der Formkern 1 leicht aus dem geformten Glasrohr 7 herausziehbar ist.
  • In Fig. 4 ist das vollständig hergestellte Analysatorsystem für ein Quadrupol-Massenfilter als mit Rohreinbuchtungen 9 versehenes Glasrohr 7 dargestellt, wobei im Inneren des Glasrohres 7 auf die Rohreinbuchtungen 9 die Metallfolien 5 aufgeschmolzen sind.
  • Bei dem in den Figuren 5 bis 7 wiedergegebenen, zweiten Weg zur Ausführung der Erfindung wird entsprechend Fig. 5 ein vorbearbeiteter Formkern 1, beim dargestellten Ausführungsbeispiel aus geschliffenem Spezialstahl bestehend, in .den halbkreisförmige Nuten 3 eingeschliffen sind, mit Metallfolien 5 versehen, indem diese in die halbkreisförmigen Nuten 2 eingelegt werden. Die Metallfolien 5 sind auf der dem Formkern 1 abgewandten Seite mit sich längs erstreckenden, senkrecht zur Metalloberfläche stehenden Flanschen 6 versehen. Über den mit den Metallfolien 5 versehenen Formkern 1 wird ein Glasrohr 7 gezogen und gegebenenfalls verschlossen und evakuiert. Anschließend wird das mit dem Formkern 1 gefüllte Glasrohr 7 zum Beispiel in einem Ofen, auf eine etwas oberhalb des Transformationspunktes des Glases liegende Temperatur erhitzt, wobei sich das Glasrohr 7 auf die in den Nuten 3 befindlichen Metallfolien legt. Dabei graben sich die Flansche 6 in das weiche Material des Glasrohres ein (Fig. 6). Beim Abkühlen zieht sich der Formkern 1 stärker zusammen als das geformte Glasrohr 7, so daß der Formkern 1 leicht aus dem geformten Glasrohr 7 herausziehbar ist.
  • Dabei bleiben die Metallfolien 5 fest mit über den Nuten 3 des Formkerns 1 gebildeten Rohreinbuchtungen 9 des Glasrohrs 7 verbunden, wobei der Halt insbesondere durch die in das Glasrohr 7 eingeschmolzenen Flansche 6 der Metallfolien 5 verstärkt wird.
  • In Fig. 7 ist das vollständig hergestellte Analysatorsystem für ein Quadrupol-Massenfilter als mit den Rohreinbuchtungen 9 versehenes Glasrohr dargestellt, wobei im Inneren des Glasrohres 7 auf die Rohreinbuchtungen 9 die Metallfolien 5 aufgebracht und insbesondere mittels ihrer Flansche 6 mit dem Rohrmaterial verschmolzen sind.
  • Die selben Verfahrensschritte werden durchgeführt, wenn statt der Metallfolien vor Einbringen des Formkerns in das Glasrohr an den Stellen der zu formenden Rohreinbuchtungen in bekannter Weise Glanzmetallpaste, Leitlack oder eine Leitschicht aufgebracht und anschließend in bekannter Weise metallisiert wird, wobei gegebenenfalls bei einer Leitschicht noch eine zusätzliche Metallschicht in herkömmlicher Weise aufgalvanisiert wird.
  • Der Formkern 1 wird dann in das mit den Metallbeschichtungen versehene Rohr 7 derart eingebracht, daß die Metallbeschichtungen sich über den Nuten 3 des Formkerns befinden und nach den oben beschriebenen Verfahrensschritten im Inneren des Glasrohres 7 auf den gebildeten Rohreinbuchtungen 9 aufliegen.

Claims (10)

1. Verfahren zum Herstellen eines hochpräzisen und formstabilen Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter, bei dem ein Rohr (7) aus elektrisch schlecht leitendem, thermisch erweichungsfähigem Material über einen maßpräzisen Formkern (1) mit höherem Ausdehnungskoeffizienten als das Rohr und zueinander parallelen Nuten (3) gezogen wird, woraufhin das Rohr evakuiert und gemeinsam mit dem Formkern derart erhitzt wird, daß sich das Rohrmaterial den Nuten des Formkerns anschmiegt und anschießend nach verfestigender Abkühlung mit den eingeprägten Rohreinbuchtungen vom Formkern abgezogen wird und bei dem auf die Innenseite des Rohres im Bereich der Nuten Lagen aus elektrisch gut leitfähigen, metallischen Komponenten (5) aufgebracht werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagen vor dem Erhitzen des Rohres zwischen Formkern und Rohr eingebracht werden, und daß das Lagenmaterial beim Erweichen und Anschmiegen des Rohres an die Nuten mit dem Rohrmaterial verschmolzen und durch das umgebende Rohrmaterial verformt und gegen die Nuten gepreßt wird, so daß beim Abziehen des so geformten verfestigten Rohres die mit den eingeprägten Rohreinbuchtungen verschmolzenen Lagen mit vom Formkern abziehbar sind.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Lagen Metallfolien verwendet werden, die in die Nuten des Formkerns eingelegt werden.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Rohrmaterial Glas und als Folienmaterial ein hochduktiles Metall verwendet wird.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Rohrmaterial glas und als Folienmaterial ein Metall mit weitgehend gleichem thermischen Ausdehnungskoeffizienten wie das Rohrmaterial verwendet wird.
5. Verfahren npch einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Folienoberfläche vor Eirtiegen in die Nuten des Formkerns zur Erleichterung des Verschmelzens mit einem schmelzfähigen Überzug, insbesondere aus Glas, versehen wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallfolien vor dem Einbringen mit sich von der dem Formkern abgewandten Folienfläche forterstreckenden Vorsprüngen, insbesondere in Form von umgebogenen Flanschen, Einkerbungen, auf den Folien aufgelöteten oder auf- geschweißten Rippen oder an die Folien angelöteten Drähten, versehen werden, die sich beim Verschmelzen von Lagenmaterial und Rohrmaterial in das weiche Rohrmaterial eingraben.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als metallische Komponenten eine Beschichtung aus einer metallhaltigen Paste, insbesondere aus Gianzgold oder aus Glanzsilber, auf die Innenfläche des Rohres aufgebracht wird, die beim Erhitzen des Rohres in Metall umgewandelt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als metallische Komponenten eine Beschichtung mit einer Leitmetall-Zusammensetzung, insbesondere Leitlack, auf die Innenseite des Rohres aufgebracht und aschließend getrocknet wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß als Leitmetalle Gold, Silber oder Kupfer verwendet werden.
10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die metallischen Komponenten mittels Reduktionsmetallisierung, zum Beispiel von im Tauchverfahren aufgebrachtem Zinnoxid, hergestellt werden.
EP78100260A 1977-08-23 1978-06-28 Verfahren zum Herstellen eines Analysatorsystems für ein Multipol-Massenfilter Expired EP0000866B1 (de)

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