DE2519537A1

DE2519537A1 - Elektronenkanone fuer heiz-, schmelzund verdampfungszwecke mit ablenksystemen

Info

Publication number: DE2519537A1
Application number: DE19752519537
Authority: DE
Inventors: Walter Ing Grad Heil; Peter Dr Sommerkamp
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1975-05-02
Filing date: 1975-05-02
Publication date: 1976-11-04
Also published as: SU656558A3; DE2519537C2; FR2309972B1; DD125731A1; JPS51137194A; FR2309972A1; GB1509834A; US4061871A; JPS585504B2

Description

" Elektronenkanone für Heiz-, Schmelz- und VerdampiungsKwecke mit Ablenfcjsteuien "

Die Erfindung bezieht sich auf eine Elektronenkanone für Heis Schmelz- und Yerdampfungszvecke mit einer Elektronen emittierenden Katode, mindestens einer der Katode zugeordneten, strahlformenden Elektrode, einer Beschleunigungsanode, einer elektromagnetischen Linse und einem in Richtung des Strahlweges verlaufenden Strahlführungsrohr, welches von je einem elektromaghetischen Ablenksystem für die x- und y-Ablenkung umgeben ist, wobei außerhal?3 der Ablenksysteme ein Mantelrohr angeordnet ist. welches an seinem Ende mit dem Ende des Strahlführungsrohres dui'ch eine Abschlußplatte verbunden ist, durch welche die Polschuhe des x-Ablenksystems hindurchgeführt sind.

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ORIGINAL

Durch die DT-PS 1 248 175 ist eine Elektronenkanone der eingangs beschriebenen Gattung, jedoch mit nur einem Ablenksystem vorbekannt, bei dem die dort nicht näher bezeichnete Abschlußplatte zwischen Mantelrohr bzw. Hülse und Strahlführungsrohr senkrecht zur Längsachse der Kanone ausgerichtet ist. Die bekannte Vorrichtung hat zwar zu einer erheblichen Verbesserung der seinerzeit bestehenden Kanonensysteme geführt; sie ist dennoch verbesserungsbedürftig. So führen beispielsweise die unvermeidbar zwischen den Schenkeln des Ablenksystems auftretenden Magnetfelder bereits innerhalb des Strahlrohres zu einer merklichen Ablenkung des Elektronenstrahlbündels, so daß in ungünstigen Fällen, d.hi bei starker Strahlablenkung und nicht optimaler Fokussierung ein Anschmelzen der Austrittsöffnung, d.h. des Strahlführungsrohres und der Abschlußplatte beobachtet werden konnte. Versuche, die Magnetfelder an dieser Stelle durch einen Eisenring abzuschwächen, haben nicht zu dem gewünschten Erfolg geführt. Bei der bekannten Vorrichtung wird außerdem die Abschlußplatte durch Strahlungswärme, die von dem erhitzten Material ausgeht, sowie durch reflektierte Elektronen in unerwünschter Weise erwärmt. Bei einer Verwendung der bekannten Elektronenkanone für Bedampfungszwecke und einer Anordnung des Verdampfertiegels in unmittelbarer Nähe des Kanonenendes wurde außerdem eine Bedampfung der Abschlußplatte beobachtet. Dies ist darauf zurückzuführen, daß sich der Dampfstrahl ausgehend von dem Verdampfertiegel kegel- oder keulenförmig ausbildet, d.h. nach oben divergiert und dabei auf die Abschlußplatte des Kanonensystems auftrifft. Nach Erreichen einer bestimmten Schichtdicke an der Kanonenmündung

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schält sich das Material ab, wobei die erhebliche Gefahr besteht, daß das Material in den Verdampfungstiegel fällt und das darin befindliche Verdampfungsmaterial verunreinigt. Dieser Nachteil ist deswegen von besonderer Bedeutung, weil je nach Verwendungszweck unterschiedliche Materialien verdampft werden müssen, die nicht miteinander gemischt werden dürfen.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die eingangs beschriebene Elektronenkanone so zu verbessern, dassyeine Bedampfung und/oder eine zusätzliche Erwärmung der die Kanonenmündung bildenden Abschlußplatte mit hoher Sicherheit vermieden, zumindest aber stark unterdrückt wird.

Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt gemäß der vorliegenden Erfindung dadurch, daß die Abschlußplatte von den Polschuhen des x-Ablenksystems ausgehend in Richtung auf die Katode geneigt ausgebildet ist. Vereinfacht und in Bezug auf die übliche Raumlage einer solcher Kanone ausgedrückt, bedeutet dies, daß die Abschlußplatte schräg nach hinten verlaufend von den Polschuhen weggerichtet ist.

Mit der erfindungsgemäßen Lösung ist der Vorteil verbunden, daß die thermische Belastung der Kanonenmündung durch Strahlungswärme des erhitzten Materials wesentlich reduziert wird. Bei der Verwendung der erfindungsgemäßen Kanone für Aufdampfzwecke wird die Ausbildung der Dampfkeule durch die Kanonenmündung nicht mehr behindert, so daß auch keine merklichen Mengen des Dampfes auf der Kanonenmündung kondensieren können. Damit wird auch die Gefahr erheblich reduziert,

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daß auf der Kanonenmündung kondensiertes Material in den Verdampfertiegel zurückfällt.

Der Neigungswinkel "oC" der Abschlußplatte in Bezug auf die Achse des Strahlführungsrohres beträgt dabei zwischen 30 und 8o Grad, vorzugsweise 45 bis 70 Grad. Es ist dabei anzustreben, die Abschlußplatte gegenüber der Vertikalen so schräg, wie möglich zu stellen, wobei zu beachten ist, daß die zwischen Mantelrohr und Strahlführungsrohr angeordnete elektromagnetische Linse sowie die Magnetspulen für die beiden Ablenksysteme gerade eben noch an dieser Stelle untergebracht werden können.

Eine weitere Verbesserung wird dadurch erreicht, daß Joch, Schenkel, Magnetspule und Polschuhe des x-Ablenksystems auf einer Seite einer durch das Strahlführungsrohr gelegten Symmetrieebene angeordnet sind. Bezogen auf die übliche Raumlage der Elektronenkanone bedeutet dies, daß die Symmetrieebene horizontal verläuft, und daß die angegebenen Bauelemente unterhalb dieser Symmetrieebene angeordnet sind, d.h. an einer Stelle, an der sich das Mantel- und Strahlführungsrohr am weitesten in Richtung auf die Polschuhe des x-Ablenksystems erstrecken. Durch diese - außermittige Anordnung des x-Ablenksystems wird Vermieden, daß das Joch das Strahlführungsrohr in Form eines Ringes umgibt, von dem die beiden, zu den Polschuhen führenden Schenkel parallel zum Strahlführungsrohr verlaufend ausgehen, wie dies beim Gegenstand der DT-PS 248 175 der Fall ist. Durch einen Verzicht auf einen derartigen ferromagnetischen Kern läßt sich das Joch in größerer

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Nähe der Kanonenmündung unterbringen, so daß eine vorzeitige Strahlablenkung innerhalb de*s Strahlführungsrohrs weitgehend unterbleibt. Damit wird auch ein unerwünschtes Anschmelzen der Kanonenmündung, d.h. der Abschlußplatte und des Strahlführungsrohres sicher vermieden.

Die außermittige Anordnung des x-Ablenksystems im vorstehend aufgezeigten Sinne führt insbesondere in Kombination mit den Merkmalen des Hauptanspruchs zu einer besonders günstigen Lösung, da sich die außermittige Anordnung des x-Ablenksystems und die schrägverlaufende Abschlußplatte an der Kanonenmündung derart gegenseitig ergänzen, daß eine optimale Raumausnutzung innerhalb des Mantelrohrs einerseits und eine weitgehend unbeeinflußte Führung des Elektronenstrahlbündels bis in die Nähe der Polschuhe andererseits ermöglicht werden.

Eine vorteilhafte Weiterbildung des Erfindungsgegenstandes ist dadurch gekennzeichnet, daß die Feldlinienaustrittsflächen der Polschuhe parallel zu Tangenten des Mantelrohres angeordnet sind und einen Winkel zwischen 20 und 90 Grad, vorzugsweise zwischen 45 und 70 Grad, einschliessen. Hierdurch wird eine v-förmige Anordnung der Feldlinienaustrittsflächen erreicht, die eine starke Strahlablenkung auf kleinstem Raum ermöglicht.

Die erfindungsgemäße Ausbildung der Elektronenkanone ermöglicht außerdem die Unterbringung eines y-Ablenksystems, das gemäß der weiteren Erfindung dadurch gekennzeichnet ist, daß es aus einem das Strahlführungs-

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rohr umgebenden ferromagnetischen, geschlossenen Rahmen besteht, auf dessen beiden, zum x-Ablenksystem im wesentlichen senkrecht ausgerichteten Stegen Magnetspulen angeordnet sind, und daß die zwischen den Magnetspulen liegenden Stege in Richtung auf die Mündung des Strahlführungsrohres vorspringend ausgebildet sind, wobei die Länge der Vorsprünge, die die Polschuhe bilden, auf die Schräglage der Abschlußplatte abgestimmt ist. Das y-Ablenksystem fügt sich aufgrund der vorstehend beschriebenen Konstruktionsmerkmale nahezu vollständig in den von dem x-Ablenksystem aufgrund seiner außermittigen Anordnung freigelassenen Raum ein und liegt dabei ebenfalls in unmittelbarer Nähe der' Kanonenmündung. Dabei kann auf lange, zu den Polschuhen führende Schenkel verzichtet werden, da die Magnetspulen unmittelbar auf dem geschlossen, ferromagnetischen Rahmen angeordnet sind. Hierdurch wird das Elektronenstrahlbündel ebenfalls erst auf dem letzten Teil seines Weges innerhalb des Strahlführungsrohres beeinflußt bzw. abgelenkt, so daß auch durch diese Maßnahme ein Anschmelzen der Kanonenmündung sicher vermieden wird.

Bei dem Gegenstand der DT-PS 1 248 175 ist der Raum zwischen dem Kantelrohr und dem Strahlführungsrohr, in dem sich die elektromagnetische Linse und die Spulen des Ablenksystems befinden, zum Zwecke einer Vermeidung der thermischen überlastung dieser Spulen von einem Kühlmedium (Wasser) durchströmt. Dies setzt eine entsprechende Kapselung der Spulen voraus, da das Kühlmedium ansonsten die Ioslierung zerstören und die Anschlüsse korrodieren würde. Die raumsparende Konstruk-

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tion gemäß der vorliegenden Erfindung gestattet es darüberhinaus, das Strahlführungsrohr doppelwandig auszuführen und dessen Hohlraum mit Anschlüssen für ein Kühlmedium zu versehen. Bei Anwendung dieser Maßnahme ist die Führung des Kühlmediums ausschließlich auf das Strahlführungsrohr beschränkt, während die elektromagnetischen Spulen der Linse und der Ablenksysteme in einem nicht Vom Kühlmedium durchströmten Teil des Mantelrohres angeordnet werden können. Dadurch wird die Störanfälligkeit der Elektronenkanone weiter vermindert.

Die v-förmige Ausrichtung der Polschuhe schafft die Voraussetzung dafür, daß in diese ein Verdanipfertiegel unter flächiger Berührung eingehängt werden kann. Es ist hierbei lediglich erforderlich, die mit den Polschuhen zusammenwirkende Außenwandung des Tiegels mit schrägen Flächen zu versehen, die dem Anstellwinkel der Polschuhe entsprechen. Da der Tiegel in der Regel flüssigkeitsgekühlt ist, erfolgt auf diese Weise eine wirksame Kühlung der Polschuhe.

Andererseits ist es auch möglich, den Tiegel mit ferromagnetischen Seitenteilen zu versehen, die in der Weise ausgebildet und angeordnet sind, daß sie die Verlängerung der Polschuhe der Elektronenkanone bilden. Durch einen zwischen diesen Seitenteilen angeordneten Permanentmagneten wird ein zusätzliches Ablenkmagnetsystem gebildet, mit dem eine Strahlführung im Bereich des Tiegels

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möglich ist. Die Polschuhe der Elektronenkanone können hierbei verkürzt ausgebildet sein.

Weiterhin kann anstelle des Verdampfertiegels zwischen die v-förmig gestellten Polschuhe auch eine aus Kupfer bestehende, wassergekühlte Blende eingehängt werden, in der ein Loch angeordnet ist, und die als Spritzschutz oberhalb« eines drehbaren, mit mehreren Näpfen versehenen Verdampftertiegels angeordnet sein kann. Die Blende dient gleichzeitig auch als Auffänger für einen Teil der reflektierten Elektronen.

Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes, seine Einzelheiten, Wirkungsweise, Varianten und die verschiedenen Einsatzmöglichkeiten seien nachfolgend anhand der Figuren 1 bis 6 näher erläutert.

Es zeigen:

Figur 1 einen Längsschnitt durch eine vollständige Elektronenkanone in der üblichen Arbeitslage, d.h. mit horizontal ausgerichteter Achse,

Figur 2 einen Schnitt durch den Gegenstand gemäß Figur 1 entlang der Linie II - II,

Figur 3 eine Seitenansicht eines Teils der Kanone

in Verbindung mit einem drehbaren Verdampfertiegel mit mehreren Näpfen,

Figur 4 eine Vorderansicht auf den Gegenstand gemäß Figur 3 mit teilweisem Schnitt entlang der Linie IV - IV gemäß Figur 3,

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Figur 5 eine Seitenansicht analog Figur 3, jedoch mit einem festen Verdampfertiegel mit eigenem Ablenksystem und

Figur 6 ei ie Vorderansicht des Gegenstandes gemäß Figur 5.

In Figur 1 ist mit 10 eine Katode bezeichnet, die in Anschlußklemmen 11 befestigt ist. Die Anschlußklemmen 11 führen über in ihrem weiteren Verlauf nicht sichtbare Leitungen zu Schraubklemmen 12, die mit nicht dargestellten Hochspannungsanschlüssen für die Beschleunigungsspannung und den Heizstrom der Katode Io verbunden werden können. Die Katode ist von einer auf gleichem Potential liegenden, strahlformenden Elektrode

13 (Wehnelt-Zylinder) umgeben, Katode Io und strahlformende Elektrode 13 sind in herkömmlicher uiid daher nicht näher beschriebener Weise an einem Hochspannungsisolator 14 befestigt, der an seinem den Schraubklemmen 12 zugewandten Ende einen Kühlkörper 15 trägt. Die Schraubklemmen 12, der Kühlkörper 15 und ein wesentlicher Teil der Länge des Hochspannungsisolators

14 sind von einer Abschirmhaube 16 umgeben.

Der Kochspannungsisolator 14 besitzt einen Flansch 17, der unter Zwischenschaltung einer nicht näher bezeichneten Vakuumdichtung mit einem Flanschring 18 verbunden ist, an dem auch die Abschirmhaube 16 befestigt ist. Der Flanschring 18 steht über ein Verbindungsstück 19, mit einem weiteren Flanschring 2o iri Verbindung, der zur Aufnahme der nachstehend

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näher beschriebenen Baueinheit 21 dient. Der Flanschring 2o befindet sich auf Erdpotential und trägt in seinem Inneren eine Beschleunigungsanode 22, die ebenfalls unter Zwischenschaltung von Dichtungen auswechselbar befestigt ist. Die bisher beschriebene Anordnung ist rotationssymmetrisch zur Längsachse ¹¹A" der Elektronenkanone ausgeführt.

Die Baueinheit 21 besteht aus einem Strahlführungsrohr 23, einer elektromagnetischen Linse 24, einem x-Ablenksystem 25 und einem y-Ablenksystem 26, von dem in der Darstellung jedoch nur_t der obere Polschuh sichtbar ist. Das Strahlführungsrohr 23 ist von einem koaxialen Mantelrohr 27 umgeben, wobei in dem Ringraum 53 zwischen Strahlführungsrohr und Mantelrohr die elektromagnetische Linse 24 und die Ablenksysteme 25 und 26 angeordnet sind.

Das Strahlführungsrohr 23 und das Mantelrohr 27 sind an ihrem der Katode Io abgekehrten Ende vakuumdicht durch eine Abschlußplatte 28 verbunden. Das x-Ablenksystem 25 besteht aus einem Joch 25a, auf dem eine Ablenkspule 25b angeordnet ist. Das Joch 25a steht beidseitig mit Polschuhen 29 in Verbindung, von denen in Figur 1 jedoch nur der hintere sichtbar ist.

Die Abschlußplatte 28 ist von den Polschuhen 29 des x-Ablenksystems 25 _ausgehend in Richtung auf die Katode Io geneigt ausgebildet, wie dies in Figur 1 deutlich erkennbar ist. Hierdurch ist der obere Teil der Umlaufkante der Abschlußplatte 28a gegenüber dem unteren Teil der Umlaufkante stark zurückgesetzt, so daß Wärme-

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strahlung und Dampfρartikel, die von einem Verdampfertiegel im Bereich der Polschuhe 29 ausgehen, nicht mehr auf die Abschlußplatte 28 auftreffen können. Die Neigung der Abschlußplatte 28 in Bezug auf die Achse ¹¹A" des Strahlführungsrohres ist in Figur 1 durch den Winkel^ oL angegeben, der im vorliegenden Falle 60 Grad beträgt.

Das Strahlführungsrohr 23 ist doppelwandig ausgebildet, wobei der Zwischenraum, von einem Kühlmedium, wie beispielsweise Wasser, durchströmt wird. Der Anschluß an einen Kühlwasserkreislauf erfolgt über Verteilkanäle 3o und Bohrungen 19a iin Verbindungsstück 19 sowie Anschlußleitungen 31, von denen in der Zeichnung ebenfalls nur eine dargestellt ist. Die elektrischen Anschlüsse der Ablenksysteme 25 und 26 sowie der elektromagnetischen Linse 24 erfolgen über eine Vielfachsteckverbiiidung 32 und eine Bohrung 19b in einem anderen der Hohlbolzen

In Figur 2 sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen, wie in Figur 1. Es ist zu erkennen, daß das Joch 25a, die Magnetspule 25b und die Polschuhe 29 des x-Ablenksystems auf einer Seite, d.h. unterhalb der durch das Strahlführungsrohr 23 gelegten Symmetrieebene B-B angeordnet sind. Durch diese Anordnung werden keine Streufelder erzeugt, durch die das im Innern des Strahlführungsrohres 23 verlaufende Elektronenstrahlbündel in unzulässiger Weise vorzeitig abgelenkt würde. Weiterhin ist zu erkennen, daß die Feldlinienaustrittsflächen 29a der Polschuhe 29 parallel zu Tangenten des Mantelrohres 27 angeordnet sind und einen Winkel fi*

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gleich 60 Grad zwischen sich einschliessen. Auf diese Weise entsteht ein tonnenförmig gebogenes Magnetlinienfeld, welches eine starke Ablenkung des Elektronenstrahlbündels bewirkt, sowie gleichzeitig eine zusätzliche Fokussierung. Die Außenflächen der Polschuhe 29 gehen in die Außenfläche des Mantelrohres 27 über, so daß eine Montage in kreisförmigen Behälteröffnungen ohne Demontage der Polschuhe möglich ist. '

Weiterhin ist der Figur 2 zu entnehmen, daß das y-Ablenksystem aus einem das Strahlführungsrohr 23 umgebenden, ferromagnetischen, geschlossenen Rahmen besteht, auf dessen beiden, zum χ-Ablenksystem 25 im wesentlichen senkrecht ausgerichteten Stegen 34 Magnetspulen 35 angeordnet sind, und daß zwischen den Magnetspulen 35 Stege 36 bzw. 37 angeordnet sind. Diese Stege sind in Richtung auf die Mündung des Strahlführungsrohres 23, d.h. senkrecht zur Zeichenebene und daher in Figur 2 nicht erkennbar vorspringend ausgebildet, wobei die Länge der Vorsprünge, die die Polschuhe bilden, auf die Schräglage der Abschlußplatte 28 abgestimmt ist. Aus Figur 2 ist gut erkennbar, daß die besondere Ausbildung des x-Ablenksystems 25 in Verbindung mit derjenigen des y-Ablenksystems 26 eine optimale Raumausnutzung ermöglichen.

In Figur 3, die eine Seitenansicht eines Teils der Kanone zeigt, nämlich die Kanonenmündung, ist die Baueinheit 21 mit dem gestrichelt angedeuteten Strahlführungsrohr 23 zu sehen. Das aus der Kanonenmündung austretende Elektronenstrahlbündel ist mit 4o bezeichnet; es wird durch die Polschuhe 29 auf einer gekrümmten Bahn abgelenkt, und zwar in Richtung auf eine Verdampfungsein-

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richtung 41, die aus einem wassergekühlten, drehbaren Verdampfertiegel 42 mit mehreren Näpfen 43 besteht. Der Verdampfertiegel 42 ist um eine senkrechte Achse 44 drehbar, so daß jeder der Näpfe 43 wahlweise in die Bahn des Elektronenstrahlbündels 4o gebracht werden kann. Der Verdampfertiegel 42 ist auf einer Welle 45 angeordnet, die mittels einer Drehdurchführung 46 durch einen Vakuumbehälter 47 hindurchgeführt ist. Einer der
zeichnet.

Einer der beiden Kühlwasseranschlüsse ist mit 48 bein die Polschuhe 29 ist eine aus Kupfer bestehende, wassergekühlte Blende 49 eingehängt, von der in Figur nur die sich nach oben erweiternde kegelförmige Öffnung 5o sowie einer der Kühlwasseranschlüsse 51 zu erkennen ist. Diese Blende dient als Spritzschutz gegenüber den sich in den Näpfen 43 befindenden Verdampfungsmaterialien sowie als Auffänger für einen Teil der reflektierten Elektronen. Aus Figur 3 ist ersichtlich, daß durch die besondere Lage der Abschlußplatte 28 ein Auftreffen von Dampfteilchen bzw. Elektronen auf die Kanonenmündung sicher verhindert wird. Desgleichen wird die Ausbreitung der Dampfkeule nicht behindert.

Der Figur 4 ist zu entnehmen, daß die Blende 49 mit schrägliegenden Außenwänden versehen ist, so daß sie unter flächiger Berührung in die tangential ausgerichteten Polschuhe 29 von oben eingehängt bzw. eingesetzt v/erden kann. Es ist jedoch möglich, anstelle der Blende 49 gemäß den Figuren 3 und 4 in die Polschuhe 29 einen Verdampfertiegel einzuhängen, der in diesem Falle natürlich nicht drehbar ausgebildet ist. Anweisungen ■· für eine solche Alternativlösung

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geben die Figuren 5 und 6.

In den Figuren 5 und 6 sind analoge Darstellungen wie in den Figuren 3 und 4 angegeben. Hierbei sind jedoch die Polschuhe 29 verkürzt ausgebildet. Ihre Verlängerung besteht dabei in ferromagnetischen Seitenteilen 29a, die einem Verdampfertiegel 42 zugeordnet und mit diesem fest verbunden sind. Die ferromagnetischen Seitenteile setzen sich nach unten hin durch Schenkel 29b fort, zwischen denen ein Permanentmagnet 51 angeordnet ist. Die Seitenteile 29a, die Schenkel 29b und der Permanentmagnet 51 bilden ein zusätzliches Ablenkmagnetsystem für eine verbesserte Strahlführung im Bereich des Tiegels 42. Es ist auch möglich, im Verdampfertiegel eine Bodenöffnung anzubringen, durch die beispielsweise stangenförmiges Verdampfungsmaterial nach Maßgabe des Verbrauchs nachgeschoben wird«,"

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Claims

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Ansprüche:

,lJ Elektronenkanone für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke mit einer Elektronen emittierenden Katode, mindestens einer der Katode zugeordneten, strahlformenden Elektrode, einer Beschleunigungsanode, einer elektromagnetischen Linse und einem in Richtung des Strahlweges verlaufenden Strahlführungsrohr, welches von je einem elektromagnetischen Ablenksystem für die x- und y-Ablenkung umgeben ist, wobei außerhalb der Ablenksysteme ein Mantelrohr angeordnet ist, welches an seinem Ende mit dem Ende des Strahlführungsrohres durch eine Abschlußplatte verbunden ist, durch welche die Polschuhe des x-Ablenksystems hindurchgeiührt sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Abschlußplatte (28) von den Polschuhen (29) des x-Ablenksystems (25) ausgehend in Richtung auf die Katode (lo) geneigt ausgebildet ist.
2. Elektronenkanone nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Neigung "ei" der Abschlußplatte (28) in Bezug auf die Achse des Strahlführungsrohres 30 bis 8o Grad, vorzugsweise 45 bis 70 Grad, beträgt.
3. Elektronenkanone nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Joch (25a), Ablenkspule (25b) und Polschuhe (29) des x-Ablenksystems auf einer Seite einer durch das Strahlführungsrohr (23) gelegten Symmetrieebene angeordnet sind.

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4. Elektronenkanone nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Feldlinienaustrittsflächen (29a) der Polschuhe (29) parallel zu Tangenten des Mantelrohres (?7) angeordnet sind und einen Winkel zwischen 2o und 9o Grad, vorzugsweise zwischen 45 und 7o Grad, einschliessen.
5. Elektronenkanone nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das y-Ablenksystem aus einem das Strahl· führungsrohr (23) umgebenden ferromagnetischen, geschlossenen Rahmen (33) besteht, auf dessen beiden, zum x-Ablenksystem (25) im wesentlich senkrecht ausgerichteten Stegen (34) Magnetspulen (35) angeordnet sind, und daß die zwischen den Magnetspulen (35) liegenden Stege (3ß/37) in'Richtung auf die Mündung des Strahlführungsrohres (23) vorspringend ausgebildet sind, wobei die Länge der Vorsprünge die die Polschuhe bilden, auf die Schräglage der Abschlußplatte (28) abgestimmt ist.
6. Elektronenkanone nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Strahlführungsrohr (23) doppelwandig ausgeführt ist und daß der Hohlraum (52) mit Anschlüssen (19 , 3o) für ein Kühlmedium versehen ist.

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<7_# Elektronenkanone nach Anspruch 1, dadurch prekenn«» zeichnet, daß in die Polschuhe (29) ein Verdampfertiegel (42) unter flächiger Berührung eingehängt ist.

8. Elektronenkanone nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen kit ferromagnetischen Seitenteilen (29a) versehenen Verdampfertiegel (42), welche in der Weise ausgebildet und angeordnet sind, daß sie die Verlängerung der Polschuhe ( 29), der Elektronenkanone bilden,"und durch eiaen zwischen den Seitenteilen angeordneten Permanentmagneten (51).

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