SU656558A3 - Установка дл электроннолучевого нагрева - Google Patents

Description

, 1

Изобретение относитс  к электроннолучевым приборам дл  местной обработки объектов и может быть использовано дл  нагрева, плавлени  и испарени  материалов.

Известны электроннолучевые установки дл  нагрева объектов, в которых электронный луч формируетс  и отклон етс  с помощью электростатических и магнитных систем 1. Недостаток известных установок состоит в сложности формируюш,их систем.

Ближайшим техническим решением к предложенному  вл етс  установка дл  электроннолучевого нагрева, содержаш.а  охлаждаемый тигель и электронную пушку , состо щую из катода, формирующе; го электрода, анода, лучевода и двух магнитных систем дл  отклонени  электронного луча в двух взаимно перпендикул рных направлени х X и Y. Кажда  магнитна  система образована магнитопроводом с полюсными наконечниками и катушками возбуждени . Лучевод и магнитные системы заключены в цилиндрический корпус, в торце которого на выходе лучевода установлена крышка, через которую выведены полюсные наконечники Х-отклон ющей системы 2.

Недостатки известной установки св заны с тем, что под действием тепла, исход щего от нагреваемого материала, крышка электронной пушки прогреваетс  до высокой температуры и, кроме того, она запыл етс  частицами обрабатываемого материала. Высока  температура крышки приводит к снижению надежности работы пушки, а загр знение крышки - к последующему отслоению напыленного материала и попаданию его в тигель. Этот недостаток особенно существенен , поскольку установка должна обеспечивать чистоту последовательно испар емых материалов.

Цель изобретени  - повышение надежности установки.

Эта цель достигаетс  тем, что крышка корпуса от начала полюсных наконечников Х-отклон ющей системы наклонена под углом 30-80° к оси лучевода при оптимальном диапазоне углов наклона 45-70°. Полюсные наконечники Х-отклон ющей системы установлены в плоскости, расположенной по одну сторону от оси лучевода вместе с испарительным тиглем.

Внутренние поверхности полюсных накоечников Х-отклон ющей системы располоены по касательной к цилиндрической поверхности корпуса под углом 20-90° (оптимальный диапазон углов наклона 45-70°) руг к другу.J

Магнитопровод Y-отклон ющей системы выполнен в виде замкнутой рамы, охватывающей лучевод, на сторонах которой, расположенных по обе стороны плоскости симметрии полюсных наконечников Х-отклон ющей системы, установлены катущки возбуж- ени , а на поперечных указанной плоскости сторонах - полюсные наконечники.

Тигель закреплен между полюсными наконечниками Х-отклон ющей системы и снабжен боковыми накладками, образующими 5 продолжение полюсных наконечников Х-отклон ющей системы:

На фиг. 1 показана предложенна  установка (электронна  пушка дана в разрезе); на фиг. 2 - разрез А-А; на фиг. 3 - относительное расположение пущки и тигл ; на фиг. 4 - тигель с накладками.

Электронна  пущка (фиг. 1) содержит катод 1 и формирующий (цилиндр Венельта) электрод 2, установленные на изол торе 3, снабженном радиатором 4. Изол тор окру- js жен экранирующим колпаком 5. Анод 6 выполнен с каналом, переход щим в цилиндрический лучевод 7. Внутри цилиндрического корпуса 8 установлены охватывающие лучевод магнитные системы 9, 10, отклон ющие луч в направлени х X и Y соответствен- но.

Лучевод 7 и корпус 8 вакуумноплотно соединены крыщкой 11.

Отклон юща  система 9 состоит из магнитопровода 12 и установленной на нем ка- 35 тущки возбуждени  13. Магнитопровод 12 соединен с полюсными наконечниками 14 (кг фиг. 1 виден только один наконечник).

Крышка 11 наклонена к оси лучевода. Магнитопровод 12, катушки 13 и полюсные наконечники 14 расположены по одну сто- ° рону плоскости симметрии Б-Б, проход щей через ось лучевода 7. Внутренние поверхности наконечников 14 установлены под углом друг к другу. Y-отклон юща  система 10 содержит раму, на которой закреплены 45 катушки 15, 16 и полюсные наконечники 17 и 18.

На фиг. 3 показана входна  часть пущки. Электронный луч отклон етс  системой 9 по криволинейной траектории в направлении тигл  19, охлаждаемого водой. Тигель поворачиваетс  вокруг вертикальной оси дл  совмещени  с лучом.

На полюсных наконечниках 14 расположен изготовленный из меди охлаждаемый экран 20, имеющий коническое отверстие 21, ss экран предотвращает загр знение пушки испаренным металлом и служащий в качестве ловушки дл  части отраженных электронов.

Вместо экрана в полюсные наконечники 14 может быть помещен тигель (фиг. 4). При этом полюсные наконечники 14 укорачивают , а тигель снабжают накладками 22.

Положительный эффект достигаетс  при выполнении угла наклона крышки в диапазоне 30-80°, а угла между полюсными накОнечниками 14 20-90°, однако оптимальньши величинами  вл ютс  45-70° дл  обоих угловых величин. Выход за эти пределы снижает эффективность использовани  объекта или приводит к паразитным воздействи м на электронный луч.

Claims (6)

1. Формула изобретени 

   I. Установка дл  электроннолучевого нагрева , содержаща  охлаждаемый тигель и электронную пушку, состо щую из катода, формирующего электрода, анода, лучевода и двух магнитных систем дл  отклонени  электронного луча в двух взаимноперпендикул рных направлени х X и У, кажда  из которых образована магнитопроводом с полюсными наконечниками и катушками возбуждени , причем лучевод и магнитные системы заключены в цилиндрический корпус, в торце которого на выходе лучевода установлена крышка, через которую цыведены полюсные наконечники Х-отклон ющей системы , отличающа с  t&JA, что, с целью повышений надежности работы установки, крышка корпуса от начала полюсных наконечников Х-отклон ющей системы наклонена под угЛом 30-80° к оси лучевода.
2. 2.Установка по п. 1, отличающа с  тем, что угол наклона крышки корпуса к оси лучевода составл ет 45-70°.
3. 3.Установка по п. 1, отличающа с  тем, что полюсные наконечники Х-отклон ющей системы установлены в плоскости, расположенной по одну сторону от оси лучевода вместе с испарительным тиглем.
4. 4.Установка по п. 1, отличающа с  тем, что внутренние поверхности полюсных наконечников Х-отклон ющей системы расположены по касательной к цилиндрической поверхности корпуса под углом 20-90° друг к другу.
5. 5.Установка по пп. 1 и ,отличающа с  тем, что угол между внутренними поверхност ми Х-отклон ющей системы составл ет 45-70°.
6. 6.Установка по п. 1, отличающа с  тем, что Магнитопровод У-отклон ющей системы выполнен в виде замкнутой рамы, охватывающей лучевод, на сторонах которой, расположенных по обе стороны плоскости симметрии полюсных наконечников Х-отклон ющей системы, установлены катущки возбуждени , а на поперечных указанной плоскости сторонах - полюсные наконечники.