DE2430784B2 - Bipolarer halbleiterspeicher - Google Patents
Bipolarer halbleiterspeicherInfo
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Description
,eder B
imlade.ansis,oren M und der ihn«, W
,en Wor,lei,ung ,WU) ein B^^rsund
m Informa
aul
schalungen zum Auswählen eines Speicherwories
auigrund von Adreßsignalen. wobei vor allem auch ,n
der Auswahlschaltung für die Wortauswahl, dem Zeilendecoder, jede Zeile der Speichermatrix an einen
ah Emitterfolger ausgebildeten Ausgangsschalter an -e-HalbLterspeicher
werden m modernen
45 ^ ErRnd g beZieht s.ch
bipuiare Halbleiterspe.cher der vorge-
^6n Speicherformen Ce in ihren
g Emitterfolger als Ausgangsschalg das heißt
z.B. ^f der sogenannten
r=^ieS;
Wahlfre,em Zugriff, deren Inhalt sich vom Programm
her ändern läßt, oder als Festwertspeicher realisiert in
denen der einmal gegebene Speichennhalt nicht mehr verändert werden muß. sondern immer wieder η der
gleichen Weise abgefragt w.rd. Be, Festwertspeichern
Lf Halbleiterbasis unterscheidet man nun genaue
rwischen dem herkömmlichen Festwerispeiche be
dem der von einem Kunden gewünschte SpeicJermhaU
bereits in der Fabrikation beim Hersteller festgelegt
wird, und dem sogenannten programmierbaren Fe wertspeicher,
bei dem der Anwender den Speicherinhalt nach seinen eigenen Erfordernissen in einem einmahgen
Vorgang in gewünschter Weise selbst programmie. en
kann. .u . _... _ B
Obwohl sich alle diese Spe|chertypen ,m Dttt.1. z; J
allein schon in der Ausb.ldung der Speicherzelle
unterscheiden, haben sie bekanntlich einen gemeinsa-
55
w,rd jedoch bere Zugriffszeit
^ denen e^ ^ ^ ^ ^^ ,fsspe
werden soll. g wie Zwischenspeicher und
eheτ in /:e' deren Zugriffsze.t die Lei-
MikroProgra P Zentra,einhei, einer datenverar-
^«ηι%β weSentlich mitbestimmt. Em.tterfoliusgangsschalter
in Auswahlschaltungen sind g^ a3efanderen Schaltkre.stechniken möglich,
jedoch auc desha)b hier nur a,s e)n ^
die t^ Schaltkreistechnik genannt, in der
Beisp«Mu, verwendet werden.
E™?^ a,s Ausgangsschalter von Auswahl-
^^ £. Lese.Scnreib.Speichern mit
Integrationsgrad. z.B. bei Speicherbausteinen J ^ ßi Spdeherkapazität bekannt. Zusammen mit
mu α ν ngsmaßnahmen ermöglichen d.ese de
j;JereJugXeit g bei den bekannten Speicherbausteinen^WeiterentwicklungdieserbekanntenSpeiche,
z. zi es
bausteine zu solchen mit höherem Integrationsgrad, z. B. einem Speicherbaustein mit 1024 Bit Speicherkapazität
wird aber gerade durch diese Schalter erschwert, es sei denn, man nähme, gemessen an den bekannten
Speicherbausteinen mittleren Integrationsgrades, unverhältnismäßig hohe Zugriffszeiten in Kauf.
Dieser scheinbare Widerspruch ist folgendermaßen erklärbar: Jeder Emitterfolger im Zeilendecodsr ist mit
seinem Emitter jeweils an eine der Zeilen- oder Wortleitungen der Speichermatrix einerseits und an den
Kollektor eines zusammen mit einem Emitterwiderstand je eine Konstantstromquelle bildenden Transistors
angeschlossen. Bei der »1 aus n«-Auswahl in dem Decoder wird jeweils einer seiner Ausgänge, d. h. einer
der Emitterfolger ausgewählt Der betreffende Emitter t5
liegt dann auf hohem Potential (Η-Pegel). Alle an einer Zeilenleitung angeschlossenen Speicherzellen weisen
nun aber Schaltkapazitäten auf, die s\A summieren und bei einem höheren Integrationsgrad des Speicherbausteins
zu einer spürbaren kapazitiven Last an der Zeilenleitung führen. Das bedeutet also, bei jedem
Zustandswechsel ausgewählter Emitterfolger müssen Kapazitäten umgeladen werden, deren Ladungsmenge
mit wachsendem Integrationsgrad steigt. Dabei erfordern besonders Pegelwechsel vom hohen auf niedrigstes
Potential (L-Pegel) größere Umladeströme zum Erreichen
von steilen Schaltflanken am Emitterfolger, die für eine kurze Zugriffszeit zum Speicherbaustein notwendig
sind.
Je geringer der Integrationsgrad ist, um so weniger macht sich dieser Effekt bemerkbar. Die kapazitive
Belastung ist gering und zugleich die zulässige Leistungsaufnahme noch nicht so kritisch, d. h. bei einer
festliegenden Verlustleistung des Speicherbausteins ist die zulässige Verlustleistung pro Bit bei niedrigem
Integrationsgrad höher. Mit wachsendem Integrationsgrad nehmen die Schaltkapazitäten zu und erfordern
größere Umladeströme. Zugleich werden aber auch die Anforderungen an die Begrenzung der Verlustleistung
pro Bit im Speicherbaustein insgesamt schärfer, so daß sich hier zwei einander widersprechende Forderungen
gegenüberstehen.
Nun sind Emitterfolger und ihre Eigenschaften, d. h. auch ihr Verhalten bei kapazitiver Last, seit langem z. B.
aus »Proceedings of the IRE 1958«, Seite 1240 ff oder
auch aus den darauf beruhenden Ausführungen in S ρ e i s e r : »Impulsschaltungen« 1963, Seite 88 ff
bekannt. Neben der Erläuterung der Ursachen für die Unsymmetrie in der Schnelligkeit der beiden Schaltflanken
beim Umschalten von L- ajf Η-Pegel bzw.
umgekehrt wird dort als Abhilfe dafür ein Emitterfolger mit einer Kombination zweier Transistoren verschiedener
Leitfähigkeitstypen vorgeschlagen. Beide Transistoren werden gemeinsam über die parallel geschalteten
Basiseingänge gesteuert. Die beiden Emitter liegen gemeinsam am Ausgang des Schalters. Diese Schaltmaßnahme
bleibt im vorliegenden Anwendungsfall unbefriedigend. Sie ist schon von den dabei erforderlichen
Signalpegeln ner nicht allgemein bei verschiedenen Schaltkreistechniken anwendbar, da sie einen zu
großen Spannungshub benötigt. Zum anderen beruht ihre Wirksamkeit darauf, daß komplementäre Transistoren
mit annähernd gleichen statischen und dynamischen Kennlinien verwendet werden. Derartige Transistoren
sind aber bei integrierten Schaltungen mit den geforderten engen Toleranzen nur sehr schwer zu
verwirklichen.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen bipolaren Halbleitei-speicher der eingangs genannten
Art zu schaffen, bei dem die bekannte negative Eigenschaft des Emitterfolgers im Impulsverhalten bei
kapazitiver Last mit Maßnahmen beseitigt wird, die es
gestatten, mit Transistoren ein und desselben Leitfähigkeitstyps
die kapazitiven Lasten schnell und doch stromsparend umzuladen. Damit muß es dann möglich
sein, solche bipolaren Halbleiterspeicher mit höherem Integrationsgrad als bisher und mit angemessener
Zugriffszeit bei niedriger Verlustleistung herzustellen.
Die Lösung dieser Aufgabe kann nun davon ausgehen, daß ausgewählte Emitterfolger jederzeit
ausreichend Emitterstrom führen und damit am Ausgang niederohmig bleiben. Trotz kapazitiver Last
am Ausgang darf bei einem schnellen Wechsel von hohem auf niedriges Potential an der Basis eines
Emitterfolgers nicht der Fall eintreten, daß der gesamte, am Ausgang zur Verfügung stehende Wortleitungsstrom
vollständig zur Umladung der kapazitiven Last benutzt wird, dieser Ausgang daher stromlos erscheint
und der Emitterfolger hochohmig wird, d.h. die Schahflanke am Emitter der ansteuernden Flanke an
der Basis nicht folgt Anders ausgedrückt, die Schaltungsanordnung muß derart ausgelegt sein, daß am
Ausgang des Emitterfolgers in jeder Phase der negativen Schaltflanke ein Mindeststrom fließt so daß
die Basis-Emitter-Strecke des Emitterfolgers niederohmig bleibt und sich die Ansteuerflanke an der Basis sehr
schnell am Emitter abbildet.
Für den Grenzfall, daß dieser Mindeststrom gerade zu Null wird, ist die Zeitdauer für den Umladevorgang
proportional dem Quotienten aus dem Kapazitätsbetrag und dem Umladestrom. Deshalb wäre es am
einfachsten, den Umladestrom hinreichend zu erhöhen. Bei integrierten Schaltungsanordnungen mit den heute
geforderten Packungsdichten sind aber derartigen Möglichkeiten Grenzen gesetzt weil die dabei auftretende
Verlustleistung zu hoch wird.
Die Lösung der oben bezeichneten Aufgabe besteht erfindungsgemäß darin, daß an die Speichermatrix eine
zusätzliche Umladeschaltung angeschlossen ist, in der jede Wortleitung der Speichermatrix über ein Koppelelement
parallel an einen gemeinsamen Konstantstromgenerator angeschlossen ist das derart ausgebildet ist,
daß nur der eine ausgewählte Emitterfolger an seinem Ausgang mit dem Konstantstromgenerator leitend
verbunden ist.
Beim Wechsel des Schaltzustandes des ausgewählten Emitterfolgers steht daher an seinem Ausgang für die
Umladung der kapazitiven Last noch zusätzlich der Strom des Konstantstromgenerators der Umladeschaltung
zur Verfügung. Da diese zentrale Konstantstromquelle nur einmal für eine Vielzahl von Emitterfolgern
gemeinsam vorgesehen ist, ist sie stromsparender als alle denkbaren oder bekannten dezentral ausgebildeten
Lösungen und kann daher auch trotz einer gewünschten niedrigen Verlustleistung des Speicherbausteines für
einen ausreichend hohen Strom dimensioniert werden. So ist es möglich, mit einer im Rahmen der Herstellung
integrierter Bausteine einfachen Maßnahme das dargestellte Problem auf elegante Weise iu lösen. Damit
lassen sich die für die Ansteuerung einer Vielzahl von Speicherplätzen gewünschten steilen Impulsflanken bei
niedriger Verlustleistung mit Hilfe von Emitterfolgern erreichen, d. h. kurze Zugriffszeiten auch bei Speicherbausteinen
größerer Kapazität realisieren. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in Unteransprüchen
gekennzeichnet und werden mit ihren Eigenschaf-
ten im Rahmen der nachfolgenden Erläuterung von Ausführungsbeispielen näher beschrieben.
Zur näheren Erläuterung der Erfindung wird auf die Zeichnung Bezug genommen. Dabei zeigt:
F i g. 1 einen Schaltungsausschnitt aus einem erfindungsgemäß ausgebildeten Speicherbaustein mit einer
zwischen dem Zeilendecoder und der Speichermatrix angeordneten Umladeschaltung,
F i g. 2 ein Impulsdiagramm zur prinzipiellen Erläuterung des Umschaltverhaltens eines Emitterfolgers am
Ausgang des Zeilendecoders, wenn diesem eine Umladeschaltung zugeordnet ist und
F i g. 3 ein weiteres Impulsdiagramm zur Erläuterung der Funktion der in F i g. 2 dargestellten verbesserten
Ausführung einer Umladeschaltung.
Da bipolare Speicherbausteine bereits als allgemein bekannt vorausgesetzt werden dürften, erscheint es hier
nicht mehr notwendig, den Aufbau und die Funktion ihrer wesentlichen Teile noch eingehender, als bereits
vorstehend geschehen, zu erläutern. Die Darstellung in F i g. 1 der Zeichnung beschränkt sich daher auf einen
Ausschnitt aus der Schaltung eines Speicherbausteins, um zugleich das Wesen der Erfindung besser herauszustellen.
F i g. 1 enthält nur Details einer zusätzlichen Umladeschaltung US. die zwischen einem Zeilendecoder ZD
und einer Speichermatrix M angeordnet ist. Die beiden herkömmlichen Teile des Speicherbausteines sind nur
insoweit detailliert dargestellt, als es zum Verständnis der Erfindung notwendig ist. In den Zeilendecoder ZD
sind deshalb nur als Emitterfolger TDi ausgebildete Ausgangsschalter eingezeichnet die mit ihrem Emitterausgang
jeweils an einer von η Wortleitungen IVL; in
Zeilenrichtung angeschlossen sind. Nicht mehr dargestellt ist im Zeilendecoder ZD, wie aus q Adreßsignalen
A i bis Aq eines von π Auswahlsignalen abgeleitet wird,
mit dem jeweils die Basis eines Emitterfolger* TDi angesteuert wird. In der Zeichnung ist dazu nur
angedeutet daß durch q Adreßsignale eindeutig eine bestimmte der η Wortleitungen festgelegt ist wobei die
Beziehung π = 2i gelten soll.
Neben einer Wortleitung WLi ist an den Emitter jedes Emitterfolgers TDi eine eigene Konstantstromquelle
angeschlossen, die wie hier ausgeführt in bekannter Weise jeweils aus einem weiteren Transistor
TSi und einem jeweils an einer Betriebsspannung V liegenden Emitterwiderstand Rs gebildet wird.
Im rechten Teil von F i g. 1 ist ein Ausschnitt aus der
Speichermatrix M dargestellt Entsprechend den η Ausgängen des Zeilendecoders ZD hat diese Matrix π
Wortleitungen WLL in dem Schaltungsausschnitt ist hier schematisch nur die erste Spalte der Speicherntatm
mit einer Spalten- oder Bitleitung Bi und einer
ersten. Ate» bzw. η-ten Speicherzelle SZU. SZX/bzw.
SZIe angegeben. Die Speicherzenen können in einer
der bekannten Formen, dem Verwendungszweck des
Speichers angepaßt ausgebildet sein und sind außerdem an die zugeordnete Wortleitung MLiangeschlossen.
Rein schematised ist in F i g. t noch angegeben, daß
die Brtleitung B1 einen Bitieitungsstrom Ib führt der
von einer nicht mehr dargestellten, an die Bitleitung
angeschlossenen Stromquelle erzeugt wird. Um anzudeuten,
daß die an den Wortleitungen WLi liegenden Speicherzellen insgesamt eine Last mit kapazitiver
Komponente darstellen, ist ebenso schematisch noch jeweils eine an die Wortleitungen angeschlossene
Kapazität Ci in gestrichelten Linien dargestellt
Die zwischen dem Zeilendecoder ZD und der Speichermatrix M angeordnete zusätzliche Umladeschaltung
US enthält jede'r Wortleitung WLi zugeordnet ein Koppelelement, das von einem der Umladetransistoren
Tui gebildet wird. Deren Basis und Kollektor sind jeweils an die zugeordnete Wortleitung WLi
angeschlossen. In diesem Ausführungsbeispiel sind außerdem an die zugeordnete Wortleitung VVL/
angeschlossene Basiswiderstände Rbi der Umladetransistoren Tui angegeben, deren Funktion später noch
ίο erläutert wird. Die Emitter aller Umladetransistoren Tui
liegen gemeinsam an einer zentralen Konstantstromquelle, die von einem weiteren Transistor Tus und
dessen Emitterwiderstand Rus gebildet wird. Analog den Stromquellen im Zeilendecoder ZD liegt der
Emitterwiderstand dieser Stromquelle an dem Betriebspotential V.
Die Funktion der Umladeschaltung sei nun im folgenden anhand von F i g. 2 und 3 erläutert. In den dort
dargestellten Diagrammen ist als Ordinate der relative Ausgangspegel u[%] am Ausgang eines ausgewählten
Emitterfolgers über der Zeit / als Abszisse aufgetragen. Im Bereich des 50%-Wertes des Ausgangspegels ist ein
mit UB bezeichneter sogenannter Bewertungsbereich angegeben, in dem eine Folgeschaltung, z. B. ein
Leseverstärker eine positive bzw. negative Änderung des Schaltzustandes am Emitter bewertet. Die oberhalb
und unterhalb dieses Bewertungsbereiches liegenden Ausgangspegel sind daher als H- bzw. L-Potentiale
anzusehen. Die Endwerte o=0% und n= 100%, die den
Schaltzuständen LOG »0« bzw. LOG »1« des Emitterfolgers entsprechen, ergeben daher nur noch einen
notwendigen Störspannungsabstand.
Um das Prinzip darzustellen, sollen zunächst die Widerstände Rbi vernachlässigt werden, d. h. zunächst
wird angenommen, die Umladetransistoren Tw seien
wie mit ihrem Kollektor auch mit ihrer Basis direkt an die zugeordnete Wortleitung WLi angeschlossen. Der
zentrale Konstantstromgenerator Tus. Rus in der Umladeschaltung US liefert einen Konstantstrom IuI.
uie Ausgänge des Zeilendecoders ZD treiben als
Vorlast die Ströme lsi. Nimmt man weiterhin an, die
erste Wortleitung WL1 sei ausgewählt dann liegt der Emitter des Emitterfolgers TD1 auf hohem Potential u
= 100%. Das entspricht dem Zustand LOG »1«: Der
Transistor enthält zusätzlich den Strom IuI der Umladeschaltung US. da der Umladetransistor Tu 1 ein
höheres Basispotential als alle anderen Umladelransistoren aufweist Wechselt die Auswahl von diesem
Emitterfolger TDi beispielsweise auf den n-ten
se Emitterfolger, so muß die der ersten Wortleitung WL1
zugeordnete Kapazität C1 von hohem (H) auf niedriges Potential (L) umgeladen werden.
In Fig. 3 ist mit a die um seine Basis-Emitter-Spanlamg
UBE abgesenkte Ansteuerflanke an der Bash emes aasgewählten Emitterfolgers TD i bezeichnet Mil
b bezeichnet ist eine Schaltflanke am Emitter dieses Emttterfolgers, die zu erwarten wäre, wenn die
Kapazitäi Cl lediglich durch den Vorteststroni h 1 de?
ausgewählten A.asgangs dss Zcilcndccodcrs ZD ohne
te eme zusätzliche Umladeschaltung umgeladen würde Die dabei ablaufende Zeit vom Anfangspunkt dei
Ansteuerflanke a bis zum Abfall der Ausgangsflanke aw
Emitter auf den 50%- Wert ist mit f I bezeichnet Diese!
Zeitraum stellt die gesamte Zeitverzögerung dar. die fl
diesem Falle durch den Umladevorgang hervorgerufei wird und sich auf die Folgeschaltung auswirkt
Durch die Umladeschaltung US steht jedoch nocl
zusatzlich der Strom IuI zur Verfügung. Der gesamt
Strom zum Umladen einer Kapazität Ci ist daher maximal gleich der Summe des Vorlaststromes lsi und
des zusätzlichen Umladestromes IuI. Dieser zusätzliche Strom beschleunigt die Umladung der Kapazität CX
und versteuert damit die Ausgangsflanke am Emitter des Emitterfolgers, wie die mit c bezeichnete Kurve in
Fig.2 zeigt. Beim 5O°/o-Wert des Ausgangspegels u
allerdings haben die beiden am Wechsel der Auswahl beteiligten Emitterfolger TDl und TDn gleiches
Ausgangspotential. Das Potential am neu ausgewählten Emitterfolger TDn steigt nun weiter an, daher
übernimmt dieser über den Umladetransistor Tun allmählich den Umladestrom IuI, der daher für die
weitere Umladung der Kapazität Cl nicht mehr wirksam ist. Daraus folgt, daß die mit c bezeichnete
Kurve in F i g. 2 zum Zeitpunkt 12 einen Knick aufweist und dann ebenso flach wie die mit b bezeichnete
Schaltkurve verläuft.
Die Umkehr dieses Vorganges, d. h. ein Wechsel eines Emitterfolgers von tiefem auf hohes Potential verläuft
ähnlich und ist in F i g. 2 mit den entsprechend bezeichneten Kurven a'. b', C dargestellt In dem
gewählten Beispiel läuft also der n-te Emitterfolger TDn bis zum 50%-Wert des Ausgangspegels im Bewertungsbereich UB, ohne den Umladestrom IuI treiben zu
müssen. Der ausgewählte Emitterfolger kann daher seine gesamten Stromreserven zum Umladen der
Kapazität Cn auf den hohen Pegel einsetzen. Wie aus der mit b' bezeichneten Schahflanke zu ersehen ist.
würde sich dieser Vorgang ohne eine IJmladeschaltung US auch noch über den Zeitpunkt 12 hinaus fortsetzen,
an dem die Schaltflanke b' den 50%-Wert des Ausgangspegels u erreicht. Mit einem derartigen
Schaltungszusat? aber übernimmt, wie erwähnt, der
ausgewählte Emitterfolger TDn ab diesem Zeitpunkt den Umladestrom IuI. und wegen seines endlichen
Innenwiderstandes kann sich daher auch in der positiven Flanke ein Knick ausbilden, wie der
Unterschied der beiden Schaltflanken b und c'zeigt
F i g. 2 läßt nun erkennen, daß es möglich ist. mit der
Umladeschaltung US die Schaltverzögerung am Emitterfolger insbesondere beim Umladen von hohem auf
niedriges Potential um eine mit At bezeichnete Zeitspanne zu verringern. An dieser geschilderten
Ausführung wäre jedoch noch zu bemängeln, daß bei einer derartigen Dimensionicrung der Umladeschaltung
US die Knickpunkte an den c bzw. c' bezeichneten Schaltflanken im Bewertungsbereich UB liegen. Man
erreicht eine größere Sicherheit in der Bewertung der Ausgangspegel, wenn diese Knickpunkte aus dem
Bewertungsbereich UB heraus in Richtung auf die Flankenenden verlagert werden. Dies wird mit der in
F i g. 1 dargestellten Umladeschaltung US durch die Basiswiderstände Rbi der Umladetransistoren Tu,
erreicht. Diese Widerstände bilden an den Basisanschlüssen mit den dort wirksamen Kapazitäten Zeitkonstanten,
die die Umschaltung der Umladetransistoren Tui verlangsamen. Dadurch verzögert sich die Stromübernahme
bei einem Pegelwechsel über den Bewertungsbereich UB hinaus in Richtung auf die Flankenenden.
Dies zeigt F i g. 3, in der verglichen mit F i g. 2 gleichartige Schaltflanken wieder mit gleichen Buchstaben
bezeichnet sind. Die Unterschiede in den F i g. 2 und 3 beruhen allein auf der zunächst angenommener
Vereinfachung, daß die Umladetransistoren Tui über ihre Basis direkt an die Wortleitung IVL/ angeschlossen
seien. Die Basiswiderstände RSi sind also die Ursache für die Verschiebung der Knickpunkte der Ausgangsflanken
cbzw. c'um einen mit Δτ bezeichneten Bereich
in Richtung auf die Flankenenden.
Die vorstehend geschilderten Ausführungsbeispiele der Erfindung zeigen, daß sich die erforderliche
Zeitspanne, bis die Ansteuerflanke an der Basis eine; Emitterfolgers an seinem Emitter wirksam wird, durch
eine derartige Umladeschaltung wesentlich verkürzer läßt. Dabei ist es im Prinzip gleichgültig, ob man au;
Gründen der Zweckmäßigkeit für die Ankopplung dei zentralen Stromquelle der Umladeschaltung an die
einzelnen Wortleitungen — wie in den Ausführungsbeispielen geschildert — Umladetransistoren oder nui
Koppeldioden verwendet Aus Gründen der einfache ren Herstellung bei integrierten Bausteinen wird mar
allerdings den ersteren Fall im allgemeinen vorziehen Weiterhin bedeutet es keine Einschränkung, daß di«
Umladeschalteinrichtung bei den geschilderten Ausfüh
rungsbeispielen zwischen dem Zeilendecoder und dei Speichermatrix angeordnet ist. Der wesentliche Vortei
der Verkürzung der Zugriffszeit zu dem Speicherbau stein um etwa ein Drittel der ohne eine Umladeschal
tung erforderlichen Zugriffszeil kann auch bei einei anderen räumlichen Anordnung erreicht werden. Di<
Darstellung in Fig. 1 legt also, wie bei integriertei Schaltkreisen gewohnt keineswegs eine bestimmt!
Auflösung der Schaltung fest.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
- Patentansprüche:nach Art einer Matrix aneesleuene55«schlossen istzugeordneten
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| DE19742430784 Granted DE2430784B2 (de) | 1974-06-26 | 1974-06-26 | Bipolarer halbleiterspeicher |
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Also Published As
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|---|---|
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| FR2276655A1 (fr) | 1976-01-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
| E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 |