DE2428720A1 - Mit siliziumkarbid ueberzogene kohlefaeden und verfahren zur herstellung dieser faeden - Google Patents
Mit siliziumkarbid ueberzogene kohlefaeden und verfahren zur herstellung dieser faedenInfo
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Description
Patentanwalt
DIpl.-Chem.
757 BADEN-BADEN Ludwlg-Wilhelm-Straße 12 Telefon (07221) 23933 Telegramme: JUPAT Baden-Baden
Mein
Zeichen H./ R-122i/74
Mit Siliziumkarbid überzogene Kohlefäden
und Verfahren zur Herstellung dieser Fäden
409885/1229
Diese Erfindung betrifft neue Fäden, bestehend aus einem mit Siliziumkarbid überzogenen Kohlekern, sowie ein Verfahren
zur Herstellung dieser Fäden.
Es wurde bereits der Vorschlag gemacht, -verschiedene
Gegenstände, deren Oberfläche aus Kohlenstoff besteht, mit einer Siliziumkarbidschicht zu überziehen. Nach den
empfohlenen Verfahren werden die genannten Gegenstände bei einer Temperatur zwischen ca. 1000 und II500 C erhitzt,
dann werden sie mit einem gasförmigen Gemisch in Berührung gebracht, das aus einem halogenhaltigen
Silan und Wasserstoff besteht, so daß man einen Siliziumniederschlag
mit einer Dicke von über 1 Mikron erhält; anschließend werden die auf diese Weise beschichteten
Gegenstände auf eine über der Schmelztemperatur von Silizium liegende Temperatur erhitzt und im Anschluß
daran wird bei einer Temperatur von über ca. IO5O0 C
Siliziumkarbid auf die Oberfläche der neuen gewonnenen Gegenstände aufgebracht.
Ferner wurde auch vorgeschlagen, Fäden aus feuerfestem Metall (z.B. Wolfram) mit Siliziumkarbid zu überziehen;
zu diesem Zweck läßt man den durch den Joule-Effekt erhitzten Metallfaden durch einen Reaktor laufen, in den
ein ßeaktionsgemisch, beispielsweise bestehend aus Methyltriehlorosilan
und Wasserstoff, eingeführt wird.
Die "Anwendung dieser bekannten Verfahren zum überziehen
eines Kohlefadens mit einer Siliziumkarbidschicht erwies sich als unmöglich bzw.- führte zur Gewinnung von Erzeugnissen
mit ungenügenden mechanischen Eigenschaften.
409885/1229
Diese Erfindung betrifft neue Fäden, bestehend aus einem mit Siliziumkarbid überzogenen Kohlekern, sowie "ein Verfahren
zur Herstellung dieser Fäden.
Es wurde bereits der Vorschlag gemacht, verschiedene Gegenstände, deren Oberfläche aus Kohlenstoff besteht,
mit einer Siliziumkarbidschicht zu überziehen. Nach dem empfohlenen Verfahren werden die genannten Gegenstände
bei einer Temperatur zwischen ca. 1000 und 1150° C erhitzt,
dann werden sie mit einem gasförmigen Gemisch in Berührung gebracht, das aus einem halogenhaltigen
Silan und Wasserstoff besteht, so daß man einen Siliziumniederschlag
mit einer Dicke von über 1 Mikron erhält r anschließend werden die auf diese Weise beschichteten
Gegenstände auf eine über der Schmelztemperatur von Silizium liegende Temperatur erhitzt und im Anschluß
daran wird bei einer Temperatur von über ca. I0500 C
Siliziumkarbid auf die Oberfläche der neuen gewonnenen Gegenstände aufgebracht.
Ferner wurde auch vorgeschlagen, Fäden aus feuerfestem Metall (z.B. Wolfram) mit Siliziumkarbid zu überziehen;
zu diesem Zweck läßt man den durch den Joule-Effekt erhitzten Metallfaden durch einen Reaktor laufen, in den
ein Reaktionsgemisch, beispielsweise bestehend aus Methyltrichloros-ilan
und Wasserstoff, eingeführt wird.
Die "Anwendung dieser bekannten Verfahren zum Überziehen eines Kohlefadens mit einer Siliziumkarbidschicht erwies
sich als unmöglich bzw. führte zur Gewinnung von Erzeugnissen mit ungenügenden mechanischen Eigenschaften.
409885/1229
Diese Erfindung betrifft ein neues Verfahren zur Beschichtung von Kohlefaden mit Siliziumkarbid. " "
Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß man zunächst den auf eine Temperatur zwischen 1200 und
1Λ200 C erhitzten Kohlefaden in eine siliziumtetrachlorid-
und wasserstoffhaltige Atmosphäre bringt, wobei der genannte Faden weniger als 30 Sekunden in der genannten
Atmosphäre bleibt, und ferner dadurch gekennzeichnet,
daß das gewonnene Produkt in eine Kammer eingeführt wird, in der es ebenfalls durch den Joule-Effekt auf
eine über 1100° C liegende Temperatur erhitzt wird und in der sich die gasförmigen Verbindungen befinden, deren
Reaktion beim Kontakt mit dem genannten Faden in der bekannten Weise zur Gewinnung eines Siliziumkarbidüberzugs
führt.
Somit ist das erfindungsgemäße Verfahren im wesentlichen
dadurch gekennzeichnet, daß der Kohlefaden vor der Erzeugung des verhältnismäßig dicken Siliziumkarbidniederschlags
mit einer sehr dünnen, glatten und homogenen Siliziumkarbidschicht (mit einer Stärke von weniger als
0,2 Mikron) überzogen wird, die durch die Reaktion zwischen dem sich unter den vorstehend genannten Bedingungen abgesetzten
Silizium und dem Kohlekern gebildet wird, wobei diese Reaktion während des Siliziumniederschlags erfolgt.
Ohne die Erfindung nun auf eine besonders wissenschaftliche Auswertung festlegen zu wollen, kann angenommen
werden, daß der erste sehr dünne Siliziumkarbidniederschlag auf der Kohle zur Gev/innung von Siliziumkarbidkeimen
führt, die auf der Graphitoberfläche regelmäßig verteilt sind, was anschließend die homogene Bildung einer
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verhältnismäßig dicken Siliziumkarbidschicht (mit einer
Stärke von beispielsweise über 10 Mikron) gestattet. Man stellt nämlich fest, daß die gewonnenen Fäden eine sehr
glatte Siliziumkarbidaußenschicht haben, was eine ausgeprägte
Homogenität beim Niederschlag dieser Verbindung voraussetzt.
Die Erfindung betrifft ebenfalls im Sinne neuer Erzeugnisse
die Fäden mit einem Kohlekern und einer auf der Graphitoberfläche regelmäßig verteilten Siliziumkarbidschicht
mit ffli£- einer Dicke von unter 0,2 Mikron.
Ferner betrifft sie als neue Erzeugnisse die Fäden mit einem Kohlekern, dessen Durchmesser unter ca. 50 Mikron
liegt, einer Siliziumkarbidzwischenschicht von weniger , als 0,2 Mikron Stärke und einer äußeren Siliziumkarbidschicht
von einer über ca. 20 Mikron liegenden Stärke.
Das nicht einschränkende nachfolgende Beispiel dient der
Veranschaulichung der Erfindung.
Ein Kohlefaden mit einem Durchmesser von 30 Mikron wird
in einen zylindrischen Reaktor gebracht, der einen Durchmesser von 25 ram und eine Länge von 100 mm hat; der Faden
wird durch den Joule-Effekt auf eine Temperatur von 1350°
erhitzt; in diesem Reaktor wird ein gasförmiges Gemisch eingeführt, das volumenmäßig ca. 30$ Siliziumtetrachlorid
in Wasserstoff enthält; der Durchsatz des genannten gasförmigen Gemisches beträgt ca. 1 Liter pro Minute; die
Durchlaufgeschwindigkeit des genannten Fadens durch den
genannten Reaktor entspricht einer mittleren Verweildauer von ca» 10 Sekunden.
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Durch diese Behandlung erhält man einen Kohlefaden, dessen Durchmesser sich wenig verändert hat; im Mikroskop
ist jedoch eine Veränderung in der Farbe des Fadens festzustellen; beim Durchleuchten kann nachgewiesen werden,
daß sich ein dünner SiC-Niederschlag gebildet hat; eine Untersuchung im Elektronenmikroskop zeigt, daß dieser Siliziumkarbidniederschlag
eine Stärke von einwandfrei weniger als 0,2 Mikron aufweist.
Der auf diese Weise gewonnene Faden kommt in einen zweiten Reaktor von 500 rom Länge, mit einem Durchmesser von ca.
25 rom. Die Verweildauer des Fadens im Reaktor beträgt
ca. 50 Sekunden. Der Faden wird in diesem Reaktor durch
den Joule-Effekt auf eine Temperatur von ca. 1200° C erhitzt. In den Reaktor wird ein gasförmiges Gemisch aus
Methyltrichlorosilan und Wasserstoff eingeführt, und zwar in einem Verhältnis von ca. 0,3^ Mol Methyltrichlorosilan
pro KoI Wasserstoff. Der Durchsatz des gasförmigen Gemisches im Reaktor beträgt ca. 10 Liter pro Minute.
Um den Reaktor wurde ein Ofen gemäß der Beschreibung in der französischen Patentanmeldung Nr. 72 04 355 angeordnet
.
Somit erhält man einen Konofaden mit einem Graphitkern
in Durchmesser von 30 Mikron und mit einem Gesamtdurchraesser
von ca. 110 Mikron.
Die so gewonnenen Fäden haben eine glatte und glänzende
Außenfläche; ihre Zugfestigkeit beträgt im Durchschnitt ca. 300 hbar, mit einer geringen Dispersion der Werte.
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Claims (1)
1. Verfahren zur Herstellung von Fäden, bestehend aus einem Kohlekern und einem Siliziumkarbidüberzug, dadurch
gekennzeichnet, daß der genannte Kohlefaden, der durch den Joule-Effekt auf eine Temperatur zwischen
1200 und 3Λ2Ο° C erhitzt wird, durch einen ersten Reaktor
läuft, der Siliziumtetrachlorid und Wasserstoff enthält, wobei die Verweildauer des genannten Fadens
in der genannten Atmosphäre unter 30 Sekunden liegt,
und ferner dadurch gekennzeichnet, daß das gewonnene Produkt anschließend mit einer Siliziumkarbidschicht
überzogen wird, indem das" genannte und auf mindestens 1100 C erhitzte Produkt durch einen zweiten Reaktor
läuft, der gasförmige Verbindunger, enthält, deren Reaktion beim Kontakt mit dem genannten Produkt zur kontinuierlichen
Gewinnung eines Siliziumkarbidüberzugs führt.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des Fadens im 1. Reaktor ca. 1350° C
beträgt, daß das relative Verhältnis von Siliziumtetrachlorid im Wasserstoff ca. 30$ und die Verweildauer des
Fadens in diesem Reaktor ca. 10 Sekunden beträgt.
3. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Temperatur im zweiten Reaktor ca. 1200° C beträgt, daß die V/ände des genannten Reaktors
erhitzt werden und daß der genannte Reaktor mit einem Gemisch gespeist wird, das ca. 0,3^ Holanteil
Methyltrichlorosilan im Wasserstoff enthält.
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k. Neue Fäden, die dadurch gekennzeichnet sind, daß sie
aus einem Kohlefaden mit einem Durchmesser von weniger als ca. 50 Mikron bestehen, auf den eine Siliziumkarbidschicht
von weniger als 0,2 Mikron Stärke aufgebracht wird.
5. Neue Fäden gemäß Anspruch h, die mit einer Siliziumkarbidschicht
von mindestens 10 Mikron Stärke überzogen sind.
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COPY
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| GB (1) | GB1424990A (de) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2337214A1 (fr) * | 1976-01-02 | 1977-07-29 | Avco Corp | Filaments au carbure de silicium et leur preparation |
| FR2607840A1 (fr) * | 1986-12-04 | 1988-06-10 | Centre Nat Rech Scient | Procede et dispositif de revetement de fibres de carbone par un carbure et fibres de carbone ainsi revetues |
| FR2650270A1 (fr) * | 1989-06-28 | 1991-02-01 | Central Glass Co Ltd | Fibres carbonees ayant des filaments en serpentin et procede pour leur production |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3369920A (en) * | 1964-11-24 | 1968-02-20 | Union Carbide Corp | Process for producing coatings on carbon and graphite filaments |
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|---|---|---|---|---|
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1973
- 1973-06-15 FR FR7321814A patent/FR2323636A1/fr active Granted
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1974
- 1974-06-07 GB GB2546374A patent/GB1424990A/en not_active Expired
- 1974-06-14 DE DE19742428720 patent/DE2428720C3/de not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3369920A (en) * | 1964-11-24 | 1968-02-20 | Union Carbide Corp | Process for producing coatings on carbon and graphite filaments |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2337214A1 (fr) * | 1976-01-02 | 1977-07-29 | Avco Corp | Filaments au carbure de silicium et leur preparation |
| FR2607840A1 (fr) * | 1986-12-04 | 1988-06-10 | Centre Nat Rech Scient | Procede et dispositif de revetement de fibres de carbone par un carbure et fibres de carbone ainsi revetues |
| FR2650270A1 (fr) * | 1989-06-28 | 1991-02-01 | Central Glass Co Ltd | Fibres carbonees ayant des filaments en serpentin et procede pour leur production |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| GB1424990A (en) | 1976-02-11 |
| FR2323636A1 (fr) | 1977-04-08 |
| DE2428720B2 (de) | 1981-01-15 |
| FR2323636B1 (de) | 1979-07-20 |
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