DE1696622B2 - Verfahren zur herstellung von fiberverstaerkten gegenstaenden und vorrichtung zum aufbringen eines siliciumkarbidueberzuges auf bordraht - Google Patents
Verfahren zur herstellung von fiberverstaerkten gegenstaenden und vorrichtung zum aufbringen eines siliciumkarbidueberzuges auf bordrahtInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von fiberverstärkten Gegenständen, wobei eine Mehrzahl
von Drähten in einen zweckmäßigen Matrixwerkstoff eingebettet wird, und, bevor der Gegenstand
hergestellt wird, jeder einzelne Draht mit einem Überzug versehen wird, sowie eine Vorrichtung zum
Aufbringen eines Siltciumkarbrdöberzuges auf Bordraht
und zum anschließenden Überziehen mit einem dehnbaren spezifisch leichten Metall. Verfahren zur
Herstellung von fiberverstärkten Gegenständen unter Verwendung von mit Siliciumkarbidüberzügen versehenen
Bordrähten sind noch nicht vorbeschrieben worden. In der US-PS 30 11912 ist ein Verfahren zur
Herstellung von Siliciumkarbid auf einem Substrat, wobei (a.a.O., Anspruch 2) Stahl als Substrat, (a.a.O..
Anspruch 3) Quarz als Substrat und (a.a.O. Anspruch 4) Saphir als Substrat genannt wird, beschrieben. Gemäß
den Angaben in der US-PS 31 57 541. Spalte 6. Zeilen
31 — 35. soll dort Siliciumkarbid auf Molybdän, Tantal, Graphit, gesintertem Siliciumkarbid, Silicium oder
Siliciumdioxid abgeschieden werden. Hierbei kann (a.a.O., Spalte 6, Zeilen 36-40) das Siliciumkarbid zur
Gewinnung von Molybdän oder Tantal leicht abgetrennt werden. Das abgeschiedene Siliciumcarbid
(a.a.O., Spalte 6, Zeilen 40—43) haftet auf Graphit oder gesintertem Siliciumkarbid sehr fest, so daß porige
Materialien porenfrei und damit gasdicht hergestellt werden können. Jedoch ist das Überziehen von
Bordrähten mit Siliciumkarbid chrch diese beiden US-PS nicht beschrieben oder nahegelegt worden. In
dem Buch »Vapor-Plating« von Powell, Campbell
und G on se r, John Wiley & Sons, Inc., New York 1955, Seite 10, ist eine Apparatur abgebildet, die
zum Überziehen von durchlaufenden Drähten mit Metallen bestimmt ist. Dies ergibt sich aus der
Zeichnung und der dazugehörigen Beschreibung, da hierbei ein Schiffchen mit einer Füllung eines Metallha
logenids verwendet werden muß. Es ist dort jedoch nicht angegeben, daß diese ApjDaratur zum Überziehen
von Bordrähten mit einem Siliciumkarbidüberzug dienen könnte.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung der bereits erläuterten
Art zur Verfügung zu stellen, um in wirtschaftlicher Weise fiberverstärkte Gegenstände und die dafür
benötigten speziellen Drähte herstellen zu können, wobei die fiberverstärkten Gegenstände und die zur
Herstellung dienenden speziellen Drähte nicht voraussehbare, technisch fortschrittliche Eigenschaften haben
und in gleichmäßiger Qualität anfallen.
Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von fiberverstärkten Gegenständen, wobei
eine Mehrzahl von Drähten in einen zweckmäßigen Matrixwerkstoff eingebettet wird, und, bevor der
Gegenstand hergestellt wird, jeder einzelne Draht mit einem Überzug versehen wird, dadurch gekennzeichnet,
daß zuerst ein Siliciumkarbidüberzug auf Bordraht
aufgebracht Wird und daß der so behandelte Draht
anschließend mit einem dehnbaren, spezifisch leichten Metall aus Aluminium, Magnesium odei Titan oder
deren Legierungen, überzogen wird.
Eine Ausführungsform des Verfahrens ist dadurch
gekennzeichnet, daß der Bordraht im wesentlichen aus amorphem Bor besteht, daß der Oberzug, welcher
zuerst aufgebracht wird, aus im wesentlichen stöchiometrischem Siliciumkarbid besteht
Eine spezielle Ausführungsform des Verfahrens ist ι ο dadurch gekennzeichnet, daß die Wandstärke des
Überzuges, welcher an zweiter Stelle aufgebracht wird, ungefähr 10% der gesamten Schnittfläche senkrecht zur
Achse des Drahtes beträgt
Gegenstand der Erfindung ist schließlich eine Vorrichtung zum Aufbringen eines Siüciumkarbidüber-
zuges auf Bordraht und zum anschließenden Oberziehen mit einem dehnbaren spezifisch leichten Metall mit
einem Abscheidereaktor für Siliciumkarbid und Geräten zum Überziehen mit !eichtem Metall, die zur
Verdeutlichung in F i g. 1 und F i g. 2 dargestellt ist und deren Aufbau und Funktion noch beschrieben wird.
Bei der Ausführung des Verfahrens der Erfindung werden Bordrähte, welche eine dünne Schutzschicht aus
Siliciumkarbid haben und außerdem noch mit einem 2s
Überzug aus einem duktilen Matrixwerkstoff versehen sind, verwendet Die mit Siliciumkarbid überzogenen
Bordrähte sind mit einem Überzug aus einem leichten Metall, so z. B. Aluminium, Magnesium, Titan und deren
Legierungen versehen. Diese Drähte sind nicht nur weniger beschädigungs- und bruchanfällig als die zu
Grunde liegenden Bor-Siliciumkarbid- Drähte, sondern sie haben in einigen Fällen völlig unerwartete
Festigkeitszunahmen gezeigt, welche nicht aufgrund der Charakteristika <ier einzelnen Werkstoff-Komponenten
im voraus zu erwarten waren. Der unerwartete Effekt wird veranschaulicht in der Zugfestigkeitszunahme,
welche sich von ungefähr 32 300 kp/cm2 für den mit Siliciumkarbid überzogenen Bordraht auf ungefähr
36 000 kp/cm2 für den mit Aluminium überzogenen Siliciumkarbid-Bordraht erhöht. Theoretische Betrachtungen
wurden eine Abnahme der Zugfestigkeit wegen der Aluminiumzugabe voraussagen. Vermutlich werden
durch den duktilen Überzug lokale Mechanische Spannungen und Wärmeeffekte über wesentliche
Drahtflächen verteilt.
Bei der Herstellung von fiberverstärkten Gegenständen
ergibt der Matrixwerkstoffüberzug nicht nur gute Bindefestigkeit zwischen der Fiber und dem Matrix-Überzug,
sondern weist bessere Bindefestigkeit mit
irgendeinem zusätzlich aufgebrachten Matrixwerkstoff, einschließlich der Harze, auf Da die allgemeine
Festigkeit des fiberverstärkten Gegenstandes abhängig ist von der Bindefestigkeit zwischen Draht und
Matrixwerkstoff, ist die Verbesserung der physikalisehen
Eigenschaften des Endproduktes beachtlich.
Drahtförmiges Bor kann bekanntlich durch Abscheidung aus der Gasphase hergestellt werden, wobei das
Bor auf chemischem Wege auf einem als Widerstand erhitzten Wolframdraht niedergeschlagen wird, der sich <>o
in einem beispielsweise aus Bortrichlorid und Wasserstoff bestehenden Reaktionsgas befindet (vgl. in ]. A.
Kohn, W. F. Nye, G. K. Gaule »Bor Synthesis.
Structure and Properties«, Plenum Press Inc., New York 1960, S. 7 bis 14,GB-PS 10 51 883 und DT-OS 16 67 773). '\s
Vorhergehende eigene Untersuchungen haben schnell die potentielle Nützlichkeit dieser Fibern für die
Herstellune von fiberverstärkten Gegenständen mit verbesserten physikalischen Eigenschaften aufgedeckt
Um die guten Festigkeitseigenschaften des drahtförmigen Werkstoffs auszunützen, is», es nötig, die Fibern so
anzuordnen, daß die daraufwirkende Last auf das ganze
Fiberbündel verteilt ist Eine Möglichkeit, dieses Resultat zu erreichen ist das Einbetten der Fibern in
einem Matrixwerkstoff, der sich plastisch verformen läßt
Die Reaktionsfähigkeit des Bors hat bisher nicht nur
die Wahl der möglichen Matrixwerkstoffe begrenzt, sondern auch noch die Herstellung- und die Einsatztemperaturen der Gegenstände, in denen er verwendet
wurde, zusätzlich begrenzt Von der gleichen Anmelde- πε ist in der DT-OS 16 96 621 mit dem gleichen
Anmeldetag ein Verfahren zur Herstellung von Oberzügen und Drähten aus stöchiometrischem Siliciumkarbid angegeben worden.
Bordrähte mit einem Siliciumkarbidüberzug sind mit verschiedenen vorzuziehenden Matrixwerkstoffe, einschließlich
Aluminium, Magnesium, Titan und deren Legierungen verträglich. Eine der hauptsächlichen
Schwierigkeiten, um große Festigkeiten sowie fiber\ erstarkte
Gegenstände mit großem Modul herzustellen, brachte das beliebte Einbetten der Fibern in den
Matrixwerkstoff, um so das gewünschte Endprodukt zu erzielen, mit sich. In den gebräuchlichsten Drahtgrößen
ist der Bruch des Drahtes durch Verdrehen im Einsatz ein relativ üblicher Fall, besonders bei den kleinen
Biege-Radien, die auftreten, wenn ein feiner Draht über einen anderen mit unterschiedlicher Richtung gelegt
wird. Es ist sogar so, daß. selbst wenn die Bordrähte zur Zeit im Einsatz nicht zu Bruch gehen, die kleinen
Biegeradien Brüche oder Spannungen im Siliciumkarbidüberzug bewirken und durch Zerstörung des
Zusammenhalts das Borsubstrat durch eine für den Zerfall Substrat-Matrix-Wirkung anfällig machen.
F i g. 1 stellt das Aggregat im Schnitt dar, welches zur
Herstellung des Siliciumkarbidüberzuges auf dem Bordraht benützt wird;
F i g. 2 zeigt den Schmelzofen im Schnitt, welcher zur Herstellung eines Aluminiumüberzuges auf den mit
Siliciumkarbid überzogenen Bordraht verwendet wird.
Aus F 1 g. 1 geht hervor, daß der Siliciumkarbidüberzug
auf einen elektrisch erhitzten Bordraht 2 aufgebracht wird, welcher nach unten durch einen Reaktor 4
gezogen wird, der aus einem rohrförmigen Gefäß 6 besteht, welches zwei Gaseinlässe 8 und 10 am oberen
Ende des Reaktors 4 hat und nur mit einem Auslaß 12 ar. dessen unteren Ende versehen ist. Der zum Kühlen
benötigte Wasserstoff wird durch Einlaß 8 in den Reaktor gegeben, und zum Einlaß 10 wird die
Reaktionsgasmischung, bestehend aus Methyldichlorsilan (CH)SiHCb), Wasserstoff und Methan, eingegeben.
Der Behälter kann aus Gerätehartglas (aus 80,5% SiO2.
11,8% B20, 2.Wo AI2O), 4.40/j Na20,0.26% K:0.0,21 %
CaO, 0,22% ASJO3; mit geringem Ausdehnungskoeffizienten
von 3,2 ■ 10 h cm/" C. Es erträgt starke Temperaturgegensätze)
bestehen, jedoch können auch andere Werkstoffe, wie Borsilikatglas (mit ca. 96% SiO2,
beständig gegen chemische Angriffe, hohem Schmelzpunkt, sehr geringer Wärmeausdehnung) und Quarz
zufriedenstellend eingesetzt werden. Die Gas-Einlässt 8
und 10 und der Auslaß 12 durchdringen die Außenwand und sind mit den metallischen Endverschlüssen des
Behälters 14 und 16 elektrisch verbunden, welche
ihrerseits zweckmäßigerweise dazu dienen, den Strom zum Draht zu bringen, der als Widerstand erhitzt wird.
Obwohl die jeweiligen Verschlüsse 14 und 16
verschieden ausgeführt sind, so haben doch alle eine Anzahl von Einzelheiten gemeinsam. Beide sind so
geformt, daß eine Rille 20 und 22 eine zweckmäßige leitende Dichtung 24 enthalten kann, so z. B. Quecksilber,
welches einen doppelten Zweck erfüllt, nämlich einerseits beim Eintritt in das Verschlußelement
gasdicht rundum den Draht abzuschließen, und andererseits elektrischen Kontakt zwischen dem sich bewegenden
Draht 2 und den entsprechenden Verschlußelementen 14 und 16 herzustellen, welche ihrerseits über die
Rohre 8 und 12 und die Leitungen 26 und 28 an einer geeigneten Gleichstromquelle 30 angeschlossen sind.
Ein Schiebewiderstand 32 gehört zum äußeren Schaltkreis, um den Strom, der an den Draht abgegeben wird,
zu regeln und so dessen Temperatur einzustellen. Das obere Verschlußelement 14 ist mit einer ringförmigen
Vertiefung 34 versehen, welche mit der Quecksilberrinne 20 über die Bohrung 36 kommuniziert, um rundum
das Verschlußelement abzudichten. Zwischen dem Verschlußelement 16 und dem Behälter 6 dichtet das
sich in einer ringförmigen Rinne 38 befindende Quecksilber ab.
Die Verschlußelemente 14 und 16 sind ebenfalls mit zentralen Bohrungen 40 und 42 versehen, welche groß
genug sind, um das Quecksilber wegen der auftretenden Oberflächenspannungen in den entsprechenden Rinnen
zurückzuhalten.
Wasserstoff tritt durch Einlaß 8 in die Reaktionskammer gleich neben der Drahteinführöffnung ein und dient
primär dazu, das Verschlußelement 14 zu kühlen. Die Reaktionsgase treten in einem erweiterten Gefäßteil 50
in die Reaktionskammer ein. ändern darin ihre Strömungsrichtung und gelangen durch die Öffnung 52
in das rohrförmige Element 6.
Anschließend an die Bildung der Siliciumkarbidschicht
werden die Drähte mit einem überzug aus einem Matrixwerkstoff von gewünschter Zusammensetzung
versehen. Für Aluminium wird der Überzug hergestellt, indem man den Draht in Aggregaten, wie sie
in Bild 2 dargestellt sind, behandelt. Ein Tiegel 60 aus Aluminiumoxid wird zweckmäßig in einen Ofen gesetzt,
welcher mit feuerfesten Steinen 62 ausgekleidet und mn Hetzwindungen 64 versehen ist. Der Tiegel hat eine
öffnung 66, welche schmal genug ist. um das schmelzflüssige Aluminium 618 im Tiegelinnern zu
halten, andererseits aber groß genug ist, um den Draht 2 frei durchzulassen. An den Tiegel gelangt man durch die
öffnung 70 im Ofen. Ein Kamin 72 ist über dem Tiegel
angebracht und als Schutzgas wird ein Argonstrom durch den Kamineinlaß 74 geleitet um unerwünschte
atmosphärische Einflüsse im schmelzflüssigen Aluminiumbad und im angefertigten Überzug auf dem Draht
zu verringern.
In verschiedenen Versuchen wurde der Draht sowohl aufwärts als auch abwärts gezogen und man fand, daß
der gleichmäßigere Oberzug dann hergestellt werden konnte, wenn der Draht nach oben gezogen wurde.
Die Überzüge wurden auf verschiedene Weise aufgebracht und eine Anzahl von verschiedenartigen
Matrixwerkstoffen wurden verwendet wie man in den folgenden Beispielen sehen wird.
Methan, 23,4 Molprozent Methyldichlorsilan und 61,3
Molprozent Wasserstoff ein Siliciumkarbidüberzug auf Bordrähte bei einer Drahtgeschwindigkeit von 232 m/h
aufgebracht.
Die auf diese Weise hergestellten überzogenen Drähte wurden unter Argonatmosphäre durch ein Bad
von geschmolzenem Aluminium gezogen, welches bei einer Temperatur von 1000° C gehalten wurde. Die
Geschwindigkeit, mit welcher der Draht nach oben
ίο durch das Bad gezogen wurde, betrug 34,16 m/min. Ein
kontinuierlicher Überzug von 5,08 μηι Stärke wurde unter diesen Bedingungen auf 104,15 μπι dicken
Drähten aufgebracht.
,_ Beispiel 2
Andere, mit Siliciumkarbid überzogene Bordrähte wurden durch eine Schmelze der Aluminiumlegierung
2024 (nominale Zusammensetzung 4,5% Kupfer, 1,5% Magnesium, 0,6% Mangan, Rest Aluminium) mit einer
;o Geschwindigkeit von 15,9 m/min gezogen, wobei eine
Badtemperatur von 9000C gemessen wurde. Der
Vorgang verlief unter Argonschutzatmosphäre. Die Resultate waren ähnlich wie diejenigen, welche man mit
dem Bad aus reinem Aluminium erhalten hatte.
Zufriedenstellende Überzüge aus Magnesium wurden auf mit Siliciumkarbid überzogene Bordrähte durch
Eintauchen in ein Bad von Magnesium bei 720° C yo aufgebracht.
Es wurde Titan auf Bordraht aufgebracht, welcher mit Siliciumkarbid überzogen worden war, wobei Titan sich
aus Titanjodid auf einen heißen Draht von maxima 11000C niederschlug. Gearbeitet wurde in einer Retoru
bei einem Druck von ungefähr 5 mm Quecksilber. De: Teil der Retorte, in dem Titanjodid fest vorlag, war au
ungefähr 230° C erhitzt.
Die Resultate der verschiedenen Versuche, welch< die Eigenschaften der Drähte feststellen sollten, sind in
einzelnen in der folgenden Tafel angegeben.
Tafel
Draht
Durchmesser
(μπι)
(μπι)
Zugfestigkei (kp/cm;)
Mit Siliciumkarbid
überzogener Bordraht gemessene Werte
überzogener Bordraht gemessene Werte
Mit Siliciumkarbid
überzogener Bordraht
mit Titanüberzug,
gemessene Werte
Mit Siliciumkarbid
überzogener Bordraht
mit Titanüberzug,
theoretisch berechnete
«* Werte
Mit Siliciumkarbid
überzogener Bordraht
1023
1163
In einem Reaktor vom vorstehend beschriebenen Mit Siliciumkarbid
Typ, in welchem ein 15,4 cm langer Reaktor aus 9 mm <* überzogener Bordraht
120
34 800
23 200
27 400
40100
29100
starkern Geräteglasrohr mit der schon angegebenen
Zusammensetzung eingebaut war, wurde mit einer Reaktionsgasmischung, bestehend aus 153 Molprozent
mit Magnesium-Überzug, gemessene
Werte
Fortsetziine
Draht | Durchmesser | Zugfestigkeit |
(μπι) | (kp/cm-') | |
Mit Siliciumkarbid | 120 | 35 900 |
überzogener Bordraht | ||
mit Magnesiumüberzug, | ||
theoretisch berechnete | ||
Werte | ||
Mit Siliciumkarbid | 104 | 32 440 |
überzogener Bordraht, | ||
gemessene Werte | ||
Mit Siliciumkarbid | 106,7 | 34 780 |
überzogener Bordraht | 107,95 | 39 140 |
mit Aluminiumüberzug, | 109,2 | 37 740 |
gemessene Werte | 110 | 32 230 |
Mit Siliciumkarbid | — | 30 900 |
überzogener Bordraht | ||
mit Aluminiumüberzug, | ||
theoretisch berechnete | ||
Werte |
In allen Verfahren, bei denen der Matrixüberzug aufgebracht wird, besteht die angewandte besondere
Arbeitsweise darin, einen optimalen Überzug herzustellen, was die Qualität und die Stärke betrifft. Das
gewählte Verfahren zeichnet sich durch gute Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit des Endproduktes aus
Ferner soll es nicht vereinbar sein mit der Produktionsgeschwindigkeit des Trägerdrahtes, obwohl die letzte
Bedingung nicht immer durchführbar ist. Di° Parameter des Überzuges werden sich natürlich vnn Werkstoff zl
Werkstoff als Funktion des Überzugsverfahrens ändern wie Plattieren, Abscheiden aus Gas oder anderer
konventionellen Verfahrensarten. Im allgemeinen abei
wird die eingestellte Betriebstemperatur des Verfahren; notwendigerweise so geregelt sein müssen, daß keine
ungünstige Beschädigung durch Zugkräfte im Bordrafr auftritt, und die Temperatur des Drahtes wird auch
normalerweise unterhalb des Erstarrungspunktes de; Bors gehalten werden.
Die besondere Wandstärke des aufgebrachten Über zugs wird primär durch den Verwendungszweck de:
Drahtes vorgegeben werden. Im allgemeinen wird di< minimale Dicke, welche einen genügend wirksamer
Überzug darstellt, ungefähr 10% der Drahtschnittflächf senkrecht zur Achse, vorteilhaft betragen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
»9520/;
Claims (4)
1. Verfahren zur Herstellung von fiberverstärkten Gegenständen, wobei eine Mehrzahl von Drähten in
einen zweckmäßigen Matrixwerkstoff eingebettet wird, und, bevor der Gegenstand hergestellt wird,
jeder einzelne Draht mit einem Überzug versehen wird, dadurch gekennzeichnet, daß zuerst
ein Siliciumkarbidüberzug auf Bordraht aufgebracht wird und daß der so behandelte Draht anschließend
mit einem dehnbaren, spezifisch leichten Metall, aus
Aluminium, Magnesium oder Titan und deren Legierungen, überzogen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der Bordraht im wesentlichen aus ■amorphem Bor besteht, daß der Oberzug, welcher
zuerst aufgebracht wird, aus im wesentlichen stöchiometrischem Siliciumkarbid besteht
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß die Wandstärke des Überzuges,
welcher an zweiter Stelle aufgebracht wird, ungefähr 10% der gesamten Schnittfläche senkrecht zur
Achse des Drahtes beträgt.
4. Vorrichtung zum Aufbringen eines Siliciumkar bidüberzuges auf Bordraht und /um anschließenden
Überziehen mit einem dehnbaren spezifischen leichten Metall nach einem der Ansprüche 1 bis 3.
dadurch gekennzeichnet, daß
(a) die Vorrichtung zum Aufbringen des Siliciumkarbidüberzuges aus einem Abscheidereaktor
(4) besteht, der als rohrförmiges Gefäß (6) ausgebildet ist, wobei in dem rohrförmigen
Gefäß (6) am oberen Ende Gaseinlässe (8 und 10) sowie ein axialer Abscheidedraht (2) die
Verschlußelemente (14 und 16) durchdringen und mit diesen eiektrisch verbunden sind und
wobei der Reaktor (4) nahe dem zentralen Teil ein gemeinsames Auslaßrohr (12) für die
Reaktionsabgase enthält, wobei der Abscheidereaktor (4) senkrecht steht und wobei die
jeweiligen Verschlußelemente (14 und 16) so ausgebildet sind, daß diese je einen Hohlraum
(20 und 22) zur Aufnahme einer leitenden flüssigen Abdichtung (24) enthalten, die sowohl
als gasdichter Verschluß für den axial durchtretenden
Draht (2), als auch als elektrischer Kontakt zwischen diesem und den jeweiligen Verschlußelementen (14 und 16) ausgebildet ist.
und wobei der Draht durch die Verschlußelemente (14 und 16) in zentralen Bohrungen (40,
42) hindurchgeführt wird, die so ausgebildet sind, daß einerseits der Durchtritt des sich a*ial
nach unten bewegenden Drahtes (2) unbehindert erfolgt und andererseits die leitende
Abdichtung (24) durch ihre Oberflächenspannung vor dem Durchtritt zurückgehalten wird,
und
(b) die Vorrichtung zum Aufbringen des AhJ-miniumüberzuges aus einem Tiegel (60) aus
Aluminiumoxid besteht, der in einem Ofen eingesetzt ist, der mit feuerfesten Steinen (62)
ausgemauert und mit Heizwindungen (64) versehen ist, und wobei der Tiegel (60) eine
öffnung (66) aufweist, welche schmal genug ist, ft.s
um das schmelzflüssige Aluminium (68) im Tiegelinnern zu halten und um den Draht (2) frei
durchzulassen, wobei der Ofen eine öffnung
(70) für den Drahteintritt enthält und über den Tiegel (60) ein Kamin (72) angebracht ist, der
mit einem Kamineinlaß (74) zur Einleitung von Argon versehen ist, und
(c) die Vorrichtung zum Aufbringen von Titan aus einer evakuierbaren und erhitzbaren Retorte
mit einer Füllung aus Titanjodid besteht
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