DE2401693C3 - Gettervorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Gettervorrichtung mit einer metallischen Trägerstruktur für das Gettermaterial, welche aus einem dreidimensionalen Gitterwerk besteht, das einen zusammenhängenden Körper bildet und eine Vielzahl miteinander verbundener, offener Zellen aufweist, von denen wenigstens einige mit einem partikelförmigen Gettermaterial gefüllt sind.

Eine derartige Gettervorrichtung ist aus der US-Patentschrift 33 87 767 bekannt. Diese bekannte Gettervorrichtung besteht im wesentlichen aus einem Gitterwerk, welches dadurch zustandekommt, daß einzelne Metallfasern mit dazwischen angeordneten Getterpartikeln zusammengesintert werden. Dabei entsteht ein mehr oder weniger homogenes Gebilde, wobei es jedenfalls darauf ankommt, daß die einzelnen Fasern, welche dasGitterwerk bilden sollen, gemeinsam mit den Getterpartikeln zu diesem Gebilde zusammengefügt werden.

Weiterhin ist aus der US-Patentschrift 27 82 907 eine Getteranordnung bekannt, bei welcher als Behälter für das Gettermaterial ein Trog dient, der aus zwei miteinander verbundenen Blechstreifen besteht. Bei der Herstellung der Tröge aus zwei Blechstreifen werden solche Blechstreifen in bestimmten Zonen auf der einen Seite derart aufgebogen, daß beim Zusammenfügen der beiden Blechstreifen die Tröge entstehen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Gettervorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, welche im Hinblick auf eine industrielle Massenfertigung bei außerordentlich einfachem Aufbau und entsprechend wirtschaftlicher Herstellung zugleich besonders einfach befestigt werden kann.

Weiterhin soll gemäß der Erfindung auch ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Gettervorrichtung geschaffen werden.

Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß das Gitterwerk nur in bestimmten Zonen, die voneinander durch Zwischenzonen getrennt sind, Geltermaterial enthält und daß diese Zwischenzonen zusammengequetscht sind.

Ein zur Herstellung einer solchen Gettervorrichtung besonders bevorzugtes Verfahren sieht folgende Verfahrensschritte vor: Komprimieren eines Teils der metallischen Trägerstruktur, Füllen wenigstens einiger freier Zellen des nichtkomprimierten Teiles der metallischen Trägerstruktur mit partikelförmigem Gettermaterial durch wenigstens teilweises Eintauchen der nichtkomprimierten Zonen in eine Flüssigkeitssuspension aus dem Gettermaterial und anschließendes Trocknen und Erhitzen im Vakuum auf eine Temperatur von 800 bis 1200⁰C.

Die Komprimierung kann mit beliebigen geeigneten Preßwerkzeugen erfolgen, sie geschieht jedoch vorzugsweise mit einem entsprechend gestalteten Walzenpaar oder durch eine hin und her gehende Presse. Bei der anschließenden Behandlung des fortlaufend geformten Streifens in einem Bad aus partikelförmigem Gettermaterial wird dieses Bad vorzugsweise mit Ultraschall behandelt, um die Suspension gleichmäßig zu halten und die Füllung der Zonen des nichtkomprimierten Meiaügitters mit der Flüssigkei'.ssiispension zu

24 Ol 693

erleichtern.

Wenn die Zellengröße des Gitterwerks im Vergleich zu der Partikelgröße des Geltermaterials groß ist. so läßt sich das trockene Pulver mechanisch durch automatische Geräte in die offenen Zelien einbringen, worauf die Struktur etwas zusammengedrückt wird, um die Zellengröße leicht zu verkleinern und auf diese Weise die Partikeln etwas zu verdichten.

Die Trägerstruktur kann praktisch aus eir;m beliebigen Metall bestehen, das in eine dreidimensionale Struktur mit einer Vielzahl miteinander verbundener offener Zellen gebracht werden kann. Das Metall muß jedoch den Temperaiuren widerstehen können, die während der Herstellung und Behandlung sowie während der Anwendung der Gettervorrichtung auftreten. Außerdem darf das Metall nicht chemisch mit den Gettermaterialien reagieren. Als Metall für die Träger-Struktur eignet sich insbesondere ein Metall wie Nickel, Chrom. Eisen, Titan. Kobalt, Molybdän bowie auch Legierungen dieser Metalle miteinander und mit anderen Metallen.

Die Zellengröße der Trägerstruktur kann grundsätzlich beliebig gewählt werden und wird im allgemeinen so groß dimensioniert, wie sie mit dem für die Trägerstruklur zu verwendenden Metall herstellbar ist. Der bevorzugte H rieh für die Zellengröße liegt zwischen 50 und 4 Zeilen je Zentimeter, und \ rzugsweise weist die Trägerstruktur 40 bis 10 Zeilen je Zentimeter auf.

Bei einer größeren Anzahl von Zellen je Zentimeter (d. h. bei kleineren Zellen) hat das partikelförmige Gettermaterial Schwierigkeilen, in die Struktur einzudringen. Bei niedrigeren Zellenzahlen (d. h. bei größeren Zellen) verringert sich die Tragwirkung der Gitterstruktur, und es besteht die Gefahr, daß das Gettermaterial vom Träger wegbricht.

Das Gettermaterial kann grundsätzlich eine beliebige Zusammensetzung haben, und vorzugsweise wird ein Gettermaterial mit partikelförmiger Struktur verwendet.

Vorzugsweise wird ein nichtverdampfendes Gettermaterial verwendet.

Die nichtvcrdampfenden Gettermaterialien zeichnen sich aus durch: eine Absorptionskapazität für schädliche Gase, wie etwa Sauerstoff, Kohlenmonoxyd, Wasserdampf, Wasserstoff, Stickstoff und Kohlendioxyd und einen Dampfdruck bei lOOO'C von weniger als 10-⁵ Torr.

Für bestimmte Anwendungsfällc, wo eine Gasabsorptionsfähigkeit bei niedrigen Temperaiuren (etwa von Raumtemperatur bis etwa 400⁰C) gefordert wird, kann das partikelförmige Gettermaterial mit einem Antisintermittel, wie etwa Graphit, gemischt sein, wie es in der US-Patentschrift 35 84 253 beschrieben U. oder gemischt mit einer partikelförmigen Zirkonium-Aluminium-Legierung, wie es in der deutschen Patentanmeldung P 23 40 102.7 der Anmelderin beschrieben ist.

Andere, pulverförmige Antisintermateria'ien können entweder allein oder im Gemisch verwendet werden, wie etwa feuerfeste Oxyde, Carbide usw. Ersetzt man ein Antisintermittel durch ein anderes, dann werden die Volumenverhältnisse des Getterpulvers zum Antisintermittelpulver beibehalten. Das gleiche gilt für die Substitution eines Gettermaterials durch ein anderes.

Ein bevorzugtes, nichtverdampfendes Gettermaterial besteht aus folgender Mischung:

A) partikelförmiges Zirkonium,

B) eine partikelförmig!.· Legierung aus Zirkonium und

Aluminium, wobei das Gewichtsverhältnis von A : B zwischen 10:1 und 1 : 1 liegt. Die bevorzugte Zirkonium-Aluminium-Legierung enthält 5 bis 30 und vorzugsweise 13 bis 18 Gew.-% Aluminium, Rest Zirkonium. Die am meisten bevorzugte Zirkonium-Aluminium-Legierung St 101 der Anmelderin enthält 16 Gew.-% Aluminium. Rest Zirkonium. Ein zweites, bevorzugtes, nichtverdampfendes Gettermaterial besteht aus einem Gemisch aus: ίο A) partikelförmigem Zirkonium.

B) partikelförmigem Graphit, wobei das Gewichtsverhältnis von A : B von 20 : 1 bis 2 : 1 reicht. Wenn beim Verfahren zur Herstellung einer Gettervorrichtung, welche Art von Gettermaterial auch immer verwendet wird, das Gettermaterial in das Blech oder den Streifen, der die Trägerstruktur bildet, mit einem Bad in flüssiger Suspension eingelagert worden ist. führt man den Streifen oder das Blech durch einen Trockenofen mit niedriger Temperatur. Nach dem Verlassen des Trockenofens können die Geti-.Tvorrichtungen einzeln oder in Gruppen voneinander getrennt werden oder man kann sie dank der Flexibilität der komprimierten Zonen als fortlaufendes Band auf eine Spule aufwickeln.

Die Geltervorrichtungen, einzeln oder als Bänder unbestimmter Länge zu Spulen aufgewickelt, werden dann in einen Vakuumufen mit et'A a 10* ° bis 10 ° Torr gebracht und die Temperatur in etwa 25 Minuten auf 800 bis 1200 C erhöht. Die Temperatur wird dann für etwa 5 Minuten aufrechterhalten, und dann läßt man die Gettervorriehtungen auf Raumtemperatur abkühlen und entfernt sie aus dem Vakuumofen. Wenn die Streifen zuvor nicht auf Spulen aufgewickelt wurden, dann kann man dies noch nach dem Herausnehmen aus dem Ofen vornehmen.

Unter Bezug auf die Zeichnungen wird die Erfindung an Hand einiger Ausführungsbeispiele näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt

F i g. 1 eine Draufsicht auf einen Streifen zur Verwendung in der vorliegenden Erfindung,

Fi g. 2eineStirnansicht nach der Linie 1-Γ in Fi g. 1, F i g. 3 eine schematische Ansicht einer zur Herstellung eines Streifens gemäß Fig. 1 und 2 geeigneten Presse,

F i g. 4 eine Draufsicht auf eine andere Ausführungsform eines Streifens zur Verwendung in der vorliegenden Erfindung,

F i g. 5 eine Stirnansicht nach der Linie 4-4' in F i g. 4, F i g. 6 eine Draufsicht auf eine Gettervorrichtung, die aus einem Streifen gemäß F i g. 5 hergestellt ibt,

F i g. 7 eine Draufsicht auf eine andere Ausführungsform eines Streifens zur Verwendung in der vorliegenden Erfindung,

F i g. 8 einen Schnitt nach der Linie 7-7' in F i g. 7, Fig. 9 eine Seitenansicht einer aus dem Streifen gemäß F i g. 7 hergestellten Gettervorrichtung,

Fig. 10 eine Draufsicht auf einen anderen Streifen zur Verwendung in der vorliegenden Erfindung,

Fig. 11, 12 und 14 verschiedene Stufen des Verfahrens zur Herstellung der Gettervorrichtung gemäß Fig. 13 und 15 aus dem Streifen gemäß F ig. 10,

Fig. 16 eine Draufsicht auf eine andere Ausführungsform des Streifens zur Verwendung in der vorliegenden Erfindung,

F i g. 17 eine Draufsicht auf eine andere Ausführungsform der Gettervorrichtung gemäß der Erfindung, Fi g. 18 einen Schnitt nach der Linie 17-17' in Fig. 17

24 Ol 693

Fig. 19 eine schematische Darstellung des Verfahrens zum Herstellen der Gettervorrichtungen gemäß der Erfindung.

Fig. 1 zeigt in Draufsicht einen Streifen 10 unbestimmter Länge, der rechteckige Zonen 11, 12, 13 einer dreidimensionalen metallischen Trägerstruktur aufweist, die eine Vielzahl von miteinander verbundenen, offenen Zellen hat, wobei diese rechteckigen Zonen durch weitere rechteckige Zonen 11', 12', 13' voneinander getrennt sind, in denen die metallische Trägerstruktur komprimiert ist. Aus Fig. 2 sieht man besonders deutlich, wie die nicht komprimierten Zonen 11, 12, 13 durch die komprimierten Zonen 11', 12', 13' im Abstand voneinander miteinander verbunden sind.

F i g. 3 zeigt eine obere Form 31 und eine untere Form 32 einer Presse, die zum Komprimieren von Zonen 33 und 34 eines Streifens 35 einer dreidimensionalen Trägerstruktur verwendet wird. Die profilierten Oberflächen 36, 36', 37, 37' usw. bilden Übergangszonen zunehmender Kompression zwischen einer nichtkomprimierten Zone 38 und einer komprimierten Zone 39.

Fig.4 zeigt eine Draufsicht auf einen anderen Streifen 40 unbestimmter Länge, der kreisförmige Zonen 41, 42, 43 eines dreidimensionalen Metallträgers aufweist, zwischen denen Ringzonen 41', 42', 43' vorhanden sind, in denen die metallische Trägerstruktur komprimiert ist. Die verbleibenden Bereiche 44 des Streifens 40 sind wenigstens teilweise komprimiert, um dem Streifen die für die weitere Verarbeitung erforderliche Flexibilität zu verleihen. Fig. 5 ist eine Stirnansicht nach der Linie 4-4' für einen Streifen, bei dem die Bereiche 44 in dem selben Maße wie die Zonen 4Γ, 42', 43' komprimiert sind. F i g. 6 zeigt eine andere Ausführungsiorm einer Ringstruktur 60, die von ihrem Streifen getrennt ist und eine nichtkomprimierte kreisförmige Zone 61 aufweist, welche das partikelförmige Gettermaterial enthält, sowie eine komprimierte Zone 62.

Außerdem sind Löcher 63,63' usw. in die komprimierte Zone 62 gestanzt. Diese Stanzlöcher werden zugleich mit der Kompression erzeugt, sie können jedoch auch in einem anschließenden Arbeitsgang hergestellt werden.

Fi g. 7 zeigt einen anderen Streifen 70 unbestimmter Länge, aus dem zwei fortlaufende Streifen 80 gemäß Fig. 8 gestanzt sind, die Scheiben 81, 82, 83 usw. aus nichtkomprimierter, metallischer Trägerstruktur enthalten, welche mit den benachbarten Scheiben durch Abschnitte 84, 85, 86 usw. aus komprimierter Trägerstruktur verbunden sind, welche die Befestigungsmittel bilden.

Fig. 9 zeigt eine einzelne Gettervorrichtung 90, die eine Gettermaterialträgerscheibe 81 aufweist, in der partikelförmiges Gettermaterial enthalten ist, und einen Befestigungsabschnitt 84, der von der benachbarten Trägerstruktur oder Scheibe 82 getrennt worden ist. Der Abschnitt 84 ist abgebogen, um der Gettervorrichtung eine kompaktere Gestalt zu geben.

Die Fig. 10 bis 15 zeigen die gleichzeitige Herstellung unterschiedlich gestalteter Gettervorrichtungen, wodurch eine wirtschaftliche Anwendung des Metallgittermaterials geschaffen wird.

Fig. 10 zeigt eine Draufsicht auf einen Streifen 100 unbestimmter Länge, der ringförmige, komprimierte Befestigungszonen 101, 10Γ, ferner komprimierte Befestigungszonen 102, 102' und nichtkomprimierte Gettermaterialtragzonen 103, 103' zusammen mit weiteren, nichtkomprimierten Gettermaterialtragzonen 104.104' aufweist.

Nachdem die unkomprimicricn Zonen wenigstens teilweise mit partikelförmigem Gettermaterial gefüllt worden sind, werden zu einem zweckmäßigen, späteren Zeitpunkt Gettervorrichtungen 130 (Fig. 13) mit Gellermaterialtragzonen 104 und Befestigungszonen 102 sowie Gettervorrichtungen 150 (Fig. 15) mit Geitermaterialtragzonen 103 und Befestigungszonen 101 voneinander und von den verbleibenden Zonen 105 des Sucifcns 100 mit irgendwelchen zweckmäßigen

ίο Mitteln getrennt, die nicht Gegenstand der voi liegenden Erfindung sind.

Fig. 16 zeigt einen Streifen 160 unbestimmter Länge, der eine Vielzahl regelmäßig angeordneter Rechtecke 161 aus Gettermaterialtragstruktur enthält, die voncinander durch ein Raster 162 aus komprimierter Trägerstruktur getrennt sind. Diese Ausfüiiruiigsfoim ist besonders vorteilhaft, wenn unterschiedliche Mengen Gettermaterial bei verschiedenen Vorrichtungen erforderlich sind, da man in diesem Fall die richtige Anzahl von Rechtecken 161, die mit Gettermaterial gefüllt sind, vom Streifen 160 abschneiden kann; man braucht also nicht ein Lager mit einer Vielzahl verschieden gestalteter Gettervorrichtungen zu unterhalten.

Fig. 17 zeigt eine Draufsicht und Fig. 18 einen Schnitt nach der Linie 17-17' in Fig. 17 einer Gettervorrichtung 170, bei der die Dicke des dreidimensionalen Gitters verhältnismäßig groß ist, so daß die Ausbildung einer Übergangszone zwischen der komprimierten Zone und der nichtkomprimierten Zone Schwierigkeiten bereitet. In diesem Falle hat die Befestigung die Gestalt einer Scheibe 171, die durch Kompression des Mittelteils des Gitters gebildet wird, während gleichzeitig entlang den Flächen 172 geschnilten wird. Der Schnitt endet jedoch, bevor er die Unterseite 173 erreicht, so daß eine Zone 174 verbleibt, die die komprimierte Scheibe 171 mit der nichtkomprimierten Zone 175 verbindet.

Weitere Teile 179, 179', 179" der komprimierten Scheibe können vollständig entfernt werden, um Einführungs- oder Befestigungslöcher zu schaffen und Bereiche zu entfernen, die der Arbeit derjenigen Vorrichtung hinderlich sein können, in der die Geltervorrichtung angeordnet werden soll, also beispielsweise von Wanderwellenröhren, wo Partikelstrahlen verwendet werden. Schließlich kann die Entfernung dieses Materials auch einfach der Verringerung des Gewichtes der Gettervorrichtung dienen.

Die unkomprimierte Zone 175 kann die Gestalt eines endlosen Hohlzylinders haben, diese Zylinderwände können jedoch auch in den Bereichen 176, 177 usw.

komprimiert sein, um so eine Mehrzahl gesonderter Gettermatenalträgerzonen 178,178' usw. zu bilden.

F i g. 19 zeigt einen Streifen 190 unbestimmter Länge.

der Zonen 191, 191' aus unkomprimierter, metallischer Trägerstruktur und zwischen diesen Zonen 192, 192' komprimierter Metallträgerstruktur aufweist Der Streifen 190 wird durch ein dauernd gerührtes Bad 193 geführt, das eine Flüssigkeitssuspension 194 des partikelförmigen Gettermaterials enthält.

Ein gezahntes Rad 195 greift in die komprimierten Zonen 192, 192' des Streifens 190 ein, und bei seiner Drehung in Richtung des Pfeiles 1% bewirkt dieses Rad, daß der Streifen 190 durch die Flüssigkeitssuspension

^h5 194 bewegt wird, wobei diese Flüssigkeitssuspension in den unkomprimierten metallischen Träger eindringt und in diesem gehalten wird. Der Grad der Eintauchung wird durch die Höhe der Drehachse des gezahnten

24 Ol 693

Rades 195 über dem Flüssigkeitsspiegel der Suspension 194 gesteuert. Nach dem Verlassen des Bades 193 bewegt sich der Streifen 190 durch einen Trockenofen 197, der auf einer Temperatur gehalten wird, die ausreicht, um die für die Suspension 194 benutzte Flüssigkeit zu verdampfen, die jedoch nicht so hoch ist, daß das Gettermaterial aktiviert wird oder in irgendeiner Weise Schaden nimmt.

Der Streifen 190 bewegt sich dann aus dem Ofen heraus und wird auf eine Spule aufgewickelt. Gemäß einer Variante kann man die Gettervorrichtungen auch einzeln abtrennen und sammeln. Die Gettervorrichtungen werden dann im Vakuum hitzebehandelt, wie es oben beschrieben wurde.

Die Erfindung wird weiter anhand der folgenden Beispiele erläutert, in denen Teile und Prozentsätze auf das Gewicht bezogen sind, sofern nicht anderes angegeben ist. Diese nur der Erläuterung und nicht etwa der Abgrenzung des Erfindungsgedankens dienenden Beispiele betreffen einige Ausführungsbeispiele und sollen dem Fachmann zeigen, wie die Erfindung durchgeführt wird und welches die beste Art der Ausführung der Erfindung ist.

Beispiel 1

Dieses Beispiel erläutert die Herstellung einer Gettcrvorrichtung gemäß der Erfindung. Ein Streifen aus Nickel-Chrom-Legierung, Länge 60 cm, Breite 1 cm und Dicke 0,2 cm, besieht aus einem dreidimensionalen Gitter, das eine Vielzahl miteinander verbundener Zellen enthält, wobei die Zellengröße etwa 0,5 mm im Durchmesser (20 Zellen je cm) beträgt; dieser Streifen wird durch eine Presse geführt, so daß in gleichmäßigen Abständen von 2 cm ein Stück von 1 cm Länge des Gitters komprimiert wird. Der Streifen wird dann durch ein Bad geführt, das mit Ultraschall aufgerührt wird und partikelförmiges Zirkon, Graphit und Äthylalkohol im Verhältnis 10: 1 :5 enthält. Nach dem Verlassen des Bades wird der Streifen durch einen Ofen geführt, in dem der Streifen für 20 Minuten auf eine Temperatur von 60⁰C erhitzt wird. Der behandelte Streifen wird dann in einen Vakuumofen mit etwa 10^⁵ bis 10~⁶ Torr gebracht. Die Temperatur im Ofen wird innerhalb von etwa 25 Minuten von Raumtemperatur auf 800 bis 1000⁰C erhöht. Diese Temperatur wird für weitere 5 Minuten aufrechterhalten. Den behandelten Streifen läßt man dann auf Raumtemperatur abkühlen und nimmt ihn aus dem Vakuumofen heraus. Der Streifen mit Gettervorrichtungen und Befestigungszonen wird dann auf eine Spule gewickelt.

Eine Gettervorrichtung zusammen mit ihrer Befestigungszone wird von dem vorher aufgewickelten Streifen abgeschnitten. Zusammen mit der Befestigungszone wird die Gettervorrichtung in einer wenigstens teilweise evakuierten Umhüllung aufbewahrt. Nach der Aktivierung der Gettervorrichtung durch Erhitzung beispielsweise für 10 Minuten auf 900⁰C absorbiert die Gettervorrichtung aktive Gase.

Beispiel 2

Eine Gettervorrichtung wird wie im Beispiel
hergestellt, nur daß das Graphit ersetzt wird durch ei gleiches Volumen einer Legierung aus 84% Zirkon, Res Aluminium, mit der gleichen Partikelgröße.

Beispiel 3

Eine Gettervorrichtung wird wie im Beispiel
hergestellt, und in ein Standard-Vakuumgefäß einge setzt, das zur Messung der Gettereigenschaftei geeignet ist. Das Gefäß wird evakuiert und dii Gettervorrichtung für 10 Minuten auf 900⁰C erhitzt, un sie zu aktivieren.

Man läßt die Gettervorrichtung dann auf Raumtem peratur abkühlen. Dann läßt man die Gettervorrichtunj gasförmiges Kohlenmonoxyd absorbieren, und mai mißt in verschiedenen Zeitintervallen die Absorptions geschwindigkeit sowie die absorbierten Gasmengen.

Es zeigt sich, daß der Getter wenigstens gleich« Gasabsorptionsgeschwindigkeiten hat und wenigsten: die gleiche Gasmenge absorbiert, wie ein herkömmü ches Getter, das aus dem gleichen Gettermateria hergestellt ist und die gleiche Gettermasse wie in Beispiel 1 enthält, das jedoch an einer Tragstruktur ohn< einstückig ausgebildetes Befestigungsmittel angebrach

ist.

Beispiel 4

Dieses Beispie! erläutert die Herstellung einei verdampfenden Gettervorrichtung gemäß der Erfin dung. Ein Streifen aus Chrom-Nickel-Legierung mi einer Länge von 60 cm, Breite 1 cm und Dicke 0,2 cm der aus einem dreidimensionalen Gitter besteht, da: eine Vielzahl miteinander verbundener Zellen aufweist wobei die Zellengröße etwa 0,5 mm im Durchmessei (20 Zellen je cm) beträgt, wird durch eine Presse geführt so daß in gleichmäßigen Abständen von 2 cm ein Stücl· von 1 cm Länge des Gitters komprimiert wird. Dei Streifen wird dann durch eine Pulverabgabemaschin« geführt, so daß die unkomprimierten Teile des Streifen; mit einem Pulver gefüllt werden, das aus einem Gemisch aus Nickel und einer Legierung aus 50% Barium, Res Aluminium besteht. Der Streifen wandert dann durch eine weitere Presse, in der die Zellengröße geringfügig verringert und eine leichte Verdichtung der einzelner Gettermaterialpartikel in den zuvor unkomprimierter Teilen des Streifens bewirkt wird. Der Streifen au; Geltervorrichtungen mit Befestigungszonen wird danr auf eine Spule gewickelt.

Obwohl die Erfindung hier sehr ausführlich mit Bezuf auf bestimmte Ausführungsformen beschrieben wurde ist es doch selbstverständlich, daß diese im Rahmen de« fachmännischen Könnens abgewandelt und veränderl werden können, ohne den der Erfindung zugrundeliegenden Gedanken zu verlassen.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims (12)

24 Ol Patentansprüche:

1. Gettervorrichtung mit einer metallischen Trägerstruktur für das Gettermaterial, welche aus einem dreidimensionalen Gitterwerk besteht, das einen zusammenhängenden Körper bildet und eine Vielzahl miteinander verbundener, offener Zellen aufweist, von denen wenigstens einige mit einem partikelförmigen Gettermaterial gefüllt sind, dadurch gekennzeichnet, daß das Gitterwerk (10) nur in bestimmten Zonen (11, 12, 13), die voneinander durch Zwischenzonen (H', 12', 13') . getrennt sind, Gettermaterial enthält und daß diese Zwischenzonen (1Γ, 12', 13') zusammengequetscht sind.

2. Gettervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall der Trägerstruktur Nickel, Chrom, Eisen, Titan, Kobalt, Molybdän oder Legierungen dieser Metalle untereinander oder mit anderen Metallen ist.

3. Gettervorrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerstruktur 4 bis 50 Zellen je cm hat.

4. Gettervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerstruktur 10 bis 40 Zellen je cm hat.

5. Gettervorrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenzonen (1Γ, 12', 13') des Gitterwerks eine Mehrzahl von im Abstand voneinander liegenden nichtkomprimierten Zonen (11,12,13) begrenzen.

6. Gettervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gettermaterial nichtvcrdampfend ist.

7. Gettervorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das nichtverdampfende Gettermaterial wenigstens eines der folgenden Metalle enthält: Zr₁Ta, Hf. Nb,Ti,Th, U, V und W.

8. Gettervorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Geltermaterial partikelförmiges Zirkonium und partikelförmiges Antisinter material enthält.

9. Gettervorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Antisiniermaterial partikelförmiges Graphit ist, wobei das Gewichtsverhältnis von partikelförmigem Zirkonium zu partikelförmigem Antisintermaterial von 20 : 1 bis 2 : 1 beträgt.

10. Gettervorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Antisintermaterial eine partikelförmige Legierung aus 13 bis 18 Gew.-% Aluminium, Rest Zirkonium besteht, wobei das Gewichtsverhältnis von partikelförmigem Zirkonium zu partikelförmigem Antisintermaterial von 10 : 1 bis I : 1 beträgt.

11. Gettervorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Zirkonium-Aluminium-Legierung 84% Zirkonium und 16% Aluminium enthält.

12. Verfahren zum Herstellen einer Gettervorrichtung nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die folgenden Verfahrensschrille: Komprimieren eines Teils der metallischen Trägerstruktur, Füllen wenigstens einiger freier Zellen des nichtkomprimierten d$ Teiles der metallischen Trägerstruklur mit partikelförmigem Gettermaterial durch wenigstens teilwei-

C. 1 I

I Γ· ¥ * · I I «* Π ^* Wt f* £1

chikornprirnier'.en

eine Flüssigkeitssuspension aus dem Gettermaterial und anschließendes Trocknen und Erhitzen im Vakuum auf eine Temperatur von 800 bis 1200⁰C.