DE2364142A1

DE2364142A1 - Roentgenstrahlenquelle

Info

Publication number: DE2364142A1
Application number: DE2364142A
Authority: DE
Inventors: Takashi Ito; Eizo Kato; Takayuki Shimomura; Eiji Watanabe
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1972-12-27
Filing date: 1973-12-21
Publication date: 1974-07-04
Also published as: US3852605A; JPS5318318B2; GB1444109A; DE2364142B2; DE2364142C3; FR2212739A1; JPS4990086A; FR2212739B1

Description

Patentanwalt Dip!.·Phyr». Gerhard Liedl 8 München 22 Steinsdorfstr, 21-22 Tel.298462

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B 6408

NIHON DENSHI KABUSHIKI KAISHA 1418, Nakagami-cho, Akishima-shi, T oky ο / Japan

Röntgenstrahlenque lie

Die Erfindung betrifft eine Röntgenstrahlenquelle mit einer Elektronenquelle und einer Antikathode, auf die der Elektronenstrahl gerichtet ist und insbesondere eine Röntgenstrahlquelle, bei der der Elektronenstrahl kontinuierlich oder mittels Brennfleckabtiistung die Antikathode bzw. das einen Röntgenstrahl erzeugende Target abtastet.

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In neuerer Zeit sind kontinuierlich oder mittels Brennfleckabtastung abtastende Röntgenstrahlquellen bekanntgeworden. Bei diesen Röntgenstrahlquellen bzw. Röntgenröhren werden die Röntgenstrahlen mittels des Aufpralls des beschleunigten Elektronenstrahls auf das Target bzw. auf die Antikathode erzeugt. Die so hergestellten Röntgenstrahlen werden durch eine Lochblende hindurchgeschickt, so daß ein sich geradlinig ausdehnender Röntgenstrahl mit geringem Durchmesser entsteht. Der Elektronenstrahl, der auf die Antikathode gerichtet ist, tastet diese kontinuierlich oder in Brennfleckabtastung ab. Demgemäß wechselt die den Röntgenstrahl erzeugende Lage des Elektronenstrahls auf der Antikathode mit der Zeit. Außerdem ändert sich die Richtung des Röntgenstrahles, der durch die Lochblende geschickt wird. Wenn der so erhaltene Röntgenstrahl zur Bestrahlung eines Objektes dient und die Röntgenstrahlen, welche durch das Objekt hindurchgetreten sind, erfaßt werden sowie das hiervon abhängige Signal an eine Kathodenstrahlröhre oder dgl. gelegt wird, ist es möglich, ein Röntgenstrahldurchlässigkeitsbild zu erhalten, das auf der kontinuierlichen oder auf der Brennfleckabtastung beruhenden Abtastbewegung des Röntgenstrahles begründet ist.

Bei der im vorstehenden beschriebenen Röntgenröhre ist die Intensität des erzeugten Röntgenstrahles jedoch schwach, da es nicht möglich ist, eine kleine Fläche der Antikathode mit einem Röntgenstrahl zu bestrahlen, der eine hohe Beschleunigung und eine hohe Dichte aufweist. Demgemäß ist die Auflösung und der Kontrast des Röntgenstrahldurchlässigkeitsbildes sehr schwach. Darüber hinaus können gute Bilder nicht erhalten werden, da die Anzahl von Bildern pro Sekunde beschränkt ist.

Betrachtet man die Beziehung zwischen der Energie des Elektronen-

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Strahles, der die Antikathode bestrahlt und die hieraus resultierende Röntgenstrahlung, so ergibt sich die Röntgenstrahlintensität nx wie folgt:

nx = K · V · P

Hierbei bedeutet V die Beschleunigungsspannung, P die Energie des einfallenden Elektronenstrahles und K eine Konstante. "Wie aus der Formel zu ersehen ist, erhält man einen Röntgenstrahl starker Intensität dann, wenn die Energie des einfallenden Elektronenstrahles und die entsprechende Beschleunigungsspannung entsprechend vergrößert werden. Die statistische Verteilung der elektrischen Energie des Elektronenstrahles, der eine vorgegebene Fläche eines Targets bzw. einer Antikathode bestrahlt, ist jedoch begrenzt, wie die folgende Formel zeigt:

Wmax = 17.8 (Tm-To) δ* Κ

Hierbei bedeutet Wmax die maximal zulässige Target- bzw. Antikathodenladung, Tm den Schmelzpunkt (⁰C) des Antikathodenmaterials, To die Temperatur (⁰C) der kühlenden Antikathodenoberfläche, δ ist der Durchmesser des Elektronenstrahls (cm) und K ist die Wärmeleitfähigkeit der Antikathode an ihrem Schmelzpunkt Tm (Cal/sec · cm · ⁰C).

Wenn in dieser Formel das Antikathodenmaterial bestimmt ist, so sind Tm, To und K festgelegt und konstant, so daß die maximal zulässige Energie, welche auf die Antikathode auf treffen darf, proportional zum Durchmesser δ des Elektronenstrahles ist. Die Formel hat jedoch für die Antikathode nur im statischen Zustand Gültigkeit. Wenn die Antikathode mit hoher Geschwindigkeit bewegt wird, verändert sich die Wärmeverteilung über die Antikathode, so daß die maximal zulässige Ladung Wmax wie folgt festgelegt ist:

Wmax = 17.0 (Tm-To) δ · K · ίδ · · 4 0 9827/0777

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Hierbei bedeutet ρ die Dichte des Antikathodenmaterials, c die spezifische Wärme (Cal/g · C) des Antikathodenmaterials und ν die Wandergeschwindigkeit der Antikathode (cm/sec).

Die Formel zeigt, daß bei steigender Antikathodenwanderrate die Kathodeneinfallsenergie und die Röntgenstrahlintensität ebenfalls anwachsen. Wenn man beispielsweise eine Kupferantikathode verwendet und der Durchmesser des Elektronenstrahls 1 mm und die Wander geschwindigkeit der Antikathode 2000 cm/sec ist, ist eine Einfalls energie möglich, die zehnmal größer ist als die Einfallsenergie im statischen Zustand.

Im Hinblick auf die vorstehend genannten Gesetzmäßigkeiten hat man eine Röntgenstrahlröhre gebaut, bei der unter Verwendung einer rotierenden Antikathode ein ziemlich starker Röntgenstrahl erzielt werden konnte. Da der Durchmesser des Elektronenstrahles, der auf die Antikathode gerichtet ist, manchmal sehr gering ist (in der Größenordnung von einigen bis einigen 10 μ ) und da darüber hinaus bei der Verwendung eines rotierenden Targets bzw= einer rotierenden Antikathode der Elektronenstrahl für eine bestimmte spezifische Zeitdauer in einer festgelegten Position bzw. Lage verharrt, wird auch eine nur geringe Vibration der Antikathode sich nachteilig auf das Röntgenstrahlbild, das auf einer Kathodenstrahlröhre oder dgl. aufgezeichnet ist, auswirken, wenn man eine Röntgenröhre verwendet, mit der eine kontinuierliche oder Brennfleckabtastung durchgeführt wird.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Röntgenstrahlröhre bzw. Röntgenstrahlquelle für kontinuierliche oder Lichtfleckabtastung zu zeigen, welche einen extrem starken Röntgenstrahl zu erzeugen vermag. Diese Aufgabe wird bei der Röntgenstrahlquelle der eingangs genannten

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Art erfindungsgemäß gelöst durch eine Fokussiereinrichtung und eine Ablenkeinrichtung zum Abtasten der Antikathode mittels des Elektronenstrahles durch fortlaufende bzw. kontinuierliche oder Brennfleckabtastung, einen Schaltkreis zum Anlegen von Ablenksignalen an die Ablenkeinrichtung, eine Empfangseinrichtung für Signale, die die Wände rgeschwindigke it der kontinuierlich oder in Brennfleckabtastung die Antikathode abtastenden Elektronenstrahls entsprechen, wobei der Betrag der Änderung der Abtastsignale pro Zeiteinheit empfangen wird und eine Steuereinrichtung zur Steuerung des Elektronenstrahles in Abhängigkeit von den empfangenen Signalen.

Bei der Erfindung tastet ein Elektronenstrahl kontinuierlich bzw. fortlaufend oder in Brennfleckabtastung die Antikathode der Röntgenstrahlröhre ab und die Wandergeschwindigkeit des Elektronenstrahles wird als elektrisches Signal erfaßt bzw. empfangen. Durch Verwendung dieses Signales als Steuersignal können der Elektronenstrahl oder die Kondensorlinsenströme oder die Ablenkspulenspannung gesteuert werden. Hierdurch wird eine Zerstörung der Antikathode vermieden.

Ein Vorteil der Erfindung ist daher noch darin zu sehen, daß eine Zerstörung der Antikathode bei der Bestrahlung mittels des Elektronenstrahles, der die Antikathode kontinuierlich oder in Brennfleckäbtastung abtastet, verhindert wird.

Bei der Röntgenstrahlröhre zur kontinuierlichen oder Brennfleckabtastung wird der Elektronenstrahl mittels Ablenkmittel abgelenkt, wodurch man eine kontinuierliche Abtastung oder eine Brennfleckabtastung über die Antikathode hin erzielen kann. Darüber hinaus ist es bei einer derartigen Röntgenröhre theoretisch möglich, den Elektronenstrahlstrom in Abhängigkeit vom Anwachsen der Abtastgeschwindigkeit zu

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steigern und hierdurch einen starken Röntgenstrahl zu erhalten. Hierbei ist jedoch in Erwägung zu ziehen, daß, wenn der Elektronenstrahlstrom erhöht ist, aus einigen Gründen die Wandergeschwindigkeit des Elektronenstrahls verringert wird oder der Elektronenstrahl zum völligen Stillstand kommt. Darüber hinaus kann die erzeugte Hitze so hoch werden, wenn der Elektronenstrahlstrom einen bestimmten Wert überschreitet, so daß diese Erhitzung ausreicht, um die Antikathode zu verdampfen. Um nun diese Nachteile zu überwinden, hat die Röntgenstrahlquelle zur kontinuierlichen oder Brennfleckabtastung gemäß der Erfindung Überwachungs- bzw. Empfangseinrichtungen, die die Abtastgeschwindigkeit des Elektronenstrahls, der kontinuierlich abtastet oder in Brennfleckäbtastung abtastet, erfaßt und der in Abhängigkeit von dieser Abtastgeschwindigkeit den Elektronenstrahl steuert. Die Abtastgeschwindigkeit erhält man durch Messung der Strecke, die der Elektronenstrahl in der Zeiteinheit über die Antikathode hin wandert. Diese Strecke entspricht der Amplitude des Ablenksignals, Die Wanderzeit des Elektronenstrahls kann man erhalten, wenn man die kontinuierliche Abtastsignalzeile oder bei der Brennfleckabtastung die Schrittzahl in Frequenzen ausdrückt und erfaßt bzw. empfängt. Wenn man demgemäß als Ergebnis das Produkt von Amplitude und Frequenz des Ablenksignales erhalten hat, wird die Wandergeschwindigkeit des Elektronenstrahles, der die Antikathode bestrahlt, erhalten. Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird daher das Ablenksignal an einen Amplitudendetektor und einen Frequenzdetektor gelegt,und die beiden verschiedenen Ausgangssignale von diesen Detektoren werden in einen Multiplizierer eingegeben, so daß man das Produkt der beiden Signale erhält. Es ist jedoch nicht unbedingt notwendig, sowohl die Amplitude als auch die Frequenz des Ablenksignales zu erfassen. Beispielsweise kann man durch Konstanthalten eines Parameters und Verändern des anderen Parameters und durch Erfassung nur des veränderten Parameters

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die Wandergeschwindigkeit des Elektronenstrahles auf der Antikathode ermitteln.

In den beiliegenden Figuren sind bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt. Die Erfindung soll anhand dieser Ausführungsbeispiele noch näher erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1 ein Blockschaltbild einer Ausführungsform der Erfindung und

Fig. 2 Blockschaltbilder weiterer Ausführungsbeispiele der Erfin-

bis 7 ,

dung.

In der Fig. 1 ist eine Röntgenstrahlquelle 1 mit einer Elektronenstrahlquelle versehen. Diese Elektronenstrahlquelle enthält einen Glühdraht und eine Wehnelt-Elektrode 3. Der erzeugte Elektronenstrahl wird mittels einer Anode 4 beschleunigt und von ersten und zweiten Kondensorlinsen 5 und 6 auf eine Antikathode 7 fokussiert, die den Röntgenstrahl erzeugt. Die Kondensor linsen werden von einer Erregerspannungsquelle 9 erregt, die von einer Steuereinrichtung 8 ein Steuersignal empfängt. Die Ablenkspulen 10 und 11 zur Ablenkung des Elektronenstrahles sind zwischen den Kondensor linsen 5 und 6 vorgesehen. Diese Ablenkspulen werden über einen Verstärker 12 von der Steuereinlieit 8 mit Ablenksignalen beaufschlagt. Durch Bestrahlung der Antikathode mittels des Elektronenstrahles wird ein Röntgenstrahl von der Antikathode ausgesendet, der durch eine Lochblende 14 und ein Austrittsfenster 13 austritt. Er dient zur Bestrahlung eines außerhalb angeordneten Objektes 15. Die Röntgenstrahlung, die durch das Objekt 15 hindurchgetreten ist, erreicht einen Röntgenstrahldetektor 16₇ beispielsweise einen Szintillationsdetektor. Dieser erfaßt bzw. empfängt die hindurchgegangene Röntgenstrahlung. In Abhängigkeit von dieser Strah-

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lung wird vom Detektor 16 ein Signal erzeugt, das nach Verstärkung durch den Verstärker 14 an eine Kathodenstrahlröhre 18 geliefert wird. An diese werden von der Steuereinheit 8 Ablenksignale gelegt.

Bei der vorbeschriebenen Ausführungsform ist der Elektronenstrahl, der von der einen Teil der Röntgenstrahlröhre 1 bildenden Elektronenstrahlquelle erzeugt ist, scharf auf die Antikathode 7 fokussiert. Diese Fokussierung erfolgt mittels der Kondensor lins en 5 und 6 und die Ablenkung erfolgt mittels der Ablenkspulen 10 und 11. Demgemäß wird der Elektronenstrahl abgelenkt und er tastet kontinuierlich oder in Brennfleckabtastung die Antikathode ab. Die Abtastung erfolgt in Abhängigkeit vom Ablenksignal, das an die Ablenkspulen gelegt wird. Demgemäß ändert sich in der Zeit die röntgenstrahlerzeugende Lage der Antikathode bzw. die röntgenstrahlerzeugende Position auf der Antikathode. Auch die Richtung der durch die Lochblende 14 projizierten Röntgenstrahlen ändert sich in Abhängigkeit von der Bestrahlungsstelle bzw. Bestrahlungsposition des Elektronenstrahles auf der Antikathode. Demgemäß wird das Objekt 15 kontinuierlich abgetastet oder mittels Brennfleckabtastung. Die Abtastung erfolgt durch die erzeugten Röntgenstrahlen. Auf der Kathodenstrahlröhre 18 wird ein Röntgenstrahldurchlässigkeitsbild entweder für die kontinuierliche Abtastung oder für die Brennfleckabtastung gezeigt.

Das Ablenksignal, das an die Ablenkspulen über den Verstärker 12 gelegt wird, wird auch an einen Amplitudendetektor 19 und einen Frequenzdetektor 20 gelegt. Die Ausgangssignale dieser Detektoren werden einem Multiplizierer 21 zugeführt, wo das Produkt dieser beiden Signale erhalten wird. Der Amplitudendetektor 19 erfaßt die Amplituden des Ablenksignals und der Frequenzdetektor 20 erfaßt die Schrittzahl bzw. Zeilenzahl des kontinuierlichen Abtastsignales bzw. die Brennf leckzahl

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des Brennfleckabtastsignales. Die Amplitude des Ablenksignales entspricht der Strecke, welche der Elektronenstrahl auf der Antikathode wandert bzw. zurücklegt und die Schrittzahl bzw. Brennfleckzahl bei der Brennfleckabtastung entspricht der Wanderungszeit des Elektronenstrahles über die Antikathode hin. Demgemäß entspricht das Produkt dieser beiden verschiedenen Signale der Durchschnittsgeschwindigkeit des Elektronenstrahles auf der Antikathode. Das dieser Geschwindigkeit entsprechende Signal wird an eine Vorspannungsquelle für die Elektronenkanone vom Multiplizierer 21 gelegt. Die Vorspannung wird zwischen den Glühdraht 2 und die Wehnelt-Elektrode 3 von der Vorspannungsquelle 22 gelegt. Diese Vorspannung ändert sich in Abhängigkeit von dem Signal, das vom Multiplizierer 21 geliefert wird. Hieraus ergibt sich, daß bei einer hohen Wanderungsgeschwindigkeit des Elektronenstrahles über die Antikathode 7 hin der Elektronenstrahlstrom anwächst und die Dichte des Elektronenstrahles ebenfalls sich erhöht. Hierdurch erhöht sich die Intensität des Röntgenstrahles, der von der Antikathode erzeugt wird. Wenn andererseits die Wanderungsgeschwindigkeit des Elektronenstrahles über die Antikathode hin sich verringert aufgrund des Ablenksignals, das von der Steuereinheit 8 an die Ablenkspulen 10 und 11 gelegt wird, wird die Vorspannung für die Elektronenquelle durch das vom Multiplizierer 21 an die Vorspannungsquelle 22 gelegte Signal vergrößert. Hierdurch nimmt die Dichte des Elektronenstrahles ab.

Bei dieser Ausführungsform ist es möglich, die Brennweite der Kondensorlinsen zu verändern, so daß der Brennfleckdurchmesser des Elektronenstrahles auf der Antikathode 7 gesteuert werden kann. Dies erfolgt entweder zur gleichen Zeit mit der Vorspannungssteuerung oder getrennt hiervon, indem das Ausgangssignal des Multiplizierers direkt an die Erreger Spannungsquelle 9 für die Kondensor linsen gelie-

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fert wird, wie das durch die strichlierte Linie in der Fig. 1 angedeutet ist.

Außerdem ist es möglich, das Ausgangssignal des Multiplizierers 21 zur Steuerung der Heiztemperatur des Glühdrahtes der Elektronenquelle zu verwenden.

Die Fig. 2 zeigt ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung, bei der die Elektronenstrahlemission gesperrt ist, wenn die Abtastgeschwindigkeit des Elektronenstrahles auf der Antikathode unter einen vorbestimmten Wert sinkt. Dies erzielt man durch einen Vergleicherschaltkreis 23, einen Standardsignalgenerator 24 und einen Steuersignalgenerator, beispielsweise einen Impulsgenerator 25. Das Ausgangssignal vom Multiplizierer 21 wird in den Vergleicherschaltkreis 23 zusammen mit dem Standardsignal vom Standardsignalgenerator 24 eingespeist und die beiden Signale werden miteinander verglichen. Falls die Intensität des vom Multiplizierer kommenden Signales unter die Intensität des Standardsignales sinkt, wird vom Impulsgenerator ein Impuls erzeugt. Dieser Impuls wird an die Vorspannungsquelle 22 für die Elektronenstrahlquelle gelegt, wodurch ein Anwachsen der Vorspannung zwischen dem Glühdraht 2 und der Wehnelt-Elektrode 3 erzielt wird. Hierdurch wird das Austreten von Elektronen aus der Elektronenstrahlquelle begrenzt bzw. abgeschaltet. Hieraus ergibt sich, daß selbst wenn ein Absinken der Abtastgeschwindigkeit des Elektronenstrahles auf der Antikathode in Erscheinung tritt, eine Zerstörung der Antikathode verhindert wird.

Ih den Fig. 3, 4 und 5 sind Abänderungen in dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 vorgenommen.

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In der Fig, 3 wird ein Signal vom Impulsgenerator 25 an eine Spannungsquelle 27 einer rasch ansprechenden, einen Luftkern aufweisenden bzw. einer elektrostatischen Hüfslinse 27 gelegt. Hierbei wird die Spannungsquelle 27 "eingeschaltet" und ein Strom bzw. eine Spannung wird an die Hilfslinse 26 gelegt. Hieraus ergibt sich, daß der Brennfleckdurchmesser des Elektronenstrahles, der die Antikathode bestrahlt, plötzlich vergrößert wird und die Elektronenstrahldichte demgemäß verringert wird.

In der Fig. 4 sind elektrostatische oder elektromagnetische Ablenkmittel 28 zwischen der Kondensor linse 6 und der Antikathode 7 angeordnet. Diese Ablenkmittel 28 sind mit der rasch abtastenden Spannungsquelle verbunden. Wenn ein Impuls vom Impulsgenerator 25 an die Spannungsquelle 29 gelegt wird, wird diese Spannungs quelle getriggert, wodurch ein rasch abtastendes Signal an die Ablenkmittel 28 gelegt wird. Wenn demgemäß aus irgendeinem Gi'und die Abtastgeschwindigkeit des die Antikathode abtastenden Elektronenstrahles bei der kontinuierlichen Abtastung oder bei der Brennfleckabtastung verringert wird oder wenn der Elektronenstrahl zum Stillstand kommt und lediglich einen Fleck auf der Oberfläche der Antikathode bestrahlt, werden die Ablenkmittel so betrieben, daß sie den Elektronenstrahl über die Oberfläche der Antikathode mit hoher Geschwindigkeit verschieben-bzw. auslenken. In vorteilhafter Weise wird hierbei der Elektronenstrahl so ausgelenkt, daß er einen Teil der Antikathodenoberfläche bestrahlt, die Röntgenstrahlen aussendet, welche das zu untersuchende Objekt nicht erreichen können.

In der Fig. 5 wirken die Ablenkmittel 28 so, daß sie den Elektronenstrahl bis zu einem solchen Grad ablenken, daß die Antikathode 7 nicht mehr bestrahlt wird. In diesem Fall legt die Spannungsquelle 30 eine

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konstante Gleichspannung an die Ablenkmittel, wobei die Spännungsquelle 30 durch einen Impuls vom Impulsgenerator 25 eingeschaltet wird. Des weiteren ist eine zweite oder Hilfsantikathode 31 vorgesehen, welche verhindert, daß die Innenwand der Röntgenstrahlröhre 1 durch das wiederholte Bombardement des Elektronenstrahles durchlöchert wird.

Die Fig. 6 zeigt eine abgeänderte Ausführungsform des Ausführungsbeispieles in der Fig. 1. Dieses Ausführungsbeispiel eignet sich bevorzugt bei der kontinuierlichen Abtastung durch den Elektronenstrahl. In dieser Figur ist eine Differenzierschaltung 32 mit dem Ausgang des Verstärkers 12 für das Ablenksignal verbunden. Er dient zur Erfassung der Änderung" ^geschwindigkeit des Ablenksignales. Das von dieser Differenzierschaltung gelieferte Signal wird an eine Steuereinheit 33 gelegt, so daß die Vorspannungsquelle 22 die Erregerspannungsquelle 9 und/oder die Glühdrahterhitzungsspannungsquelle gesteuert werden. Hierbei kann ein Differenzierverstärker einfacher Ausgestaltung in geeigneter Weise als Steuereinheit dienen.

Bei der Ausführungsform in der Fig. 7 ist lediglich ein Amplitudendetektor mit dem Ausgang des Verstärkers 12 verbunden. Darüber hinaus ist anstelle des Frequenzdetektors ein Signalgenerator 34 vorgesehen, der ein konstantes Signal liefert. Wenn im Betrieb ein kontinuierliches Abtastsignal oder ein Brennfleckabtastsignal auf der Grundlage eines genauen Taktgeberimpulses erzeugt wird, ist es nicht notwendig, die Anzahl der fortlaufend abgetasteten Zeilen oder die Anzahl der Brennfleckabtastungsschritte festzustellen. Insbesondere hat diese Ausführungsform den Vorteil, daß die Schaltung sehr einfach aufgebaut ist. Wenn die Amplitude des Ablenksignales genau.ist, ist es möglich, einen Signalgenerator, der ein konstantes Signal liefert, anstelle des Ampli-

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tudendetektors vorzusehen und den Frequenzdetektor mit dem Verstärker 12 zu verbinden.

Der Schaltungsaufwand kann weiterhin vereinfacht werden, indem man den Signalgenerator 34 und den Multiplizierer 21 fortläßt und die Ausgangssignale des Detektors 19 (oder des Detektors 20) regelt bzw. stabilisiert. Dies ist möglich, da die Intensität der Signale, welche vom Signalgenerator 34 geliefert werden, konstant ist.

Die Bauteile, welche im Zusammenhang mit den Ausführungsformen
in den Fig. 6 und 7 beschrieben worden sind, können ebenfalls bei den Ausführungsbeispielen in den Fig. 2 - 5 zur Anwendung kommen.

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Claims

-·**- 2364U2 Patentansprüche

1. J Röntge nstrahlque He mit einer Elektronenquelle und einer Antikathode, auf die der von der Elektronenquelle ausgesendete Elektronenstrahl gerichtet ist, gekennzeichnet durch eine Fokussiereinrichtung (5, 6) und eine Ablenkeinrichtung (10, 11) zur Abtastung der Antikathode (7) mittels des Elektronenstrahles durch fortlaufende bzw. kontinuierliche Abtastung oder Brennfleckabtastung, einen Schaltkreis zum Anlegen von Ablenksignalen an die Ablenkeinrichtung (10, 11), eine Empfangseinrichtung für Signale, die der Wändergeschwindigkeit des kontinuierlich oder in Brennfleckabtastung die Antikathode (7) abt astenden Elektronenstrahles entsprechen, wobei der Betrag der Änderung der Ablenksignale pro Zeiteinheit ermittelt wird und eine Steuereinrichtung zur Steuerung des Elektronenstrahles in Abhängigkeit von den empfangenen Signalen.

2. RöntgenstrahlqueHe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die .Steuereinrichtung zur Steuerung des Elektronenstrahles in Abhängigkeit von den der an der Geschwindigkeit des abtastenden Elektronenstrahles entsprechenden Signalen die Elektronenstrahlquelle so ansteuert, daß der Elektronenstrahlstrom vergrößert oder verringert wird.

3. Röntgenstrahlque lie nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung zur Steuerung des Elektronenstrahles in Abhängigkeit von den der Wandergeschwindigkeit des abtastenden Elektronenstrahles entsprechenden Signalen die Elektronenstrahlquelle so ansteuert, daß der Elektronenstrahlstrom auf null verringert wird.

4. Röntgenstrahlquelle nach Anspruch l_r dadurch gekennzeichnet.

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daß die Steuereinrichtung zur Steuerung des Elektronenstrahles in Abhängigkeit von den der Wandergeschwindigkeit des abtastenden Elektronenstrahles entsprechenden Signalen die Ablenkeinrichtung (10, 11) so" ansteuert, daß die Wändergeschwindigkeit erhöht wird.

5. RÖntgenstrahlquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung zur Steuerung des Elektronenstrahles in Abhängigkeit von den der Wandergeschwindigkeit des abtastenden Elektronenstrahles entsprechenden Signalen.die Ablenkeinrichtung (10, 11 bzw. 28) so ansteuert, daß der Elektronenstrahl aus dem Bereich der Antikathode (7) gelenkt wird (Fig. 5).

6. RÖntgenstrahlquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung zur Steuerung des Elektronenstrahles in Abhängigkeit von den der Wandergeschwindigkeit des abtastenden Elektronenstrahles entsprechenden Signalen die Fokus siebeinrichtung (5) so ansteuert, daß der Brennfleckdurchmesser des Elektronenstrahles auf der Antikathode (7) verändert wird,

7. RÖntgenstrahlquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung zur Steuerung des Elektronenstrahles in Abhängigkeit von den der Wandergeschwindigkeit des abtastenden Elektronenstrahles entsprechenden Signalen einen Frequenzdetektor (20) zur Ermittlung der Frequenz der Abtastsignale sowie einen Amplitudendetektor (19) für diese Abtastsignale aufweist und des weiteren einen Multiplizierer (21) zur Bildung des Produktes aus den Ausgangssignalen des Frequenz- und Amplitudendetektors.

8. RÖntgenstrahlquelle nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,

daß entweder der Frequenzdetektor (20) oder der Amplitudendetektor (19)

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durch eine Schaltung ersetzt ist, welche konstante Signale liefert.

9. Röntgenstrahlquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Ermittlung der der Wanderungsgeschwindigkeit des abtastenden Elektronenstrahles entsprechenden Signale eine Differenzierschaltung (32) ist.

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