EP1760760A3 - Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgen- oder XUV-Strahlung - Google Patents

Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgen- oder XUV-Strahlung Download PDF

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EP1760760A3 EP06016388A EP06016388A EP1760760A3 EP 1760760 A3 EP1760760 A3 EP 1760760A3 EP 06016388 A EP06016388 A EP 06016388A EP 06016388 A EP06016388 A EP 06016388A EP 1760760 A3 EP1760760 A3 EP 1760760A3
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Abstract

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung 2 zur Erzeugung von Röntgen- oder XUV-Strahlung weist Mittel zum Richten eines Teilchenstrahles 12 elektrisch geladener Teilchen auf ein Target 16 auf. Erfindungsgemäß sind Ablenkmittel zum Ablenken des Teilchenstrahles 12 derart, daß die Zentralachse 18 des Teilchenstrahles 12 durch einen ersten Ablenkpunkt 20 und einen zu dem ersten Ablenkpunkt 20 in Strahlrichtung beabstandeten zweiten Ablenkpunkt 22 verläuft, wobei der erste und der zweite Ablenkpunkt 20, 22 in Achse mit einem vorgebenen oder vorgebbaren Auftreffpunkt 24 des Teilchenstrahles 12 auf dem Target 16 liegen und wobei der Teilchenstrahl durch die Ablenkmittel in Strahlrichtung im Bereich eines Ablenkpunktes 20, 22 unabhängig von einer Ablenkung des Teilchenstrahles 12 im Bereich des anderen Ablenkpunktes 22, 20 ablenkbar ist.
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