JP2003344596A - X線管の光軸合わせ方法 - Google Patents
X線管の光軸合わせ方法Info
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Abstract
の光軸合わせを確実に行う。 【解決手段】 アライメントコイルによる電子ビームの
調整を、単純偏向機能、チルト機能及びピボット機能を
逐次に又は組み合わせて段階的に行う。初期状態で
は、電子ビーム(破線で示されている)はレンズ中心と
異なる位置に入射している。まず、アライメントコイ
ルを用いて、電子ビームがレンズ中心に入射するように
調整する。その後、レンズ中心をピボット点としてビ
ーム角度をふり、電子ビームが光軸と一致するように調
整する。
Description
て内部構造などを観察するのに使用するX線管に関し、
特に微小なサイズのX線ビームを発生することのできる
X線管に関するものである。
電子ビームパターンを観察する手段がなく、電子光学系
の光軸合わせは主にX線撮像装置(I.I.)等のX線
検出器で測定されるX線量をもとに実行される。この方
法では、電子ビームがX線管の内部をどのような軌道を
描いてレンズへ入射しターゲットへ最終的に到達してい
るかを把握することが困難である。そのために、電子光
学系の光軸合わせを適切に行うことも困難であった。
完全な場合、電子レンズのレンズパワーを変化させる
と、電子レンズで縮小結象された焦点(電子ビームスポ
ット)位置が移動してしまい、場合によっては電子ビー
ムが全くターゲットへ到達しなくなるという不具合が生
じる。
2段又はそれ以上の電子レンズで電子ビームを縮小結像
する装置では、電子レンズの個数と同じだけの光軸が存
在し、電子ビームがすべての光軸に対して一致するよう
に調整する必要がある。複数の電子レンズを装備するX
線管では、不完全な光軸調整による電子ビームずれの挙
動は複雑となり、X線装置の性能を劣化させてしまう。
したがって、複数の光軸に対して確実に光軸合わせを行
うことが必要となるが、電子ビーム軌道を把握できない
従来方法では、調整が非常に困難となる。
軸合わせは、電子顕微鏡の分野で開発されてきた。電子
顕微鏡では、蛍光板や撮像管を用いて電子ビームパター
ンを直接観察しながら軸調整が行える。ところが、X線
管では一般的に、電子ビームを直接観察する手段がない
ために、電子光学系の光軸合わせの感覚をつかみにく
い。特に電子レンズが2つ又はそれ以上になると、調整
作業は非常に困難となる。
常、標準でX線管が備えているX線撮像装置でX線透視
像又はX線強度を測定しながら、電子ビームの軌道を偏
向するためのアライメントコイルを適切に制御し、2段
以上の磁場型電子レンズを備えるX線管の光軸合わせを
確実に行うことを目的とするものである。
銃からの電子ビームが照射されてX線を発生するターゲ
ットとの間に配置されて電子ビームを縮小結像させる2
段以上の電子レンズと、電子銃と1段目の電子レンズ及
び電子レンズ間にそれぞれ配置されて電子ビーム軌道を
偏向できるアライメントコイルとを備えたX線管を対象
とし、ターゲットの背後にX線撮像装置を配置してその
X線撮像装置によりターゲットに到達する電子ビームを
検知しながらアライメントコイルを用いて電子ビームの
軌道を調整する光軸合わせ方法において、アライメント
コイルによる電子ビームの調整は、アライメントコイル
に入射した電子ビームを曲げて、その射出角度を変える
単純偏向機能と、光源から任意の角度で放出されている
電子ビームを光軸上にもどすチルト機能と、ある固定点
を中心にして電子ビームの入射角度を任意にふるピボッ
ト機能とを逐次に又は組み合わせて段階的に行うことを
特徴とするものである。
イメントコイルを電子銃と1段目の電子レンズ及び電子
レンズ間にそれぞれ2段づつ備えたものであり、かつ各
電子レンズのギャップ部分に絞りを備えて電子ビームの
通過範囲を制限しているものである。
きる。その場合、このX線管はレンズ励磁電流を変調す
る装置を備え、電子レンズに供給する励磁電流を変調す
ることにより観察されるX線透視像の振動を観測し、光
軸と電子ビームの一致度を評価しながら、アライメント
コイルを調整して電子光学系の光軸合わせを行う工程を
さらに備えていることが好ましい。
イルを用いて、電子ビームが電子レンズ中心に入射する
ように調整し、その後、レンズ中心をピボット点として
電子ビームの角度をふり、電子ビームがその電子レンズ
の光軸と一致するように調整することが好ましい。
は、電子銃から放出された電子ビームがどのような軌道
をたどってターゲットへ到達しているかを把握すること
は困難であり、光軸調整が複雑となる。本発明に示す単
純偏向機能、チルト機能及びピボット機能を逐次に又は
組み合わせて段階的に行う手順に従って電子ビーム軌道
をアライメントコイルで偏向し調整を行うことで、X線
管内の電ビームの軌道を把握でき、複雑な光軸合わせ作
業を確実に行うことができる。
カスX線管の光学系概念図を示す。LaB6を陰極とす
る電子銃Gunから放出された電子ビームを、アライメン
トコイルCoil1,Coil2とCoil3,Coil4を用いて軌道
を変え、二つの電子レンズLens1,2の光軸に入射させ
る。以下、アライメントコイルCoil1等を単に「コイル
1」等といい、電子レンズLens1等を単に「レンズ1」
等という。アライメントコイルは、電子銃とレンズ1の
間、及びレンズ1とレンズ2の間にそれぞれ2段づつ配
置されている。レンズ1、レンズ2では、それぞれのギ
ャップ部分に、絞り(Aperture)1、絞り2がそれぞれ
配置され、電子ビームの通過範囲を制限している。
ムをY方向へ偏向するアライメントコイルが4つ(コイ
ル1〜コイル4)配置されており、図には表れていない
が、Y−Z平面にも同様にX偏向用のアライメントコイ
ルが4つ配置されている。図で破線で示されているのは
光軸であり、光軸合わせのことをアライメントと呼ぶ。
される3つである。アライメントコイルを単独で使用す
ると、電子ビームを1方向へ偏向できる(単純偏向)。
また、アライメントコイルを2段連動動作させることで
チルト(Tilt)機能とピボット(Pivot)機能を実現で
きる。
左側図):アライメントコイルに入射した電子ビームを
曲げて、その射出角度を変える機能である。
図):光源から任意の角度で放出されている電子ビーム
を、光軸上にもどす機能である。コイル1とコイル2を
連動させてチルト機能を実現するには、コイル1とコイ
ル2に1+L0/L1:L0/L1の比でコイル電流を流せ
ばよい。
図):ある固定点(ピボット点)を中心にして電子ビー
ムの入射角度を任意にふる機能である。コイル1とコイ
ル2を連動させてピボット機能を実現するには、コイル
1とコイル2に1:1+L1/L2の比で電流を流せばよ
い。
スX線管では、次の5つのアライメントコイル機能を用
いて光軸合わせを行う。 機能1:コイル1−2連動チルト機能 機能2:コイル1−2連動ピボット機能 機能3:コイル4−単純偏向機能 機能4: (コイル1−2連動ピボット機能)+(回転補正用コイル
3−単純偏向機能)機能5:コイル3−4連動ピボット
機能
ット機能)+(回転補正用コイル3−単純偏向機能)は回
転補正付きコイル1−2連動ピボット機能とも称す。こ
の機能を図3を参照して説明する。
ビームがレンズ1へ入射する角度を変えると、レンズ2
での絞り2への入射位置も変わる。図3の左側の図に示
したように、コイル1−2連動ピボット機能でx方向角
度をδ変化させると、絞り2の面上で(Rcosφ,Rsin
φ)だけビームずれが生じる。ここで、R=(L0+
L1)tanδである。回転角φは、レンズ1が磁気レンズ
であるために物側と像側のx−y座標系が回転すること
に起因する。
なうビームの位置ずれは、コイル3による単純偏向機能
を用いてキャンセルできる。本装置では、図3の右側図
に示すように、コイル1−2連動ピボット機能に連動さ
せてコイル3−単純偏向機能を付加し、回転補正付きコ
イル1−2連動ピボット機能を実現している。すなわ
ち、コイル1−2連動ピボット機能でx方向にδふった
場合、レンズ1での回転作用を考慮すると、コイル3面
上では(rcosφ,rsinφ)の位置にビームがずれる。
このビームをコイル3による単純偏向機能でレンズ2で
の絞り2の中心にもどす。
動ピボット機能により任意のピボット角δに対して適切
な補正が行える。
原理を説明する。図4はアライメントの概念を順に示し
たものである。ここでは、絞り中心とレンズ中心が一致
しているとする。) 初期状態では、電子ビーム(実線で示されている)は
レンズ中心と異なる位置に入射している。 まず、アライメントコイルを用いて、電子ビームがレ
ンズ中心に入射するように調整する。 その後、レンズ中心をピボット点としてビーム角度を
ふり、電子ビームが光軸と一致するように調整する。
はまずレンズ1に入射する。アライメントは、初めにレ
ンズ1の光軸に電子ビームを合わせ、その後レンズ2の
光軸に電子ビームを合わせる。レンズ1に対するアライ
メント時は、レンズ2はオフにする。その後2つレンズ
1とレンズ2を連動動作させ、電子ビームをターゲット
にフォーカスさせた状態でアライメント調整を行う。
らアライメントの原理について説明する。自動アライメ
ントの場合も、同様の処理を行う。
を入射させる。具体的には次のように行う。 次のようにして、電子ビームが絞り1の中心付近を通
過するように調整する。絞り1としては、図5の左側の
図に示されるように、中央に電子ビームを通す本来の開
口が設けられており、その周囲のX,−X,Y,−Y方
向に4つの開口が内側を向くように設けられたものを使
用する。レンズ1、レンズ2ともにオフ状態のとき、電
子ビームは、レンズ1の絞り1へ入射する。コイル1−
2連動チルト機能を用いて電子ビームを絞り1上でスキ
ャンすると、図5右側の図に示すように、絞り1の4つ
の開口の内壁に電子ビームがあたってX線が発生し、X
線管正面に設置してあるX線撮像装置でX線画像を観測
すると、図5中央の図のように、絞り1の中央開口の周
辺にある4つの開口が輝点として確認できる。輝点Pn
(n=1,2,3,4)に対するコイル1−2連動チル
ト機能のアライメント量を(TXn,TYn)とすると、
アライメント量((TX1+TX2)/2,(TY3+T
Y4)/2)の電流をコイル1−2連動チルト機能のコ
イル1とコイル2へ与えると、絞り1の中央開口の中心
付近にビームを通すことができる。
へ到達するように調整する。そのために、図6の左側図
に示されるように調整で定まった絞り1通過点をピボ
ット点とし、コイル1−2連動ピボット機能を用いて、
図6の右側図に示されるように電子ビームが効率よく絞
り2を通過するように、すなわち、X線撮像装置で検出
されるX線量が最大となるように、コイル1−2連動ピ
ボット機能を調節する。
1中心)を通過するように調整する。そのために、ここ
でレンズ1をオンにし、電子ビームをターゲット面に結
像させる。図7左側図に示されるように、この時点では
電子ビームが光軸に一致していないため、レンズ1を励
磁するにつれて電子ビームはずれていく。ずれ量が大き
くなると電子ビームは絞り2を通過できなくなる。
図に示されるように、コイル4−単純偏向機能を用いて
ビームが絞り2を通過できるように調整する。レンズ1
により電子ビームがターゲット上に結像できたら、コイ
ル4−単純偏向機能で電子ビームをふり、ビーム中心が
絞り2の中央を通過するように調整する。
ル1−2連動チルト機能を用い、X線撮像装置で検出さ
れるX線量が最大となるように調整する。この調整によ
り、電子ビームが絞り1の中心を通過するようになる。
せる。これまでの作業で、電子ビームが絞り1の中心を
通過した状態になっている(図4の状態) 次に、電子ビームと絞り1面の交点をピボット点とし
て、ビーム角度をふり、中心ビームを光軸に一致させる
(図4の状態)。光軸とビームが一致したかどうかを
判断するために、レンズ1の励磁電流を結像(focus)
状態から±数%〜10%変調(レンズ1ウォブリングと
いう)しX線画像を観察する。光軸とビームが一致して
いない場合、観察されるパターンが回転移動する。光軸
とビームが一致すると、パターンの回転移動はなくなり
デフォーカスに起因するパター−ンの振動が観察される
ようになる。上記のピボット操作のために図3で説明し
た回転補正付きコイル1−2連動ピボット機能を用い
る。以上の(1)と(2)の操作により、レンズ1の光
軸に電子ビームを合わせることができる。
ズ2を(必要に応じてレンズ1も)励磁し、電子ビーム
をターゲットに結像させる。コイル4−単純偏向機能を
用いて、電子ビームを絞り2の中心に入射させ、レンズ
2ウォブリングを行い、X線画像を観察しながらコイル
3−4連動ピボット機能でビームをレンズ2の光軸に合
わせる。調整の仕方はレンズ1と同様である。
圧(管電圧)に対して行う。アライメント後、加速電圧
を変化させた場合には、それに合わせてアライメントコ
イル電流及びレンズ電流を調整することにより、アライ
メント及び結像状態を原理的には維持できる。具体的に
は、加速電圧がN倍になったとき、アライメントコイル
電流、レンズ電流をそれぞれN1/2倍にすることで、電
子ビームの軌道を加速電圧によらず一定にすることがで
きる。この調整を行う場合、相対論補正を考慮したファ
クタをアライメントコイル電流及びレンズ電流に用いる
ことで、より精度の高い補正を行うことができる。
を行うことで、2段以上の電子レンズからなるX線管の
光軸合わせが確実に行える。また、調整の指針が明確で
あることから、調整者の高度な技能を必要しないため、
効率よく調整作業が行える。特に、各手順をソフトウェ
アにより制御することで、光軸合わせの自動化も可能で
ある。
B6−マイクロフォーカスX線管の光学系の概念図を示
す概略断面図である。
図である。
示す概略断面図である。
ある。
斜視図と断面図、右側の図はX線発生状態を示す概略正
面図、中央の図はX線撮像装置によるX線画像を示す図
である。
うに調整する工程を示す概略断面図である。
工程を示す概略断面図である。
整する工程を示す概略断面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 電子銃と、電子銃からの電子ビームが照
射されてX線を発生するターゲットと、電子銃とターゲ
ットとの間に配置されて電子ビームを縮小結像させる2
段以上の電子レンズと、電子銃と1段目の電子レンズ及
び電子レンズ間にそれぞれ配置されて電子ビーム軌道を
偏向できるアライメントコイルとを備えたX線管で、タ
ーゲットの背後にX線撮像装置を配置し、そのX線撮像
装置によりターゲットに到達する電子ビームを検知しな
がらアライメントコイルを用いて電子ビームの軌道を調
整する光軸合わせ方法において、 前記アライメントコイルによる電子ビームの調整は、ア
ライメントコイルに入射した電子ビームを曲げてその射
出角度を変える単純偏向機能と、光源から任意の角度で
放出されている電子ビームを光軸上にもどすチルト機能
と、ある固定点を中心にして電子ビームの入射角度を任
意にふるピボット機能とを逐次に又は組み合わせて段階
的に行うことを特徴とする光軸合わせ方法。 - 【請求項2】 前記X線管は、前記アライメントコイル
を前記電子銃と1段目の前記電子レンズ、及び前記電子
レンズ間にそれぞれ2段づつ備えたものであり、かつ前
記各電子レンズのギャップ部分に絞りを備えて電子ビー
ムの通過範囲を制限しているものである請求項1に記載
の光軸合わせ方法。 - 【請求項3】 前記電子レンズは磁場型であり、前記X
線管はレンズ励磁電流を変調する装置を備えたものであ
り、 前記電子レンズに供給する励磁電流を変調することによ
り観察されるX線透視像の振動を観測し、光軸と電子ビ
ームの一致度を評価しながら、前記アライメントコイル
を調整して電子光学系の光軸合わせを行う工程をさらに
備えている請求項1又は2に記載の光軸合わせ方法。 - 【請求項4】 前記各電子レンズにおいては、前記アラ
イメントコイルを用いて、電子ビームが電子レンズ中心
に入射するように調整し、その後、レンズ中心をピボッ
ト点として電子ビームの角度をふり、電子ビームがその
電子レンズの光軸と一致するように調整する請求項1か
ら3のいずれかに記載の光軸合わせ方法。
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2002
- 2002-05-30 JP JP2002157010A patent/JP4158419B2/ja not_active Expired - Fee Related
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