JP2003344596A5 - Ｘ線管とその光軸合わせ方法 - Google Patents

Description

【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のＸ線管は、電子銃と電子銃からの電子ビームが照射されてＸ線を発生するターゲットとの間に配置されて電子ビームを縮小結像させる２段以上の電子レンズと、電子銃と１段目の電子レンズの間、及び電子レンズ間にそれぞれ配置されて電子ビーム軌道を偏向できるアライメントコイルとを備えたものである。
本発明の光軸合わせ方法は、そのようなＸ線管を対象とし、ターゲットの背後にＸ線撮像装置を配置してそのＸ線撮像装置によりターゲットに到達する電子ビームを検知しながらアライメントコイルを用いて電子ビームの軌道を調整する光軸合わせ方法であって、アライメントコイルによる電子ビームの調整は、アライメントコイルに入射した電子ビームを曲げて、その射出角度を変える単純偏向機能と、光源から任意の角度で放出されている電子ビームを光軸上にもどすチルト機能と、ある固定点を中心にして電子ビームの入射角度を任意にふるピボット機能とを逐次に又は組み合わせて段階的に行うことを特徴とするものである。

図１で、電子銃から放出された電子ビームはまずレンズ１に入射する。アライメントは、初めにレンズ１の光軸に電子ビームを合わせ、その後レンズ２の光軸に電子ビームを合わせる。レンズ１に対するアライメント時は、レンズ２はオフにする。その後２つのレンズ１とレンズ２を連動動作させ、電子ビームをターゲットにフォーカスさせた状態でアライメント調整を行う。

Claims (8)

1. 電子銃と、
   前記電子銃からの電子ビームが照射されてＸ線を発生するターゲットと、
   前記電子銃とターゲットとの間に配置されて電子ビームを縮小結像させる２段以上の電子レンズと、
   前記電子銃と１段目の電子レンズとの間、及び電子レンズ間にそれぞれ２段づつ配置されて電子ビーム軌道を偏向できるアライメントコイルと、
   を備えたことを特徴とするマイクロフォーカスＸ線管。
2. 前記各電子レンズのギャップ部分に絞りを備えて電子ビームの通過範囲を制限している請求項１に記載のマイクロフォーカスＸ線管。
3. 前記電子レンズは磁場型であり、前記Ｘ線管はレンズ励磁電流を変調する装置を備えたものである請求項１又は２に記載のマイクロフォーカスＸ線管。
4. 前記各電子レンズにおいて前記アライメントコイルにより電子ビームが電子レンズの光軸と一致するように調整された電子光学系を備えている請求項１から３のいずれかに記載のマイクロフォーカスＸ線管。
5. 電子銃と、電子銃からの電子ビームが照射されてＸ線を発生するターゲットと、電子銃とターゲットとの間に配置されて電子ビームを縮小結像させる２段以上の電子レンズと、電子銃と１段目の電子レンズの間及び電子レンズ間にそれぞれ配置されて電子ビーム軌道を偏向できるアライメントコイルとを備えたＸ線管を対象とし、
   ターゲットの背後にＸ線撮像装置を配置し、そのＸ線撮像装置によりターゲットに到達する電子ビームを検知しながらアライメントコイルを用いて電子ビームの軌道を調整する光軸合わせ方法であって、
   前記アライメントコイルによる電子ビームの調整は、アライメントコイルに入射した電子ビームを曲げてその射出角度を変える単純偏向機能と、光源から任意の角度で放出されている電子ビームを光軸上にもどすチルト機能と、ある固定点を中心にして電子ビームの入射角度を任意にふるピボット機能とを逐次に又は組み合わせて段階的に行うことを特徴とする光軸合わせ方法。
6. 前記Ｘ線管は、前記アライメントコイルを前記電子銃と１段目の前記電子レンズ、及び前記電子レンズ間にそれぞれ２段づつ備えたものであり、かつ前記各電子レンズのギャップ部分に絞りを備えて電子ビームの通過範囲を制限しているものである請求項５に記載の光軸合わせ方法。
7. 前記電子レンズは磁場型であり、前記Ｘ線管はレンズ励磁電流を変調する装置を備えたものであり、
   前記電子レンズに供給する励磁電流を変調することにより観察されるＸ線透視像の振動を観測し、光軸と電子ビームの一致度を評価しながら、前記アライメントコイルを調整して電子光学系の光軸合わせを行う工程をさらに備えている請求項５又は６に記載の光軸合わせ方法。
8. 前記各電子レンズにおいては、前記アライメントコイルを用いて、電子ビームが電子レンズ中心に入射するように調整し、その後、レンズ中心をピボット点として電子ビームの角度をふり、電子ビームがその電子レンズの光軸と一致するように調整する請求項５から７のいずれかに記載の光軸合わせ方法。