JPS5832347A - 透過型電子顕微鏡 - Google Patents
透過型電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5832347A JPS5832347A JP13061781A JP13061781A JPS5832347A JP S5832347 A JPS5832347 A JP S5832347A JP 13061781 A JP13061781 A JP 13061781A JP 13061781 A JP13061781 A JP 13061781A JP S5832347 A JPS5832347 A JP S5832347A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- analyzer
- electron beam
- lens
- electron
- switch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はオメガ型電子線エネルギーアナライザーを備え
た透過型電子顕微鏡に関する。
た透過型電子顕微鏡に関する。
近時、電子線のエネルギー分散Ｍ路がΩ（オメガ）状を
して−るオメガ型電子纏エネルギーアナライず−が透過
型電子顕微鏡１ζ装着され、エネルギーフィルターされ
た透過電子縮重ζ基づく像を得るために使用されている
。このオメガ型電子線アナライザーは分散能が大きい長
所を有するが、アナライブ−の電子線入射方向と出射方
向とが一直線上に位置するような構造となっているため
、オメガ型電子線アナライｆ−を備えた従来の透過型電
子顕微鏡■ζおいては、得ようとする像をアナライブ−
によってエネルギーフィルターされた電子＠＋Ｃ基づく
透過像とアナライブ−を経ない電子線１ζ基づく通常の
透過像との間で切り換える一ζは、アナライザーを機械
的−ζ移動又は回転させ一光軸上−ζ配置したり、光軸
から外したりしていた。このような機械的な移動又は回
転は大気側からの機械的操作によって行なわれるため真
空シール上でトラブルを起こし易（、又、アナライザー
を光軸上に配電させる際の位置の再現性が不充分のため
、良質な透過像が得られ′Ｉｋ％／％場合があ塾、更に
は上記切換えを迅速ｄζ行うことができなかった。
して−るオメガ型電子纏エネルギーアナライず−が透過
型電子顕微鏡１ζ装着され、エネルギーフィルターされ
た透過電子縮重ζ基づく像を得るために使用されている
。このオメガ型電子線アナライザーは分散能が大きい長
所を有するが、アナライブ−の電子線入射方向と出射方
向とが一直線上に位置するような構造となっているため
、オメガ型電子線アナライｆ−を備えた従来の透過型電
子顕微鏡■ζおいては、得ようとする像をアナライブ−
によってエネルギーフィルターされた電子＠＋Ｃ基づく
透過像とアナライブ−を経ない電子線１ζ基づく通常の
透過像との間で切り換える一ζは、アナライザーを機械
的−ζ移動又は回転させ一光軸上−ζ配置したり、光軸
から外したりしていた。このような機械的な移動又は回
転は大気側からの機械的操作によって行なわれるため真
空シール上でトラブルを起こし易（、又、アナライザー
を光軸上に配電させる際の位置の再現性が不充分のため
、良質な透過像が得られ′Ｉｋ％／％場合があ塾、更に
は上記切換えを迅速ｄζ行うことができなかった。
本発明はこのような従来装置の欠点を解決し、真空トラ
ブルがなく、常に良質の儂が得られ、通常の透過像とエ
ネルギーフィルターされた電子線に基づく透過像との間
で得ようとする透過像を切静換える晶こ際して、その切
り換えｔ迅速に行い得る透過型電子顕微鏡を提供すると
とｔ目的とするもので、オメガ型電子線アナライブ−を
その電子線入射端と出射端が光軸上に位置するように固
定し、形成されろ透過像をオメガ型電子線アナライザー
によって選択されｔ電子！１１ご基づくものと、該アナ
ライザーを介さ＆い電子線に基づくものとの間で切艶損
えるにあたって該励磁電源のオンオフを行うと＃ニ、該
アナライザーの入射側と出射側の各ｋにアライメント用
の電子線−向手段を配置し、前記励磁電源のオンオフに
伴ってこれらｌ向中段の各偏向量が切り換えられるよう
に構成したことを特徴として−る。
ブルがなく、常に良質の儂が得られ、通常の透過像とエ
ネルギーフィルターされた電子線に基づく透過像との間
で得ようとする透過像を切静換える晶こ際して、その切
り換えｔ迅速に行い得る透過型電子顕微鏡を提供すると
とｔ目的とするもので、オメガ型電子線アナライブ−を
その電子線入射端と出射端が光軸上に位置するように固
定し、形成されろ透過像をオメガ型電子線アナライザー
によって選択されｔ電子！１１ご基づくものと、該アナ
ライザーを介さ＆い電子線に基づくものとの間で切艶損
えるにあたって該励磁電源のオンオフを行うと＃ニ、該
アナライザーの入射側と出射側の各ｋにアライメント用
の電子線−向手段を配置し、前記励磁電源のオンオフに
伴ってこれらｌ向中段の各偏向量が切り換えられるよう
に構成したことを特徴として−る。
以下、図面ＩＣ基づき本発明の実施例を詳述する。
本発明の一実紬ｆＩｌｔ−示す＄１１Ｅ１１１Ｃおいて
、１は電子銃、２．６は各々ｔｓ１段及び６ｇ段の収束
レンズ、４はこれら収束レンズ２．３４ζよって収束さ
れた電子線が照射される試料、５は対物レンズ、６はオ
メガ型電子線アナライザ−７が動作しない際６【対物し
ｙズ５４仁よって結像された電子線を収束して中間レン
ズ８臘【導くと興にオメガ型電子線アナライザー７が動
作する際−ζは対訓レンズ５を経た電子ｓｉｔオメガ型
電予電子線アナライブの入射端に収束して入射せしめ５
役割をするレンズでｈｂ、従ってレンズ６−ζは切り換
えスイッチ９の切り換えＩＣ工って電源２６より上記２
通りのレンズ状態に対応して予め設定された電流が供給
される。オメガ塁電子線了ナライｆ−７はその電子線入
射端と電子線出射端が光軸１０上に位置するように固定
して取り付けられて―る。第２図は十メガ型電子線アラ
ナイザ−７を拡大して示したもので、このアナライザー
は銅等の非磁性材料で形成された管１１ｍ、１１ｂ′、
ｌｌａを有しテール。
、１は電子銃、２．６は各々ｔｓ１段及び６ｇ段の収束
レンズ、４はこれら収束レンズ２．３４ζよって収束さ
れた電子線が照射される試料、５は対物レンズ、６はオ
メガ型電子線アナライザ−７が動作しない際６【対物し
ｙズ５４仁よって結像された電子線を収束して中間レン
ズ８臘【導くと興にオメガ型電子線アナライザー７が動
作する際−ζは対訓レンズ５を経た電子ｓｉｔオメガ型
電予電子線アナライブの入射端に収束して入射せしめ５
役割をするレンズでｈｂ、従ってレンズ６−ζは切り換
えスイッチ９の切り換えＩＣ工って電源２６より上記２
通りのレンズ状態に対応して予め設定された電流が供給
される。オメガ塁電子線了ナライｆ−７はその電子線入
射端と電子線出射端が光軸１０上に位置するように固定
して取り付けられて―る。第２図は十メガ型電子線アラ
ナイザ−７を拡大して示したもので、このアナライザー
は銅等の非磁性材料で形成された管１１ｍ、１１ｂ′、
ｌｌａを有しテール。
これら両管は連通されている。１１Ｃはこれら両管を真
空ポンプに接続するための管である。管１１１の上端は
Ｏリング１２によって真空シールされて対物レンズ側の
ライナーチューブ（図示セス）に接続されており、管１
１−の下端はＯリング１５によって真空シールされ、中
間レンズ側のライナーチューブ（図示せず）−ζ接続さ
れて−る。略覇形の一対のａ極１４が紙面と平行ｉ【管
１１ ｂｔ挾むよう１ζして取り付けられτ−る。磁極
１５は磁［ｉ１４と同機の一対の磁極である。ドーナツ
状の一部を成す如き一対の磁極１６も管１１ｍ）を挾ん
で取りつけられて−る。（但し［有］面には対の一方の
みが示されている。）磁極１４と１５１その励磁コイル
に励磁電流を供給して磁化すると、これら両磁極間Ｈ−
ζは第８図にか−で紙面の裏側から表側φζ向う紙面に
喬直な磁場Ｈａが発生し、又−附のａ極１６易ζＸＤ紙
面の表側から裏側５ζ向う磁場Ｈｂが発生する。従って
アナライザ−７＋ｃ励磁電流が供給されていると光軸１
Ｇに沿って飛行して来た電子線は軌道を曲げられて管１
１ｋ１４Ｃｆ８って飛行し、その間ｄζ電子線はエネル
ギーに応じて１ 分散される。上述し斥磁極１４と１６
．ｔｓと１６は非磁性材料で形成されたスペーサー１７
．１８を介して一体的６ζ接続されており、ｆｌｌｌｉ
のわずか。
空ポンプに接続するための管である。管１１１の上端は
Ｏリング１２によって真空シールされて対物レンズ側の
ライナーチューブ（図示セス）に接続されており、管１
１−の下端はＯリング１５によって真空シールされ、中
間レンズ側のライナーチューブ（図示せず）−ζ接続さ
れて−る。略覇形の一対のａ極１４が紙面と平行ｉ【管
１１ ｂｔ挾むよう１ζして取り付けられτ−る。磁極
１５は磁［ｉ１４と同機の一対の磁極である。ドーナツ
状の一部を成す如き一対の磁極１６も管１１ｍ）を挾ん
で取りつけられて−る。（但し［有］面には対の一方の
みが示されている。）磁極１４と１５１その励磁コイル
に励磁電流を供給して磁化すると、これら両磁極間Ｈ−
ζは第８図にか−で紙面の裏側から表側φζ向う紙面に
喬直な磁場Ｈａが発生し、又−附のａ極１６易ζＸＤ紙
面の表側から裏側５ζ向う磁場Ｈｂが発生する。従って
アナライザ−７＋ｃ励磁電流が供給されていると光軸１
Ｇに沿って飛行して来た電子線は軌道を曲げられて管１
１ｋ１４Ｃｆ８って飛行し、その間ｄζ電子線はエネル
ギーに応じて１ 分散される。上述し斥磁極１４と１６
．ｔｓと１６は非磁性材料で形成されたスペーサー１７
．１８を介して一体的６ζ接続されており、ｆｌｌｌｉ
のわずか。
表位置ずれも生じないようになってい為、尚、１９．２
０．２１は各々磁極１４．１５．１６のヨークを表わし
て−る。第１図ｉζ示すようＩ【丁ナライブ−７の電子
線入射側層ζはアライメント用の２段偏向コイル２２．
２５が配置されており、又アナライブ−７の出射側１仁
もアライメント用の２段偏向コイル２４．２５が備えら
ｎ′ｃ−る。これらフィル２２．２６＋仁は各々電源２
７．２８より切り換えスイッチ３２，５３１介して励磁
電流が供給サレるｍ Ｆ’Ｓ Ｉｎ ｓｃコイル２４に
は切９換えスイッチ５４ｔ−介して電源２９よりの励磁
電流が供給される。又コイル２５には加算回路６８より
の励磁電流が供給される。加算回路３８はスイッチ３７
がオンの時感ζ走査信号発生回路６９より供給される鋸
歯状の走査信号と励磁電源６０よりのアライメント用励
磁電流を加算するもので、スイッチ、５７がオフの時は
、コイル２５にはアライメント用の励磁電流のみが供給
される。５１は鋳紀アナライブ−の電源であり、スイッ
チ５６が実線のような接続状ｌｌ−ζある場合のみ電源
６１よりの励磁電流がアナライブ−７Ｉこ供給される。
０．２１は各々磁極１４．１５．１６のヨークを表わし
て−る。第１図ｉζ示すようＩ【丁ナライブ−７の電子
線入射側層ζはアライメント用の２段偏向コイル２２．
２５が配置されており、又アナライブ−７の出射側１仁
もアライメント用の２段偏向コイル２４．２５が備えら
ｎ′ｃ−る。これらフィル２２．２６＋仁は各々電源２
７．２８より切り換えスイッチ３２，５３１介して励磁
電流が供給サレるｍ Ｆ’Ｓ Ｉｎ ｓｃコイル２４に
は切９換えスイッチ５４ｔ−介して電源２９よりの励磁
電流が供給される。又コイル２５には加算回路６８より
の励磁電流が供給される。加算回路３８はスイッチ３７
がオンの時感ζ走査信号発生回路６９より供給される鋸
歯状の走査信号と励磁電源６０よりのアライメント用励
磁電流を加算するもので、スイッチ、５７がオフの時は
、コイル２５にはアライメント用の励磁電流のみが供給
される。５１は鋳紀アナライブ−の電源であり、スイッ
チ５６が実線のような接続状ｌｌ−ζある場合のみ電源
６１よりの励磁電流がアナライブ−７Ｉこ供給される。
電源２７，２８．２９．５０の各々は電源２６と同様６
【２種の励磁電流を供給する。＠１種の励磁電流はアナ
ライブ−７を励磁しない場合に電子線をアライメントす
る様各々コイル２２．２５，２４．２５＋ζ供給する電
流であり、第２種の励磁電流はアナライブ−７を励磁し
た場合１ζ電子線ｔアライメントする様これらコイル曇
ζ供給する電流である。これら特定の電流値は予じめ上
記２つの場合における調整によって設定されて−る。切
り換えスイッチ６２ｊ５，５４ｊ５は仁れら２種の励磁
電流を選択するためのもので、これらスイッチはスイッ
チ９と同様アナライブ−電源＋１１のスイッチ６６と連
動するよう一ζなって−る。４０はアナライブ−７４ｒ
−よってエネルギー分散された電子線のうち特定のエネ
ルギーを有する電子線のみ選択通過させるためのスリッ
トであり、４１は投影レンズ、４２は螢光板である。４
３は電子線検出器、４４は増幅器、４５は走査信号発生
器５９よりの走査信号が供給されゐ陰極線管である。
【２種の励磁電流を供給する。＠１種の励磁電流はアナ
ライブ−７を励磁しない場合に電子線をアライメントす
る様各々コイル２２．２５，２４．２５＋ζ供給する電
流であり、第２種の励磁電流はアナライブ−７を励磁し
た場合１ζ電子線ｔアライメントする様これらコイル曇
ζ供給する電流である。これら特定の電流値は予じめ上
記２つの場合における調整によって設定されて−る。切
り換えスイッチ６２ｊ５，５４ｊ５は仁れら２種の励磁
電流を選択するためのもので、これらスイッチはスイッ
チ９と同様アナライブ−電源＋１１のスイッチ６６と連
動するよう一ζなって−る。４０はアナライブ−７４ｒ
−よってエネルギー分散された電子線のうち特定のエネ
ルギーを有する電子線のみ選択通過させるためのスリッ
トであり、４１は投影レンズ、４２は螢光板である。４
３は電子線検出器、４４は増幅器、４５は走査信号発生
器５９よりの走査信号が供給されゐ陰極線管である。
このような構成１こおいて、通常の透過電子顕微鏡像を
観察しようとする場合には、切り換えスイッチｓｂｔ点
線のようにオフ側−ζ接続し電源６１からの励磁電流が
オメガ型電子線アナライブ−７１乙供給されないように
する。その結果スイッチ５６１ζ連動してスイッチ９ｊ
２，５５ｊ４．Ｓ５も第１図蟲ζおける点線のようＩ【
接続される。又スイッチ５７はオフ（開状態）４こして
おき、更暴ζスリツ）４０ｔ＃いておく。その結果、電
子銃１よりの電子線は試料４ｔ−透過した後、対物レン
ズ５によって結像され、更−ご中間レンズ８Ｉこ適切な
開き角で入射するよう墨こレンズ６・【よって再収束さ
れる。中間レンズ８を経た電子縁は投影レンズ４１によ
って螢光板４２上に終結像される。この際−偏向コイル
２２はＩ！３図−こ示すよう盛こアナライブ−７の残留
磁場の影響でその軸Ｃが光軸」０かもずれてし壕つ＊電
子線ｔ１その軸Ｃが偏向コイル２３の位置で光軸１０に
交じわるよう易ζ偏向し、更−ζ偏向コイル２５は電子
線の軸Ｃが光軸−ζ沿うよう一ζ振り戻すような偏向を
行う、ｍ向コイル２４．２５も同様の働きをするため、
電子縁はアナライザーの残＊ａ場Ｃζよって軸外薯ζず
れてしまうことなく、螢光板４２上には試料の透過像が
形成される。
観察しようとする場合には、切り換えスイッチｓｂｔ点
線のようにオフ側−ζ接続し電源６１からの励磁電流が
オメガ型電子線アナライブ−７１乙供給されないように
する。その結果スイッチ５６１ζ連動してスイッチ９ｊ
２，５５ｊ４．Ｓ５も第１図蟲ζおける点線のようＩ【
接続される。又スイッチ５７はオフ（開状態）４こして
おき、更暴ζスリツ）４０ｔ＃いておく。その結果、電
子銃１よりの電子線は試料４ｔ−透過した後、対物レン
ズ５によって結像され、更−ご中間レンズ８Ｉこ適切な
開き角で入射するよう墨こレンズ６・【よって再収束さ
れる。中間レンズ８を経た電子縁は投影レンズ４１によ
って螢光板４２上に終結像される。この際−偏向コイル
２２はＩ！３図−こ示すよう盛こアナライブ−７の残留
磁場の影響でその軸Ｃが光軸」０かもずれてし壕つ＊電
子線ｔ１その軸Ｃが偏向コイル２３の位置で光軸１０に
交じわるよう易ζ偏向し、更−ζ偏向コイル２５は電子
線の軸Ｃが光軸−ζ沿うよう一ζ振り戻すような偏向を
行う、ｍ向コイル２４．２５も同様の働きをするため、
電子縁はアナライザーの残＊ａ場Ｃζよって軸外薯ζず
れてしまうことなく、螢光板４２上には試料の透過像が
形成される。
次−【、オメガ型電子線アナライブ−７１ｃよって１択
された特定のエネルギーを有する透過電子線に基づいて
試料の透過像を得ようとする場合−仁は、切艶換えスイ
ッチ＆６ｆ実線のような接続状態−ζなるよう一ζ切り
換える。この切り換えＩ【連動してＸイ９ｆ９．＆’１
．Ｓ’Ｓ、６４．５５が実線テ示す接続状態に切り換え
らえる。更−こスリット４０を第１図に示す位置−ζ配
電せしめる。又この時スイッチ６７はオフの１重にして
おく。
された特定のエネルギーを有する透過電子線に基づいて
試料の透過像を得ようとする場合−仁は、切艶換えスイ
ッチ＆６ｆ実線のような接続状態−ζなるよう一ζ切り
換える。この切り換えＩ【連動してＸイ９ｆ９．＆’１
．Ｓ’Ｓ、６４．５５が実線テ示す接続状態に切り換え
らえる。更−こスリット４０を第１図に示す位置−ζ配
電せしめる。又この時スイッチ６７はオフの１重にして
おく。
七の結果、アナライザー７ＩＣ電源５１からの励磁電流
が供給され、アナライｆ−７には第２図１【おいてＨａ
及びＨｂで示した磁場が発生する。従って電子銃１かも
の電子線は試料４を透過した後対物レンズ５Ｉζよって
収束され、更にレンズ６１ζよってアナライブ−７の入
射端薯【収束される。この際偏向コイル２２，２５はア
ナライブ−７を励磁した際に電子線が正しくアナライブ
−７の入射端の中央−【入射するように電子線を偏向す
る。アナライブ−７昌こよってエネルギー分散された電
子線はアナライザー７の分散面Ｉ【そのエネルギーに応
じて異った位置−ζ結像するが、その際選択的６ζ取り
出そうとするエネルギーを有する電子線のみがスリット
４Ｇ管通過して後段のレンズ系−こ正しく導かれるよう
に電子線はコイル２４，２５ｊζよって偏向される。ス
リット４０を通過した特定のエネルギーを有する電子線
は中間レンズ８．投影レンズ４１を介して螢光板４２上
に結像され、螢光＠４２上曇ζは特定のエネルギーを有
する透過電子線−【基づく試料偉が形成される。
が供給され、アナライｆ−７には第２図１【おいてＨａ
及びＨｂで示した磁場が発生する。従って電子銃１かも
の電子線は試料４を透過した後対物レンズ５Ｉζよって
収束され、更にレンズ６１ζよってアナライブ−７の入
射端薯【収束される。この際偏向コイル２２，２５はア
ナライブ−７を励磁した際に電子線が正しくアナライブ
−７の入射端の中央−【入射するように電子線を偏向す
る。アナライブ−７昌こよってエネルギー分散された電
子線はアナライザー７の分散面Ｉ【そのエネルギーに応
じて異った位置−ζ結像するが、その際選択的６ζ取り
出そうとするエネルギーを有する電子線のみがスリット
４Ｇ管通過して後段のレンズ系−こ正しく導かれるよう
に電子線はコイル２４，２５ｊζよって偏向される。ス
リット４０を通過した特定のエネルギーを有する電子線
は中間レンズ８．投影レンズ４１を介して螢光板４２上
に結像され、螢光＠４２上曇ζは特定のエネルギーを有
する透過電子線−【基づく試料偉が形成される。
上述した本発明にお清ては、アナライザー７の機械的移
動を伴わず一ζ、スイッチの切り換え１ζよって形成さ
れる透過像を通常の透過像とエネルギー選択された電子
線暴こ基づく像との間で真空シール上のトラブルなく且
つ迅速６ζ切り換えることができる。又、本発明の装置
１ｒ−おいてはアナライザーが固定されてｉるため位置
ずれが生ずることが無く安定した像が得られる。
動を伴わず一ζ、スイッチの切り換え１ζよって形成さ
れる透過像を通常の透過像とエネルギー選択された電子
線暴こ基づく像との間で真空シール上のトラブルなく且
つ迅速６ζ切り換えることができる。又、本発明の装置
１ｒ−おいてはアナライザーが固定されてｉるため位置
ずれが生ずることが無く安定した像が得られる。
更に又、上述した装置にお込てスイッチ９．６２．５ｔ
ｊ４．Ａ５．３６が実線のよう６ζ接続されている伏暢
で、スリブ）４０ｔｌｉｌｂ＃き、中間レンズａ、投影
レンズ４１の倍率を試料像を得る場合より小さｅ値に設
定すれば、螢光板４２上１ｃはアナライザー７の分散面
のスペクトル像が拡大して映し出される。そこで螢光板
４２Ｖｅ除き、スイッチ５７を閉じれば鋸歯状の走査信
号が加算回路６８′に介してコイル２．．９：１Ｎ：供
給され、―記スペクトル像は螢光板４２の位置で走査信
号−ζ従って振動する。従って検出ＷＳａ Ａ４ζはス
ペクトルｔ−を気信号１こ変換した検出信号が発生する
が、この信号は走査信号発生回路３９よりの走査信号が
供給されている陰極線管４５へ供給されるため、陰極線
管４５には第４図に示すような透過電子線のスペクトル
強度を表わす信号が表示される。
ｊ４．Ａ５．３６が実線のよう６ζ接続されている伏暢
で、スリブ）４０ｔｌｉｌｂ＃き、中間レンズａ、投影
レンズ４１の倍率を試料像を得る場合より小さｅ値に設
定すれば、螢光板４２上１ｃはアナライザー７の分散面
のスペクトル像が拡大して映し出される。そこで螢光板
４２Ｖｅ除き、スイッチ５７を閉じれば鋸歯状の走査信
号が加算回路６８′に介してコイル２．．９：１Ｎ：供
給され、―記スペクトル像は螢光板４２の位置で走査信
号−ζ従って振動する。従って検出ＷＳａ Ａ４ζはス
ペクトルｔ−を気信号１こ変換した検出信号が発生する
が、この信号は走査信号発生回路３９よりの走査信号が
供給されている陰極線管４５へ供給されるため、陰極線
管４５には第４図に示すような透過電子線のスペクトル
強度を表わす信号が表示される。
従って本発明に基づく装置基ζおいては、アライメント
用の偏向コイルを電子線スペクトル信号を陰４ｉｉ線管
等に表示するための走査コイルとして使用することがで
−る。
用の偏向コイルを電子線スペクトル信号を陰４ｉｉ線管
等に表示するための走査コイルとして使用することがで
−る。
上述した実施例は本発明の一実権例り過き゛ず、実＃Ｉ
ｌｉにあたっては他の態様もとり得る。
ｌｉにあたっては他の態様もとり得る。
例えば上述した実施例においてはアライメント用の偏向
コイルをオメガ型電子線アナライブ−の入射端側及び出
射端側においていずれも２段ずつ備えるようにしたが、
電子線のずれが小さい場合には、１段ずつの偏向コイル
でも良く、このような１向コイル１ζ代えて静電端向板
ｔＪｌｔ１いても良い。
コイルをオメガ型電子線アナライブ−の入射端側及び出
射端側においていずれも２段ずつ備えるようにしたが、
電子線のずれが小さい場合には、１段ずつの偏向コイル
でも良く、このような１向コイル１ζ代えて静電端向板
ｔＪｌｔ１いても良い。
図面の簡単な説明□１
第１図は本発明の一実總例を示すための図、第２図はオ
メガ型電子線アナライブ−を説明するための図、第３図
はアライメント用のコイル２２゜２３０作用を説明する
ための図、第４図は陰ｌ１ｉｌＩＩ管−ζ表示された電
子線のエネルギースペクトル像を示すための図である。
メガ型電子線アナライブ−を説明するための図、第３図
はアライメント用のコイル２２゜２３０作用を説明する
ための図、第４図は陰ｌ１ｉｌＩＩ管−ζ表示された電
子線のエネルギースペクトル像を示すための図である。
１：電子銃、 ２ ｊ：収束レンズ、４：試料、５：対
物レンズ、６；レンズ、７：オメガ屋電子線了ナライ望
−１８：中間レンズ、９．５２．５＆、５４．＆５，５
６，５７：切り換えスイッチ、１０：光軸、２２，２５
，２４，２５：ＩＩ偏向コイル２６〜６１：電源、３８
：加算回路、５９＝走査信号発生回路、４０：スリブ）
％ ４１ ：投影レンズ、４２；螢光板、４Ｓ：電子線
検出器、４５；陰極線管。
物レンズ、６；レンズ、７：オメガ屋電子線了ナライ望
−１８：中間レンズ、９．５２．５＆、５４．＆５，５
６，５７：切り換えスイッチ、１０：光軸、２２，２５
，２４，２５：ＩＩ偏向コイル２６〜６１：電源、３８
：加算回路、５９＝走査信号発生回路、４０：スリブ）
％ ４１ ：投影レンズ、４２；螢光板、４Ｓ：電子線
検出器、４５；陰極線管。
特許出願人
日本電子株式会社
代表者加勢忠雄
弘ｊ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 試料を透過した電子線をオメガ型電子線アナライザ−【
導いて特定のエネルギーを有する電子線の４（取り出し
、＃取り出された電子線を中間レンズ及び投影レンズを
介してスクリーン上−ζ投射する機構を有する透過型電
子顕微！Ｉ！ｌ−ζお−て、オメガ型電子線アナライブ
−をその電子線入射端と出射端が光軸上−ζ位置するよ
う１ζ国定し一形成される透過像をオメガ型電子線アナ
ライブ−６とよって選択された電子線−ζ基づくものと
該アナライず−を介さな一電子縮重ζ基づくものとの間
で切り換える１ζあたって該アナライザーの励磁電源の
オンオフを行うと共−ζ、鎗アナライ望−の入射端側と
出射端側の各々昌ζアライメント用の電子線−向手段を
配置し、Ｗｌ記励磁電源のオンオフ６ζ伴ってこれら偏
向手段の各偏向量が切り換えられるよう暮ζ構成したこ
とｔ−特徴とする透過型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13061781A JPS5832347A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | 透過型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13061781A JPS5832347A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | 透過型電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5832347A true JPS5832347A (ja) | 1983-02-25 |
| JPS6340019B2 JPS6340019B2 (ja) | 1988-08-09 |
Family
ID=15038501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13061781A Granted JPS5832347A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | 透過型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5832347A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62170142A (ja) * | 1986-01-23 | 1987-07-27 | Jeol Ltd | オメガ型エネルギ−アナライザモ−ドにおける残留磁場打ち消し装置 |
| JPH05266844A (ja) * | 1992-03-19 | 1993-10-15 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡及びその使用方法 |
| DE19526999A1 (de) * | 1994-07-25 | 1996-02-01 | Hitachi Ltd | Elektronenenergiefilter und Transmissionselektronenmikroskop mit einem solchen |
| JPH10302711A (ja) * | 1997-02-27 | 1998-11-13 | Jeol Ltd | オメガ型エネルギーフィルタ |
| JPH11135062A (ja) * | 1997-09-01 | 1999-05-21 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | エネルギフィルタ及び電子顕微鏡 |
| US6933500B2 (en) | 2002-11-18 | 2005-08-23 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
-
1981
- 1981-08-20 JP JP13061781A patent/JPS5832347A/ja active Granted
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62170142A (ja) * | 1986-01-23 | 1987-07-27 | Jeol Ltd | オメガ型エネルギ−アナライザモ−ドにおける残留磁場打ち消し装置 |
| JPH0572700B2 (ja) * | 1986-01-23 | 1993-10-12 | Nippon Electron Optics Lab | |
| JPH05266844A (ja) * | 1992-03-19 | 1993-10-15 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡及びその使用方法 |
| DE19526999A1 (de) * | 1994-07-25 | 1996-02-01 | Hitachi Ltd | Elektronenenergiefilter und Transmissionselektronenmikroskop mit einem solchen |
| US5585630A (en) * | 1994-07-25 | 1996-12-17 | Hitachi, Ltd. | Electron energy filter and transmission electron microscope provided with the same |
| DE19526999C2 (de) * | 1994-07-25 | 1998-01-29 | Hitachi Ltd | Elektronenenergiefilter und Transmissionselektronenmikroskop mit einem solchen |
| JPH10302711A (ja) * | 1997-02-27 | 1998-11-13 | Jeol Ltd | オメガ型エネルギーフィルタ |
| JPH11135062A (ja) * | 1997-09-01 | 1999-05-21 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | エネルギフィルタ及び電子顕微鏡 |
| US6933500B2 (en) | 2002-11-18 | 2005-08-23 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6340019B2 (ja) | 1988-08-09 |
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