DE2359511A1 - Verfahren zum lokalisierten aetzen von siliciumkristallen - Google Patents

Verfahren zum lokalisierten aetzen von siliciumkristallen

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Description

"Verfahren zum lokalisierten Ätzen von Siliciumkristallen"
Die Erfindung "betrifft ein Verfahren zum lokalisierten. Ätzen von Siliciumkristallen unter Verwendung .einer Ätzmaske und eines aus Salpetersäure, Flußsäure, Essigsäure und Wasser zusammengesetzten Ätzmittels. .
Dem Stand der Technik zufolge, wie er zum Beispiel in Hunter "Handbook of Semiconductor Electronics" (1956) Seite 8-3 beschrieben ist, werden aus Fluß- und Salpetersäure bestehende Ätzmittel', denen als Moderator Eisessig und als Acclerator Brom beigefügt ist, zum Ätzen von Silicium oder Germanium häufig an-■,ewend.et. Die dabei ^verwendete Mischung CP4 besteht aus gleichen
j Teilest konzentrierter HNCU beigemischt sind.
Handelt es sich nun um ein Verfahren der Eingangs definierten. Art, so kann mitunter ein solches Ätzmittel, wenn es· die bekannte Zusammensetzung aufweist, ungünstig sein. Handelt es sich zum Bei spiel um die Herstellung der Elemente einer integrierten Schaltung in einer auf einer Siliciumscheibe des einen Leitungstyps erzeugten epitaktischen Schicht vom entgegengesetzten Leitungstyp,, so ist es üblich, im,Interesse der Unterdrückung parasitärer Ströme zwischen den Elementen je einen Graben zwischen je zwei Elementen zu ätzen, der die epitaktische Schicht völlig auftrennt. In den Gräben werden dann Isolierschichten erzeugt, die bis zu den Kontaktstellen der einzelnen Elemente der integrierten Schaltung reichen, und-auf der dann Leitbahnen zur Erzielung der nötigen leitenden Verbindungen zwischen den Elementen der integrierten Schaltung aufgebracht werden.
VPA 9/110/3088
50982 3/0772
Diese Leitbahnen erleiden nun erfahrungsgemäß häufig an den Gräben eine Unterbrechung, wenn die Gräben mit den üblichen Ätzmitteln, insbesondere auch mit CP4, erzeugt wurden. Der Grund wird anhand der Mg. 1 erklärt. Diese zeigt das Ätzprofil eines mit einer geeigneten Ätzmaske, zum Beispiel aus Si-zN, erzeugten Grabens oder Loches. Man erkennt, daß das Profil mit einer sehr steilen Planke mit einem Böschungswinkel von nahezu 90° ansetzt. Oxydiert man zum Beispiel nun nach Ent-Pernung der Si^N, -Ätzmaske die Siliciumoberfläche außerhalb und innerhalb einer solchen Vertiefung und führt quer zu der Vertiefung eine Leitbahn auf der SiO2 -Schutzschicht zu den beiderseits der Vertiefung befindlichen Halbleiterelementen, so tritt an der oberen Kante der Vertiefung wegen des steilen Böschungswinkels sehr leicht eine Unterbrechung der Leitbahn durch Abreißen auf.
Es ist die Aufgabe der Erfindung, hier eine Abhilfe zu finden.
Erfindungsgemäß gelingt sie, wenn die zu ätzende Siliciumoberfläche mit einer 100-Fläche des Siliciumgitters zusammenfällt und ein Ätzmittel verwendet wird, bei dem auf je 100g HNO3 oe 20g + 50$ H2O, 4g + IOO96 HP und 110g + 20$ CH5COoH kommen. Weitere Bestandteile, zum Beispiel Br, sind nicht vorgesehen.
•Das erreichte Ätzprofil, wie man es unter Verwendung einer geeigneten Ätzmaske, zum Beispiel Si,N. -Maske erhält, ist in Figur 2 dargestellt. Es verläuft wesentlich flacher als bei den üblichen Ätzmitteln. Auch durch die Oxydation der
VPA 9/110/3088 - - 3 -
509823/0772
. ■.■--■.■ ... ■■ .■■-■' ;-235-951.Ϊ - 3 - - " ■■■'■-■· ν- .
Grabenoberfläche tritt keine wesentliche Versteilerung der Planke auf, so daß auf ihr auch dünnste Leitbahnen quer zum Verlauf eines solchen Grabens aufgebracht und im Betrieb selbst bei höheren Temperaturen gehalten werden können:, ohne daß es zu einem Abreißen derLeitbahnen.kommt.
Der Ätzvorgang "bei dem erfindungsgemäßen Verfahren erfolgt zweckmäßig bei einer Temperatur 18 -■■ 30° C. Vorzugsweise anzuwendende optimale Bedingungen sind: .
T. eine Zusammensetzung des Ätzmittels, bei der". auf je 100g HNO3 an H2O 20g, an CH5COOH 110g und an HE 4g fallen; / " '
2. eine Ätztemperatur von 22 C.
Als Ätzmaske sind alle Stoffe geeignet, die einen festen Überzug auf der 'Siliciumoherf lache bilden,!"der von _dein Ätzmittel nicht angegriffen wird. Zu nennen sind Photolacke, Si,N, -Schichten,- Schichten gewisse/r Metalle, wie Molybdän, Tantal, Niob und ggf. auch Platin oder Gold.
Der gewünschte Erfolg ist ziemlich daran gebunden,· daß die · zu ätzende,Siliciumoberflache mit einer 100-Ebene des SiIi-. ciumgitters zusammenfällt. Nimmt man andere Ebenen, zum Beispiel die 111-Fläche, so erhält man auch mit diesem Ätzmittel steile. -Böachungswinkel, oder sogar ein überhängendes Profil. Als Grenze für eine nochzulässige Abweichung von.100-Ebeneri kann ein Trinke 1 von + 20° angegenben werden. Am günstigsten ist jedoch erfahrungsgemäß eine Siliciumoberflache, die exakt mit einer 100-Ebene zusammenfällt. .--.
50982370772 /
4 Patentansprüche ; -.4 -
2 Figuren ■ ./-■ . .

Claims (4)

  1. Patentansprüche
    η I )Verfahren zum lokalisierten Ätzen von Siliciumkristallen unter Verwendung einer Ätzmaske und eines aus Salpetersäure (HfTO7), Flußsäure (HP), Essigsäure (CH5COOH) und Wasser (HpO) zusammengesetzten Ätzmittels, dadurch gekennzeichnet, daß die zu ätzende Siliciumoberflache mit einer 100-Fläche des Silieiumgitters (mit einer Toleranz von höchstens + 20 ) zusammenfällt und daß ein Ätzmittel verwendet wird, "bei dem auf je 100g 20g + 50% H0O, 4g + 100$ HF und 110g + 20$ CH^COOH kommen.
  2. 2.)Verfahren nach Anspruch 1- oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzung bei einer Temperatur von 18 bis 30 , insbesondere bei 22 vorgenommen wird.
  3. 3.)Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Ätzmaske Schichten aus Si^F« und/oder gewisser ätzresistenter Metalle und/oder aus Photolack verwendet werden.
  4. 4.)Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3» dadurch ge kennzeich net, daß es zum Erzeugen einer ■ grabenartigen Vertiefung zwischen zwei Elementen einer Halbleiterverbundanordnung verwendet und die erhaltene grabenartige Vertiefung mit einer beiderseits über die grabenartige Vertiefung hinausreichenden, zum Beispiel aus SiOp bestehenden Isolierschicht versehen und daß auf dieser eine quer über die grabenartige Vertiefung geführte, eine elektrische Verbindung zwischen je einer Elektrode der Elemente beiderseits der grabenartigen Vertiefung herstellende elektrische Leitbahn aufgebracht wird.
    509823/0772
    VPA 9/IIO/3O88 Stg/Nem
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