DE2353093B2 - Verfahren zur herstellung gesinterter formkoerper auf siliziumnitridbasis - Google Patents
Verfahren zur herstellung gesinterter formkoerper auf siliziumnitridbasisInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus einem Pulvergemisch aus 60 bis
92 Mol-% Siliciumnitrid (SijN4) und 8 bis 40 Mol-%
Metalloxid durch Sintern des Gemisches bei Temperaturen zwischen 1600 und 18000C.
Keramik aus im wesentlichen Siliciumnitrid weist hohe Temperaturbeständigkeit, Beständigkeit gegen
rasche Temperaturänderungen, hohe Festigkeit und hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber geschmolzenem
Nichteisenmetall auf. Bislang kann geringe Porosität und hohe Festigkeit an gesintertem Siliciumnitrid
im wesentlichen nur durch Heißpressen erhalten werden. Das Heißpressen kann lediglich auf gesinterte
Körper mit relativ einfachem Profil angewandt werden.
Ein derartiges Heißpreßverfahren zur Herstellung gesinterter Keramik aus Siliciumnitrid ist beispielsweise
aus der GB-PS 9 70 639 bekannt Danach wird pulverförmiges Siliciumnitrid mit 0,1 bis 25 Gew.-%
Flußmittel, nämlich mit Magnesiumoxid, Magnesiumnitrid, Calciumoxid, Aluminiumoxid oder Eisen(III)oxid
vermischt und das erhaltene Pulvergemisch unter Druck bei Temperaturen von 1500 bis 19000C verdichtet Die
erhaltenen Sinterkörper wiesen eine offene Porosität von lediglich 0,2% auf.
Neben dem Heißpressen ist noch die Reaktionssinterung und das »übliche« Sinterverfahren zur Herstellung
von gesinterten Formkörpern aus Siliciumnitrid bekannt Unter der üblichen Sinterung wird verstanden,
daß aus dem Sinterpulver zuerst ohne wesentliche Erwärmung ein Preßkörper erzeugt und dieser Preßkörper
später ohne wesentliche Druckanwendung auf Sintertemperaturen erhitzt wird. Setzt man bei der
üblichen Sinterung Preßhilfsmittel wie etwa Magnesiumoxid (MgO), Aluminiumoxid (AI2O3) oder Siliciumoxid
zu, so können gesinterte Formkörper mit einer Porosität von nur 0,2% erhalten werden; die Biegefestigkeit
beträgt jedoch max. 20 kg/mm2.
Aufgabe dieser Erfindung ist es, ein Verfahren zur Sinterung von Siliciumnitrid anzugeben, das nach dem
üblichen Sinterverfahren arbeitet und zu gesinterten Formkörpern führt, die im wesentlichen die gleiche
hohe Festigkeit und geringe Porosität aufweisen, wie Siliciumnitrid-Keramik, die nach dem Heißpreßverfahren
erhalten wurde.
Ausgehend von einem Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus einem Pulvergemisch aus 60 bis 92
Mol-% Siliciumnitrid (Si3N4) und 8 bis 40 Mol-%
Metalloxid durch Sintern des Gemisches bei Temperaturen zwischen 1600 und 18000C, ist die erfindungsgemäße
Lösung obiger Aufgabe dadurch gekennzeichnet, daß ein Metalloxidgemisch eingesetzt wird, das zu 10 bis
90 Mol-% aus den Oxiden der zweiwertigen Metalle Magnesium (Mg), Zink (Zn) und/oder Nickel (Ni) und zu
90 bis 10 Mol-% aus den Oxiden der drei- oder vierwertigen Metalle Aluminium (Al), Chrom (Cr),
Yttrium (Y), Titan (Ti) und/oder Zinn (Sn) besteht, und
daß das Pulvergemisch aus Siliciumnitrid und Metalloxiden zu einem ungebrannten Preßling geformt und dieser
Preßling gesintert wird.
Nach einer besonderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens können die ausgewählten
Komponenten des Metalloxid-Gemisches durch Erhit-
zung zu einem Spinell umgesetzt werden, der erhaltene Spinell pulverisiert und dieses Pulver mit dem
pulverförmigen Siliciumnitrid vermischt werden.
Vorzugsweise wird der ungebrannte Preßling 2 bis 3 Stunden lang auf Sintertemperatur erhitzt
Ein besonderer Vorteil des erfindung« gemäßen Verfahrens besteht darin, daß die Preßkörper unterhalb
der Sintertemperatur geformt werden können. Ohne besonderen Aufwand in bezug auf hochtemperaturbeständige
Formen und Matrizen können somit Preßkörper von komplizierter Gestalt hergestellt werden, die
anschließend gesintert werden, ohne daß sich ihre Abmessungen dabei nennenswert ändern. Somit kann
Keramik mit komplizierten Profilen aus Siliciumnitrid leicht bei geringen Kosten erhalten werden, indem das
gemischte Sinterpulver der vorstehend angegebenen Zusammensetzung nach üblichen Verfahren zu einem
Preßkörper verformt und dann das geformte Ausgangsmaterial gesintert wird.
Der erfindungsgemäß erhaltene gesinterte Formkörper enthält eine feste Lösung aus Spinell, der aus den Metalloxiden gebildet wurde; im Ergebnis beruht darauf die geringe Porosität und hohe Festigkeit dieser Formkörper.
Der erfindungsgemäß erhaltene gesinterte Formkörper enthält eine feste Lösung aus Spinell, der aus den Metalloxiden gebildet wurde; im Ergebnis beruht darauf die geringe Porosität und hohe Festigkeit dieser Formkörper.
Die Spinelle (RO · R2O3) gehören zum kubischen Kristallsystem und bestehen im einfachster Fall aus
1 Mol Oxid eines zweiwertigen Metalls und 1 Mol Oxid eines dreiwertigen Metalls. Weiterhin sind Spinelle aus
dem Oxid eines zweiwertigen Metalls und idem Oxid eines vierwertigen Metalls wie Titan (Ti), Zinm (Sn) und
dergleichen bekannt Derartige Spinelle bestehen aus
2 Mol Oxid des zweiwertigen Metalls und 1 Mol Oxid des vierwertigen Metalls. Die erfindungsgemäß angestrebten,
gesinterten Formkörper mit geringer Porosi-
tat und hoher Festigkeit können nicht aus Siliciumnitrid
und sämtlichen Metalloxiden erhalten werden, die zur Spinellbildung fähig sind.
Im Rahmen dieser Erfindung wurde erkannt, daß zur
Bildung von Spinell in Gegenwart von Siliciumnitridpul- s
ver die nachfolgenden Oxide zweiwertiger Metalle, nämlich Magnesiumoxid (MgO), Zinkoxid (ZnO) und
Nickeloxid (NiO); die Oxide dreiwertiger Metalle, nämlich Aluminiumoxid (Al2O3), Chromoxid (O2O3) und
Yttriumoxid (Y2O3); und die Oxide vierwertiger Metalle.
nämlich Titandioxid (TiO2) und Zinndioxid (SnO2).
geeignet sind. Außer den genannten Metalloxiden kann eine geringe Menge Calciumoxid (CaO) oder Kobaltoxid
(CoO) in der gesinterten Siliciumnitridkeramik enthalten sein, ohne daß deren Festigkeit vermindert
wird.
Andere Metalloxide können dagegen die Festigkeit der gesinterten Siliciumnitridkeramik verringern. Wenn
beispielsweise Siliciumdioxid im pulverförmigen Ausgangsmaterial enthalten ist, kann dieses bei relativ
niedriger Temperatur gesintert werden; die Festigkeit des erhaltenen gesinterten Siliciumnitrid-Formkörpers
ist jedoch verringert
Beim erfindungsgemäßen Verfahren werden 10 bis 90 MoI-0Zb Magnesiumoxid, Zinkoxid und/oder Nickeloxid
mit 90 bis to Mol-% Aluminiumoxid. Chromoxid, Yttriumoxid, Titandioxid und/oder Zinndioxid als Rest
zusammengefügt, um im wesentlichen eine Art von Spinell zu bilden; hierbei muß es sich nicht exakt um
einen reinen Spinell handeln, sondern es kann eine Art fester Lösung mit spinellariiger Struktur vorliegen.
Auch dieser Spinell kann genauso wie der reine Spinell gesintertem Siliciumnitrid die erwähnten verbesserten
Eigenschaften vermitteln.
Beträgt der Anteil an Siliciumnitrid weniger als 60 Mol-% (d.h. der Anteil der Oxide ist größer als 40
Mol-%), so wird die angestrebte Festigkeit nicht erreicht, was auf die Anwesenheit der Metalloxide mit
relativ geringer Festigkeit zurückzuführen ist; im Ergebnis ist die Festigkeit der Gegenstände beträchtlich
verringert Beträgt der Anteil an Siliciumnitrid mehr als 92 Mol-% (d. h. der Anteil der Oxide ist geringer als
8 Mol-%), so wird das Sintern des Materials schwierig, und es ist nicht leicht, einen Gegenstand niedriger
Porosität zu erhalten, was wiederum die Festigkeit beachtlich verringert
Der Grund, warum unter den erfindungsgemäß vorgesehenen Bedingungen auch bei üblicher Sinterung
gesinterte Gegenstände mit geringer Porosität und hoher Festigkeit erhalten werden, wobei die genannten
Metalloxide einen Spinell bilden, wird noch nicht im einzelnen verstanden. Es wird jedoch angenommen, daß
Magnesiumoxid oder Aluminiumoxid in fester Lösung im Siliciumnitrid vorliegen und dabei Atome des reinen
Siliciummitrids durch Atome des Oxids substituieren; hierbei bilden die positiven Ionen der Metalloxide
(Magnesiumionen, Aluminiumionen) eine tetraedrische Struktur. Im ursprünglichen Magnesiumoxid oder
Aluminiumoxid liegen die positiven Ionen in hexaedrischer Anordnung vor, so daß zur Bildung der
tetraedriischen Struktur, wie sie als feste Lösung im Siliciumnitrid vorliegt, eine Struktururnwandlung erforderlich
ist, was hohe Aktivierungsenergie erfordert. Im Gegensatz dazu liegen die meisten Ionen von Spinellen
in tetraedrischer Anordnung vor, die derjenigen gleicht, die in der festen Lösung in Siliciumnitrid auftritt, so daß
die Aklivierungsenergie für die Bildung der festen Lösung gering ist und der Sintervorgang leicht erfolgt
Aus diesem Grund kann das erfindungsgemäße Verfahren verbessert werden, wenn aus den ausgewählten
Metalloxiden zuerst ein Spinell gebildet wird und dieser nach entsprechender Zerkleinerung mit dem
pulverförmigen Siliciumnitrid vermischt und aus dem erhaltenen Sinterpulver die gesinterte Keramik hergestellt
wird.
Werden die ursprünglichen Metalloxide mit Siliciumnitrid erhitzt, so wird angenommen, daß zuerst während
des Sintervorganges die Metalloxide zu Spinellen zusammentreten werden und anschließend die Spinelle
in Siliciumnitrid festgelöst werden, um die Sinterung von Siliciumnitrid zu unterstützen.
Bei der weiteren Ausbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die erste Gruppe Metalloxide mit der
zweiten Gruppe Metalloxide entsprechend den angegebenen Mengenverhältnissen vermischt und das Gemisch
gesintert Anschließend wird das erhaltene Erzeugnis pulverisiert, dieses Pulver im angegebenen Mengenverhältnis
mit Siliciumnitridpulver, nämlich mit 60 bis 92 Mol-% Siliciumnitrid, vermischt und dieses Sinterpulver
dann gesintert
Nach diesem Verfahren werden gesinterte Formkörper mit noch geringerer Porosität und noch höherer
Festigkeit erhalten als bei Anwendung des ersteren Verfahrens. Es wird angenommen, daß die bereits
vorgebildeten Spinelle leichter eine feste Lösung mit Siliciumnitrid bilden und dadurch die Sinterung
unterstützen, so daß eine gesinterte Keramik mit hoher Dichte und hoher Festigkeit erhalten wird.
Die nachfolgenden Beispiele dienen zur Erläuterung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
60 bis 92 Mol-% pulverförmiges Siliciumnitrid (Teilchengröße unter 50 μηι, kommerzielle Reinheit von
98%), 4 bis 36 Mol-% Magnesiumoxid (Teilchengröße unter 50 μΐη, hochreines Präparat) und 4 bis 36 Mol-%
pulverförmiges Aluminiumoxid (Teilchengröße unter 50μιτι, hochreines Präparat) wurden ausreichend
miteinander vermischt und unter einem Druck von 500 kg/cm2 in eine Form gepreßt und 2 bis 3 Stunden
lang bei 1600 bis 18000C unter Argon oder Stickstoff
gesintert, hierbei wurden 40 mm χ 20 mm χ 6 mm große Proben 1 bis 9 erhalten, deren spezifisches Gewicht,
Porosität, Biegefestigkeit Oxidationsbeständigkeit und Wärmeausdehnungskoeffizient bestimmt wurden. Die
erhaltenen Ergebnisse sind in der nachfolgenden Tabelle 1 aufgeführt Zusätzlich sind in Tabelle 1 die
entsprechenden Eigenschaften von gesinterten Vergleichsproben A und B aufgeführt, die durch Sinterung
von Siliciumnitrid mit Aluminiumoxid bzw. durch Sinterung von Siliciumnitrid mit Magnesiumoxid erhalten
wurden. Die Porosität wurde aus dem gemessenen spezifischen Gewicht errechnet, wobei das spezifische
Gewicht von gesintertem Siliciumnitrid bei der Porosität von 0% zu 3,19 angenommen wurde. D>e
Biegefestigkeit wurde mittels Dreipunktlagerung bestimmt, wobei der Abstand zwischen diesen Punkten
30 mm betrug. Zur Prüfung der Oxidationsbeständigkeit wurde die Gewichtszunahme nach 48 Stunden langer
Erhitzung an Luft bei 12000C gemessen; die Oxidationsbeständigkeit
wui-de in Form der Gewichtszunahme pro Flächeninhalt in mg/cm2 angegeben. Zur Bestimmung
des Wärmeausdehnungskoeffizienten wurde der Formkörper von 20 siuf 4000C erwärmt und der mittlere
Wärmeausdehnungskoeffizient im Temperaturbereich von 20 bis 4000C gemessen.
| 1 | S13N4 | AI2O3 | ς | Sinter temperatur |
23 53 | 093 ' | Biege festigkeit |
6 | Wärme ausdehnungs- koeffizient |
|
| Tabelle | (Mol-%) | (MoMb | (9C) | (kg/mm2) |
(20-400° C)
(χ 10-6/-C) |
|||||
| Probe | 92 | 4 | MgO | 1750 | Spez. Gewicht |
Porosität | 31,0 | Oxidations» beständig- keit |
2,5 | |
| 70 | 4 | ) (Mol-%) | 1750 | (g/cm3) | W | 24,0 | (mg/cm2) | 2,4 | ||
| 1 | 60 | 4 | 4 | 1750 | 3,01 | 7 | 24,8 | 2.8 | 2,4 | |
| 2 | 90 | 5 | 26 | 1750 | 2,70 | 15 | 40,0 | 5,2 | 2,4 | |
| 3 | 79 | 6 | 36 | 1780 | 2,75 | 14 | 38,5 | 6,3 | 2,4 | |
| 4 | 79 | 6 | 5 | 1600 | 3,05 | 4 | 23.0 | 1,5 | 2,4 | |
| 5 | 65 | 15 | 15 | 1750 | 3.03 | 5 | 32.5 | 1,8 | 2,4 | |
| 6 | 76 | 20 | 15 | 1750 | 2,70 | 15 | 29,2 | 10,6 | 2,4 | |
| 7 | 60 | 36 | 20 | 1750 | 3,00 | 6 | 30,6 | 2,0 | 2,4 | |
| 8 | 85 | 15 | 4 | 1780 | 2,86 | 10 | 16,0 | 3,6 | 2.4 | |
| 9 | 75 | 0 | 4 | 1780 | 2,90 | 9 | 15,5 | 2,8 | 2,4 | |
| A | 0 | 2,53 | 20 | 10,0 | ||||||
| B | 25 | 2,40 | 25 | 15.0 | ||||||
Der Tabelle 1 kann ohne weiteres entnommen werden, daß bei den erfindungsgemäßen Proben 1 bis 9
die Porosität im Bereich von 4 bis 15%, die Biegefestigkeit im Bereich von 23 bis 40 kg/mm2 und die
Oxidationsbeständigkeit, im Bereich von 1,8 bis 10,6 mg/cm2 liegt Diese Werte sind sehr viel besser ais
diejenigen der Vergleichsproben, deren Porosität 20 bis 25%. deren Biegefestigkeit 15 bis 16 kg/mm2 und deren
Oxidationsbeständigkeit 10 bis 15 mg/cm2 beträgt. Speziell bei der Probe 4 beträgt die Porosität 4%, die
Biegefestigkeit 40,0 kg/mm2 und die Oxidationsbeständigkeit 13 mg/cm2. Diese Werte stimmen angenähert
mit den entsprechenden Werten gesinterter Gegenstände aus Siliciumnitrid überein, die mittels Heißpressen
hergestellt werden.
Bei einer Sintertemperatur unter 16000C war ein
Formkörper geringer Porosität kaum zu erhalten. Bei einer Sintertemperatur über 18000C wurde eine
Gewichtsabnahme beobachtet, was gegebenenfalls auf Zersetzung oder Sublimation von Siliciumnitrid zurückzuführen
war. Bei einer Sinterdauer unter 2 h war die Sinterung nicht ausreichend. Bei einer Sinterdauer von
mehr als 3 h wurde das Wachstum von Siliciumnitrid-Kriställchen beobachtet. Die Verwendung von Argon
oder Stickstoff als Schutzgas erbrachte keine bemerkenswerten Unterschiede. Deshalb wird die Sinterung
bevorzugt bei 1600 bis 18000C für 2 bis 3 h durchgeführt.
Es wurden Siliciumnitridpulver, Aluminiumoxidpulver und Magnesiumoxidpulver analog zu Beispiel 1 verwendet.
Abweichend davon wurde das Pulvergemisch aus 10 bis 90 Mol-% Aluminiumoxidpulver und 90 bis 10
Mol-% Magnesiumoxidpulver zunächst 3 bis 10 Stunden lang auf 1600 bis 18000C erhitzt, um Spinelle zu
bilden. Anschließend wurden diese Spinelle sehr fein pulverisiert (Teilchengröße unter 50μπι), und dieses
Pulver wurde mit dem Siliciumnitridpulver vermischt. Die Herstellung der Preßkörper und deren Sinterung
erfolgten analog zu Beispiel 1. Die Eigenschaften dieser Proben 10 bis 14 sind in der nachfolgenden Tabelle 2
aufgeführt.
| Probe | S13N4 | AhOi | MgO | Sinter | Spez. | Porosität | Biege | Oxidations | Wärme |
| temperatur | Gewicht | festigkeit |
beständig
keit |
ausdehnungs
koeffizient |
|||||
| (Mol-%) | (Mol-%) | (Mol-%) | (°C) | (g/cm3) | (%) | (kg mm-) | (mg/cm2) |
(20-400° C)
(x 10-6/°C) |
|
| 10 | 60 | 4(10) | 36(90) | 1780 | 3,06 | 4,0 | 41.8 | 0,9 | 238 |
| 11 | 90 | 5(50) | 5(50) | 1780 | 3.13 | 1.8 | 65,0 | 0,5 | 2,40 |
| 12 | 79 | 6(29) | 15(71) | 1780 | 3.13 | 1,8 | 58,0 | 0,6 | 2,38 |
| 13 | 79 | 6(29) | 15(71) | 1600 | 3,00 | 2,6 | 32,0 | 1,2 | 238 |
| 14 | 60 | 30(75) | 10(25) | 1780 | 3,05 | 4,5 | 40,6 | 0,9 | 2.38 |
Wie aus Tabelle 2 ohne weiteres ersichtlich, beträgt bei diesen gesinterten Formkörpern die Porosität 1,8 bis
4,5%, die Biegefestigkeit 32 bis 65 kg/mm2 und die Oxidationsbeständigkeit 0,6 bis 1,2 mg/cm2. Diese
Werte sind sehr viel besser als jene der Vergleichsproben A und B nach Tabelle 1. Speziell bei der Probe 11
beträgt die Porosität 1,8%, die Biegefestigkeit 65,0 kg/mm2 und die Oxidationsbeständigkeit 0,5 mg/
cm2. Diese Eigenschaften entsprechen angenähert denjenigen gesinterter Siliciumnitrid-Formkörpern, die
mittels Heißoressen erhalten wurden.
Ein Tiegel von 50 mm Höhe, 40 mm Innendurchmesser und 3 mm Dicke wurde aus dem Sinterpulver gemäß
Probe 11 aus einem entsprechenden Brei geformt und 3 h lang bei 175O°C unter Stickstoff gesintert Dieser
Tiegel wurde zum Schmelzen von Aluminium verwendet. Selbst bei einer Erhitzung des Aluminiums auf
UOO0C wurde der Tiegel nicht zerstört, seine
Oberfläche war nicht oxidiert, und es drang auch kein Aluminium in den Tiegel ein. Demgegenüber wurde ein
53 093
Tiegel aus gesintertem Siliciumnitrid, der nach der üblichen Reaktionssinterung hergestellt worden war,
zerstört und an seiner Oberfläche oxidiert, wenn Aluminium erhitzt und bei 900°C geschmolzen wurde.
Ein Pulvergemisch aus Oxiden zweiwertiger Metalle (MgO, ZnO und NiO) und Oxiden dreiwertiger Metalle
(Cr2O3, AhOj, Y2O3) (jeweils gleiche Molmengen) sowie
ein Pulvergemisch aus 2 Mol zweiwertiges Metalloxid (MgO) und 1 Mol vierwertiges Metalloxid (TiO2, SnO2)
(Teilchengröße unter 50 μίτι) wurden analog zu Beispiel
2 hergestellt. Die Pulvergemische wurden anschließend
3 bis 10 h lang auf 1300 bis 16000C erhitzt, um die
jeweiligen Spinelle (MgCr2O4, ZnAbO4, NiAI2O*,
MgY2O4, 2 MgO · TiO2, 2 MgO ■ SnO) zu bilden.
Anschließend wurden die Spinelle sehr fein pulverisiert (Teilchengröße unter 50 μΐη) und diese Pulver mit
Siliciumnitridpulver gemischt, um Sinterpulver zu erhalten. Analog zu Beispiel 1 wurden aus diesen
Sinterpulvern Preßkörper hergestellt und diese gesintert. Die Eigenschaften der dabei erhaltenen Proben 15
bis 20 sind in der nachfolgenden Tabelle 3 aufgeführt.
Probe S13N4
Spinell
RO
(Mol-%)
R"O? (Mol-%)
Sinterlemperaiur
ro Spez. Porosität Biege-Gewicht
festigkeit
Oxidationsbeständig keit
(g/cm1) (%) (kg/mm-') (mg/cm3)
Wärmeausdehnungs- koeffizient
(20-40O0C) (x 10-"/0C)
90
90
90
90
90
90
90
90
90
90
90
MrO/5
ZnO/5
NiO/5
MgO/5
ZnO/5
NiO/5
MgO/5
CnO3/5 AI2O3/5 AI2O3/5
Y2O3/5
MgO/6,7 TiOj/33
MgO/6,7 SnO2/3,3
1780 1780 1780 1780 1780 1780 3,14
3,02
3.08
3,17
3.09
2,97
3,02
3.08
3,17
3.09
2,97
0,5
50,2
40.1
42,3
45,0
46,7
36.5
40.1
42,3
45,0
46,7
36.5
0.87
2,9
2.8
0,8
1,6
5.2
2,8 2,6
2.b 2,6 2,6 2,6
Wie der Tabelle 3 ohne weiteres zu entnehmen ist, weisen diese Proben eine bessere Biegefestigkeit von
36,5 bis 50.2 kg/mm2, eine geringere Porosität von 0,5 bis
8% und eine bessere Oxidationsbeständigkeit von 0,8? bis 2,9 mg/cm2 als die Vcrgleichsproben A und B unc
Tabelle 1 auf.
109 53t
Claims (3)
- Patentansprüche:*■■'!. Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus einem Pulvergemisch aus 60 bis 92 Mol-% S Siliciumnitrid (Si3N4) und 8 bis 40 Mol-% Metalloxid durch Sintern des Gemisches bei Temperaturen zwischen 1600 und 18000C, dadurch gekennzeichnet, daß ein Metalloxid-Gemisch eingesetzt wird, das zu 10 bis 90 Mol-% aus den Oxiden ι ο der zweiwertigen Metalle Magnesium (Mg), Zink (Zn) und/oder Nickel (Ni) und zu 90 bis 10 Mol-% aus den Oxiden der drei- oder vierwertigen Metalle Aluminium (Al), Chrom (CrX Yttrium (Y), Titan (Ti) und/oder Zinn (Sn) besteht, und daß das Pulvergemisch aus Siliciumnitrid und Metalloxiden zu einem ungebrannten Preßling geformt und dieser Preßling gesintert wird.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ausgewählten Komponenten des Metalloxid-Gemisches durch Erhitzung zu einem Spinell umgesetzt werden, der erhaltene Spinell pulverisiert und dieses Pulver mit dem pulverförmigen Siliciumnitrid vermischt wird.
- 3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der ungebrannte Preßling 2 bis 3 Stunden lang auf Sintertemperatur erwärmt wird.
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