DE2302264A1 - Dicken-oxidierungsprozess zur verbesserung der metallablagerung und der stabilitaet von halbleitereinrichtungen - Google Patents

Dicken-oxidierungsprozess zur verbesserung der metallablagerung und der stabilitaet von halbleitereinrichtungen

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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
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