DE2301277A1 - Verfahren zum herstellen mehrschichtiger verbindungskonstruktionen, z.b. fuer integrierte halbleiterschaltkreise - Google Patents

Verfahren zum herstellen mehrschichtiger verbindungskonstruktionen, z.b. fuer integrierte halbleiterschaltkreise

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DE2301277A1
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DE2301277A
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Isao Araki
Takahiko Ihochi
Gen Murakami
Kanji Otsuka
Tamotsu Usami
Koichiro Yamada
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
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