DE2337141C3 - Verfahren zur Herstellung einer Verbund-Sinterstruktur - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Verbund-Sinterstruktur

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DE2337141C3 DE19732337141 DE2337141A DE2337141C3 DE 2337141 C3 DE2337141 C3 DE 2337141C3 DE 19732337141 DE19732337141 DE 19732337141 DE 2337141 A DE2337141 A DE 2337141A DE 2337141 C3 DE2337141 C3 DE 2337141C3
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Description

Die Erfindung betrifft ein verbessertes Verfahren zur Herstellung einer Verbund-Sinterstruktur, die beispielsweise zur Verwendung in einer integrierten Halbleiterschaltung geeignet ist.
Die Herstellung einer Verbund-Sinterstruktur, wie sie vorstehend angegeben wurde, wurde bisher im allgemeinen in folgender Weise durchgeführt. Leiterschichten mit gewünschtem Muster werden auf die Oberflächen von Substraten aufgedruckt, die gesondert ausgebildet wurden und aus einem dielektrischen Material, beispielsweise grünen keramischen Planen, gebildet sind. Ausnehmungen werden in gewünschten Verbindungsbereichen der jeweiligen Substrate ausgebildet, so daß die entsprechenden Ausnehmungen mit einem Leitermaterial gefüllt werden können. Danach werden die Substrate zu einem Schichtkörper aufeinandergestapelt, so daß die Leiterschichten die gewünschten Verbindungen haben.
Danach wird die Schichtstruktur oder der Stapel der Substrate während festgelegter Dauer auf eine aus.rei- M chend hohe Temperatur erhitzt, um die Substrate zu sintern. Auf diese Weise wird eine Verbund-Sinlerstruk· tür, wie ein Mehrschichl-Verbund-Substrat, fertiggestellt.
Bei diesem bekannten Verfahren treten jedoch Schwierigkeiten speziell in den Verbindungen zwischen den jeweiligen Substraten auf, So werden speziell, wenn das Leitermaterial in die Ausnehmungen eingefüllt werden soll, die in den gewünschten Bereichen der Substrate Vorgesehen sind, die Ausnehmungen in manchen Fällen nicht vollständig mit dem Leitermaterial gefüllt, da sie sehr klein sind. Aus diesem Grund kann durch eine Unvollständige Verbindung Unterbre-
chung und dergleichen auftreten. Der Zustand der Verbindung oder Schaltung war daher sehr wenig verläßlich. Es existiert zwar eine Methode, bei der das einzufüllende Leitermaterial unter Vakuum in den Ausnehmungen aufgenommen wird, um diesen Nachteil auszuschalten. Dieses Verfahren erhöht jedoch die Anzahl der Arbeiisschritte und läßt sich schlecht für die Massenproduktion anwenden.
Ferner sind bei diesem Verfahren Subs-^rate in gleicher Anzahl wie die Mehrfach-Verbindungsschichten erforderlich. Außerdem umfaßt es einen Stanzvorgang zum Stanzen jedes Substrats zu einer vorbestimmten Gestalt, was zu der Anzahl der Arbeitsstufen beiträgt. Ebenfalls eriorderlich ist die Stufe des Heißpressen der laminierten Substrate. Wenn die Laminierung nicht vollkommen ist, treten in der Heißpreßstufe leicht Fehler, wie Auslaufen aufgrund schlechter Luftdichtheit und unnötiges Verziehen der Substrate auf, die beide auf die Instabilität der Laminierung (unzureichende Haftung) zurückzuführen sind Außerdem kann das keramische Plättchen in der Brenn- oder Sinterungsstufe durch Formänderung beim Brennen eine Verwerfung zeigen, die auf den Unterschied der Schrumpfungskoeffizienten des grünen keramischen Plättchens und der Leiterschicht zurückzuführen ist. Ferner kann die Bindefestigkeit zwischen der metallisierten Leitschicht und dem keramischen Plättchen erniedrigt v/erden und zum Abblättern und dergleichen führen. Das Verfahren ist demnach vergleichsweise kompliziert und führt zu niedriger Ausbeute.
Ein verbessertes Verfahren /ur Herstellung von keramischen Mehrschichtstrukturen wird in der US-PS 35 49 784 beschrieben. Bei diesem Verfahren wird zunächst ein keramisches Substrat durch Auftragen eines Gemisches aus Aluminiumoxid. Mineralisatoren. Weichmacher. Netzmittel und Losungsmittel auf einen temporären Träger hergestellt. Auf das so erhaltene keramische Substrat können vor oder nach dem Brennen des Substratplättchens keramische Pasten zur Herstellung von Isolierschichten uiii/oder I.eitersehichten aufgetragen werden. Diese keramischen Pasten enthalten vorzugsweise Aluminiumoxid. Siliciumdioxid und Magnesiumoxid sowie ein flüssiges Trägermedium und ein geeignetes polymeres Bindemittel. Es ist bei dem bekannten Verfahren möglich, die Isolierschicht und die Leiterschicht auf das noch ungesinterte keramische Substrat aufzutragen und die Schichten später gemeinsam /u brennen. Das Material fur die aufzutragenden Schichten wird jedoch nur insofern auf das Substratmaterial abtestimmt. als in beiden Fällen ein überwiegender Anteil an Aluminiumoxid und zusätzlich Mmeralisatoren vorliegen können. Im Hinblick auf die Mengenverhältnisse und das Bindemittel weichen jedoch das Substratmaterial und das Material für die Schichten voneinander ab. Bei diesem bekannten Verfahren kann zwar gegenüber anderen Verfahren dadurch eine verbesserte Haftung er/ieli werden, daü die Isolierschicht auf das ungebrannte keramische Substrat aufgetragen wird und beide Schichten gemein sam gesintert werden. Wegen der unterschiedlichen Zusammensetzung des Materials des keramischen Substratplättchens und der aufgetragenen Schichten treten jedoch bei der Sinterung die unterschiedlichen Schrumpfungskoeffizierilen in Erscheinung und es kommt zu einer unzureichenden Haftung zwischen beiden Schichten. Um die Deformation der gebildeten keramischen Struktur aufgrund der unterschiedlichen
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Schrumpfungskoeffizienten zu vermeiden, hat man es gemäß der US-PS 35 49 784 als erforderlich angesehen, auf der Rückseite des keramischen Plättchens eine zusätzliche metallisierte Schicht aufzubringen. Diese Maßnahme erfordert einen zusätzlichen Verfahrensschritt, wodurch das Gesamtverfahren verteuert und komplizierter gemacht wird und führt darüber hinaus zu einer Erhöhung der Dicke der gesamten keramischen Struktur.
Eine weitergehende Anpassung der Zusammensetzung der aufzutragenden Schichten auf das Substratmaterial svar für den Fachmann aus der US-PS 35 49 784 nicht ersichtlich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung einer keramischen Verbund-Sinterstruktur zur Verfügung zu stellen, welches einerseits die Ausbildung einer außerordentlich dünnen Verbundstruktur ermöglicht und andererseits unnötige Verformungen und Verzerrungen der Substrate vermeidet und zu einer wesentlich verbesserten Haftung zwischen dem Substratplättchcn und den darauf aufgetragenen Schichten führt
Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung einer Verbund-Sinterstruktur durch Ausbilden eines grünen Keramikplättchens aus einem anorganischen pulverförmigen keramischen Material, das überwiegend aus Aluminiumoxid besteht und Mineralisatoren enthält, einem Bindemittel, einem Lösungsmittel und gegebenenfalls einem Weichmacher, Auftragen einer Schicht einer grünen keramischen Isolierpaste und/oder Leiterpaste auf das grüne Keramikplättchen und gemeinsames Sintern des Keramikplättchens und der aufgetragenen Schicht oder Schichten. Dieses Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß für das grüne Keramikplättchen und die grüne -55 keramische Isolierpaste und/oder Leiterpaste das gleiche aus Aluminiumoxid und Mineralisatoren bestehende pulverförmige keramische Material und das gleiche Bindemittel im gleichen Mischungsverhältnis verwendet \*.rd. ίο
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren werden zum Auftragen der Isolatorschicht und/oder der Leiter Pasten verwendet, deren Schrumpfurigskoeffizient gleich dem des grünen keramischen Plättchens ist, auf das die1 Schicht bzw die Schichten aufgetragen werden sollen.
Auf diese Weise werden diel Interschiede im Hinblick auf die Schrumpfungskoerfi/ientcn in der gebildeten Verbundstruktur ausgeschaltet, so daß während der Sinteriingsstufe keine Verformung der Struktur eintritt.
Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens wird daher eine Verbund-Sinterstruktur ausgebildet, die einen dichten Aufbau hat. vollkommene Luftdichtheit zwischen den Schichten wegen der außerordentlich verbesserten Haltung zeigt, keine Verformungen aufweist und vergleichsweise hohe Haltbarkeit besitzt.
Es wird ermöglicht, diese Verbund-Sinterstruktur außerordentlich dünn und mit geringen Abmessungen her/uM:ellen.
Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung führt man das Sintern bei einer Temperatur von 1450 bis 16500C in einer reduzierenden oder inerten Atmosphäre durch.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird für das Gemisch, das zur f>5 Ausbildung des grünen keramischen Plättchens dient, eine Mischung siedentiss Lösungsmittel und als Lösungsmittel für die grünen keramischen Pasten ein hochsiedendes Lösungsmittel verwendet.
Erfindungsgemäß kann die Verbindung der Leitungen bzw. Verdrahtungen der entsprechenden Schichten sehr leicht durchgeführt werden. Außerdem werden die entsprechenden Schichten durch Aufdrucken der keramischen Paste und der Leiterpaste ausgebildet und die Dicke der Schichten kann so geregelt werden, daß diese ausreichend dünn sind. Die Dicke der Verbund-Sinterstruktur der Mehrschicht-Verbrndungen kann daher ausreichend geringer gehalten werden, als die der Strukturen, die nach bekannten Methoden erhalten wurden.
Darüber hinaus werden erfindungsgemäß die Materialien so ausgewählt und die Mischungsverhältnisse so festgelegt, daß kein Unterschied in der Schrumpfung des grünen keramischen Plättchens und der aufgedruckten Schichten während der Sinterung auftritt Auf diese Weise kann daher eine ausgezeichnete Verbund-Sinterstruktur erhalten werden, die frei von Abblättern, Unterbrechung der Verbindung ur' Verwerfen aufgrund einer unterschiedlichen Schrumpfung ist.
Die Schrumpfungskoeffizienten des grünen keramischen Plättchens und der aufgedruckten Pastenschichten werden durch die Materialien, die Mischungsverhältnisse und dergleichen des anorganischen pulverförmigen Materials, wie Aluminiumoxid und Bindemittel, bestimmt.
Wenn daher für das Plättchen und die Pasten eii; keramischer Schlamm verwendet wird, der aus den gleichen Materialien, in gleichen Mischungsverhältnissen und mit Hilfe des gleichen Mischverfahrens erhalten wurde, wird die Regelung noch stärker erleichtert und beim Sintern treten gleiche Schrumpfungskoeffizienten auf. Es wird daher eine ausgezeichnete Verbund-Sinterstruktur erhalten, die frei von Abblättern, Unterbrechung und Fehlern aufgrund der unterschiedlichen Schrumpfung ist.
Die Erfindung wird durch die Zeichnungen erläutert. Darin ist Fig. 1 die Schnittansicht einer fertiggestellten Struktur, die durch das erfindungsgemäße Verfahren hergestellt wurde. Die F i g. 2 und 3 sind Diagramme von Herstellungsverfahren entsprechend Ausführungsformen der Erfindung.
Fig. 1 ist eine .Schnittansicht, weiche den fertiggestellten Körper einer Verbund-Sinterstruktur zeigt, der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhalten wurde In dieser Figur bedeuten die Bezugsziffern 1 ein keramisches Plättchen. 4,4'. 4" und jeweils 4'" Isolierschichten und 2,2' und 2" Leiterschichten.
Fig. 2 veranschaulicht ein erfindungsgemäßes Herstellungsverfahren. Nachstehend werden die verschiedenen Blöcke, von denen jeder eine Herstellungsstufe zeigt, ausführlich erläutert:
(I) Als anorganisches keramisches Material wird ein Gemisch hergestellt, das aus Aluminiumoxid AIjOj als Hauptbestandteil und pulverförmigen Mineralisatoren, wie Siliciumdioxid S1O2 und Magnesiumoxid MgO, besteht. Die Mengenverhältnisse betragen beispielsweise 91 Gew.-% AI2O), 6,8 Gew.-% SiO2 und 2,2 Gew.*% MgO. Als Bindemil· IeI, welches dem Gemisch des anorganischen keramischen Materials Bindeeigenschaften verleiht, wird Polyvinylbutyral dem Gemisch zugesetzt.
Die Sinterungstemperatur kann durch die zugesetzten Mengen der Mineralisierungsmittel in geeigneter Weise verändert werden. Im allgemeinen variiert der Anteil an Aluminiumoxid zwischen
88 und 95 Gew.-% des anorganischen keramischen Materials.
(2) Das resultierende Gemisch wird etwa 30 Minuten in einer Kugelmühle gemahlen, wobei ein pulverförmiges Aiuminiumoxid-Geniisch erhalten wird.
(3) Als Lösungsmittel für das Polyvinylbutyral wird ein Lösungsmittel zubereitet, das bewirkt, daß sich das Gemisch leicht zu einem Plättchen verformen läßt (ein niedrigsiedendes Lösungsmittel), beispielsweise ein azeotropes Gemisch (aus 60 Gew.-% Trichlorethylen, 23 Gew.% Butylalkohol und 70 Gew.-% Perchlorälhylcn).
Als Weichmacher für das grüne keramische Material wird Butylphthalylbutylglykolat verwendet. Diese Materialien werden zusammen mit dem Polyvinylbutyral dem Aluminiumoxid-Pulvergemisch in Mengenanteilen von 6 g Butvar, 38 g des niedrigsiedenden Lösungsmittels und 2,8 g des
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rials (Aluminiumoxid plus Mineralisatoren) zugesellt und in dieses eingemischt.
(4) Das erhaltene viskose Gemisch wird in einer Kugelmühle 3 Stunden ausreichend vermählen und durchmischt, wobei ein Aluminiumoxid-Schlamm erhalten wird.
(5) Der Aluminiumoxidschlamm wird auf einen Harzfilm gegossen, beispielsweise aus Polyester oder Tetronfilm oder ein das Ablösen begünstigendes Papier. Auf diese Weise wird aus dem Schlamm ein Plättchen festgelegter Dicke (etwa 1,0 mm) und der gewünschten Gestalt ausgebildet. Danach wird der plättchenförmige Schlamm erhitzt, um das niedrigsiedende Lösungsmittel zu verflüchtigen, und um zu einem grünen keramischen Plättchen zu trocknen.
Die Blöcke (3') bis (5") in F i g. 2 beziehen sich auf die Verfahrensstufen, die zur Herstellung der grünen keramischen Isolatorpaste sowie der Leiterpaste angewendet werden.
(3') In das in Stufe (2) hergestellte pulverförmige Aluminiumoxid-Gemisch werden ein leicht druckfähiges Lösungsmittel (hochsiedendes Lösungsmittel) beispielsweise Butylcarbitolacetat als Lösungsmittel für Polyvinylbutyral und ein Weichmacher für das grüne keramische Material, und zwar der gleiche, der in Stufe (3) verwendet wurde, zugegeben. Die Mischungsverhältnisse betragen 2,8 g des Weichmachers und 38 g des hochsiedenden Lösungsmittels auf 106 g des pulverformigen Aluminiumoxid Gemisches.
(4') Das erhaltene viskose Gemisch wird 3 Stunden in einer Kugelmühle ausreichend gemahlen und durchmischt, wobei ein Aluminiumoxid-Schlamm gebildet wird. Der Schlamm wird in zwei Teile geteilt.
(5') Ein Teil des Aluminiumoxidschlamms wird als grüne keramische Paste für die Isolierschicht verwendet
(5") Leiterpulver, beispielsweise ein pulverförmiges Material mindestens eines thermisch hochbeständigen Metalls, wie Wolfram, Molybdän und Titan, wird dem anderen Teil des Aluminiumoxidschlamms zugesetzt und in diesen eingemischt Auf diese Weise wird die Leiterpaste hergestellt Zu diesem Zeitpunkt kann der Widerstand des Leitermaterials durch Einstellen der Menge des Metallzusatzes oder der Metallzusätze festgelegt
werden.
Die Leiterpasle und die Isolatorpasle werden je in Form einer einzigen Schicht oder in Form von abwechselnden Laminalschichtcn auf das grüne keramische Plättchen aufgedruckt, was beispielsweise mit Hilfe des Siebdruckverfahrens erfolgen kann. Nach jeder Druckstufe wird die Paste bei 8O0C getrocknet.
Das Laminat aus dem grünen keramischen Plättchen und den aufgedruckten Pasten wird in einer reduzierenden Atmosphäre, beispielsweise einem gasförmigen Gemisch aus N2 und H2 oder in einer inerten Atmosphäre, beispielsweise aus gasförmigem N2. auf etwa 1450 bis 1650"C erhitzt Danach bestehen das grüne keramische Plättchen und die Isolalorpaste aus Keramik und gleichzeitig ist die Leiterpaste metallisiert worden. Diese Bestandteile werden dabei auch gesintert.
In der vorstehend beschriebenen speziellen Ausführungsform wird beim Ausbilden des grünen keramischen Plältchens das Lösungsmittel, das dazu dient, um das Gemisch leicht zu einem Plättchen zu verformen oder auszubreiten (niedrigsiedendes Lösungsmittel) dem Aluminiumoxidgemisch zugesetzt Der Grund für die Verwendung des niedrigsiedenden Lösungsmittels liegt dann, daß es sich bei normaler Temperatur verflüchtigt, was für den Vorgang der Ausbildung des Plättchens geeignet ist. Demnach ist die Erfindung in keiner Weise auf dieses spezielle Lösungsmittel beschränkt sondern es kann auch ein hochsiedendes Lösungsmittel verwendet werden. In diesem Fall wird der Weichmacher bei dieser Ausführungsform gleichzeitig zugesetzt, um die Handhabung des Plättchens zu erleichtern. Im Fall der Zugabe des hochsiedenden Lösungsmittels kann jedoch die getrennte Zugabe des Weichmachers unterbleiben, wenn das hochsiedende Lösungsmittel in gewissem Ausmaß verbleibt, da es schwierig ist. es bei Normaltermperatur völlig zu verflüchtigen, so daß der restliche Anteil des Lösungsmittels als Weichmacher verwendet wird.
Ferner wird bei der Herstellung der Pasten das leicht
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des Lösungsmittel) dem Aluminiumoxid-Gemisch zugesetzt. Dies erfolgt deshalb, weil durch Zugabe des hochsiedenden Lösungsmittels der pastöse Zustand beibehalten wird, wodurch verhindert wird, daß dss Sieb einer Siebdruckvorrichtung beim Drucken verstopft wird. Wenn es daher erforderlich ist, daß die Druckvorrichtung verbessert wird, um das Problem zu lösen, wird auch ein niedrigsiedendes Lösungsnv'tel angewendet
Eine weitere spezielle Ausführungsform wird nun in Verbindung mit den in Fig.3 dargestellten Herstel- _5 lungsverfahren beschrieben.
(1) Als anorganisches keramisches Material wird ein Gemisch hergestellt das aus Aluminiumoxid AI2Oj als Hauptbestandteil und pulverförmigen als Mineralisatoren dienenden Materialien, wie Siliciumdioxid SiO2 und Magnesiumoxid MgO besteht. Die Mischungsverhältnisse betragen beispielsweise 91 Gew.-% Al2O3. 6,8 Gew.-% SiO2 und Z2 Gew.-% MgO. Die Sinterungstemperatur kann in geeigneter Weise durch die zugesetzten Mengen der Mineralisatoren eingestellt werden.
Polyvinylbutyral wird ais Bindemittel verwendet um dem anorganischen keramischen Material Bindevermögen zu verleihen. Ein niedrigsiedendes Lösungsmittel,
beispielsweise ein azeotropes Gemisch (bestehend aus Gew.-% Trichloräthylen, 23 Gew.-% Butylalkohol und 17 Gew.-% Perchloräthylen) wird als Lösungsmittel für das Polyvinylbutyral hergestellt. Butylphthalylbutylgiykolat wird als Weichmacher für das grüne keramische Material verwendet. 6 g Polyvinylbutyral 38 g des niedrigsiedenden Lösungsmittels und 2,8 g des Weichmachen iverden zu 100 g eines keramischen Materials (Aluminiumoxid plus Mineralisatoren) zugesetzt und in dieses eingemischt.
(2) Das resultierende Gemisch wird in einer Kugelmühle während 3 Stunden ausreichend gemischt, wobei ein Aluminiumo<idschlamm erhalten wird.
(3) Der Aluminiumoxidschlamm wird auf einen Film aus einem Harz, beispielsweise aus Polyester oder auf ablösbares Papier gegossen, wobei ein grünes keramisches Plättchen mit festgelegter Dicke
!■,ι/ iii[ii| UMU gi»TTunai.iiii.i ubainii aujgbuuubi wird. Das grüne keramische Plättchen wird durch Erhitzen und Verflüchtigen des niedrigsiedenden Lösungsmittels getrocknet.
(3') Bei Verwendung des Aluminiumoxidschlamms für die Pasten verdampft das niedrigsiedende Lösungsmittel bei Normaltemperatur und der Aluminiumoxidschlamm verfestigt sich rasch, wenn er nicht modifiziert wird. Als Ergebnis davon tritt beim Bedrucken das Verstopfen des Siebs auf und die Reinigung des Siebs nach dem Druck wird schwierig. Das niedrigsiedende Lösungsmittel wird da:jer in gewisser Hinsicht durch ein hochsiedendes Lösungsmittel ersetzt, das heißt, das niedrigsiedende Lösungsmittel wird zur Herstellung des Schlamms für das Plättchen verwendet und das Lösungsmittel mit höherem Siedepunkt wird dem Schlamm zugesetzt, der niedrigsiedendes Lösungsmittel enthält. Beispielsweise werden 120 g Butylcarbitolacetat und 0,2 g Siliconöl als Entformungsniittel zu 500 g des Aluminiumoxidschlamms gegeben. Der Aiuminiumoxidschlamm, der die Additive enthält, wird dem Vakuumerhitzen (bei einer Temperatur von 80 bis 900C und unter einem Druck von 10-31 Torr) unterworfen, um das niedrigsiedende Lösungsmittel zu entfernen. Auf diese Weise wird eine Paste erhalten.
ίο Die in Stufe (3') hergestellte Paste kann in diesem
Zustand als Isolatorpaste verwendet werden.
(3") Um die Leiterpaste herzustellen, wird außerdem ein pulverförmiges Material, das aus mindestens einem thermisch hochbeständigen Metall, wie Wolfram, Molybdän und Titan besteht, zugesetzt und in die vorstehende Paste eingemischt. Der Widerstand des Leitermaterials wird durch die Menge des als Additiv verwendeten Metalls oder
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allgemeinen bestehen 50 bis 70 Gew.-% der Leiterpaste aus den Metalladditiven.
Die Isolatorpaste und die Leiterpaste werden in Form je einer einzigen Schicht oder in Form von abwechselnden Laminatschichten auf das grüne keramische Plättchen, beispielsweise mit Hilfe des Siebdruckverfahrens, aufgedruckt. Nach den entsprechenden Druckstufen werden die Pasten bei 80° C getrocknet.
Die Laminatstruktur aus dem grünen keramischen Plättchen und den Pasten wird in einer reduzierenden .Atmosphäre, beispielsweise aus gasförmigem Wasserstoff, auf etwa 1450 bis etwa 1650° C erhitzt. Das grüne keramische Plättchen und die Isolatorpaste werden in K.eramik übergeführt und gleichzeitig wird die Leiterpasie metallisiert, so daß gesinterte Schichten entstehen.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
MB 647/194

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung einer Verbund-Sinterstruktur durch Ausbilden eines grünen Keramikplättchens aus einem anorganischen pulverförmigen keramischen Material, das überwiegend aus Aluminiumoxid besteht und Mineralisatoren enthält, einem Bindemittel, einem Lösungsmittel und gegebenenfalls einem Weichmacher, Auftragen einer Schicht einer grünen keramischen Isolierpaste undvoder Leiierpaste auf das grüne Keramikplättchen und gemeinsames Sintern des Keramikplättchens und der aufgetragenen Schicht oder Schichten, d a durch gekennzeichnet, daß für das grüne Keramikplättchen und die grüne keramische Isolierpaste und/oder Leiterpaste das gleiche aus Aluminiumoxid und Mineralisatoren bestehende pulverförmige keramische Material und das gkiche Bindemitte! im gleichen Mischungsverhältnis verwendet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man das Sintern bei einer Temperatur von 1450 bis 16500C in einer reduzierenden oder inerten Atmosphäre durchführt.
3. Verfahren nach Anspruch I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß man als Lösungsmittel für das Material des grünen keramischen Plättchens ein niedrig siedendes Lösungsmittel und als Lösungsmittel für die grünen keramischen Pasten ein hochsiedendes Lösu"gf mittel verwendet.
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