DE2238040B1 - Verfahren zum Abdecken von Flachentei len an Isolierkörpern beim Aufdampfen von elektrisch leitenden Schichten, vorzugswei se aus Zinnoxid - Google Patents

Description

• Patentansprüche: 1. Verfahren zum Abdecken von Flächenteilen an Isolierkörpern mittels eines Überzugs beim Aufbringen, wie Aufdampfen, von elektrisch leitenden Schichten, insbesondere aus Zinnoxid (SnO2), dadurch gekennzeichnet, daß auf die abzudeckenden Teilflächen ein Überzug aus einer anorganischen pulverförmigen Substanz aufgebracht wird, der bei einer Temperatur von 4500 C noch stabil, für die Aufdampfstoffe aus der Gasphase ausreichend dicht ist und der in einfacher Weise ohne Veränderung des den Untergrund bildenden Isolierkörpers durch Lösen entfernbar ist.
• 2. Verfahren nach Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufbringen der pulverförmigen Substanz in Form einer Suspension, z.B.
• durch Tauchen, erfolgt.
• 3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckschicht in schwachen Säuren leicht löslich ist.
• 4. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche 1 bis3, dadurch gekennzeichnet, daß als anorganische Pulver Oxide oder Karbonate der Alkali- oder Erdalkali-Metalle verwendet werden.
• 5. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die pulvrige Substanz aus MgO besteht Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abdekken von Flächenteilen an Isolierkörpern mittels eines Überzugs beim Aufbringen, wie Aufdampfen, von elektrisch leitenden Schichten, insbesondere aus Zinnoxid (SnO2).
• Sie hat besondere Bedeutung u. a. für die- Herstellung von elektrischen Entladungsgefäßen, bei denen es notwendig ist, Flächenteile, z. B. von der Gefäßwandung oder aber auch sonstigen, aus einem Substrat bestehenden Systemteilen mit definierter Berandung mit einer leitenden Schicht zu versehen, um dann mit einer Zuleitung versehen, im Betrieb als Elektrode z. B. mit einem Potential beaufschlagt zu werden. Däzu- ist es erforderlich, - daß die übrigen Teile des betreffenden Isolierkörpers beim Aufdampfvorgang gegen ein Bedampfen geschützt werden und außerdem hinterher ihre vollen ursprünglichen Eigenschaften, insbesondere Isoliereigenschaften, wieder aufweisen Bei geometrisch einfachen Formen, wie z.B. bei stabförmigen Fotoblitzlampen, ist es an sich bekannt, die auszusparenden Flächen z. B. durch eine entsprechende Metallmaske vor dem Bedampfen abzudekken. Dieses Verfahren hat sich aber zumindest bei der Herstellung großer Stückzahlen als umständlich und kostspielig erwiesen, weil z. B. die betreffenden Metallkappen nicht beliebig häufig, sondern vielfach nur einige wenige Male benutzt werden können.
• Bei komplizierten Flächenmustern, z.B. bei der Herstellung von Flüssigkristall-Displays, ist diese Methode beim Aufbringen von SnO2-Schichten durchwegs gar nicht zu verwirklichen. Wegen der Schwierigkeiten, derartige komplizierte Muster mit Hilfe von z. B. Masken oder ähnlichen Einrichtungen abzudecken, ist es bisher meist üblich, zunächst die gesamte Fläche des Isolierkörpers mit z.B. SnO2 zu bedecken und danach das gewünschte Muster mit einem üblichen fotosensiblen Lack nach einem an sich geläufigen Verfahren zu bedecken.
• Bei diesem bekannten Verfahren werden dann wegen der hohen chemischen Beständigkeit von SnO2 die endgültig freizuhaltenden Flächenteile mit naszierendem Wasserstoff unter Eintauchen der dazu mit Zinkpulver bedeckten Flächen in Salzsäure von SnO2 befreit und dann der Abdecklack mit einem entsprechenden Lösungsmittel wieder entfernt.
• An Stelle dieser umständlich zu handhabenden und deshalb auch kostspieligen Methode der Musterherstellung für aufzubringende leitende Schichten ein einfach arbeitendes Verfahren zu erstellen, ist Ziel der der Erfindung zugrunde liegenden Aufgabe.
• Erreicht wird dies bei einem im ersten Absatz beschriebenen Verfahren nach der Erfindung dadurch, daß auf die abzudeckenden Teile ein Überzug aus einer anorganischen -puiverörmigen Substanz aufgebracht wird, der bei einer Temperatur von etwa 4500 C noch stabil, für die Aufdampfstoffe aus der Gasphase ausreichend dicht ist und der in einfacher Weise ohne Veränderung des den Untergrund bildenden Isolierkörpers durch Lösen-wieder entfernbar ist.
• Bei einer bevorzugten Ausführungsform erfolgt das Aufbringen der pulverförmigen Substanz in Form einer Suspension:-;auf Wasser-Alkohol-Basis, z.B. durch Tauchen. - Es-kann jedoch auch -durch Sprühen, Streichen, Drucken pd. dgl. vorgenommen werden. Mit besonderem'Vorteil kann die nach dem Verfahren aufgebrachte Abdeckschicht in schwachen Säuren leicht durch Lösen entfernt werden.
• Als besonders geeignete anorganische Pulver haben sich Oxide und Karlan-n'te-dér Alkali- oder Erdalkali-Metalle erwiesen.
• Für die Durchfiihrun'g dès Verfahrens dient z.B.
• nachfolgendes Ausführungsbeispiel: 21Qg Magnesiurzkarboiåt werden etwa 2 Stunden bei 7000 C geglüht und langsam abgekühlt. Das erkaltete Magnesiumoxid (etwa 100 g) wird mit 100 g handelsüblichem :hlagn;i;-nod-und mit mit etwa 1,81 Wasser vermischt.
• Nach einer guten Homogenisierung mit einem Rührwerk werden etwa 180 ml Äthanol zugefügt und nochmals kurzzeitig homogenisiert. Der Ansatz muß zur Oewährleistuu ei'her'-gleichmäßigen Hydratisierung und Gelbildung etwa 4bis 5 Tage stehen. Danach werden noch 11 Äthanol hinzugefügt und etwa 15 bis 2Q Minuten mit einem hochtourigen Rührwerk homogenisiert.
• In diese Suspension werden z.B. die abzudeckenden Enden von Blitzlampen getaucht, so daß sich ein Film bildet, der an Luft leicht trocknet.
• Die so vorbehandelten Lampen können in bekannter Weise mit einer Zinnoxidschicht bedampft werden.

Claims (1)

1. Nach der Bedampfung werden die Lampen in verdünnte Essigsäure getaucht, dadurch wird die Magnesiumoxidschicht quantitativ abgelöst und die an dieser Stelle unerwünschte Zinnoxidschicht dabei abgeschwemmt, ohne daß die übrigen mit Zinnoxid bedeckten Teilflächen angegriffen werden. Eine Spülbehandlung in Wasser und Methanol verhindert eine eventuelle Korrosion an den Anschlußdrähten.