DE2222754C2 - Metallisierende Paste und ihre Verwendung - Google Patents
Metallisierende Paste und ihre VerwendungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine metallisierende Paste auf der Grundlage eines wärmeverdampfbaren, flüssigen
Mediums, das ein Glasurmaterial und ein Metall in Pulverform enthält zur Bildung eines haftenden,
elektrisch und thermisch leitenden metallhaltigen Überzugs auf einer Keramikoberfläche, sowie die
Verwendung dieser Paste.
Die Erfindung findet Verwendung bei der Herstellung von Leitern für Mikroschaltungen auf keramischen
Substraten und eine weitere Anwendung auf dem Mikroschaltungsgebiet ist die Herstellung von Polstern
bzw. Puffern (Kühlflächen) an der Unterseite von keramischen Substraten zur Aufnahme von Wärme aus
den Substraten zur Wärmeableitung.
Metallisierende Pasten, die sich für die vorstehend genannten Zwecke eignen, sind bekannt, jedoch
erforderten für ein Brennen an der Luft geeignete Pasten bisher die Verwendung von kostspieligen
Edelmetallen, wie z. B. Gold, Silber. Platin oder Palladium, wie dies beispielsweise in der DE-OS
14 881 beschrieben wird. Demgegenüber stellt die vorliegende Erfindung eine Paste zur Verfügung, die an
der Luft gebrannt werden kann, die jedoch ein billiges Metall, nämlich Aluminium öder eine Aluminiumlegie*
rung an Stelle eines Edelmetalls verwendet
Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, eine solche eingangs geschilderte Paste zu schaffen.
Diese Aufgabe wurde; nun bei einer Paste der obengenannten Art gern« Anspruch 1 dadurch gelöst,
daß die metallisierende Paste Aluminium oder eine Legierung davon als Metall und ein Glasurmaterial, das
in geschmolzenem Zustand das Oxid des Aluminiums oder der Legierung löst und die Keramikoberfläche
benetzt, enthält
Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben.
Durch Lösen des Oxids des Metalls oder der Legierung macht die geschmolzene Glasur wenigstens
ίο teilweise den isolierenden Oxidfilm löslich, von dem
bekannt ist, daß er Aluminium enthaltende Teilchen überzieht Dadurch werden sowohl die elektrische, als
auch die thermische Leitfähigkeit des Niederschlags wesentlich erhöht
Vorzugsweise schmilzt das Glasurmaterial bei einer Temperatur die nicht höher ist als die Schmelztemperatur
des Aluminiums bzw. einer Legierung davon. Es wurde nämlich festgestellt daß die Leitfähigkeit des
gebildeten Niederschlags erniedrigt wird,^. tnn man das
Glasurmaterial bei einer höheren Temperatur als der Schmelztemperatur der Aluminium-Komponente
schmilzt d.h. wenn das Glasurmaterial schmilzt nachdem die Aluminium-Komponente geschmolzen ist.
Das bevorzugte Glasurmaterial, das zur Verwendung mit Aluminium oder einer Aluminiumlegierung oder
einer durch Wärme zerlegbaren Verbindung des Metalls oder der Legierung geeignet ist enthält ein Boroxid.
Das Glasurmaterial kann weiterhin ein Bleioxid enthalten. Ein zur Verwendung in einer metallisierenden
Paste geeignetes, flüssiges Medium enthält Aluminium oder eine Aluminiumlegierung und ein Glasurmaterial.
Das bevorzugte flüssige Medium ist ein polymerisiertes cyclisches Keton, das in einem Lösungsmittel, wie
Terpineol, gelöst ist Eine geeignete keramische Oberfläche, die sich zur Verwendung mit einer solchen
Aluminium enthaltenden metallisierenden Paste eignet ist Aluminiumoxid. Zu anderen Oberflächen, außer
Aluminiumoxid, die verwendet werden können, gehören Siliciumdioxid- oder Aluminiumoxid-Silicat-Oberflächen.
Zu Aluminiumlegierungen, die in Pasten nach der vorliegenden Erfindung verwendet werden können,
gehören Al/Cu- und Al/Ag-Legierungen.
Die vorliegende Erfindung wird weiterhin in beispielhafter Weise durch die folgenden Ausführungsformen
erläutert. Ein wärmeverdampfbares, flüssiges Medium wurde mit Aluminiumpulver, Boroxid und Bleioxid unter
Bildung einer Paste gemischt, die eine zum Siebdruck der Mikroschaltung geeignete Konsistenz aufweist. Das
flüs->ige Medium war ein handelsübliches polymerisier-
ϊο tes cyclisches, in Terpineol gelöstes Keton.
Eine geeignete Paste enthält 35 crrr* flüssiges Medium
für jeweils 100 g Feststoffe, die 92 g Al, 6 g PbO und 2 g
B2O) enthalten. Die bevorzugte Teilchengröße des
Al-Pulvers war I bis 2 μπι und die Blei- und Boroxide hatten eine Größe von 0,04 mm. Die Paste wurde mittels
Siebdruck auf einem Aluminiumoxidsubstrat unter Bildung eines Abdrucks einer Mikroschaltung, die eine
Vielzahl von Mikroschaltungsleitern enthielt, aufgedruckt. Das verwendete Substrat war ein handelsübliches
96%iges AljOB-Material. Das Substrat mit der
aufgedruckten Nachbildung wurde bei 100" bis 2000C
getrocknet (um das verdampfbare Material zu entferhCflj
und dann an der Luft bei 8300G gebrannt, einer
Temperatur* bei der sowohl das Aluminiumpulver, als
auch das gemischte Boroxid/Bleioxid geschmolzen werden* Das Substrat wurde 50 Minuten gebrannt Das
geschmolzene Aluminiumpulver bildete eine leitende Mikroschaltungsnachbiidung Und das geschmolzene
Boroxid/Bleioxid benetzte das Substrat durch Grenzflächenreaktion
mit diesem. Durch nachfolgendes Abkühlen auf Raumtemperatur wurde eine verfestigte und
elektrisch leitende Mikroschaltung erhalten, die mit dem Substrat durch das verfestigte, gemischte Oxidglas
verbunden war. Die elektrische Leitfähigkeit von Mikroschaltungen durch Luft gebrannte Nachbildungen,
wie im voraus beschrieben, beträgt typischerweise 20 bis 30 ΐηΩ/mm2 im Vergleich zu beispielsweise
Werten von 4 mO/mm2 bei Au, 10 bis 15 mD/mm2 bei
Pt/Au und 60 τηΩ/mm2 bei Pd/Ag.
Neben den elektrischen Leitungen für Mikroschaltungen erhält man mit Hilfe der vorliegenden Erfindung
wärmeabziehende Elemente, die an der Unterseite von
Mikroschaltungssubstraten angebracht sind, um aus diesen Wärme zu entfernen. Solche Elemente, die die
Form von Polstern haben und als Kühlflächen zu bezeichnen sind, können auch als Pastennachbildungen
mittels Siebdruck abgelagert und in thermisch leitende Polsterungen durch Brennen und nachfolgende Verfestigung
überführt werden. Es ist dem Fachmann bekannt, daß die Verteilung bzw. Abführung von
Wärme, die durch Mikroschaltungen hoher Dichte gebildet wird, ein Problem darstellt. Ein Verfahren, die
Substratwärme wesentlich zu verringern, ist die Herstellung thermisch leitender Elemente (Kühlflächen)
mit Hilfe der vorliegenden Erfindung.
Claims (7)
1. Metallisierende Paste auf der Grundlage eines wärmeverdampfbaren, flüssigen Mediums, das ein
Glasurmaterial und ein Metall in Pulverform enthält,
zur Bildung eines haftenden, elektrisch und thermisch leitenden metallhaltigen Oberzugs auf einer
Keramikoberfläche, dadurch gekennzeichnet,
daß sie Aluminium oder eine Legierung davon als Metall und ein Glasurmaterial, das in geschmolzenem
Zustand das Oxid des Aluminiums oder der Legierung löst und die Keramikoberfläc-he benetzt,
enthält.
2. Metallisierende Paste nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Glasurmaterial bei einer
Temperatur schmilzt die nicht höher liegt als die Schmelztemperatur der Komponente.
3. Metallisierende Paste nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sie als
Komponente eine Aluminium/Kupfer- oder eine Aluminium/Silber-Legierung enthält
4. Metallisierende Paste nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Glasurmaterial ein Boroxid
enthält.
5. Metallisierende Paste nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet daß das Glasurmaterial zusätzlich
ein Bleioxid enthält.
6. Metallisierende Paste nach den Ansprüchen 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß sie als flüssiges
Medium ein in einem Lösungsmittel gelöstes ρ« iymerisiertes cyclisches Keton enthält
7. Verwendung einer metallisierenden Paste gemäß den Ansprüchen 1 bis 6 zur Herstellung eines
haftenden, elektrisch und thermisch leitenden Elementes auf einer Keramikoberfläche.
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