JPS5851503A - 導体組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は厚膜電極組成物、そして特に密封性セラミック
コンデンサー用の端子として有用なそのような組Ｉｆｊ
、物に関する。

厚膜導体は抵抗、コンデンサーおよび果槓回路の間の電
気的な相互接続子として参く。厚膜導体はマイクロ回路
産業において典型的には基質上に導体パターンを焼成さ
せ、そして次いでその導体パターンの一部分上に抵抗ま
たはコンデンサーパターンを印刷しそして次いで両者を
共に焼成させることによる抵抗またはコンデンサーノ（
ターンの「端子形成」のために使用されるＯ その他の厚膜物質と同様に、厚膜導体は共に微細に分割
された形態でそして有機ベヒクル中に分散されている活
性（電気伝碑性）金員および無機結合剤を包含している
。導体相は通常は金、パラジウム、銀、白金またはその
合金であシその選択は希求されている特定の性能特性、
例えは抵抗率、扛んだづけ性、はんだ浸出抵抗性、移動
（ｍｉｇｒａｔｉｏｎ）抵抗性、結合性その他に依存す
る。

厚膜技術は蒸発またはスバタリ／グによる粒子の沈着を
包含する薄膜技術とは対照的なものである。厚膜技術は
Ｏ，Ａ、Ｈａｒｐｅｒ氏＠　Ｈａｎｄｂｏｏｋｏｆ　　
Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　　ａｎｄ　　Ｐｒｏｃｅｅａｅｅ
　　ｆｏｒ　　Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ（ＭｃＧｒａｗ
−Ｈ１ｌ１社１９７０年版）第１２章に論じられている
。

適正な電気伝導度水準に加えて９ｉｊｌえはセラばツク
基質および厚膜両方に対する艮好な接着力、はんだ性お
よび他のみ膜との相容性、表面結晶生長のほとんどかま
たは全くの欠除、そして密封系における艮好な彼用相谷
性および印刷された〜ＰＭ抵抗また龜コン１ノサー系と
の１才とんどかまたは全くの化学的相互作用の欠除のよ
うなこオーまた存在させなくてはならない多くの二次的
性實が存在する。

期待されるように％亀子として便用するための厚膜導体
の技術におりる厳も臨界的な変数は２個の機能系の接着
である。すなわち従来技術においては極々の接着促進剤
の添加が強調されてきた。これに関しての特に重要なこ
と＃′ｉ厚換置換誘電組成物タニウムレジネー）（ｉｌ
ｌＱチ／ネートを包含させて、それらと共！／ｃ１史用
される基質およびＪＩＪＩＩ端子の両方への良好な＠着
を行わせ・ることである。この適用においては、相対的
接着は系を焼成した後に誘電体物質から端子を剥離し去
るための粘着性によって観察される。

従って本発明はこの適用において顕著な接着性を肩して
いる印桐尋体の製造に秋出す４）ための新規な貰／ｉ域
化物に関する。豹に本発明は下記成分すなわち Ａ、　　３０〜ｓｏ＊＊’ｚ＝の微細分割さｔたｋｍｍ
粉粒子たはその合金、 Ｂ、　　１〜２０重瀘％○倣細分剖さｎた低績反ガラス
粒子、 Ｃ，０，１〜１０重量％のムｔ２ｏ５と反応してスピネ
ル構造を形成しうる無後金Ａ酸化物およびり、０．１〜
２重量％の、正のチタニウムイオン源である有機チタネ
ート の混合・物である、印刷端子の製造に適当な新規な貴金
属化物に関する。

前記成分の機能鉱この混合物を焼成させてカラスおよび
金属液相焼結を行わせることによって得ることができる
。

別の態様において、本発明は１機嫌体中に分散せしめた
ｉｌｌ記金属化物を包含するスクリーン印刷可能なペー
ストに関″ｔ″る。史に本発明は、ｍ１１　ｔｊ己スク
リー／印刷可能なペーストのパターンを印刷し、そして
その印刷された藤實を４４他媒体を蒸発させるために焼
成しそして燕根結合剤と金属化物とを液相焼結させるこ
とによって製造された伝４体・ξターフをその上に゛同
定せしめた非伝導性セラーばツク基質を包含する導性エ
レメントに関する。更にその他の愈棟においては、本発
明は（ａｌ非伝導性セライック基質に前記スクリーン印
刷可能なペーストのパター７形成された厚膜を適用する
こと、（ｂｌこのフィルムを２００℃以下の温度で乾燥
すること、そしてＩｃＩこの乾燥フィルムを焼成させて
無機結合剤と金属化物との液相焼結を行わせることを包
含する纒体を製造する方法に関する。

Ａ　電気伝導性物質 本発明に使用される微細分割正属はＩ！＃腺導体におけ
る使用に対して市場的に入子可能な賃金属粉末の任意の
ものでありうる。前記金ｈ４江智負の粒子πイスは本発
明におけりその孜伍的七効性の観点からはさほど臨界的
ではない。しかしながら勿論それらＬ適用法（通常はス
クリーンβ」刷である）および焼成条件に適当なプイス
のものであるべきである。すなわちこの金属性物質４”
ｔ、１０μ以ヒであるべきではなく、そしてこれは好ま
しくは約５μｍ以下であるべきである。

実絵的な問題として利用可酢な金楓粒子すイスはパラジ
ウムに対しては０．１μ程度の低いものであり、そして
こ扛は鋏に対してはα１〜１０μｍである。

Ｐａ／Ａｇが電気伝導性金属として使用される場合には
、そのＰａ／Ａｇ金属粉末の比は％０．０６〜１．５０
間好ましくは０．０６〜０．５の間に変動させることが
できる。金属粉末はフレーク状ま九は非フレーク形７帖
ヲ有しうる。非フレーク粉末は不規則形状でありうるし
または球形でありうる。

フレーク形態とはその主なる形状が走査寛子顕微飯で酢
」定した場合にフレークであるような金属粉末を意味し
ている。そのようなフレーク嫁は約１　ｍ２７　ｇの平
均表面積および約９９〜１００重量％の固体分含普を有
している。非フレーク銀粉末は典型的には１〜２　ｍ２
７　ｇの平均表面積および約９９〜１００重重・％の固
′体分含量を有している。パラジウム金属粉末は５．０
〜１５．０ｍ”７ｇ好ましくは７．０〜１１．０ｍ２／
ｇの平均表面積および約９９〜１００重音％固体分＠量
を有している。白金粉末は約１０ｍ２／ｇ〜５０ｍ−の
表面積および約９８〜１００重量％の固体含量を有して
いる。Ｐａ／Ａｇと共に使用される場合には、白金は通
常祉０．１〜５重首％の被で使用される。

Ｂ　無機結合剤 本発明の導体組成物中のガラス成分は重量基準で１〜２
０部水準、そして好ましくれ５〜１５部水準の低軟化点
低粘度ガラスである。本明細書中に使用されている「低
軟化点ガラス」の表現は繊維伸長法（＊ｓＴＭ−ｃ３３
８−５７）により計」定して８５０℃以下、そして好ま
しくは６００℃以下の軟化点を有するものを意味してい
る・本発明に使用されているガラスは焼成温度において
は低い粘度を有していて、１４機粒状物の液相焼結を助
けるものでなくてはならない。液相焼結を助けることが
できそ゛して「粉末担持」能を有する焼成温度において
６以下の比粘Ｋ　（ＩＱｇη）のガラスが特に好ましい
。低軟化点低粘度ガラスは、セラばツク基質と＊ｍとの
界面への音域酸化物の輸送を容易ならしめそしてそこで
それが基質と反応してコンプレックス酸化物を形成させ
ると信じられている。こｎら構造は厚膜のセラばツク基
質への接層法を顕著に改善させる。

Ａｔ２ｏ３が基ｙＩ物簀である場合には、酸化物はアル
ミナと反応して機械的に非常に強いスピネル構造を形成
する。

厳密に云えば、＃１４振結曾剤として本発明に便用され
るガラスは焼成サイクルの冷却相の間に失透可能である
ことは必要ではない。しかしながら一般にそして特にそ
れが密封性鯵にコンデンサーの端子形ＥｌｔＩ／ｃ使用
される場合には本発明のガラス成分が失透可能であるこ
とは好ましい。

前記基準を満足させる典型的なガラスの例は重Ｊｌ基準
で５０〜８０％のｐｂ５ｏ４お工び１０〜３０％のＧｅ
Ｏ２ｆ貧有する鉛ゲルばネートのビスマス不吉ガラスで
ある。％に好ましいガラスは７ｇ５％のＦｂ５０４およ
び２１．５％のＧｅＯ２をざ有している。

このガラスは通常のガラス製造技耐によって所望の北軍
で所望の成分【混合し、そしてこの混曾物を加熱して＃
ｒｌｉ１！ｌ物を生成させることによって製造される。

当技術分野では周知のように加熱はピーク温度まで、そ
して浴ＩＩＩＡ−が完全に液体とな９そして均質となる
ような時間の間実施される。この操作においては成分を
ポリエチレンジャー中でプラスチックボールと共忙振盪
することによって予め混合さぜ、そして次いで８２５〜
８５０℃で白金るつぼ中で溶融させる。

この溶融”物を１〜１Ａ時間の間ピーク温度に加熱する
。次いでこの溶融物を冷水中に注ぐ。急冷の間、浴融物
に対する水の容量比を増大させること罠よって、その水
の８２温度を可及的低く保つ。水から分離させた後、こ
の粗製のフリットを空り中で乾燥させるかまたはメタノ
ールで洗ってその水を１１１．換させることＫよって残
存水から除去する。次いでこの＠製フリットをアルミナ
容器中でγルｉナボールを使用して３〜５時間ボールば
ル処理するＯこの物質がピックアップするアルミナはも
し存在するにしてもｘＨＢ回折分析による測定の観察限
界内にはない。

イＡ４理したフリットスラリーＩ！−ミルから流出させ
た後、過剰の溶媒を傾瀉により除去させ。

そしてフリット粉末を呈温で乾燥させる。次いでこの乾
燥粉末を５２５メツシユスクリーンを通してスクリーン
がけしてすべての大形粒子を除去する。

このフリットの二つの主要な性泗はそれが無根結晶性粒
状物質の液相焼結を助けるということ、そして厚膜組成
物の製造にｂ・ける加熱−冷却サイクル（焼成サイクル
）の間の矢、４（ｄｃ＋Ｖｉｔｒｉ−ｆｉｃａｔ；１ｏ
ｎ）によって非結晶性（無晶彫）または結晶性物質を形
成するということである。この失透過程は前駆体たる非
結晶性（ガラス状）物質と同一組成を有する単一結晶相
、またはＭｔｌ駆ガツガラス状物質のとは異つｆｃ組成
を有する多結晶性相のどちらかを生成させ、うめ。

Ｃ金属酸化物 本発明の実施に対して過桶な金楓叡化％Ｍθ０）は本発
明の組成物を焼成させた場合Ｋ　＊ｚ２ｏ５と反応して
スピネル構造を形成しうるものである（Ｍ・Ａｚ２ｏ４
）。これら金属酸化物の正電な作用機構は知られていな
いけれども、この金属酸化物はガラス相を通してセラミ
ック基質に輸送されそこでそれらがｋＬ２０５基質の表
面と相互作用して機械的に強いスピネル構造を形成する
と信じられている。

適当な無機鹸化物はｚｎ２＋　、Ｍｇ　Ｒ＋、（３０２
＋　、阻汁、Ｐθ２＋およびＭｎ２＋各イオ／に基くも
のである。

焼成条件下に分解して相当する金属酸化ｑＩＩＪを生成
する金属酸化物ｈ１１駆体例えば炭ば塩および蓚＃Ｒｇ
Ａを使用して比肩しうる有効性を得ることができる・ 金ｌＩ４敵化物またはその前駆体の粒子ナイズ社通常は
スクリーン印刷による本発明の組成物が適用される方法
に適当なすイスのものであるべきである。すなわちこの
粒子サイズは約１５μ以上であるべきではなく、そして
これは好ましくは約５μｍ以下であるべきである。

Ｄ　有機チタネート 正のチタニウムイオン源を与えるための本発明の有機チ
タネート成分は本質的である。この有機金属成分は組成
物の焼成の間に檀々のチタ。

ニウムの酸化物に分解し、そしてこの酸化物が次いで系
全体に分数されると信じられる。これら融化物はそれら
と共に１史用される抵抗またはコ／デノサーのオーバー
レイ機匪相と相互作用することによって接着剤として機
能するようである・ 適当な有機チタネートは英国特許第７７２，６７５号明
細書に開示のもの、そして特に有様チタネートが式 ％式％ （式中ムはＯ４，Ｂ”’ｒルキルであるかまたは０１〜
８アルキルと０１〜８アシルとの混合物であシ、Ｏ＃′
１２個のチタニウム原子に共有結合的に結合した酸素で
あり、Ｘは１〜１２の整数でありそしてｙは０または、
１〜ＳＸ／２の整数である）に相当するチタニウムの加
水分解性金鵬アルコレートであるものである。このアル
キル基は直鎖状または分枝鎖状でありうる。好ましい有
機チタネートとしてはチタニウムアセチルアセトネート
およびテトラオクチレングリコールチタニウムキレート
がめげられる。このタイプのその他の自機チタネートは
「Ｋｅｎ−Ｒｅａｃｔ、　Ｂｕｌｌ、４　ＫＲ−０２７
８−７Ｒｅｖ」（ケンリッチ・ベトロケｉカルズ社発行
）および「ＤｕＰｏｎｔ　Ｂｕｌｌ、Ａ　ｌ−５８９６
１Ｊ　４ＣｊＶｅｒｅａｔｉｌｅＴｙｔｓｏｒ　Ｏｒｇ
ａｎｉｃ　Ｔｉｔａｎａｔ−と題して包含されている・ １　有機媒体 無機粒子を機械的混合（例えばロールばル上で）によっ
て不活性液体媒体（ベヒクル）色混合してスクリーン印
刷に適当なコノシスチンシーおよびレオロジーを有する
は−スト様組成物を生成せしめる。後者をｒ＃＃Ｊとし
て通常の方法で通常のセラミック基質に印刷する。

すべての不活性液体をベヒクルとして使用することがで
きる。濃厚化剤（シックナー）および／または安定剤お
よび／またはその他の一般的添加剤を加えたかまたｈこ
ｔｔ−ち南しない柚糧の重機液体をベヒクルとして使用
することができる。使用しうる有機液体の例は脂肪族ア
ル：ｌ−ル、そのようなアルコールのエステル例工ばア
セテートおよびプロピオネート、テルペン例えば松根油
、テルピネオールその他、浴媒例えば松根油中の樹脂例
えに低級アルコールのポリメタアクリレートの溶液およ
びエチルセルロースの溶液およびエチレングリコール七
ノアセテートのモツプチルエーテルである。好ましいベ
ヒクルはエチルセルロースおよびβ−テルピネオールに
基くものである。□このベヒクルは基質への適用後の迅
速な固化を促進させるために揮発性液体を含有しうる・ 分散液中の固体に対するベヒクルの比はかなり変動させ
ることができ、そしてこｔは分散液を適用すべき方法お
よび使用されるベヒクルの柚頌に依存する。通常良好な
被ｅｋｔ達成させるためには、分散液は相補的に６０〜
９０％の固体および４０〜１０％のベヒクルを含南して
いる。本発明の組成物鉱、勿−その有利な特性に悪影参
を与えない他の物質の添加によって修正させることがで
きる。そのような処方り当業者の技術範Ｈ内にある。

処方および適用 本発明の組成物の製造においては、粒状無機固体を有様
担体と混合し、そして適当な装置例えば５本ロールミル
を使用して分散させて得も、れる懸濁液の粘度が４秒−
１の剪断速度で約１００〜１５０パスカル秒の範囲であ
るような組成物を生成させる。

後記の実施例においては処方は以下の方法で実施された
。

ペースト成分から約５％の有機成分を減じ友ものを容器
中に一緒に秤量する。次いで成分を激しく混合して均一
なブレンド°を生成させる。

次いでこのブレンドを分散装置例えば３本ロールばルに
送って粒子の良好な分散ｔａ成せしめる。ヘゲマンゲー
ジを使用してペースト中の粒子の分散状態を測定する。

この機械は一方の亀で２５μｍ深さく約１ゼル）、そし
て他方の趨で０“深さまで盛り上っているスチールブロ
ック中のチャンネルよシなっている。ブレードを使用し
てこのチャ／ネル長さに沿ってペーストを引きおろす。

集塊の直径がチャ／ネル深さよりも大であるところでは
チャンネル中にスクラッチ（引掻き）が山状する。満足
すべき分散液は典澹的には１０〜１８μｍｏμのスクラ
ッチ点を与える。良好に分散されたペーストでチャンネ
ルの半分が棲われないような点は典型的には６〜８μｍ
の間である。〉２０μｍのμスクラッチ徂１１定値およ
び〉１０μｍの「半チャンネル（ｈａｌｆ−ｃｈａｎｎ
ｅｌ）Ｊ　１％ｊ足辿は劣感な分散の懸濁液を慈体する
。

次いでペーストの有機成分を構成する残シの５％を加え
、そして拘脂含１１を一整して先金に処方し九場合の粘
度が１００〜１５０　Ｐａ１３の間となるようにする。

次いでこの組成物音通常はスクリーン印刷法によって基
質例えばアルばナセラミックに約１０〜３０μｔＦｆま
しくａｔｓ　〜２０＃Ｏ湿時厚さに適用する。次いでこ
の印刷パターンを約８０〜１５０℃で約５〜１５分乾燥
させる。無機結合剤ならびに金属の微細分割粒子の焼結
を行わせるための焼成は約３００〜６００℃における有
機物質°の焼却、約５〜１５分間続く約８００〜９５０
℃の最高温度期間、それに続く過焼結、中間温度におけ
る望ましくない化学反応または急速にすぎる冷却から生
じうる基質の破壊を防ぐための制御された冷却ブイクル
を可能ならしめる温度プロフィルｔｔＣ用して、好まし
くは良好に排気されているベルトコンベア炉中で実施さ
れる。全焼成過程社好ましくは焼成温度に達するまでの
２０〜２５分、焼成温ＪｔＫおける約１０分および冷却
における約２０〜２５分を有する、約１時間の時間にわ
たる。

導体の焼成ルさは固体分％組成物印刷に使用されるスク
リーンのタイプ、印刷機のセットアツプおよび無根固体
分の焼結度によって約６〜約、５．。門ｈ−ｃｓ、ａ、
あ。

本発明の電極組成物は通常の方法で自動プリンターを使
用してまた祉ハンドプリンターを使用して基質上Ｋまた
は他の厚膜上に印刷することができる。好ましくは２０
０〜５２５メツシユスクリーンを使用して自動スクリー
ンステノシル技術が使用される。

定義および試験法 １、　　Ｕんだ接層性試験 本発明の電極組成物のはんだ接着性は次のようＫして評
価される。

（ａｌ　　電極組成物を自動印刷後および２００メッシ
五接着バター／スクリーンを便用して印刷し％筒温例え
ば１２５Ｌで約１５分乾珠延せ、そして空気中でベルト
炉中で１０分間８５０℃のピーク温度で焼成せしめる。

（ｂｌ　　錫でコーティングした銅導線をこのパターン
上Ｋ１１ｌきそしてａｎ／Ｐｂ／Ａｇ　’！　ｆｃ、は
Ｓｎ／Ｐｂ　ｈんだ中に浸す− （ｃｌ　　初期はんだ接着引張シ値を２０インチ／分の
引張り速度で「インストロン■」装置を使用して測定す
る。導線を引き離すに要するボンド（ｌｂａ）で表わし
た力が接矯の尺度としてとられる。

（（１１アルミナ基負上に印刷された前記電極接珈パタ
ーンをはんだづけしそして柚々の時間の間オープン中に
１００〜１５０℃で保存し、その後で老化接着値を６Ｉ
１１足する。

２．６電定数（Ｋｌ 誘電定数（ｄｉｅｌｅｏｔｒｉｃ　ｃｏｎｓｔａｎｔ）
は電場の影響下に電位を保存す４１＋誘Ｉｔ智實の舵力
の尺度である。すなわち誘電体として物質（この場合は
セラミック）を使用したコ／デ／サーの静電容量（キャ
パシタンス）の誘電体として真空ｔ−Ｗ用し九場合の静
電容量に対する比である。

五　誘電物質 誘電物質は電荷を分離させそして結果として電荷の保存
を与えうる非伝導性物質または絶縁体である。

４、　散逸係数（ＤＦ） 散逸係数（ａｉｅｅｉｐａｔｉｏｎ　ｆａｃｔｏｒ）は
一方の導線から他の４Ｍへの誘電体を逼しての伝導によ
る内部損失の尺度である。この電力損失はそれか装置の
温度を上昇させるが故に望ましくない電気エネルギーの
熱散逸の結果となる。

静電容量および散逸係数はヒユーレット・、＜ツカード
ＨＰ　４２７４ム多周仮数ＬＯＲメーターを使用して沖
」足され、他方絶縁抵抗はスー、！−メグオームメータ
ー型式ＲＭ　１７０（Ｂｌｄ１ｅ工ｎ８　ｔｒｕｍ＠ｎ
ｔａＡＶＯＬｔ（１，製品）を使用して測定される・絶
縁抵抗の測定はコンデンサーに１０Ｏｖ直流を負荷させ
た後に実施される。各々の数字は少くとも１０助の側足
の平均である。誘電体層の厚さはグールドサーフアナラ
イザー（Ｇｏｕｌｄ　Ｅｌｕｒｆａｎａｌｉｚｓｒ）１
５０／レコーダー２５０を使用して側足される・銹電定
数は方程式 ％式％ （式中Ｃ＃′ｉコンデンサーの静電容器であシ、ムＦｉ
銹電体層に接触している小形゛電極の面積であシ、ｔｄ
銹電体層の厚さである）を使用して計算される。

すべてのコンデンサーは焼成抜、少くとも１５時間老化
させ、そしてその仮で電気的側足が実施された。この老
化時間の間にその散逸係数（ＤＦ）がα５〜２％減少す
るのが普通である。

譬を受けない。

接着性に及ぼす導体の反復焼成の効果もまたａｌｌ定さ
れた。導体をアルミナ基質ま良はその他のセライツタ基
質または厚膜ベース上に印刷しそして反復焼成させた。

多焼成させ良導体の評価を次いで前記に記載の方法によ
って実施した。

本発明株次の例を参照することによって完全に理解され
よう。

例　１〜４ 本発明によって本質的にＦｉ無機結合剤相として使用さ
れた低融点低粘度ガラスの量のみが異っている一連の４
橡の組成物を製造した。次いで各導体処方のけんだ接ル
性をａｎ／Ｐｂ／Ａｇはんだ（６２１５６／２　）およ
び８ｎ７’Ｐｂ＃ｉんだ（１０／９０）の両方を使用し
て試験した。処方および試験結果は次の表１に与えられ
ている。

処方重量％ 白金粉末　　　　　　　９　９　９　９パラジウム粉末
　　　　４　４　４　４銀粉末　　４９．１４９．１４
９．１４９．ｌＰｂ５ＧＩＪＯ１１１＆９　１１．９　
　＆９　６．９酸化亜鉛　　　　　　　２　２　２　２
チタニウムレジネート　　　　　１　　　１　　　１．
　　．１有機媒体　　　　　　残量残瀘残普残量初期（
アルミナ上５回焼成）　　　６．６　　７．５　　６．
６　　３．２老化１５０℃４８時間　　　　ａ９　　　
＆２　　５．９　　２．８′　初期（アルミナ上５回焼
成″＞　　　５．９　　６．０　　５．４　　　五２老
化１５０℃４８時間　　　　６．１　　６．１　　５．
６　　５５助期（厚農上単−焼成）　　　　　ｌｈ、５
　　６．７　　６．５　　４．０老化１５０℃４８時間
　　　　　４．７　　４．５　　４．０　　２．４初期
（厚展上２（ロ）焼成）　　　　　６．１　　５．７　
　５．６　　５．６老化１５０℃４８時間　　　　＆９
　　４．２　　４．５　　　ｉ２実株例番号　　　　　
　１　２　３　４初期（アルｉす上本−焼成）　　　５
．１５．１５．５　　４．８老化１５０℃４８時間　　
　　　５．９　　５．５　　５．７　　５．１初期（ア
ルｉす上５回焼成）４．５　　５．１　　４．７　　５
．１老化１５０℃４８時間　　　　　４．５　　４．５
　　４．４　　４．８初期ＣＪｌ膜として単一焼成＞　
　　４．８　　４．８　　５．６　　３４老化１５０℃
４８時間　　　　　４．５　　４．７　　５．２　　４
．０初期（厚膜上２回焼成）　　　　　ｉ５　　４．５
　　４．５　　４．０老化１５０℃４８時間　　　　　
４．３　　４．４　　４．７　　４．７前記６導体は老
化および反復焼成の結果として比軟的わずかしか接７１
１減少しないという点で非常に良好なれんだ接着性を示
した・ 例　　５〜Ｂ スピネル形成性酸化物もチタニウムイオン源も富有しな
い一遍の４麺の通常の従来技術伝導体組成物を製造した
。結合剤相として使用されるガラスフリットは次の組成
を有する通常の低融点ビスミス含有ガラスであった。

Ｂｉ２Ｏ３７α１％（重量） ＦｂＯ１α９ ｓｔｏ２　　　　９．３ ｏａｏ　　　　　２．４ Ｂ２８５　　　　１．２ ム１２０５　　　１．１ １００．０ 白金粉末　　　　　　　９　２　９　２パラジウム粉末
　　　　４　１６　　４　　１６銀粉末　　　５０４５
５０４５ ガラスフリツト　　　　１０　　１０　１０　１０有機
媒体　　　　　　残量　残量　鉄蓋残量はんだ接着性（
１ｂ） 初期（アルミナ上単〒焼成）　　　６．２　　６．７　
　５．５　　５．８老化１５０℃４８時間　　　　　４
．７　　２．９　　５．１　　６．０初期（アルミナ上
５回焼成）　　　５．９　　６．６　　５．５　　４．
８老化１５０℃４８時間　　　　ろ、２　　２．７　　
４．８　　４．６初期（淳膜上単−焼成）　　　　　６
．５　　５．５　　４．４４．８老化１５０℃４８時間
　　　　１．６　　１．１　　４．４　　４．５初期（
厚膜上２回焼成）　　　　　６．１４．ｂ　　　３．５
　　４．０老化１５０℃４８時間　　　　２．０　　２
．４　　４．４　　４．３表１および表２のデータの比
較社本発明の組成物の老化はんだ接着値が両タイプのは
んだに関して従来接衝組成物よりも優れていることを示
す− ９１３９および例１０ 前記のようにして２徊の異った本発明の組成物および２
柚の市販のビスマスガラス含有斗篭電極組成物１に製造
し、セして２柚の異った商業的厚層印刷コンデンサーの
ための亀子として評価した。これら試験エレメ／トは以
下のようにして製造された。

１、　後述の電極組成物を自動印刷機を使用して印刷し
％　１２０℃で約１５分乾燥させそして空気中でベルト
炉中で１０分間約８２９〜９２５℃のピーク温度および
１〜１．５時間の全焼成サイクルで焼成させて得九焼成
厚さはサーフアナライザーで測定した場合１０〜１４μ
ｍであった。

２、ｆｉｓ電体組成物０１個の層をスクイージ−による
二重ウェットｌ（スを使用してこの電１に膜上に印刷し
、そして１２５℃で約１５分乾燥させた。

＆　銹電体組成物の第２の）−を第１の鳩の上に印刷し
、そしてそれもまた１５分間１２５℃で転線させた。

４、　最後に誘電体層上に電極組成物を印部ＩＩ　Ｌそ
して１２５℃で約１５分間乾燥させた。この２（１の誘
電体層および頂部電極を次いで空気中でベルト炉中で約
１０分間８２５〜９５０℃のピーク温度および１〜１．
５時間の全焼成サイクルを使用して焼成させた。２個の
誘電体層の会した焼成厚さはサーフアナライザーで演１
１定して３０〜６０μｍでおった− 表　　６ Ｌんだ性 電極処方　　　　　　　　例９　　　憔１１０パラジウ
ム粉末　　　　１７．８％（重ｔ）　　１７．８％（型
側銀粉末　　　４４．３　　４４．５ Ｐｂ５Ｇｅ５０１１ガラス　　　１５．９１３．９ｎＯ
２ 有機チタネート（１；１ ベヒクル　　　　　　残量　　　　残量（注）　１１）
　　ＴｙｚｏｒｏＡＡ　、分枝Ｃ８アセチルアセトネー
トキレート有機チタネートの商品名、デュポン社より入
＋可耗Ｏ 反復はんだ浸漬により示されているように１例１０の導
体のはんだ性は優れており、一方有機チタネートを含有
しない例９の物質は導体組成物からの銀の洩れにょシ生
ぜしめられたはんだの不連続性により示されるように同
一゛試験において劣ったはんだ性を示した。

表　　４ コンデンサー相容性 誘電足数（Ｋｌ　　４５０　　６２３　　４９１　４２
５散逸係数Ｎ　　＜１５　　　＜１．５　　　＜３．４
　　＜３．［＋前記のデータＬ市販電極が望ましくなく
高いＤＦｉおよび比較的低い工Ｒを通常の室内条件にお
いてさえも有していることを示す。

手続補正書 昭和ｓ７年／７月二日 特許庁長官　若　参加　夫　殿 １、事件の表示 昭和５７年特許願第１３３８４７号 ２、発明の名称 導体組成物 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人　　　　　 ４、代理人 ５、補正命令の日付（自発） 昭和　　年　　月　　日（発送日　昭 を補正ｏ対象　明細書の特許請求０１の欄２補正の内容 特許請求ｏ＠ＷＲｔ別紙のとｓＰｐ補正しオす。

以上 ２、特許請求の範囲 １）Ａ、　　３０〜８０重量−の貴会ａｔたはその合金
、Ｂ、１〜２０重量−の低融点低粘度ガラス、０、　０
．１〜１０重量−のム１２０ｓと反応してスピネル構造
を形成しうる無機金属酸化物お上、び り、正のチタニウムイオン源である有機チタネート の微細分割された粒子の混合物を包含しそして前記成分
機能がこの混合物を焼成させてガラスと責金域とを液相
Ｊ！ｊ８結させることによって得られるものであるよう
な、印刷導体の製造に使用するための金緘化吻。

２）貴会礪成分がα０６〜１．５　Ｐａ／Ａｇ重量比の
パラジウムと銀粒子との混合物である。前記特許請求の
範囲第１項記載の金属化物。

３）更にα１〜５重ｔＳのパラジウムを含有している、
前記特許請求の範囲ｆ４２項記載の金属化物。

４）ガラスが５０〜８０重量％Ｐｂ３Ｏ４および１０〜
３０重量−〇Ｇ＠０２を含有する。ビスマス不含鉛ガラ
スである、前記特許請求の範囲第１項記載の金属化物。

５）　スピネル形成性成分がＺｎ、　Ｍｇ、　Ｃｏ、　
Ｎｉ、ν・およびＭｎよりなる群から選ばれ九二価金属
の酸化物または酸化物前駆体である、前記特許請求の範
囲＠１項記載の金属化物。

６）有機チタネートが式（ム０）４ｘ−２ｙＴ１０ｙ　
（式中ムは０１〜８アルキルであるかまたは０１〜８ア
ルキルと０１−８７シルとの混合物であり、０は２個の
チタニウム原子に共有結合的に結合した酸素であり、Ｘ
は１〜１２の整数でありすしてｙはＯまたは、１〜３ｘ
／２の整数である）に相当するチタニウムの加水分解可
能な金礪アルコレートである、前記特ＩＦＦ請求の範囲
第１項記載の金属化物。

７）有機チタネートがチタニウムアセチルアセトネート
である、前記特許請求の範囲第５項記載の金属化物。

８）有機チタネートがテトラオクチレングリコールチタ
ニウムケレートである、前記特許請求の範囲第５項記載
の金嘱化物。

９）金属化物が有機媒体中に分散された状態である前記
特許請求の範囲第１〜７項いずれかに記載の金属化物。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）ム、３０〜８０重量％の賃金ｌＩ４またはその合金
   − Ｂ、　　１〜２０重量％の低融点低粘屓ガラス、０、α
   １〜１０重量％のムｔ２０５と反応してスピネル構造を
   形成しうる無機金属酸化物および り、正のチタニウムイオン源である有機チタネート の微細分割された粒子の混θ物を包含しそして前記成分
   機能がこの混合ｖＩＪを焼成させてガラスと貴金属とを
   液相焼結させることＫよって得られるものであるような
   、印刷導体の製造に便用するための金属化物。 ２）貴金楓成分が０．０６〜１．５Ｐｄ／ＡｇＮＪｌｉ
   比のパラジウムと銀粒子との混合物である、前記特許請
   求の範囲第１項記載の金属化物。 ３）＊にα１〜５重菫％のパラジウムを官有している、
   前記特許請求の範囲第２項記載の金属化物。 ４）ガラスが５０〜８０重ｉ％Ｐｂ、５０４および１０
   〜５０重普％のＧｅＯ２を貧有する、ビスマス不含鉛ガ
   ラスである、前記特許請求の範囲第１項記載の釡属化物
   。 ５）スピネル彫成性成分がＺｎ％Ｍｇ　ｓ　Ｃ！ｏ　％
   Ｎｉ　ｓ　ＦｌｅおよびＭｎよりなる掛から破ばれた二
   価金編の酸化物または眼化物前駆体である、前記特許請
   求の範囲第１項記載の金属化物。 ６）有機チタネートが式（Ａｏ）４Ｘ−２ｙＴｉＯｙ（
   式中ＡｉｊＯｊ〜８アルキルであるかまたは０１〜８ア
   ルキと０１〜８アシルとの混合物であ、９、ＯＩＩ′ｉ
   ２個のチタニウムＩＪＩＡｆに共南結合的に結合した酸
   索であり、Ｘは１〜１２の整数でありセしてｙは０また
   は、１〜５ｘ／２の整数である）Ｋ相当するチタニウム
   の加水分解可能な金員アルコレートである、前記特許請
   求の範囲第１項記載の金属化物◎ ７）　　有機チタネートがチタニウムアセチルアセトネ
   ートである、前記特許請求の＃！、囲第５項記載の金属
   化物。 ８）有機チタネートがテトラオクチレ／グリコールチタ
   ニウムケレートである、前記特許請求の範囲第５項記載
   の金員化物０ ９）有機媒体中の１１」記特許請求の範−第１〜７項い
   ずれかに記載の金員化物の分散叡を包含する、スクリー
   ン印刷可能なペースト。 １０）その上にＷう記製許話求の範１第８狽紀載のスク
   リーン印刷可能なペーストの／ゼター／形成映を印刷し
   、乾燥させ、そしてこの東線腺を焼成させて有機媒体の
   蒸発およびガラスの液相焼結を行わせることによって導
   体ノぞターンをその上に固定せしめた非電気導性セラミ
   ック基質を包含する導体エレメント。 １１）ａ）　　非電気伝導性基質に前記特許請求の範囲
   第８項記載のスクリーン印刷可能なペーストのパターン
   形成性厚膜を適用すること、ｂ）その膜を乾燥′させる
   こと、セしてＣ）この乾燥膜を焼成させて有機媒体の蒸
   発およびガラスと貴金属の液相焼結を行わせること を包含する、導体を製造する方法・