JPS59138305A - 酸化ルテニウムベ−ス抵抗体組成物 - Google Patents
酸化ルテニウムベ−ス抵抗体組成物Info
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- C03C8/10—Frit compositions, i.e. in a powdered or comminuted form containing lead
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C8/00—Enamels; Glazes; Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions
- C03C8/14—Glass frit mixtures having non-frit additions, e.g. opacifiers, colorants, mill-additions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C8/00—Enamels; Glazes; Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions
- C03C8/22—Enamels; Glazes; Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions containing two or more distinct frits having different compositions
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は汚染(stμin)抵抗性酸化ルテニウムベー
ス抵抗体組成物に関する。
ス抵抗体組成物に関する。
厚膜物質は有機媒体中に分散さnた金属、ガラスおよび
/またはセラミック粉末の混合物である。電気伝導性、
抵抗性または絶縁性のフィルムを形成するために非伝導
性基材上に適用さnるこnら物質は広範な種々のエレク
トロニクスおよび弱電気成分に使用さ几ている。
/またはセラミック粉末の混合物である。電気伝導性、
抵抗性または絶縁性のフィルムを形成するために非伝導
性基材上に適用さnるこnら物質は広範な種々のエレク
トロニクスおよび弱電気成分に使用さ几ている。
個々の厚膜組成物の性質はその組成物全構成する特定の
成分に依存する。はとんどの厚膜組成物は6種の主要成
分を含有している。導体組は電気的性質全決定し、そし
て最終フィルムの機械的性質に影響を与える。通常はガ
ラスおよび/または結晶性酸化物である結合剤は厚膜を
一緒に保持させそしてそnを基材に結合させる。
成分に依存する。はとんどの厚膜組成物は6種の主要成
分を含有している。導体組は電気的性質全決定し、そし
て最終フィルムの機械的性質に影響を与える。通常はガ
ラスおよび/または結晶性酸化物である結合剤は厚膜を
一緒に保持させそしてそnを基材に結合させる。
有機媒体(ベヒクノシ)は組成物の適用特性そして特に
そのレオロジーに影響を与える分散媒体である。
そのレオロジーに影響を与える分散媒体である。
高い安定性および低い処理感受性はマイクロ回路適用の
ための厚膜抵抗体組成物に対する臨界的要求である。特
にフィルムの抵抗率(Rav)が広範囲の温度条件にわ
たって安定であることが必要である。すなわち抵抗温度
係数(TOR)はすべての厚膜抵抗体組成物中の臨界的
変数である。厚膜抵抗体組成物は機能的または導体組お
よび永久的結合剤相よシ構成さfているのであるから、
導体組および納会剤相の性質およびそnら相互のそして
基材との相互作用が抵抗率およびTOHの両方に影響?
与える。
ための厚膜抵抗体組成物に対する臨界的要求である。特
にフィルムの抵抗率(Rav)が広範囲の温度条件にわ
たって安定であることが必要である。すなわち抵抗温度
係数(TOR)はすべての厚膜抵抗体組成物中の臨界的
変数である。厚膜抵抗体組成物は機能的または導体組お
よび永久的結合剤相よシ構成さfているのであるから、
導体組および納会剤相の性質およびそnら相互のそして
基材との相互作用が抵抗率およびTOHの両方に影響?
与える。
ルテニウム化合物全ベースとする機能相は通常の厚膜抵
抗体組成物の核(コア)を形成している。
抗体組成物の核(コア)を形成している。
ピロクロル族に基づくルテニウム化合物は、各ルテニウ
ム原子が6個の酸素原子にがこまnた8面体を形成して
、いる等軸(cubic)構造を有している。各酸素原
子はもう一つの他の8面体に共有さnていて、Ru20
6の化学量論の三次元網状構造を形成している。このフ
レーム構造の開放部分は大型の陽イオンおよび追加の陰
イオンによシ占めらfている。この二次格子中では広い
範囲の置換が可能であり、こnは犬なる化学的融通性を
構成している。一般式A2B206〜7をVfるピロク
ロル構造はそのような融通性のある構造なのである。金
属、半導体または絶縁体として挙動するピロクロルは、
利用可能な結晶部位の制御さnた置換によって得ること
ができる。多くの現在のピロクロールベース厚膜抵抗体
は機能相としてBi2Ru2O711含有している。
ム原子が6個の酸素原子にがこまnた8面体を形成して
、いる等軸(cubic)構造を有している。各酸素原
子はもう一つの他の8面体に共有さnていて、Ru20
6の化学量論の三次元網状構造を形成している。このフ
レーム構造の開放部分は大型の陽イオンおよび追加の陰
イオンによシ占めらfている。この二次格子中では広い
範囲の置換が可能であり、こnは犬なる化学的融通性を
構成している。一般式A2B206〜7をVfるピロク
ロル構造はそのような融通性のある構造なのである。金
属、半導体または絶縁体として挙動するピロクロルは、
利用可能な結晶部位の制御さnた置換によって得ること
ができる。多くの現在のピロクロールベース厚膜抵抗体
は機能相としてBi2Ru2O711含有している。
二酸化ルテニウムはまた厚膜抵抗体組成物中の導体組と
しても使用さnる。そのルチル結晶構造は、各ルテニウ
ム原子が6当量の酸素原子により囲まnていて8面体全
形成するという点でピロクロルの結晶構造に似ている。
しても使用さnる。そのルチル結晶構造は、各ルテニウ
ム原子が6当量の酸素原子により囲まnていて8面体全
形成するという点でピロクロルの結晶構造に似ている。
しかしながら、ルチル構造においては、各酸素は6個の
8面体により共有きnている。こ扛はピロクロルの場合
とは対照的に化学的置換が非常に限定さnた複雑な三次
元網状構造を与える結果となる。
8面体により共有きnている。こ扛はピロクロルの場合
とは対照的に化学的置換が非常に限定さnた複雑な三次
元網状構造を与える結果となる。
ルテニウム含有抵抗体に関する問題は、他の物質と比べ
た場合、そ几らは電気的性質に関しては優rしているけ
nども、そnにもかかわらすぞ扛らはそ扛らが使用さn
る電気伝導性金属端子の汚゛染を生せしめる傾向がある
ということである。特にそのような抵抗体が有意量のル
テニウム(例えば固体分基準で5%またはそ6以」を含
有している場合には抵抗体の結合さnた導体端子層は往
々にして暗黒色残渣で汚染さnる。
た場合、そ几らは電気的性質に関しては優rしているけ
nども、そnにもかかわらすぞ扛らはそ扛らが使用さn
る電気伝導性金属端子の汚゛染を生せしめる傾向がある
ということである。特にそのような抵抗体が有意量のル
テニウム(例えば固体分基準で5%またはそ6以」を含
有している場合には抵抗体の結合さnた導体端子層は往
々にして暗黒色残渣で汚染さnる。
こ几は端子の効率のよいはんだづけを困難ならしめる。
従って本発明は前記汚染現象を生せしめない酸化ルテニ
ウムベース厚膜抵抗体組成物に関する。すなわちその第
一義的態様において、本発明は本質的に (al 酸化ルテニウムベース化合物5〜75重量も (b1150℃以下では熱的に安定であるがただし15
0〜1200℃でのこの組成物の空気焼成時にはそnか
ら酸素全放出しつつ分解する酸素含有非アルカリ金属化
合物5〜50重量%〔(a)の(blに対する重量比は
少くとも0.1である]および (C) 無機結合剤5〜20重量% の微細分割された粒子の混合物を (a) 有機媒体5〜45重量係 に分散させてなる印刷可能な厚膜抵抗体組成物に関する
。
ウムベース厚膜抵抗体組成物に関する。すなわちその第
一義的態様において、本発明は本質的に (al 酸化ルテニウムベース化合物5〜75重量も (b1150℃以下では熱的に安定であるがただし15
0〜1200℃でのこの組成物の空気焼成時にはそnか
ら酸素全放出しつつ分解する酸素含有非アルカリ金属化
合物5〜50重量%〔(a)の(blに対する重量比は
少くとも0.1である]および (C) 無機結合剤5〜20重量% の微細分割された粒子の混合物を (a) 有機媒体5〜45重量係 に分散させてなる印刷可能な厚膜抵抗体組成物に関する
。
他の観点においては、本発明は、乾燥さ几そして酸化性
〆囲気中で焼成さ几て酸累宮有非アルカリ金属化合物の
熱分解、有構媒体の揮発化および無機結合剤の液相焼結
を生せしめた前記の印刷可能な厚膜組成物のパターン化
さnた薄層に関する。
〆囲気中で焼成さ几て酸累宮有非アルカリ金属化合物の
熱分解、有構媒体の揮発化および無機結合剤の液相焼結
を生せしめた前記の印刷可能な厚膜組成物のパターン化
さnた薄層に関する。
A、ルテニウム成分
本発明は主導体相が酸化ルテニウムをベースとしたもの
である抵抗体組成物に関する。酸化ルテニウムベース抵
抗体技術の現在の状態では、こ7f1.はRuO2およ
び式・ (MCJ3i2−C)CM’dRu2−d)07−13
(式中、Mはイツトリウム、タリウム、インジウム、カ
ドミウム、鉛および原子番号57〜71の希土類全域よ
りなる群の少くとも一つであり、M′は白金、チタン、
クロム、ロジウムおよびアンチモンの少くとも、一つで
あり、CはO〜2の範囲の数であり、dは0〜約0.5
の範囲の数であり%M’がロジウムであるかまたは白金
およびチタンの一つ以上のものである場合にはyはO〜
1の範囲の数であり、そしてeは0〜1の範囲の数であ
るがこf′LはMが2価の鉛またはカドミウムの場合に
は少くとも約xZに等しい)に相当するルテニウム化合
物全包含することが知らルている。
である抵抗体組成物に関する。酸化ルテニウムベース抵
抗体技術の現在の状態では、こ7f1.はRuO2およ
び式・ (MCJ3i2−C)CM’dRu2−d)07−13
(式中、Mはイツトリウム、タリウム、インジウム、カ
ドミウム、鉛および原子番号57〜71の希土類全域よ
りなる群の少くとも一つであり、M′は白金、チタン、
クロム、ロジウムおよびアンチモンの少くとも、一つで
あり、CはO〜2の範囲の数であり、dは0〜約0.5
の範囲の数であり%M’がロジウムであるかまたは白金
およびチタンの一つ以上のものである場合にはyはO〜
1の範囲の数であり、そしてeは0〜1の範囲の数であ
るがこf′LはMが2価の鉛またはカドミウムの場合に
は少くとも約xZに等しい)に相当するルテニウム化合
物全包含することが知らルている。
こ几ら化合物およびそれらの製造は米国特許第3,58
3,931号明細書そしてlたドイツ特許出願公開(O
8) iJ 1;、816.105号谷明i 書[開示
す几ている。
3,931号明細書そしてlたドイツ特許出願公開(O
8) iJ 1;、816.105号谷明i 書[開示
す几ている。
前記ルテニウム含有物質の粒子サイズは本発明の技術的
効果の観廃からは狭義には臨界的ではない。しかしなが
らそ几らは勿論通常はスクリーン印刷であるぞnらの適
用法および焼成条件に対して適当なサイズのものである
べきである。すなわち金属物質粒子は10μ以上である
べきではなく、そしてこオしは好ましくは約5μ以下で
あるべきである。実際問題として、金属の利用可能な粒
子サイズは0.1μ程度の低いものである。ルテニウム
成分は少くとも5 m2 / fでして更により好まし
くは少くとも8’ m2/ tの平均衣面積に’lfし
ていることが好ましい。
効果の観廃からは狭義には臨界的ではない。しかしなが
らそ几らは勿論通常はスクリーン印刷であるぞnらの適
用法および焼成条件に対して適当なサイズのものである
べきである。すなわち金属物質粒子は10μ以上である
べきではなく、そしてこオしは好ましくは約5μ以下で
あるべきである。実際問題として、金属の利用可能な粒
子サイズは0.1μ程度の低いものである。ルテニウム
成分は少くとも5 m2 / fでして更により好まし
くは少くとも8’ m2/ tの平均衣面積に’lfし
ていることが好ましい。
好ましいルテニウム化合物としてはJ3iPbRu20
6.5 ’Bi(7,2Pb、8Ru206.1 s
Ei2Ru207 s Pb2Ru20,5およびRu
o2があげら几る。更にRuO2の前駆体すなわち焼成
に際してRu02i生成するルテニウム化合物はまたこ
几ら物質のいず几かの混合物と同様に本発明における使
用に対して適当である。適当な非ピロクロールRu02
1viT駆体の例はルテニウム金属、ルテニウムレジネ
ート、 BaRuO3s Ba2Ru04、CaRu0
5.0o2Ru04 、 LaRu03およびLi2R
u03である。
6.5 ’Bi(7,2Pb、8Ru206.1 s
Ei2Ru207 s Pb2Ru20,5およびRu
o2があげら几る。更にRuO2の前駆体すなわち焼成
に際してRu02i生成するルテニウム化合物はまたこ
几ら物質のいず几かの混合物と同様に本発明における使
用に対して適当である。適当な非ピロクロールRu02
1viT駆体の例はルテニウム金属、ルテニウムレジネ
ート、 BaRuO3s Ba2Ru04、CaRu0
5.0o2Ru04 、 LaRu03およびLi2R
u03である。
この組成物は5〜75重量%のルテニウムベース成分全
含有しうる。そnは10〜60係を含有するのが好まし
い。
含有しうる。そnは10〜60係を含有するのが好まし
い。
B、酸素含有化合物
本発明の組成物中で有効な酸素含有化合物は、そ几らを
含有する組成物全加熱した場合−質的に分解しそして酸
素全発生させる非アルカリ金属M累會有化合物である。
含有する組成物全加熱した場合−質的に分解しそして酸
素全発生させる非アルカリ金属M累會有化合物である。
しかしながらこの化合物は処方に必要な強度の混合に通
常伴なう穏やかに上昇さnた温度においてそれらが分解
することのないように過度に容易に分解しないことが重
要である。この理由の故に、酸素含有化合物はこ扛らを
処方のその他の成分とブレンドさせる場合少くとも約1
50℃までは熱的に安定でなくてはならない。しかしな
がらこうした酸素含有化合物は同様に過度に耐火性であ
ってはいけない。すなわちそnらは150℃以上の温度
で容易に分解しなくてはならないかしかしそfらは一緒
に使用さnている有機結合剤の焼結温度より高い温度′
t−要求してはならない。ここに、酸素含有化合物の熱
分解温度自体は七n全処方め他の成分とブレンドさせる
場合にはかなり異っている(通常より低い)ことがあり
うるということを認識することは重要である。すなわち
前記熱分解判定基準は処方物質、すなわちルテニウム含
有化合物の微細分割粒子、無機結合剤および有機媒体の
存在下での分解に基いている。
常伴なう穏やかに上昇さnた温度においてそれらが分解
することのないように過度に容易に分解しないことが重
要である。この理由の故に、酸素含有化合物はこ扛らを
処方のその他の成分とブレンドさせる場合少くとも約1
50℃までは熱的に安定でなくてはならない。しかしな
がらこうした酸素含有化合物は同様に過度に耐火性であ
ってはいけない。すなわちそnらは150℃以上の温度
で容易に分解しなくてはならないかしかしそfらは一緒
に使用さnている有機結合剤の焼結温度より高い温度′
t−要求してはならない。ここに、酸素含有化合物の熱
分解温度自体は七n全処方め他の成分とブレンドさせる
場合にはかなり異っている(通常より低い)ことがあり
うるということを認識することは重要である。すなわち
前記熱分解判定基準は処方物質、すなわちルテニウム含
有化合物の微細分割粒子、無機結合剤および有機媒体の
存在下での分解に基いている。
適当なタイプの酸系含有物質は貴金属酸化物、6価およ
び4価卑金属酸化物および例えばT1、V%Or 、M
n 、Fe %ho tc!u sZn sZr 5l
Jb %MO、TaおよびWのような卑金属のクロム酸
塩(ジおよびポリクロム酸塩を含む)である。酸素含有
化合物の金属成分は、 111その金属がアルカリ金属
でなく、(21処方さnた場合の化合物が150℃以下
ではなくしかもそnと一緒に使用さ扛るガラスの焼結温
度以上ではない温度で分解し、そして(6)化合物が酸
素を放出しつつ熱的に分解する限りは臨界的ではないと
信じら几る。処方さnた酸素含有化合物は200〜80
0’Cそして好ましくは200〜400℃範囲で熱的に
分解するのが好ましい。
び4価卑金属酸化物および例えばT1、V%Or 、M
n 、Fe %ho tc!u sZn sZr 5l
Jb %MO、TaおよびWのような卑金属のクロム酸
塩(ジおよびポリクロム酸塩を含む)である。酸素含有
化合物の金属成分は、 111その金属がアルカリ金属
でなく、(21処方さnた場合の化合物が150℃以下
ではなくしかもそnと一緒に使用さ扛るガラスの焼結温
度以上ではない温度で分解し、そして(6)化合物が酸
素を放出しつつ熱的に分解する限りは臨界的ではないと
信じら几る。処方さnた酸素含有化合物は200〜80
0’Cそして好ましくは200〜400℃範囲で熱的に
分解するのが好ましい。
適当な物質としてはAg2O、aocro4 、 Pb
3O4、PbO2、Ba(NO3)2 s Pb(NO
,)2およびKMnO4があげらnる。こnらの中でA
g2Oおよび0oOr04は最も有効であることが見出
さnている。しかしながら0r05はそflを本発明の
組成物中に処方した場合には低ずぎる温度で分解すると
いう理由の故に本発明では有用ではない(その分解温度
はそ牡自体では約197℃である)。
3O4、PbO2、Ba(NO3)2 s Pb(NO
,)2およびKMnO4があげらnる。こnらの中でA
g2Oおよび0oOr04は最も有効であることが見出
さnている。しかしながら0r05はそflを本発明の
組成物中に処方した場合には低ずぎる温度で分解すると
いう理由の故に本発明では有用ではない(その分解温度
はそ牡自体では約197℃である)。
本発明の処方さnた分散液中の酸素含有化合物の量は5
重量係程度の低い値から5o重Jit%程度の高い値ま
で変動させうるがこfLは好ましくは10〜40重量%
である。酸素含有化合物の敵は高度に臨界的ではないけ
nども酸素含有化合物の量全酸化ルテニウムベース化合
物量に関連させることが好ましい。特に酸素含有化合物
の重量比は少くとも約0.1、そして好ましくは0.1
5または0.2でさえあるべきであることが見出さnて
いる。一層高い量も使用できる。
重量係程度の低い値から5o重Jit%程度の高い値ま
で変動させうるがこfLは好ましくは10〜40重量%
である。酸素含有化合物の敵は高度に臨界的ではないけ
nども酸素含有化合物の量全酸化ルテニウムベース化合
物量に関連させることが好ましい。特に酸素含有化合物
の重量比は少くとも約0.1、そして好ましくは0.1
5または0.2でさえあるべきであることが見出さnて
いる。一層高い量も使用できる。
しかしながら酸化銀のfを上昇せしめた場合には伝導体
相の量はそ几に応じて増大し、抵抗はそ扛により低下さ
nそして熱TORは上昇さnる。
相の量はそ几に応じて増大し、抵抗はそ扛により低下さ
nそして熱TORは上昇さnる。
他方その他の酸素含有化合物が使用さnた場合には伝導
体相は希釈さn1抵抗はそnにより上昇し、そして熱T
ORはより負となシうる。
体相は希釈さn1抵抗はそnにより上昇し、そして熱T
ORはより負となシうる。
本発明のルテネート成分に対する場合と同様に、この酸
素含有07I質の粒子サイズは狭義には臨界的ではなく
、そしてこnはこの組成物の適用さ扛る方法に適当なサ
イズのものであるべきである。
素含有07I質の粒子サイズは狭義には臨界的ではなく
、そしてこnはこの組成物の適用さ扛る方法に適当なサ
イズのものであるべきである。
C1無機結合剤
本発明の参照物質中に使用さnるガラスフリットは処方
さした酸素含有化合物の熱分解温度以上の溶融温度含有
する任意の周知の組成のものでるジうる。最も好適に使
用さnるガラスフリットはボロシリケートフリット例え
ば鉛ボロシリケートフリット、ビスマス、カドミウム、
バリウム、カルシウムまたはその他のアルカリ土類ボロ
シリケートフリットである。そのようなガラスフリット
の製造は周知であり、そしてそれは例えば成分の酸化物
の形のガラス成分を一緒に浴融させ、そしてそのような
溶融組成物を水中に注いでフリット全形成させることよ
りなる。このパッチ成分は勿論通常のフリット生成条件
下に所望の酸化物を生成させる任意の化合物でるシうる
。例えば酸化硼素は硼酸がら得ら1”Ls二酸化珪累は
フリントから生成さ几、酸化バリウムは炭酸バリウムか
ら生成さnる等である。ガラスを好ましくはボールミル
中で水と共にミル処理してフリットの粒子サイズを減少
させそして実質的に均一なサイズの7リツト全生成させ
る。
さした酸素含有化合物の熱分解温度以上の溶融温度含有
する任意の周知の組成のものでるジうる。最も好適に使
用さnるガラスフリットはボロシリケートフリット例え
ば鉛ボロシリケートフリット、ビスマス、カドミウム、
バリウム、カルシウムまたはその他のアルカリ土類ボロ
シリケートフリットである。そのようなガラスフリット
の製造は周知であり、そしてそれは例えば成分の酸化物
の形のガラス成分を一緒に浴融させ、そしてそのような
溶融組成物を水中に注いでフリット全形成させることよ
りなる。このパッチ成分は勿論通常のフリット生成条件
下に所望の酸化物を生成させる任意の化合物でるシうる
。例えば酸化硼素は硼酸がら得ら1”Ls二酸化珪累は
フリントから生成さ几、酸化バリウムは炭酸バリウムか
ら生成さnる等である。ガラスを好ましくはボールミル
中で水と共にミル処理してフリットの粒子サイズを減少
させそして実質的に均一なサイズの7リツト全生成させ
る。
ガラスは通常のガラス製造技術によって所望の成分を所
望の比率で混合し、そしてこの混合物全加熱して溶融物
を生成させることにょシ製造さ几る。当莱者には周知の
ように、加熱はピーク温度までそして浴融物が完全に液
体となりかつ均質となるような時間実施さnる。ここに
おいては各成分はポリエチレンジャー中でプラスチック
ボールと共に振盪することにより予め混合さnそして次
りで所望の温度で白金るっは中で溶融せしめら几る。こ
の浴融物は1〜11A時間の間ピーク温度に加熱さnる
。この浴融物を次いで冷水中に注ぐ。水の溶融物に対す
る容量比を大きくすることによって急冷の間の水の最高
温度を可及的低く保つ。水から分離した後tこの粗製フ
リット1−空気中で乾燥させるかtたはメタノール洗浄
によって水を置換させることにより残存水を除去する。
望の比率で混合し、そしてこの混合物全加熱して溶融物
を生成させることにょシ製造さ几る。当莱者には周知の
ように、加熱はピーク温度までそして浴融物が完全に液
体となりかつ均質となるような時間実施さnる。ここに
おいては各成分はポリエチレンジャー中でプラスチック
ボールと共に振盪することにより予め混合さnそして次
りで所望の温度で白金るっは中で溶融せしめら几る。こ
の浴融物は1〜11A時間の間ピーク温度に加熱さnる
。この浴融物を次いで冷水中に注ぐ。水の溶融物に対す
る容量比を大きくすることによって急冷の間の水の最高
温度を可及的低く保つ。水から分離した後tこの粗製フ
リット1−空気中で乾燥させるかtたはメタノール洗浄
によって水を置換させることにより残存水を除去する。
次いでこの粗製フリットヲ、アルミナボールを使用する
アルミナ容器中で6〜5時間ボールミル処理する。もし
あるにしても物質によるアルミナの取り込みはX線回折
分析によシ(j41I定さnる観測限界内にはない。
アルミナ容器中で6〜5時間ボールミル処理する。もし
あるにしても物質によるアルミナの取り込みはX線回折
分析によシ(j41I定さnる観測限界内にはない。
ミルからミル処理したフリットスラリーを放出させた後
、過剰の溶媒を傾瀉により除去し、そしてフリット粉末
を室温で風乾する。次いで乾燥さnfc粉末を625メ
ツシユスクリーンに通してすべての大粒子を除去する。
、過剰の溶媒を傾瀉により除去し、そしてフリット粉末
を室温で風乾する。次いで乾燥さnfc粉末を625メ
ツシユスクリーンに通してすべての大粒子を除去する。
フリットの主なる二つの機能は、(11−tnが無機結
晶性粒子状物質の液相焼結を助けること、そして(2)
そ几が厚膜抵抗体の製造における加熱−冷却サイクル(
焼成サイクル)の間のガラス分除去(devitrif
ication s失透)によって非結晶性(無晶形)
または結晶性物質を生成させることである。このガラス
分除去過程は前駆体の非結晶性(ガラス様)物質と同一
組成を有する単一の結晶相捷たは前駆体ガラス様物質と
は異った組成の多重結晶相のどちらかを生成させつる。
晶性粒子状物質の液相焼結を助けること、そして(2)
そ几が厚膜抵抗体の製造における加熱−冷却サイクル(
焼成サイクル)の間のガラス分除去(devitrif
ication s失透)によって非結晶性(無晶形)
または結晶性物質を生成させることである。このガラス
分除去過程は前駆体の非結晶性(ガラス様)物質と同一
組成を有する単一の結晶相捷たは前駆体ガラス様物質と
は異った組成の多重結晶相のどちらかを生成させつる。
D、上様媒体
機械的混合によって(例えばロールミル上で)無機粒子
を本質的に不活性の液体媒体(ベヒクル)と混合してス
クリーン印刷に適当なコンシスチンシー卦よびにオロジ
ーをイずするは−スト様組成物全生成させる。後者は在
来の様式で在米の誘電性基材上に「厚膜」として印刷さ
几る。
を本質的に不活性の液体媒体(ベヒクル)と混合してス
クリーン印刷に適当なコンシスチンシー卦よびにオロジ
ーをイずするは−スト様組成物全生成させる。後者は在
来の様式で在米の誘電性基材上に「厚膜」として印刷さ
几る。
任意の不活性液体をベヒクルとして使用することができ
る。濃厚化剤(シックナー)および/または安定剤およ
び/またはその他の一般的添加剤を加えたかまたはこn
なしの種々の有機液体を(ヒクルとして使用しうる。使
用できる有機液体の例は脂肪族アルコール、そのような
アルコールのエステル例えばアセテートおよびプロピオ
ネート、テルペン例えば松根油、テルピネオールその他
、例えば低級アルコールのポリメククリレートのような
樹脂の溶液、およびエチルセルロースの例えば松根油お
よびエチレングリコールモノアセテートのモノブチルエ
ーテルのような温媒中の溶液である。好ましいベヒクル
はエチルセルロースおよびβ−テルピネオールをベース
としている。ベヒクルは基材への適用後の迅速な硬化を
促進させるために揮発性液体全官有できる。
る。濃厚化剤(シックナー)および/または安定剤およ
び/またはその他の一般的添加剤を加えたかまたはこn
なしの種々の有機液体を(ヒクルとして使用しうる。使
用できる有機液体の例は脂肪族アルコール、そのような
アルコールのエステル例えばアセテートおよびプロピオ
ネート、テルペン例えば松根油、テルピネオールその他
、例えば低級アルコールのポリメククリレートのような
樹脂の溶液、およびエチルセルロースの例えば松根油お
よびエチレングリコールモノアセテートのモノブチルエ
ーテルのような温媒中の溶液である。好ましいベヒクル
はエチルセルロースおよびβ−テルピネオールをベース
としている。ベヒクルは基材への適用後の迅速な硬化を
促進させるために揮発性液体全官有できる。
分散液Z中の固体分に対するベヒクルの比はかなり変動
できそしてこfLは分散液の適用方法および使用さ几る
ベヒクルの種類に依存する。
できそしてこfLは分散液の適用方法および使用さ几る
ベヒクルの種類に依存する。
通常良好な被覆を達成させるためには、分散液は相補的
に60〜90%の固体分および40〜10%のはヒクル
全含有している。本発明の組成物は、勿論その有利な特
性に悪影響を与えないその他の物質の添加によって変性
させることができる。そのような処方は当業者の技術範
囲内である。
に60〜90%の固体分および40〜10%のはヒクル
全含有している。本発明の組成物は、勿論その有利な特
性に悪影響を与えないその他の物質の添加によって変性
させることができる。そのような処方は当業者の技術範
囲内である。
は−′ス゛トは便利には6本ロールミル上で調製さfる
。は−ストの粘度は典型的には低、中および高剪断速度
でブルックフィールドHBT粘度計で仰」定した場合次
の範囲内にある。
。は−ストの粘度は典型的には低、中および高剪断速度
でブルックフィールドHBT粘度計で仰」定した場合次
の範囲内にある。
剪断速度(秒−1) 粘度(Pa、5)60ト150
0 最も好ましい 140〜200 最も好ましい 12〜18 最も好ましい 使用さnるベヒクルの量は最終的な所望の処方粘度によ
シ決定さnる。
0 最も好ましい 140〜200 最も好ましい 12〜18 最も好ましい 使用さnるベヒクルの量は最終的な所望の処方粘度によ
シ決定さnる。
処方および適用
本発明組成物の調製においては粒子状無機固体分を有機
担体と混合し、そして適当な装置例えば6本ロールミル
を使用して分散させてその粘度が4秒″″1の剪断速度
で約100〜150パスカル秒の範囲にある組成物全生
成する懸濁液全生成させる。
担体と混合し、そして適当な装置例えば6本ロールミル
を使用して分散させてその粘度が4秒″″1の剪断速度
で約100〜150パスカル秒の範囲にある組成物全生
成する懸濁液全生成させる。
下記の実施例中では処方は次のようにして実箔さnた。
ペースト成分から約5重量係に相湧する約5係の有機成
分を減じたものを一緒に容器中に秤量する。次いで成分
を激しく混合して均一なブレンドを生成させる。次いで
このブレンド全分散装置例えば6本ロールミルに通過さ
せて粒子の良好な分散を達成させる。ヘゲマンゲージ全
使用しては−スト中の粒子の分散状態全測定する。この
装置は一方の端で25μ深さく1ミル)のそして他方の
端で0“深さに傾斜しているスチールブロック中のチャ
ンネルよりなっている。
分を減じたものを一緒に容器中に秤量する。次いで成分
を激しく混合して均一なブレンドを生成させる。次いで
このブレンド全分散装置例えば6本ロールミルに通過さ
せて粒子の良好な分散を達成させる。ヘゲマンゲージ全
使用しては−スト中の粒子の分散状態全測定する。この
装置は一方の端で25μ深さく1ミル)のそして他方の
端で0“深さに傾斜しているスチールブロック中のチャ
ンネルよりなっている。
ブレードを使用してチャンネルの長さに沿ってペースト
を引く。集塊物の直径がチャンネル深さよシ犬なる場合
には、スクラッチが出現する。
を引く。集塊物の直径がチャンネル深さよシ犬なる場合
には、スクラッチが出現する。
満足さnる分散液は、典型的には10〜1μの第4のス
クラッチ点を与える。チャンネルの半分が良好に分散し
たは−ストにより覆わ扛ない点は典型的には6〜8μm
の間である。<20μmの第4スクラツチ測定およびく
10μmの「ノ・−フチヤンネル」測定は分散の劣った
懸濁液を意味する。
クラッチ点を与える。チャンネルの半分が良好に分散し
たは−ストにより覆わ扛ない点は典型的には6〜8μm
の間である。<20μmの第4スクラツチ測定およびく
10μmの「ノ・−フチヤンネル」測定は分散の劣った
懸濁液を意味する。
ペーストの有機成分全構成する残余の5%金次いで加え
そして樹脂含量eR161整して完全処方した場合のそ
の粘度を4秒−1の剪断速度で140〜200 PaS
とする。
そして樹脂含量eR161整して完全処方した場合のそ
の粘度を4秒−1の剪断速度で140〜200 PaS
とする。
次いでこの組成物を基材例えばアルミナセラミックに通
常スクリーン印刷法によシ適用して約60〜80μ、好
ましくは30〜70μそして最も好ましくid40〜5
0μの湿時厚さとする。本発明の電極組成物を基材上に
通常の方法で自動プリンターまたはノ・ンドプリンター
を使用して印刷することができる。好ましくは200〜
325メツシユスクリーンを使用する自動スクリーンス
テンシル技術が採用される。次いT印刷パターンを20
0℃以下例えば約150℃で約5〜15分間乾燥させそ
してその後で焼成させる。無機結合剤および微細分割金
属粒子の両方を焼結゛させる。この焼成は好ましくは良
好に排気さ几ているベルトコンベア炉中で約600〜6
00℃の有機物實の燃焼を可能ならしめる温度プロフィ
ルで約5〜15分つずく約800〜950℃の最高温度
期間、そnに続く過焼結、中間温度での望ましくない化
学反応″!たけ急速すぎる冷却から生じうる基材破壊を
阻止するための制御さlt′した冷却(クールダウン)
サイクルを使用して実施さnる。全体的焼成操作は好ま
しくは約1時間期間にわたるもので焼成温度に達するま
での20〜25分、焼成温度での約10分および冷却(
、クールダウン)の約20〜25分を含む。ある場合に
は60分の短い全サイクル時開音使用することができる
。
常スクリーン印刷法によシ適用して約60〜80μ、好
ましくは30〜70μそして最も好ましくid40〜5
0μの湿時厚さとする。本発明の電極組成物を基材上に
通常の方法で自動プリンターまたはノ・ンドプリンター
を使用して印刷することができる。好ましくは200〜
325メツシユスクリーンを使用する自動スクリーンス
テンシル技術が採用される。次いT印刷パターンを20
0℃以下例えば約150℃で約5〜15分間乾燥させそ
してその後で焼成させる。無機結合剤および微細分割金
属粒子の両方を焼結゛させる。この焼成は好ましくは良
好に排気さ几ているベルトコンベア炉中で約600〜6
00℃の有機物實の燃焼を可能ならしめる温度プロフィ
ルで約5〜15分つずく約800〜950℃の最高温度
期間、そnに続く過焼結、中間温度での望ましくない化
学反応″!たけ急速すぎる冷却から生じうる基材破壊を
阻止するための制御さlt′した冷却(クールダウン)
サイクルを使用して実施さnる。全体的焼成操作は好ま
しくは約1時間期間にわたるもので焼成温度に達するま
での20〜25分、焼成温度での約10分および冷却(
、クールダウン)の約20〜25分を含む。ある場合に
は60分の短い全サイクル時開音使用することができる
。
試料の調製
抵抗温度係数(TOR) ’i試験すべき試料は次のよ
うにして調製さnる。
うにして調製さnる。
試験さnるべき抵抗体処方物のパターン全10個の番号
を付したアルシマグ(Alsimag)6141×1“
セラミック基材の各々にスクリーン印刷し、そして次い
で150℃で乾燥させる。焼成前の乾燥フィルムの各組
の平均厚さはプラッシュ・サーファナライサー(Bru
sh 5urfanalyzer)によシ測定して22
〜28μでなくてはならない。乾燥および印刷さnだ基
材全欠いで35℃/分での850℃までの加熱、850
℃での9〜10分の滞留および60℃/分の速度での常
温までの冷却からなる約60分間のサイクルを使用して
焼成させる。
を付したアルシマグ(Alsimag)6141×1“
セラミック基材の各々にスクリーン印刷し、そして次い
で150℃で乾燥させる。焼成前の乾燥フィルムの各組
の平均厚さはプラッシュ・サーファナライサー(Bru
sh 5urfanalyzer)によシ測定して22
〜28μでなくてはならない。乾燥および印刷さnだ基
材全欠いで35℃/分での850℃までの加熱、850
℃での9〜10分の滞留および60℃/分の速度での常
温までの冷却からなる約60分間のサイクルを使用して
焼成させる。
抵抗の測定および計算
供試基材を制御さnた温度のチャンバー内の端部棒に載
置させ、そしてディジタルのオームメーターに電気的に
接続させる。チャンバー内の温度を25℃に調整しそし
て平衡化させ、その後で各基材の抵抗を測定しそして記
録する。
置させ、そしてディジタルのオームメーターに電気的に
接続させる。チャンバー内の温度を25℃に調整しそし
て平衡化させ、その後で各基材の抵抗を測定しそして記
録する。
次いでチャンバーの温度を125℃まで上昇させそして
平衡化させ、その後で基材の抵抗を再び測定しそして記
録する。
平衡化させ、その後で基材の抵抗を再び測定しそして記
録する。
チャンバーの温度を次いで一55℃まで冷却させ、そし
て平衡化させ、そして冷時抵抗t−III定しそして記
録する。
て平衡化させ、そして冷時抵抗t−III定しそして記
録する。
抵抗の熱時および冷時温度係数は次のようにして計算さ
nる。
nる。
R25℃および熱時および冷時TOR(そnぞnHTC
Rおよび0TOR)の値を平均させ、そしてR25℃の
値を25μ乾燥印刷厚さに対してノルマル化させ、そし
て抵抗軍を25μ乾燥印刷厚さでオーム/平方で記載す
る。多量試験値のノルマル化は次の関係式を使用して計
算される。
Rおよび0TOR)の値を平均させ、そしてR25℃の
値を25μ乾燥印刷厚さに対してノルマル化させ、そし
て抵抗軍を25μ乾燥印刷厚さでオーム/平方で記載す
る。多量試験値のノルマル化は次の関係式を使用して計
算される。
分散係数(Coefficient of Varia
nce)分散係数(C■)は試験さnる抵抗体に対する
平均および個々の抵抗の画数でありそしてこ庇はR1=
個々の試料の測定抵抗 RaV”’すべての試料の計算平均抵抗(ΣIR1/n
)n =試料数 eV−−X100(す である。
nce)分散係数(C■)は試験さnる抵抗体に対する
平均および個々の抵抗の画数でありそしてこ庇はR1=
個々の試料の測定抵抗 RaV”’すべての試料の計算平均抵抗(ΣIR1/n
)n =試料数 eV−−X100(す である。
本発明は次の例を参照することによりよりよく理解さn
るが、ここにすべての組成物は特記さ几ていない限9は
重量%で与えらfている。
るが、ここにすべての組成物は特記さ几ていない限9は
重量%で与えらfている。
以下の例中では4種の異ったガラス組成物が使用さfし
たが、こnらは次の表1に与えらnている組成を有して
いた。
たが、こnらは次の表1に与えらnている組成を有して
いた。
表 1
有機結合剤組成
成 分 モル係
PbO2B、1 27.2 16.0sio2
53.7 50.7 35.5 5.0B20
s 13.0 12.6 26.3 50
.0Az2o5 5.2 5.0 4.5
−MnO40,0 Zr02 2.8 5.0’r
io2 4.5 +OuO−
2,2″ ZnO12,7 言−1’ 100.0 10U、
0 100.Oioo、。
53.7 50.7 35.5 5.0B20
s 13.0 12.6 26.3 50
.0Az2o5 5.2 5.0 4.5
−MnO40,0 Zr02 2.8 5.0’r
io2 4.5 +OuO−
2,2″ ZnO12,7 言−1’ 100.0 10U、
0 100.Oioo、。
更に例中で使用さ几ている有機媒体はβ−テルピネオー
ルとジブチルカルピトールとの混合物に溶解させたエチ
ルセルロースに基いていた。
ルとジブチルカルピトールとの混合物に溶解させたエチ
ルセルロースに基いていた。
このタイプの有機媒体は米国特許第4,070,200
号明細書に記載さnている。
号明細書に記載さnている。
例 1〜7
一連の7種のスクリーン印刷可能なルテニウム含有抵抗
体ペーストラ製造した。そnらの6各はルテニウム含有
化合物に対して1.5以上の重量比でAg2O’に含有
していた。この組成物は25重重量%不活性有機媒体中
に微細分割固体全分散させることにより製造さf17’
(。次いでこのペーストを96重量%At203基材上
に200メツシユスクリーンを使用してスクリーン印刷
し、端子を設けそして次いで共焼成して有機媒体の蒸発
、Ag2Oの熱分解およびガラスの液相焼結を行なわせ
た。各ペース)1−使用してこの方法で10棟の抵抗体
を生成はせた。熱分解性金属酸化物を含有しない同様の
組成物とは異って、この焼成抵抗体はいず几も認めうる
景の汚染(・スティン)を示さなかった。この抵抗体は
−ストの組成およびそ几から製造さf′した抵″抗体の
電気的性質は以下の表2に与えらしている。
体ペーストラ製造した。そnらの6各はルテニウム含有
化合物に対して1.5以上の重量比でAg2O’に含有
していた。この組成物は25重重量%不活性有機媒体中
に微細分割固体全分散させることにより製造さf17’
(。次いでこのペーストを96重量%At203基材上
に200メツシユスクリーンを使用してスクリーン印刷
し、端子を設けそして次いで共焼成して有機媒体の蒸発
、Ag2Oの熱分解およびガラスの液相焼結を行なわせ
た。各ペース)1−使用してこの方法で10棟の抵抗体
を生成はせた。熱分解性金属酸化物を含有しない同様の
組成物とは異って、この焼成抵抗体はいず几も認めうる
景の汚染(・スティン)を示さなかった。この抵抗体は
−ストの組成およびそ几から製造さf′した抵″抗体の
電気的性質は以下の表2に与えらしている。
前記データは例1および例2の抵抗体が良好な低い抵抗
率および分散定数(a■)を有しているものであること
を示す。しかしながらHTOR値およびHTOR変動(
Σ(HTC!R) )は共に多くの適用に対して高すぎ
る。他方、異ったガラスの使用さ扛ている例6および例
4の抵抗体は非常に低い抵抗誰、およびCVならびに中
等度に正のHTOR値を達成しうろことを、示した。
率および分散定数(a■)を有しているものであること
を示す。しかしながらHTOR値およびHTOR変動(
Σ(HTC!R) )は共に多くの適用に対して高すぎ
る。他方、異ったガラスの使用さ扛ている例6および例
4の抵抗体は非常に低い抵抗誰、およびCVならびに中
等度に正のHTOR値を達成しうろことを、示した。
例5および例6は、そn以外は同一の組成物に関して、
広範囲にわたってのl1TOHの調整に対して無機結合
剤の選択をどのように使用しうるかということを説明す
る。例5および例6の組成物のブレンドである例7id
、実質的に高い正および負のHTOR値を有する物質の
ブレンドを使用して非常に低い弔等度HTOR値ft有
する抵抗体を生成させることができるということ全示し
ている。
広範囲にわたってのl1TOHの調整に対して無機結合
剤の選択をどのように使用しうるかということを説明す
る。例5および例6の組成物のブレンドである例7id
、実質的に高い正および負のHTOR値を有する物質の
ブレンドを使用して非常に低い弔等度HTOR値ft有
する抵抗体を生成させることができるということ全示し
ている。
そのAg2O/RuO2重量比が0.75〜1.1であ
る一連の4種のスクリーン印刷可能なルテニウム含有抵
抗体ペーストを製造した。こnらの組成物は、25重量
係の不活性有機媒体中に微細分割固体全分散させること
によシ製造さnた。次いでこnらのペーストを96重量
%At203基材上にスクリーン印刷し、端子をつけそ
して次いで共焼成させて有機媒体の蒸発%Ag2Oの熱
分解およびガラスの液相焼結を行なわせた。ここでもま
た各ペーストラ使用して10個の抵抗体全生成させた。
る一連の4種のスクリーン印刷可能なルテニウム含有抵
抗体ペーストを製造した。こnらの組成物は、25重量
係の不活性有機媒体中に微細分割固体全分散させること
によシ製造さnた。次いでこnらのペーストを96重量
%At203基材上にスクリーン印刷し、端子をつけそ
して次いで共焼成させて有機媒体の蒸発%Ag2Oの熱
分解およびガラスの液相焼結を行なわせた。ここでもま
た各ペーストラ使用して10個の抵抗体全生成させた。
すべての組成物はスティンなし端子を与えた。
この抵抗体ペーストの組成およびそnから製造さnた抵
抗体の電気的性質は以下の表3に与えら几ている。
抗体の電気的性質は以下の表3に与えら几ている。
表 3
Ag20含有RuO2抵抗体の電気的性質RuO225
,025,025,025,022,5A、g20
27.5 27.5 27.5 27
.5 22.5ガラスI 8.75 5
.0 6.9 6.9 a75ガラス11
8.75 12.5 10.6 10
.6 8.75MnV2O65,05,05,05,
05,0スクリーンメツシ”−20020020032
5200電気的性質 R,vCMA3) 8.32 6.30
a09 12.39 8.80av(≠)
267 1,48 1.51 2
.45 4.52HTOIR(pT)IV″C)
+2B +198.5 +81.4 +67
.9 +26.0σ(HTOR) +190
±19.9 ±12.4 ±15.6 ±16
.7例8〜12のづ−ベての抵抗体は非常に良好な電気
的性質ケ示した。例11はより微細なメツシュスクリー
ンの使用単独が例10に比べて抵抗率を低下させること
を示すという点で興味がある。この効果は勿論より微細
なスクリーンを通して印刷さf′L、た抵抗体のよシ大
なる薄さそして従ってより高い抵抗率の反映である。し
かしながら層の薄さはHTOHに関しては認めうる効果
を全く有していない。
,025,025,025,022,5A、g20
27.5 27.5 27.5 27
.5 22.5ガラスI 8.75 5
.0 6.9 6.9 a75ガラス11
8.75 12.5 10.6 10
.6 8.75MnV2O65,05,05,05,
05,0スクリーンメツシ”−20020020032
5200電気的性質 R,vCMA3) 8.32 6.30
a09 12.39 8.80av(≠)
267 1,48 1.51 2
.45 4.52HTOIR(pT)IV″C)
+2B +198.5 +81.4 +67
.9 +26.0σ(HTOR) +190
±19.9 ±12.4 ±15.6 ±16
.7例8〜12のづ−ベての抵抗体は非常に良好な電気
的性質ケ示した。例11はより微細なメツシュスクリー
ンの使用単独が例10に比べて抵抗率を低下させること
を示すという点で興味がある。この効果は勿論より微細
なスクリーンを通して印刷さf′L、た抵抗体のよシ大
なる薄さそして従ってより高い抵抗率の反映である。し
かしながら層の薄さはHTOHに関しては認めうる効果
を全く有していない。
例 16〜21
Ag20とRuO2のM量比が0.25〜1.5である
一連の9種のスクリーン印刷可能なルテニウム含有抵抗
体は−ストを製造した。更に、0oOr04をわずか0
.08の重量比で例21で無機酸素含有化合物として使
用し、た。この組成物は以前の例の方法で、微細分割固
体分を25重゛献%の不活性有機媒体中に分散させるこ
とにより製造さnた。次いでペーストを96重郵−%の
Az2o3基材上にスクリーン印柚]シ、端子をつけそ
して次いで共暁成させて有機媒体の蒸発、Ag2Oまた
は0oCr04の熱分解およびガラスの液相焼結を行わ
せた。各ペーストラ使用して10個の抵抗体を製造した
。すべての抵抗体の端子はスティンなしであった。
一連の9種のスクリーン印刷可能なルテニウム含有抵抗
体は−ストを製造した。更に、0oOr04をわずか0
.08の重量比で例21で無機酸素含有化合物として使
用し、た。この組成物は以前の例の方法で、微細分割固
体分を25重゛献%の不活性有機媒体中に分散させるこ
とにより製造さnた。次いでペーストを96重郵−%の
Az2o3基材上にスクリーン印柚]シ、端子をつけそ
して次いで共暁成させて有機媒体の蒸発、Ag2Oまた
は0oCr04の熱分解およびガラスの液相焼結を行わ
せた。各ペーストラ使用して10個の抵抗体を製造した
。すべての抵抗体の端子はスティンなしであった。
抵抗体ペーストの組成およびそnから製造さ2″した抵
抗体の電気的性質は以下の表4に与えらnている。
抗体の電気的性質は以下の表4に与えらnている。
例16〜21の抵抗体はすべて良好な低い抵抗量および
CVを示した。更にRuO2の量を62.5%に低下さ
せることによって非常に顕著なHTOR値が例15〜2
0のずべてに対して得らfした。
CVを示した。更にRuO2の量を62.5%に低下さ
せることによって非常に顕著なHTOR値が例15〜2
0のずべてに対して得らfした。
モアース・アンド・コンパニー
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)本質的に (al &化ルテニウムベース化会物5〜75重量係
、 ’(b1150℃以下では熱的に安定であるがしかし1
50〜1200℃におけるこの組成物の空気焼成に際し
てそnから酸素全放出しつつ分解するi*累含有非アル
カリ金属化合物5〜50重量係および tc) 無機結合剤5〜20重量係 重量側分割さnた粒子混合物を (dl 有機媒体5−745重量% に分散ぜしめてなシそしてta)と(blとのモル比が
少くとも0.1である、印刷可能な・厚膜抵抗体組成物
。 2)前記(alが組成物の10〜60重量%でおる前記
特許請求の範囲第1項記載の組成物。 3)前記(1))が組成物の10〜40重量%である前
記特許請求の範囲第1項記載の組成物。 −4)前記(C1が組成物の15〜60重量%である前
記特許請求の範囲第1項記載の組成物。 5)前記(atがRuO2%ルテニウム含有ピロクロー
ル、RuO2の前駆体および七nらの混合物よりなる群
から選ばnる、前記特許請求の範囲第1項記載の組成物
。 6)前記(b)が非アルカリ金属の酸化物、クロム酸塩
、硝酸塩および過マンガン酸塩およびそnらの混合物よ
f)なる群から選ばれる、前記特許請求の範囲第1項記
載の組成物。 7)前記(a)がAg2oである、前記特許請求の範囲
第6項記載の組成物。 8)前記ta+が0oOr04である、前記特許請求の
範囲第6項記載の組成物。 9)前記(clが鉛含有ガラス、鉛不含マンガン含有ガ
ラスおよびそnらの混合物よシなる群から延は扛る、前
記特許請求の範囲第1項記載の組成物。 10)乾燥さnそして酸化性雰囲気中で焼成さnて酸累
含有非アルカリ金属化合物の熱分解、有機媒体の蒸発お
よび無機結合剤の液相焼結音生ぜしめた前記特許請求の
範囲第1〜9項のいずnかの組成物またはそnらの混合
物の分散液のパターン化さnた薄層を包含する抵抗体。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/460,059 US4476039A (en) | 1983-01-21 | 1983-01-21 | Stain-resistant ruthenium oxide-based resistors |
US460059 | 1983-01-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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