JPS6290902A - パタ−ン化した酸化ルテニウムベ−ス抵抗体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は汚染（５ｔａｉｎ　）抵抗性酸化ルテニウムベ
ース抵抗体組成物に関する。

厚膜物質は有機媒体中に分散された金属、ガラスおよび
／″またはセラミック粉末の混合物である。電気伝導性
、抵抗性または絶縁性のフィルムを形成するために非伝
導性基材上に適用されるこれら物質に広範な種々のエレ
クトロニクスおよび弱電気成分に使用されている。

個々の厚膜組成物の性質はその組成物を構成する特定の
成分に依存する。はとんどの厚膜組成物は６種の主要成
分を含有している。導体用は電気的性質を決定し、そし
て最終フィルムの機械的性質に影響を与える。通常はガ
ラスおよび／または結晶性酸化物である結合剤は厚膜を
一緒に保持させそしてそれを基材に結合させろ。有機媒
体（ベヒクル）は組成物の適用特性そして特にそのレオ
ロジーに影響を与える分散媒体でちる。

高い安定性および低い処理感受性はマイクロ回路適用の
ための厚膜抵抗体組成物に対する臨界的要求である。特
にフィルムの抵抗工（Ｒａｖ）が広範囲の温度条件にわ
たって安定であることが必要である。すなわち抵抗温度
係数（ＴＣＲ）はすべての厚膜抵抗体組成物中の臨界的
変数である。厚膜抵抗体組成物は機能的または導体用お
よび永久的結合列用より橿成さ几ているのであるから、
導体用および結合剤相の性質およびそｎら相互のそして
基材との相互作用が抵抗＝およびＴＣＨの両方に影響を
与える。

ルテニウム化合物をベースとする機能相は通常の厚膜抵
抗体組成物の杉（コア）を形成している。

ピロクロル涙に基づくルテニウム化合物は、各ルテニウ
ム原子が６個の酸素原子にかこまｎｆｃ８面体を形成し
ている等軸（ｃｕｂｉｃ）構造を有している。各酸素原
子はもう一つの他の８面体に共有さｎていて、Ｒｕ２Ｏ
乙の化学量論の三次元網状構造を形成している。このフ
レーム構造ノ開放部分は大型の陽イオンおよび追加の陰
イオンにより占めら几でいる。この二次格子中では広い
範囲の置換が可能であｐ、こｎは犬なる化学的融通性を
構成している。一般式Ａ２Ｂ２０６〜７を有するピロク
ロル構造はそのような融通性のある構造なのである。金
属、半導体まｆｃは絶縁体として挙動するピロクロルは
、利用可能な結晶部位の制御さｎた置換によって得るこ
とができる。多くの現在のピロクロールベース厚膜抵撹
体は機能相としてＢｉ２Ｒｕ２Ｏ７を含有している。

二酸化ルテニウムはまた厚膜抵抗体組成物中の導体用と
しても使用さ几る。そのルチル結晶構造（霊、各ルテニ
ウム原子が６当量の酸素原子により囲ま几ていて８面体
を形成するという点でピロクロルの結晶構造に似ている
。しがしながら、ルチル構造においては、各酸素は６個
の８面体により共有さ几ている。こｎはピロクロルの場
合とは対照的に化学的置換が非常に限定さ２″Ｌ之複雑
な三次元網状構造を与える結果となる。

ルテニウム含有抵抗体に関する問題は、他の物質と比べ
た場合、そ几らは電気的性質に関しては優ｎているけ几
ども、そ几にもかかわらずそ几らばそ几らが使用さｎる
電気伝導性金属端子の汚染全土せしめる傾向があるとい
うことである。特にそのような抵抗体が肩意量のルテニ
ウム（例えば固体分基準で５％またばそ几以」を含有し
ている場合にぼ抵抗体の結合さ几た導体端子層は往々に
して暗黒色残玉で汚染さｎる。

こｎｔ仁端子の効＝のよい（法んだづけ全困難ならしめ
る。

従って本発明に前記汚染現象音生せしめない酸化ルテニ
ウムベース厚膜抵抗体組成物に関する。すなわちその第
一義的態様において、本発明は本質的に ＋ａ＋　　酸化ルテニウムベース化合物５〜５０量係、 （ｂ１１５０℃以下では熱的に安定であるがただし１５
０〜１２００℃でのこの組成物の空気滉成時にｉｔそｎ
から酸素を放出しつつ分解する酸素含有非アルカリ金属
化合物５〜５０重量％〔（ａ）の（ｂｌに対する重量比
は少くとも０．１である〕および ｔｃ＋　　活機結合剤５〜２０重量％ の微紅分割さｆ′した粒子の混合物を （ａｌ　　有機媒体５〜４５重量％ に分散させてなる印刷可能な厚膜抵抗体組成物に関する
。

他の観点においては、本発明は、乾床さ几そして酸化性
雰囲気中で焼成さｎて酸素含有非アルカリ金属化合物の
熱分解、有機媒体の揮発ｆヒおよび無機結合剤の液相焼
結を生せしめた前記の印刷可能な厚膜組成物のパターン
化さ几た薄層（ｃ関する。

Ａ、ルテニウム成分 本発明は主導体用が酸化ルテニウム全ベースとしたもの
である抵抗体組成賢に関する。ジ化ルテニウムベース抵
抗体技術の現在の状態で：１、こ２″ＬはＲｕＯ２およ
び式 ％式％） （式中、Ｍはイツトリウム、タリウム、インジウム、カ
ドミウム、鉛シよび原子番号５７〜７１の希土類金属よ
りなる群の少くとも一つであり、Ｍ′は白金、チタン、
クロム、ロジウムおよびアンチモンの少くとも一つであ
、９、ｃｌｄｏ〜２の範囲の数であり、ｄはＯ〜約０．
５の範囲の数であり、Ｍ′がロジウムであるかまたは白
金およびチタンの一つ以上のものである場合にはｙは０
〜１の範囲の数であシ、そしてｅは０〜１の範囲の数で
あるがこ几はＭが２価の鉛またはカドミウムの場合には
少くとも約”Ａに等しい）に相当するルテニウム化合物
ヲ巴含することが知ら几ている。

こ几ら化合物およびそ几らの與造は米（至）特許第３，
５８３，９３１号明細書そしてま之ドイツ特許出頗公Ｈ
（Ｏ３）第１，８１６，１０５号各明細書に開示さ几て
いる。

前記ルテニウム含Ｍ物賞の粒子サイズは本発明の技術的
効果の捩膚からは狭義には臨界的ではない。しかしなが
らそ１らは勿論通常はスクリーン印刷であるぞｎらの適
用法ふ・よび焼成灸件に対して適当なサイズのものであ
るべきである。すなわち金属物質粒子は１０μ以上であ
るべきではなく、そしてこ几は好ましくは約５μ以下で
あるべきである。実際間項として、金５萬の利用可能な
粒子サイズ！４０．１μ程度の低いものである。ルテニ
ウム成分は少くとも５ｍ２／Ｐそして更により好ましく
は少くともＦ３ｍ２／？の平均表面積含有していること
が好ましい。

好ましいルテニウム化合物としてＵ　Ｂ１ＰｂＲｕ２０
６５、Ｂｉｏ、２ＰｂＩ　ＢＲｕ２０６１　、Ｂｉ２Ｒ
ｕ２Ｏ７、Ｐｂ２Ｒｕ２Ｏ６ｂよびＲｕＯ２があげら几
る。更にＲｕＯ２の前駆体すなわち現収に際してＲｕＯ
２’ｚ生成するルテニウム化合物（霊１之こ几ら物質の
いず７″Ｌ刀工の混合物と同様に本発明における使用に
対して適当である。適当な非ピロクロールＲｕ○２前駆
体の例（１ルテニウム金属、ルテニウムレジネート、　
ＢａＲｕ０３％　Ｂａ２Ｒｕ０４、ＣａＲｕ０３．０ｏ
２Ｒｕ０４　、　ＬａＲｕ○３およびＬｉ２Ｒｕ○３で
ある。

この組成物は５〜７５重量％のルテニウムベース成分を
含有しうる。そ几ば１０〜６０％を含有するのが好まし
い。

Ｂ、酸素含有化合物 本発明の組成物中で有効な酸素含有化合物は、そ几らｔ
＠有する組成物を加熱した場合実質的に分解しそして酸
素２発生させる非アルカリ金便酸素含耳化合物である。

しかしながらこの化合物Ｉ−１処方に必畳な強度の混合
に通常伴なう穏やかに上昇さｎた温度においてそ几らが
分譜することのないように過度に容易に分解しないこと
が重要である。この理由の故に、酸素含有化合物はこｎ
らを処方のその他の成分とブレンドさせる場合少くとも
約１５０℃までは熱的に安定でなくてはならない。しか
しながら−こうした酸素含有化合物ｌ−１：同様に過度
に耐火性であってはいけない。すなわちそ几ら（４１５
０℃以上の温度で容易に分解しなくてはならないかしか
しそ几らは一緒に使用さｎている有機結合剤の焼結温度
より高い温度を要求してはならない。ここに、酸素含有
化合物の熱分解温度自体はそｎ全処方の他の成分とブレ
ンドさせる場合にはかなり異っている（通常より低い）
ことがありうるということを認識することは重要である
。すなわち前記熱分解判定基準は処方物質、す々わちル
テニウム含有化合物の微細分割粒子、ヰ望結合剤および
有９媒体の存在下での分解に基いてい丞。

適当なタイプの酸素含有物質は貴金属酸化物、３価およ
び４価卑金属酸化物および例えばＴ１、Ｖ％Ｏｒ　％Ｍ
ｎ　％Ｆｅ　％Ｃｏ　、Ｃｕ　、Ｚｎ　ｓＺｒ　ｘＮｂ
　ｔＭｏ　、ＴａおよびＷのような卑金属のクロム酸塩
（ジおよびポリクロム駿塩を含む）である。酸素含有化
合物の金属成分は、（１）その金属がアルカリ金属でな
く、（２）処方さｎた場合の化合物が１５０℃以下では
なくしかもそ几と一緒に使用さ几るガラスの焼結温度以
上ではない温度で分解しｔそして（３）化合物が酸素を
放出しつつ熱的に分解する限りは臨界的ではないと信じ
ら几る。処方さｎた酸素含有化合物ｉ’！、　２００〜
８００℃そして好ましくは２００〜４００℃範囲で熱的
に分ｍ″ｆるのが好ましい。

適当な特質としてはＡ、ｇ２０　、Ｃ！ｏｃｒ０４　、
Ｐｂ３Ｏ４、ｐｂ○２　、　Ｅａ（ＮＯ３）２　、Ｐｂ
（ＮＯ３）２およびＫＭｎＯ４があげら几るっこｎらの
中でＡｇ２ＯおよびＣ！ｏｃｒ０４は最も有効であるこ
とが見出さｎている。しかしながらＣｒＯ３は七几を本
発明の組成物中に処方した場合に（１低すぎる温度で分
解するという理由の故に本発明ではＭ用ではない（その
分解温度ばそ几自体では約１９７℃である）。

本発明の処方さｆ′した分散液中の酸素含有化合物の量
は５重量％程度の低い値から５０重量％程度の高い値ま
で変動させうるがこｎは好ましくは１０〜４０重量％で
ある。酸素含有化合物の１（ζ高度に臨界的ではないけ
ｎども酸素含有化合物の量？酸化ルテニウムベース化合
物量に関連させることが好ましい。特に酸素含有化合物
の重量比は少くとも約０．１、そして好ましくばｏ−１
５ｉｆｃ＋ｉｏ、２でさえあるべきであることが見出さ
ｎている。一層高い量も使用できる。

しかじな″から酸化銀の量を上昇せしめた場合（て（２
云導体相の量（１そｎに応じて増大し、抵抗にそ几によ
り低下さ几そして熱ＴＣＰ、は上昇さする。

他方その他の酸素含有化合物が使用さ几た場合には伝導
体用（・１希釈さｎ１抵抗はそ几により上昇し、そして
熱ＴＣＲはより負となりうる。

本発明のルテネート成分に対する場合と同様に、この酸
素含有物質の粒子サイズ（１狭義に（″ｉ臨界的ではな
く、そしてこ１はこの組成物の適用さｎる方法に適当な
サイズのものであるべきである。

Ｃ０無機結合剤 本発明の参照物質中に使用さｎるガラスフリットは処方
さ几た酸素含有化合物の熱分解温度以上の＠慇温尻を有
する任意の周知の組成のものであシうる。最も好適に使
用さｎるガラスフリットはボロシリケートフリット例え
ば鉛ボロシリケートフリット、ビスマス、カドミウム、
バリウム、カルシウムまたはその他のアルカリ土類ボロ
シリケートフリットである。そのようなガラスフリット
の製造は周知であり、そしてそｎは例えば成分の酸化物
の形のガラス成分を一緒に溶融させ、そしてそのような
溶融組成物を水中に注いでフリットヲ形成させることよ
υなる。このパッチ取分は勿論通常のフリット生成条件
下に所望の酸化物を生成させる任意の化合物でろｐうる
。例えば酸化硼素は硼酸から得ら几、二酸化珪素はフリ
ントから生成さ几、酸化バリウムは炭酸バリウムから生
成さｎる等である。ガラスを好ましくはボールミル中で
水と共にミル処理してフリットの粒子ブイズを減少させ
そして実質的に均一なサイズのフリットヲ生放させる。

ガラス（ケ通常のガラス製造技術によって所望の成分？
所望の比互で混合し、そしてこの・混合物を加熱して溶
融物を生成させることにより製造さｎる。当業者には周
知のように、加熱はピーク温度までそして浴融物が完全
に液体となりかつ均質となるような時間実施さ几る。こ
こにおいては各成分はポリエチレンジャー中でプラスチ
ックボールと共に振盪することにより予め混合さ几そし
て次いで所望の温度で白金るつぼ中で溶融せしめら几る
。この溶融物（ζ１〜１１ｈ時間の間ピーク温度に刀Ω
熱さｎる。この溶融物を次いで冷水中に注ぐ。水の溶融
物に対する容量比を大きくすることによって急冷の間の
水Ｏ最高温度を可及的低く保つ。水から分離した後、こ
の＠製フリットを窒気中で乾燥させるかまた（＝メタノ
ール洗浄によって水を置換させることによυ残存水を除
去する。次いでこの粗製フリットヲ、アルミナボールを
使用するアルミナ容器中で３〜５時間ボールミル処理す
る。もしあるにしても物質によるアルミナの取り込みは
Ｘ線回折分析によシ測定さ几る観測限界内に（・１ない
。

ミルからミル処理したフリットスラリーを放出させた後
、過剰の溶媒を傾瀉により除去し、そしてフリット粉末
２ｖ温で風乾する。次いで乾燥さ几た粉末を６２５メツ
シユスクリーンに通してすべての大粒子を除去する。

フリットの主なる二つの碌能は、（１）そ几が無機結晶
性粒子状物質の液相焼結を助けること、そして（２１そ
ｎが厚膜抵抗体の製造における加熱−冷却サイクル（焼
成サイクル）の間のガラス分除去（ｄｅｖｌｔｒｌｆｉ
ｃａｔｘｏｎ　％失透）によって非結晶性（無晶形）ま
たは結晶住物質全生収さぜることである。このガラス分
除去過程（・″ｉ＠駆体の非結晶性（ガラス様）物質と
同−組灰を有する単一の結晶相または前駆体ガラス様物
質と（・１異った組成の多Ｍ結晶相のどちらかを生成さ
イうる。

Ｄ、有徳媒体 機械的混合によって（例えばロールミル上で）無機粒子
を不質的に不活性の液体媒体（ベヒクル）と混合してス
クリーン印、刷に適当なコンメステンシーおよびレオロ
ジーｔ７’にするＲ−スト様組成物を生成させる。後者
は在米の様式で在来の誘電性基材上に「厚膜」として印
刷さｎる。

任意の不活法液体をベヒクルとして使用することができ
る。！！！厚化剤（シックナー）および／またに安定剤
お：び／また（はその他の一般的ご抽剤を加えたかまた
はこ几なしの種々の頁機α億全（ヒクルとして１用しう
る。使用できる！＝准体の例（ま指彷妄アルコール、そ
のようなアルコールのエステル例えばアセテートおよび
プコピオネート、チルにン例えば松根油、テルピネオー
ルその他、例え（ば低級アルコールのポリメタクリレー
トのような切脂の浴液、お：びエチルセルロースの例え
ば松根油およびエチレングリコールモノアセテートのモ
ノブチルエーテルのような呂媒中の溶敢である。好まし
いベヒクルはエチルセルロースおよびβ−テルヒネオー
ル６ベースとしている。ベヒクルは基材への適用後の迅
速な硬化を促進させるために揮発性液体全含有できる。

分散液２中の固伏分に対するベヒクルの比：はかなり変
動できそしてこｎ　ｆｔ分散液の連用方云および使用さ
ｎるベヒクルの種類に依存する。

通営艮好な級覆を達成さぜるためには、分散液は相補的
に６０〜９０係の固体分および４０〜＋０％のベヒクル
全含有している。不発明の組成物は、勿論その有利な特
注に悪影響を与えないその他の物質の添加（でよって変
性させることができる。そのような処方は当業者の技術
軛コ円である。

ｋ−ストは便利にに６不ロールミル上で調製さ几る。は
−ストの粘度は典型的に（・１低、中および高剪断速度
でブルックフィールド１Ｔ９ｉ計で湧」定した場合次の
範囲内にある。

剪断速度（秒−１）　粘度（Ｐａ、Ｓ）０．２　　　　
　　　　　１００〜５０００　　−３００〜２０００　
　好ましい ６０ロ？１５００　　最も好ましい ４　　　　　　　　　　４０〜４０〇　　−１００〜２
５０　　　好ましい １４０〜２００　　たも好でしい ３８４　　　　　　　　　　７〜４０　　−１０〜２５
　　　好ましい １２〜１８　　　最も好ましい ・夕月さ几るベヒクルの１に最終的な１所望の処方粘度
により決定さ几る。

処方および適用 本発明組成物の調製に２いて（１粒子状亜惣固体分全ゴ
機担仁と混合し、そして適当な装置例えば３本ロールミ
ル全使用して分散させてその゛粘度が４秒″′１の剪断
速度で約１００〜１５０パスカル秒の範囲にある組成物
全生成する懸濁層全生成させる。

下記の実施偽中では処方は次のようにして実施さ２″し
た。

ｋ−スト成分から約５重１％に相当する約５％の有機成
分全滅じたもの全−緒に容器中に秤量する。次いで成分
を激しく混合して均一なブレンドを生成さぞる。次いで
このブレンド全分散装置例えば３二〇−ルミルに通過さ
せて粒子の艮好な分散全違反させる。ヘグマンゲ′−ジ
全使用しては−スト中の粒子の分散状態全５１）定する
。この装置（１一方の端で２５μ深さく１ミル）のそし
て他方の端で口“深さに傾斜しているスチールブロンク
中のチャンネルよＩ）すっている。

ブレードを便用してチャンネルの長さに沿ってｇ−スト
を引く。集塊物の１径がチャンネル深さより犬なる場合
に（グ、スクラッチが出現する。

満足さ几る分散液（ｃ典型的に１１１０〜１μの第４の
スクラッチ点ｅ与える。チャンネルの半分が良好に分散
したズーストにより覆わｎない点は典型的には３〜８μ
ｍの間である。く２０μｍの冥４スクラッチ測定および
く１０μｍの「ノ・−フチヤンネル」測定（は分散の劣
った懸濁液を意味する。

ｋ−ストの有う成分を構成する残余０５％を次いで刃口
えセして有脂含量を調整して完全処方した場合のその粘
翌を４秒−１の剪断速尻で１４０〜２００　ＰａＳとす
る。

次いでこの組成物を基材例えばアルミナセラミックに通
常スクリーン印刷法により適用して約３０〜８０μ、好
１しくに３０〜７０μそして最も好ましくは４０〜５０
μの湿時厚さとする。本発明の電極組成物を基材上に通
常の方法で自動プリンターまたはハンドプリンターを使
用して印刷することができる。好ましくは２００〜３２
５メツシユスクリーンを使用する自動スクリーンステン
シル技術が採用さｎる。次いで印刷パターンを２００℃
以下例えば約１５０℃で約５〜１５分間乾燥させそして
その後で焼成さぜる。亜へ結合剤および微細分割金属粉
子の両方を′焼結さぞる。この焼成（１好ましく（仁艮
好に排気さ几ているベルトコンベア？中で約３００〜６
００℃の■；柳頁の燃焼全可能ならしめる温度プロフィ
ルで約５〜１５分つずく約８００〜９５０℃の最高温■
期間、そ几に続く過、完毛、中間温度での望ましくない
化学反応または急速すぎる冷却から生じうる基材破壊を
阻止するための制御さ几た冷却（クールダウン）サイク
ルを使用して実兄さｎる。全体的焼成操作は好ましくけ
約１時間期間にわたるもので焼成温度に達するまでの２
０〜２５分、焼成温度での約１０分および冷却（クール
ダウン）の約２０〜２５分を含む。ある場合には３０分
の短い全サイクル時間を使用することができる。

試料の調製 抵抗温度係数（ＴＣＰ）を試験すべき試料は次のように
して調製さ几る。

試験さ几るべき抵抗伽処方祐の・ξターンを１０個の番
号を付したアルシマグ（Ａｌｓｉｍａｇ）６１４１×１
″セラミツク基材の各々にスクリーン印刷し、そして次
いで１５０℃で乾燥させる。焼成前の乾燥フィルムの各
組の平均厚さはプラッシュ・サーファナライサー（Ｂｒ
ｕｓｈ　５ｕｒｆａｎａｌｙｚｅｒ）により測定して２
２〜２８μでなくてはならない。乾燥および印刷さｎた
基材を次いで６５℃／分での８５０℃までの加熱、８５
０℃での９〜１０分の滞留および３０℃／分の速度での
常温までの冷却からｉる約６０分間のサイクルを便用し
て焼成させる。

抵抗の測定および計算 供試基材を制御さｎた温度のチャンバー内の端部棒に載
置させ、そしてティジタルのオームメーターに電気的１
で接続させる。チャンバー内の温度ｔ−２５℃に調整し
そして平衡化させ、その後で各基材の抵抗亡演一定しそ
して記録する。

次いでチャンバーの温＝ｒ１２ｓ℃まで上昇させそして
平衡化させ、その後で器材の抵抗を再びｆｆ１ｊ定しそ
して記録する。

チャン、Ｓ−の温Ｋｔ次いで一５５℃でで冷却させ、そ
して平衡化させ、そして冷時抵抗’ｃ　夕１ｉ定しそし
て記録する。

抵抗の熱時および冷時温度係数（・１次のようにして計
算さｎる。

冷時ＴＣＲ＝ニ草工と匹ｘ（−１２，５００）ｐ戸、ζ
”２５℃ Ｒ２５℃および熱時および冷時ＴＣＲ（そ几ぞｎＨＴＣ
ＲおよびＣＴＣＲ）の僅を平均させ、そしてＲ２５℃の
値を２５μ乾燥印刷厚さに対してノルマル化させ、そし
て抵抗工を２５μ乾慄印刷厚さでオーム／平方で記載す
るっ多重試験値のノルマル化（１次の関係式を使用して
計算さｎる。

分散係ａ（ｃｏｅ？ゴ１ｃｉｓｎｔ　ｏｆ　Ｖａｒｉａ
ｎｃｅ）分散係数（ｃＶ）は試験さ几る抵抗体に対する
平均お二び個々Ｏ抵抗のう救でありそしてこｎ（まＲ１
−個々の試料の頂り定抵抗 Ｆ’ａｖ−すべての試料の計算平均抵抗（ΣｉＲ１／ｎ
）ｎ　＝試料叡 ｃｖ　＝、Ｘ　Ｉ　Ｃ１ｏｔｏｌＪ である。

不発明（１次のｒｌＪ全参照することによりよりよく理
贋さｎるが、ここにすべての組成物は特記さｎでいない
限り（仁重１％で与えら几ている。

以下の例中では４種の異ったガラス組成そが１用さｎた
が２　こｎらに次の辰１に与えら１ｔている咀成全有し
ていた。

表　　１ ■後納合剤ギュ成 成　分　　　　　　　モル％ Ｐｂｏ　　　　　２８．１　　２７，２　　１６．０　
　−８１０２　　　　　　５３．７　　　５０７　　　
３５．５　　　　５．０Ｂ２ｏ３　　　１３．０　　１
２．６　　２６．３　　５０．０Ａｚ２ｏ５　　　５．
２　　５．０　　４．５　　−ＩｎＯ４０，口 ＺｒＯ２２，８５，０ Ｔｉ０２　　　　　　　４．５ ＣｕＯ２，２− ＺｎＯ１２，７− 計　　　１００．０　　１００．０　　１００．０　　
１００．０更に例中で使用さ几ている肩激媒体はβ−テ
ルピ坏オールとシフチルカルピトールとの混合物（て溶
解させ念エチルセルロースに基いていた。

このタイプの有ヤ媒ケ（仁米国特許第４，０７０，２０
０号明細書に記ｔさ几でいる。

２ミリ　　　　１〜７ 一連の７１０スクリーン印制可能なルテニウム含！抵抗
体ペースト？製造した。そｎらの谷径（プルテニウム含
有化合物に灼して１．５以上の重量比でＡｇ２Ｏで含有
してい一〇この組成物（１２５重量易の不活左耳機１体
中に微細分側固ケを分散さぞることにより製造さｎ之。

次いでこのは−ストを９６重量％Ａｔ２ｏ５基材上に２
００メツンユスクリーンを使用してスクリーン印刷し、
端子全役けそして次いで共焼成して育そ媒体の蒸発、八
６２０の熱分解およびガラスのべ相尭結全行なわせた。

各ズーストに使用してこの方法で１０種の抵抗体全生成
させた。熱分解住金現酸化ダ？含有しない同様の組成物
とは異って、この焼賠抵抗体はいず几も認めうる量の汚
染（スティン）亡示さなかつ念。この抵抗体ズーストの
４成およびそｆ′ｌ−から製造さ几二抵抗体の電偲的亡
質・：＝以下の夛２に与えら几ていｂ０前記データは例
１および例２の抵抗体が艮好な低い抵抗＝および分散定
数（ｃＶ）”を有しているものであることを示す。しか
しながら三ＴＣ三１１お二びＥＴＣＲ変拗（Σ（三ＴＣ
Ｒ））ｉま共に多く０遍用に幻して屈す宕゛る。他方、
異ったガラスの使用さｎている例６および例４の抵壬体
：て非常に低い抵抗至およびＣＶならひに甲等夏に正の
”Ｉ　Ｔ　ＣＲｉＮ　と違反しうる。ことを示した。

例５および例６は、そ几以外は同一の組成物に関して、
広範囲にわたってのＨＴＣＨの調整に対して無做結合剤
の選択をどのように便用しうるかということを説明する
。例５および例６の組成物のブレンドである例７は、実
質的に高い正および負のＨＴＣＲ値を有する物質のブレ
ンドを使用して非常に低い中等度ＨＴＣＲ値を有する抵
抗体を生成させることができるということを示している
。

その’Ｊ２０／ＲｕＯ２重量比が０．７５〜１．１であ
る一連の４種のスクリーン印刷可能なルテニウム金回抵
抗体は−ストを製造し友。こｎらの組成物に、２５重量
％の不活性肩機媒体中に微紹分４１固ケを分散さイるこ
とによシ裂造さｎた。次いでこ几らのペーストと９６重
量％　Ａｚ２ｏ３基材上にスクリーン印刷し、端子をつ
けそして次いで共焼成させて有接媒体の蒸発、Ａｇ２Ｏ
の熱分解ふ・よびガラスの液相焼結を行なわせた。ここ
でもまた各ペースト全使用して１０侶の抵抗体を生成さ
せた。すべての組成後、はスティンなし端子に与え之。

この抵抗体ば一ストの組成およびそ几から製造さ′ｎ−
た抵抗体の冨気的惺質（１以下の表５に与えら几ている
。

表　　５ Ａｇ２０含有ＲｕＯ２抵抗体の電気的性質ＲｕＯ２２５
，０２５，０２５，０２５，０２２，５ｉｇ２０　　　
　　　　２７．５　　　２７，５　　　２７．５　　２
７，５　　２２．５ガラスＩ　　　　　　ａ７５　　５
．０　　　６．９　　６．９　　８．７５ガラスＩＩ　
　　　　　８．７５　　１２．５　　１０，６　　１０
．６　　８．７５ＭｎＶ２Ｏ６５，０５，０５，０５，
０５，０スクリーンメツシユ　２００　　　２００　　
　２００　　３２５　　　２００電気的住質 Ｒａｖ（−”／’：）　　　　　８，３２　　　６．３
０　　　８．０９　１２．３９　　８．８０ｅＶ（％）
　　　　　　　２．３７　　　１，４８　　　１．５ｉ
　　　２，４５　　４．３２ＨＴＣＲ（ｐｐン’Ｃ）　
　　＋２Ｂ　　＋１９８．５　　　÷８１．４　　＋６
７．９　　　＋２６．０σ（’ＨＴＣＦり　　　　＝ｉ
＝１９．０　　　±１９．９　　　：＝１２．４　　±
１５．６　　出１３，７例８〜１２のすべての抵抗体：
１非常に艮好な電気的性質全示した。例１１（霊よｐ微
細なメツシュスクリーンの使用単独が例１０に比べて抵
抗＝−ｅ低下させることを示すという点で興味がおる。

この効果は勿論より微細なスクリーンを通して印刷さｎ
た抵抗体のより犬なる薄さそして従ってより高い抵抗星
の反映である。しかしながら層Ｏ薄さはＨＴＣＲに関し
て（１認めうる効果？全く可していない。

・列　１５〜２１ −Ａ、；２０とＦ、ｕＯ２ＯＭ　ｆ比が０．２５〜１．
５である一連の９１のスフ１）−ン印刷可能なルテニウ
ム含ゴ砥抗体ペーストを製造した。更に・ｃｏｃｒｏ４
をわずか０．０８の重ｌ比で例２１で無機酸素含有化合
物として使用した。この組成物は以前の例の方伝で、微
細分割固体分を２５重肯％の不（活１有機媒体中に分散
させることにより製造さ几た。次いでＲ−ストを９６重
量係のｐ、ｔ２ｏ５基材上にスクリーン印刷し、端子金
つけそして次いで共焼成させて有機媒体の蒸発、Ａｇ２
ＯまたはＣｏＣｒ○４の熱分解およびガラスの液相焼結
を行わせた。各Ｒ−ストヲ使用して１０個の抵抗体を製
造し念。すべての抵抗体の端子はスティンなしであった
。

抵抗体は−ストの組成か：ひそ几から製造さ２″した抵
抗体の電気的性質（１以下の表４に与えらｎている。

例１３〜２１の抵抗体（仁すべて艮好な低い抵抗＝およ
びｃｖ’ｌ示した。更にＲｕＯ２の量ｆ　３２．５係に
低下させることによって非常に顕著なＨＴＣＲ値がガ１
５〜２０のすべてに対して得ら′：ｎた。

外２名

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 本質的に （ａ）酸化ルテニウムベース化合物５〜７５重量％、 （ｂ）１５０℃以下では熱的に安定であるがしかし１５
   ０〜１２００℃におけるこの組成物の空気焼成に際して
   それから酸素を放出しつつ分解する酸素含有非アルカリ
   金属化合物５〜５０重量％および （ｃ）無機結合剤５〜２０重量％ の微細分割された粒子混合物を （ｄ）有機媒体５〜４５重量％ に分散せしめてなり、そして（ａ）と（ｂ）とのモル比
   が少くとも０．１である組成物を基材に適用し、そして
   それを乾燥し、酸化性雰囲気中で焼成して酸素含有非ア
   ルカリ金属化合物の熱分解、有機媒体の蒸発および無機
   結合剤の液相焼結を生ぜしめた、パターン化された薄層
   を包含する抵抗体。