DE2141782A1 - Verfahren zum ermitteln von unebenheiten mittels eines fotoelektrischen autokollimationsfernrohres - Google Patents

Verfahren zum ermitteln von unebenheiten mittels eines fotoelektrischen autokollimationsfernrohres

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DE2141782A1
DE2141782A1 DE19712141782 DE2141782A DE2141782A1 DE 2141782 A1 DE2141782 A1 DE 2141782A1 DE 19712141782 DE19712141782 DE 19712141782 DE 2141782 A DE2141782 A DE 2141782A DE 2141782 A1 DE2141782 A1 DE 2141782A1
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DE19712141782
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Lothar Dr Meyding
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Ernst Leitz Wetzlar GmbH
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Ernst Leitz Wetzlar GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/306Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Verfahren zum Ermitteln von Unebenheiten mittels eines fötoelektrischen jutokolliniationsfernrohres Die Erfindung betrifft ein Vorfahren zum Ermitteln von Unebenheiten mittels eines fotoelektrischen Autokollimationsfernrohres, das elektrische Meßwerte abgibt, die den auf Spiegelkippungen beruhenden Markenauslenkungen proportional sind, und mit einer Einriohtung zum Anzeigen der Unebenheiten nach Maßgabe der Änderungen der -Meßwerte.
  • Autokollimationsfernrohre zum Ermitteln von Unebenheiten sind bekannt. Bei diesen wird eine Marke mittels eines auf dem Prüfling verschiebbaren Spiegels beobachtbar auf sich selbst abgebildet, um kleine Richtungs- oder Neigungsänderungen festzustellen. Solche auf Unebenheiten des Prüflings beruhenden Höhenänderungen rufen Spiegelkippungen hervor, die zu Auslenkungen der reflektierten Marke von der Bezugsmarke führen. Diese Auslenkungen, die den Spiegelkippungen proportional sind, werden durch einen fotoelektrischen Wandler in proportionale elektrische Meßwerte umgewandelt.
  • Diese elektrischen Meßwerte werden durch ein Anzeigegerät als Richtungs- oder Neigungsänderungen sichtbar gemacht.
  • Die Anmelderin hat es hierbei als nachteilig empfunden, daß die angezeigten Werte nicht ohne weiteres ein Maß für die Unebenheiten darstellen. Hierzu ist es nämlich bisher erforderlich, aus den Meßwerten durch graphische Integration zunächst eine Bezugslinie zu ermitteln und sodann anhand des Diagramms den tatsächlichen Abstand der dazugehörigen Punkte von der Bezugslinie rechnerisch oder grafisch zu Ermitteln. Diese Auswertung ist gegenüber dem eigentli chen Meßvorgang sehr zeitraubend und von der Sorgfalt des Auswertenden abhängig.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese Mängel zu beheben.
  • Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß lul Ermitteln von Unebenheiten mittels eines fotoelektrisohen utokollimationsfernrohres mit einer Einrichtung zur Anzeigen der Un-Unebenheiten nach Maßgabe der Änderungen der Meßwerte in der Hauptsache so verfahren wird, daß diese Einrichtung aus den auf den Markenauslenkungen beruhenden ausgangs signalen des Autokollimationsfernrohres zunächst bei Bewegen des Spiegels in der einen Richtung (Hingang) die Bezugslinie und danach beim Bewegen in der anderen Richtung (Rückgang) die Ebenheitsabweichungen ermittelt. Äußerst ;weokmäßig ist es, den Spiegel entlang einem Leitlineal zu bewegen, das an vorbestimmten Punkten eine der jeweiligen Entfernung des Spiegels vom Autokollimationsfernrohr entsprechenden Meßwert Eis X-Wert liefert. In weiterer Ausbildung der Erfindung werden beim Bewegen des Spiegels in der einen Richtung (Hingang) an den vorbestimmten Punkten die auf den Markenauslenkungen beruhenden Änderungen der elektrischen Meßwerte als Y-Werte aufsummiert und ihr Endwert wird gespeichert. Sodann werden beim Bewegen des Spiegels in der anderen Richtung (rückgang) die an den vorbestimmten Punkten anstehenden Y-Werte von dem proportional der Spiegelentfernung verkleinerten Endwert abgesogen und an einem Anzeige-bzwO Registriergerät als Höhenversetzungen angezeigt. Die Auswahl der vorbestimmten Punkte kann so getroffen sein, daß der Meß- und Registriervorgang kontinuierlich erfolgt.
  • Anhand von Zeichnungen die Erfindung nachstehend in einem Ausführungsbeispiel dargestellt.
  • Es zeigen: Fig. la) die Vermessung von Unebenheiten mittels eines Autokolllmat40nsfernrohres im Prinzip, Fig. 1b) ein Diagramm der vom Autokollimator enthaltenen Meßwerte im Winkelmaß, Fig. 1c) das Diagramm der integrierten Meßwerte umgerechnet im Längenmaß, Fig. 1d) das Diagra, nach Fig. 1c) mit reduzierter Bezugslinie, Fig. 2 in schematischer Darstellung einek Anordnung zur Durchführung des Verfahren nach der Erfindung.
  • Zum Verständnis der Erfindung sei vorerst die Arbeitsweise eines ublichen fotoelektrischen Autokollimationsfernrohres zur Messung kleiner Neigungsänderungen z.B. an Führungsflächen von Werkzeugmaschinen erläutert.
  • Vie in Fig. ia) schematisch dargestellt ist, sendet das Autokollimationsfernrohr 1 einen Lichtstrahl 2 aus. Ein Spiegel 4, der mit seiner Basis von der Länge L auf dem zu prüfenden Gegenstand 3 in drei Punkten verschiebbar aufliegt, wirft den Lichtstrahl/zurück. Steht die Spiegel fläche des Spiegel. 4 senkrecht sur optisoten Achse des Fernrohres, wird eine in diesem Fernrohr enthaltene Marke in sich selbst zurückgespiegelt. In diesem Fall ist eine Unebenheit nicht vorhanden. Liegt eine Unebenheit aber vor, so erfolgt an der betreffenden Stelle eine Verkippung der Spiegelfläche um einen Winkel α. Diese Verkippung lenkt den vom Spiegel zurückgeworfenen Strahl und damit das Bild der in diesem Strahl enthaltenen Kollimationsmarke um 2 a ab.
  • Diese Auslenkungen werden durch einen im Fernrohr enthaltenen fotoelektrischen Wandler in proportionale Meßwerte umgewandelt, die in einem nicht dargestellten Anzeigegerät in der aus Fig. ib) ersichtlichen Art als Winkelmaß a sichtbar gemacht werden.
  • Hier setzt die Erfindung ein.
  • Während es bisher zur Bestimmung der tatsächlichen Größe der ermittelten Unebenheiten erforderlich war, die im Diagramm nach Fig. 1b) enthaltenen Meßwerte im Winkelmaß rechnerisch oder graphisch zu integrieren und entsprechend der Spiegelbasis in Längenmaße umzurechnen, um nach der Integration die Bezugslinie ermitteln zu können (siehe Fig. 1c), und dodann die Bezugslinie mit der X-Achse in Deckung zu bringen (Fig. 1d), um die tatsächliche Größe der Unebenheiten zu erhalten, fällt diese Zeit und Sorgfalt beanspruchende Tätigkeit nunmehr dadurch fort, daß die Bezugslinie selbsttätig allein dadurch ermittelt wird, daß der Spiegel 4 vom Autokollimationsfernrohr 1 nach Maßgabe der zu messenden Punkte entfernt wird. Die tatsächlichen Unebenheitsabweichungen von dieser Bezugslinie werden sodann beim nachfolgenden Zurückführen des Spiegels 4 ebenso selbsttätig gewonnen.
  • Dies ist nachstehend anhand der Fig. 2 näher erläutert, die eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung zeigt.
  • Diese Anordnung weist ein fotoelektrisches Autokollimationsfernrohr 1 und einen Spiegel 4 auf, der auf P einem Prüfling in Richtung der optischen Achse des Fernrohrs 1 entlang einem Leitlineal 5 bewegt werden kann, das an vorbestimmten Stellen z.B. mit Ohm'schen oder induktiven Widerständen versehen ist, um eine der jeweiligen Entfernung des Spiegels vom Autolcollimationsfernrohrs proportionale Spannung als X-Meßwert liefern zu können. Diese Meßwerte werden über einen Verstärker 6 einem Registriergerät 7 zugeführt, um den Ort festzulegen, an dem der Spiegel 4 sich jeweils befindet. Ein durch ein Steuergerät 9 regelbarer Motor 8 bewegt den Spiegel 4 auf dem Prüfling entlang dem Leitlineal 5 in beiden Richtungen der optischen Achse des Autokollimationsfernrdres.
  • Trifft der Spiegel 4 an den vorbestimmten Punkten des Leitlineals 5 auf Unebenheiten des Prüflings, wird er durch diese gekippt. Die hierdurch bewirkten AuslenlUmgen der reflektierten Marke aus der optischen Achse werden durch den fotoelektrischen Wandler des Autokollimationsfernrohres 1 in Meßwerte für ein Schaltgerät 10 und ein Anzeigegerät umgewandelt.
  • Diese Geräte sind bekannter Art und sind in Verbindung mit einem ebenfalls bekannten Integrator (12) so eingerichtet, daß dann, wenn der Spiegel 4 vom Autokollimationsfernrohr 1 fortbewegt wird, die an den vorbestimmten Punkten des Leitlineals 5 durch Spiegelkippungen hervorgerufenen Winkelmeßwerte summiert, in Längenwerte umgeformt und ihr in der Endstellung des Spiegels ermittelter Summenwert gespeichert werden. Durch diesen Endwert und den Nullwert vor der ersten Messung ist die Bezugslinie festgelegt.
  • Wird der Spiegel von seiner Endstellung in die Ausgangsstellung zurückbewegt, wird der gespeicherte Endwert nach Maßgabe der ar'i Leitlineal vorbestimmten Punkte bzw. der von ihnen gelieferten X-Meßwerte proportional verkleinert. Die proportional zu X verkleinerten Y-Bezugswerte werden den vom photoelektrischen Wandler gelieferten, rüokwWrt integrierten Y-Meßwerten gegengesohaltet und einem Anzeigeinstrument zugeführt. Dieses zeigt sodann die tatsächliohe Hflhenversetzung an.

Claims (6)

Patentansprüche
1. Verfahren zum Ermitteln von Unebenheiten mittels eines fotoelektrischen Autokollimationsfernrohres, das elektrische Meßwerte abgibt, die den auf Spiegelkippungen beruhenden Markenauslenkungen proportional sind, und mit einer Einrichtung zum Anzeigen der Unebenheiten nach Maßgabe der Änderungen der Meßwerte, dadurch gekennzeichnet, daß diese Einrichtung aus den auf den Markenauslenkungen beruhenden Ausgangssignalen des Autokollimationsfernrohres zunächst beim Bewegen des Spiegels in der einen Richtung (Hingang) die Bezugslinie und dann beim Bewegen in der anderen Richtung (Rückgang) die Ebenheitsabweichungen ermittelt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel entlang einem Leitlineal bewegt wird, das an vorbestimmten Punkten eine der jeweiligen Entfernung des Spiegels vom Autokollimationsfernrohr entsprechenden Meßwert als X-Wert liefert.
3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß beim Bewegen des Spiegels in der einen Richtung (Hingang) an den vorbestimmten Punkten die auf den Markenauslenkungen beruhenden Änderungen der elektrischen Meßwerte als Y-Werte aufsummiert werden und ihr Endwert gespeichert wird.
4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß beim Bewegen des Spiegel. in der anderen Richtung (Rückgang) die an den vorbestimmten Punkten anstehenden T-Werte von dem proportional der Spiegelentfornung verkleinerten Y-Sadw.rt abgezogen und an einem Anz-ige- bzw R-gintriergerKt als Höhenversetzungen aliges worden.
5. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswahl der vorbestimmten Punkte eo getroffen ist, daß der Meß- und Registriervorgang kontinuierlich erfolgt.
6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Basislänge (L) des Spiegels (4) über ein Bedienmittel am Integrator (12) einstellbar berücksichtigt wird.
DE19712141782 1971-08-20 1971-08-20 Verfahren zum ermitteln von unebenheiten mittels eines fotoelektrischen autokollimationsfernrohres Pending DE2141782A1 (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3131335A1 (de) * 1980-08-07 1982-06-03 Office National d'Etudes et de Recherches Aérospatiales, O.N.E.R.A., 92320 Châtillon-sous-Bagneux, Hauts-de-Seine Optischer codierer sowie verfahren und vorrichtung zur fernbestimmung mindestens eines fuer die winkelposition oder stellung eines koerpers charakteristischen winkels

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3131335A1 (de) * 1980-08-07 1982-06-03 Office National d'Etudes et de Recherches Aérospatiales, O.N.E.R.A., 92320 Châtillon-sous-Bagneux, Hauts-de-Seine Optischer codierer sowie verfahren und vorrichtung zur fernbestimmung mindestens eines fuer die winkelposition oder stellung eines koerpers charakteristischen winkels

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