DE3131335A1 - Optischer codierer sowie verfahren und vorrichtung zur fernbestimmung mindestens eines fuer die winkelposition oder stellung eines koerpers charakteristischen winkels - Google Patents
Optischer codierer sowie verfahren und vorrichtung zur fernbestimmung mindestens eines fuer die winkelposition oder stellung eines koerpers charakteristischen winkelsInfo
- Publication number
- DE3131335A1 DE3131335A1 DE19813131335 DE3131335A DE3131335A1 DE 3131335 A1 DE3131335 A1 DE 3131335A1 DE 19813131335 DE19813131335 DE 19813131335 DE 3131335 A DE3131335 A DE 3131335A DE 3131335 A1 DE3131335 A1 DE 3131335A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light
- interference filter
- resulting
- incidence
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/87—Combinations of systems using electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/875—Combinations of systems using electromagnetic waves other than radio waves for determining attitude
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/74—Systems using reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. IFF, i.e. identification of friend or foe
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
Optischer Codierer sowie Verfahren und Vorrichtung zur Fernbestimmung mindestens eines für die Winkelposition
oder Stellung eines Körpers charakteristischen
Winkels
Die Erfindung bezieht sich auf einen optischen Codlerer
gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Verwendung eines derartigen Codierers.
Die räumliche Lage eines Körpers im Verhältnis
zu einem Achsensystem kann durch sechs Parameter beschrieben werden, von denen drei beispielsweise die Koordinaten
seines Schwerpunkts darstellen und die anderen drei seine Winkelposition oder Stellung um seinen Schwerpunkt definieren,
wobei zum Beispiel die Orientierung eines diesem Körper zugeordneten Achsensystems durch das Verhältnis
zum System der Bezugsachsen bestimmt ist.
Wenn es sich bei einem derartigen Körper um ein entferntes
oder schwer zugängliches Objekt handelt, kann es zuweilen schwierig sein, aus der Entfernung einen oder
mehrere seiner charakteristischen Lageparameter zu bestimmen,
selbst wenn die Lage seines Schwerpunkts im
Raum ansonsten durch Anwendung konventioneller Mittel
der Ortsbestimmung,zum Beispiel radioelektrischer Art/
bekannt Ist.
Die Aufgabe der Erfindung besteht demgemäß darin, MSg-
BestImmung lichkeiten für eine sehr genaue/wenigstens eines für
die Stellung eines Körpers charakteristischen Lageparameters
anzugeben.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden
Merkmale der nebengeordneten Ansprüche 1, 8 und 13 gelöst.
Es Ist beispielsweise in der Uhrentechnik bekannt, für
Längenpräzisionsmessungen Interferenzfilter aus Platten
mit parallelen Flächen zu verwenden. Diese Interferenzfilter haben die Eigenschaft, eine absolut genaue
Frequenzselektion im Spektrum des einfallenden Lichts
vorzunehmen, so daß nur Licht mit einer bestimmten Anzahl genau definierter Wellenlängen hindurchtreten kann,
was durch die Stärke der Platte bestimmt wird.
Erfindungsgemäß wird ein derartiges Filter zur Bestimmung
der Stellung eines Körpers verwendet, wobei der Umstand
ausgenutzt wird, daß die Wellenlängen ausgesandter Lichtstrahlen ebenfalls eine Funktion des Einfallwinkels des
auf den Filtereingang auftreffenden Lichts sind. Man kann
so den Einfallswinkel eines polychromatischen Lichtbündels
auf dem Körper bestimmen, dessen Stellungsparameter er—
mittelt werden sollen, indem das Frequenzspektrum des vom
Interferenzfilter ausgehenden Lichtes ausgewertet wird.
Die Erfindung wird anhand von Ausführungsbeispielen
in den Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 eine schematische Ansicht eines Interferenzfilters;
Fig. 2 eine schematische Ansicht eines optischen Codierers in Form eines rückstrahlenden
Reflektors;
Fign. 3 und k geschnittene bzw. perspektivische Ansichten
von Ausführungsbeispielen eines optischen Cod i erers;
Fig. 5 ein Prinzipschaltbild einer Vorrichtung zum
Erfassen der Winkelpos!tion eines Körpers;
Fign. 6 und 7 Schaltbilder von Ausführungsvarianten der
Vorrichtung nach FIg. 5;
Flg. 8 eine schematische Darstellung einer weiteren
Ausführungsform einer erfindungsgemäß arbeitenden
Vorrichtung.
Ein bekanntes Interferenzfilter (Fig. 1) des In den
Interferometern von PEROT und FABRY verwendeten Typs umfaßt
eine Platte 10 mit parallelen Flächen 12 und 14 aus transparentem Material mit dem Brechungsindex r±, wobei
jede der Flächen 12 und 1^ von einer dünnen Schicht bzw. 15 einer reflektierenden Beschichtung überzogen
ist., die ausreichend dünn ist, um einen Teil des auf
die betreffenden Flächen fallenden Lichtes hindurchzu-1assen.
- 10 -
Wenn ein einfallendes Bündel polychromatischen Lichts,
welches durch den Strahl 16 angedeutet ist, auf die Fläche 12 der Platte 10 auftrifft, wird der größte Teil
seiner Energie unmittelbar durch die Schicht 13 in einer
durch den reflektierten Strahl 18 angedeuteten Richtung
reflektiert. Die ηichtref1ektIerte Energie wird im
Innern der Platte in Richtung eines Strahls 20 gebrochen und erfährt ihrerseits teilweise eine Reflexion an der
Schicht 15 längs eines Strahls 22 und teilweise eine Brechung längs eines von der Platte 10 parallel zum Strahl
ausgehenden Strahls 24. Das dem Strahl 22 entsprechende Licht kann seinerseits beim Auftreffen auf der reflektierenden
Schicht 13 eine Reflexion oder eine Brechung im Innern der Platte 10 erfahren, und so fort. Die nach
einem oder mehreren Reflexionen innerhalb der Platte 10 aus der Fläche 12 parallel zum reflektierten Strahl 18
austretenden Strahlen sind mit 25, 27.. etc. bezeichnet,
während die nach mindestens einer Brechung innerhalb der Platte 10 aus der Fläche 14 parallel zum Strahl 24 austretenden
Strahlen mit 24, 26, 28 etc. bezeichnet sind.
Entsprechend einer Grundeigenschaft von Interferenzfiltern
hat das Licht der Strahlen 24, 26, 28 ein auf eine Anzahl
ganz bestimmter Cmonochromatischer) Spektral 1iη!en begrenztes
Frequenzspektrum, die von dem Filter durchgelassen werden. Für die Wellenlängen, bei denen die Platte
für den Lichtstrahl 16 durchlässig ist, gilt folgende Gleichung:
- 11 -
Κ·λ = 2ne cos r , CO
wöbe i
K eine ganze Zahl,
λ eine Wellenlänge,
η der Brechungsindex der Platte 10,
e die Stärke der Platte 10, und r der Einfallswinkel des Strahls 20 auf
die Fläche 14 im Innern der Platte ist.
Der Einfallswinkel r_ errechnet sich aus
dem Einfallswinkel j_ des auf die Platte
10 einfallenden Strahls 16 2u:
sin i = η sin r (2)
Wenn das Licht des einfallenden Bündels 16 weiß Ist und
sich mithin durch ein kontinuierliches Frequenzspektrum
auszeichnet, wird das die Strahlen 24, 26 und 28 bildende Licht durch Überlagerung der monochromatischen Spektrallinien
gebildet, deren Frequenzen F1, F2 .., Fk folgender Gleichung genügen:
ρ _ k 1
k ~ 2ne ' cos r ' c ' (3)
wobei C die Lichtgeschwindigkeit ist.
Geht man davon aus, daß das Licht aus der Eintrittsfläche
der Platte 10 austritt, so besteht das Licht der Strahlen 25, 27.. etc. aus gleichfalls monochromatischen Spektrallinien,
welche der vorgenannten Gleichung genügen, Jedoch
- 12 -
gegenphaslg zum reflektierten Hauptstrahl 18 des Lichtes
stnd. Das am Ausgang der Fläche 12 der Platte 10 aufgefangene Licht weist ein Spektrum dunkler Spektral 1I ηien
auf, die denjenigen Frequenzen entsprechen, deren Energie
durch die zu den Strahlen 25 und 27 gegenphasigen Wellen gedämpft wird.
Lenkt man daher e in polychromatIsches Lichtbündel auf ein
auf einem entfernten Körper befestigtes Interferenzfilter
der in Fig. 1 dargestellten Art, so enthält das Frequenzspektrum
des aus dem Filter austretenden Lichts eine Information in bezug auf den Einfallswinkel J_ des Bündels
auf der dieses Filter bildenden Platte entsprechend den Gleichungen CO und C2). Diese Platte bildet damit einen
optischen Codierer für den charakteristischen Winkel parameter
der WinkelposItion oder Stellung des Körpers in bezug
auf die Richtung des einfallenden Bündels. Die Funktion dieses Codierers kann auf der Brechung oder auf der
Reflexion beruhen, je nach dem, ob das vom Filter austretende Licht auf der dem einfallenden Bündel in bezug
zur Platte gegenüberliegenden oder gleichen Seite empfangen
wi rd.
Ein erfindungsgemäßer optischer Codierer für einen Lageparameter
(Fig. 2) enthält eiη Interferenzfi1ter 40 und
einen nach rückwärts strahlenden Reflektor 42 in Form
eines rechtwinkligen Tetraeders, welcher aus drei ebenen
Spiegeln besteht, deren reflektierende Flächen zueinander
senkrecht stehen und In das Innere des Tetraeders gerichtet sind. Ein solches Tetraeder besitzt die bekannte
- 13 -
Eigenschaft, jeden auf eine seiner Spiegelflächen auftreffenden
Strahl gegensinnig parallel zurückzuleiten,
sofern der einfallende Strahl In einem Winkelbereich von
— 30 Grad bezogen auf die Achse des Tetraeders bleibt. Die Platte 40 liegt vor dem Tetraeder 42 in einem durch
einen Strahl 45 symbolisierten Strahlengang des einfallenden
Lichtbündels, das an der Stelle 46 auf die Eintrittsfläche 41 der Platte unter dem Einfallswinkel J_ auftrifft,
Ein Teil des Lichtbündels 45 wird durch die Platte in Richtung des Pfeiles 47 reflektiert, wohingegen ein
anderer Teil nach Hindurchtritt durch die Platte 40 aus
der Fläche 43 In Richtung eines austretenden Strahls austritt und im Punkt 50 auf eine der Flächen 49 des
Tetraeders 42 trifft. Nach Reflexion an dieser Fläche trifft der Strahl 48 im Punkt 52 auf eine andere Fläche
51 des Tetraeders auf, wodurch ein zum Strahl 48 parallel und gegensinnig verlaufender Strahl 54 entsteht, der auf
die Innenfläche 43 der Platte 40 unter einem Einfallswinkel i'= I auftrifft, um daraus wieder als parallel
und gegensinnig zum Strahl 45 verlaufender Strahl 56
auszutreten. Zur besseren Übersicht sei angenommen, daß der Strahl 45 zur Ebene der dritten reflektierenden
Fläche 53 des Tetraeders 42 parallel verläuft und nur zwei Reflexionen im Innern des Tetraeders erfährt. Im
allgemeinen tritt der Strahl 56 nach drei Reflexionen an den Flächen des Tetraeders 42 als Strahl 45 aus.
Die Energie des den Strahl 48 bildenden Lichts Ist für alle Wellenlängen praktisch gleich null mit Ausnahme
einer bestimmten Anzahl Spektraliiηien, deren Frequenzen
durch die Gleichung (3) gegeben sind. Das Spektrum dieses
- 14 -
Lichts Ist eine Funktion des Neigungswinkels j_ des
Strahls 45 bezüglich der Normalen der Fläche 41 der Platte 40. Aufgrund der Eigenschaften des rückstrahlenden
Tetraeders 42 durchläuft der Strahl 54 die Platte 40 erneut In umgekehrter Richtung. Somit enthält die spektrale
Zusammensetzung des Strahls am Ausgang des optischen Codierers, der durch das Interferenzfilter 40 und den
Tetraeder 42 gebildet wird, eine codierte Information über den Wert eines Stellungsparameters des Körpers.
Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel eines optischen
Codierers CFign. 3 und 4) ist ein auf Reflexion basierendes Interferenzfilter vorgesehen. Es umfaßt ein rechtwinkliges
Tetraeder 55 aus duchlässigem Material, wie etwa Glas, mit zwei mit einem reflektierenden überzug
versehenenFlächen 57 und 59 und einer zu den beiden ersten
Flächen orthogonalen dritten Fläche 61, auf welcher eine Interferenzfilterplatte 63 befestigt ist.
Im Betrieb fällt ein Bündel 60 ankommenden weißen Lichtes auf das Eingangsdiopter 58 des Tetraeders 55 und durchdringt
dieses, bis es auf die Fläche 61 des Tetraeders auftrifft. Ein Teil der Energie des einfallenden Bündels
tritt in die Platte 63 ein und wird an der der Fläche
des Tetraeders gegenüberliegenden Fläche 62 der Platte
reflektiert und tritt wieder in das Innere des Tetraeders ein, wo es sich mit dem unmittelbar an der Fläche 61
reflektierten Lichts vermischt.
- 15 -
Das resultierende Licht wird an der Fläche 59 reflektiert
und tritt als Strahl 64 aus dem Tetraeder durch das Diopter 58 parallel und gegensinnig zu dem eintretenden
Bündel 60 aus. Das Lichtspektrum des austretenden Strahls 64 enthält dunkle Linien, die den Wellenlängen
entsprechen, welche durch gegenphasI ge, das Interferenzfilter 63 durchlaufende Strahlen gedämpft werden. Dieses
Löschungs- oder Dämpfungsspektrum ist Informationsträger
in bezug auf den Einfallswinkel des Bündels 60 auf die
Fläche 61·.des Filters 63.
In dem letztgenannten Ausführungsbeispiel des Codierers
kann das Interferenzfilter 63 aus einem überzug einer
dünnen, transparenten Schicht, beispielsweise aus Kunststoff,
auf der zuvor metallisierten Fläche 61 bestehen,
wobei die andere Fläche 62 anschließend ebenfalls mit einem entsprechenden metallischen Überzug versehen wird.Wie
bei der Ausführungsform nach FIg. 2 sei angenommen, daß
das Tetraeder 55 gemäß Fig. 3 durch eine zu seiner Fläche 57 parallele Ebene geschnitten wird und sich die Strahlen
60, 64 In einer zu dieser Fläche parallelen Ebene ausbre i ten.
Um aus der Entfernung einen für die Lage eines Körpers
70 charakteristischen Winkel zu messen, wird ein Codierer
72 (Fig. 5) mit einer Fläche 71 des Körpers 70 fest verbunden.
Er enthält ein aus einer Platte 74 des vorher beschr.iebenen Typs bestehendes Interferenzfilter, das vor
einem rückstrahlenden Tetraeder angebracht 1st. Die Normale 76 der Platte 74 bezeichnet eine Bezugsachse zur
- 16 -
Beschreibung eines Parameters der Wlnkelpos1tIon des
Körpers 70. Um mit Hilfe des als Übertrager arbeitenden
Codierers 72 die Abweichungen der Orientierung des Körpers 70 aus der Entfernung verfolgen zu können, Ist eine
Sende/-EmpfangsvorrIchtung 80 vorgesehen, die eine mit
einem konkaven Reflektor 84 versehene Weißlichtquelle
82 und eine Konvergenzlinse 86 aufweist. Die Teile 82, 84,
86 bilden eine Lichtemissionsvorrichtung 88, mit der ein
Bündel weißen, parallelen Lichts 90 längs einer Bezugsachse ausgestrahlt wird, die mittels einer nicht dargestellten
Standfläche auf den dem Körper 70 zugeordneten Codlerer 72 ausgerichtet werden kann. Das Bündel 90
durchläuft eine halbtransparente Platte 92 am Ausgang der Lichtquelle 88 und trifft unter einem auf die Normale 76
bezogenen Neigungswinkel f auf das Filter 74 auf. Entsprechend
diesem Bündel entsteht am Ausgang des Codierers 72 ein resultierendes Bündel, das zur halbtransparenten
Platte 92 reflektiert wird, welche das reflektierte resultierende Bündel gegen einen um 45 Grad geneigten
Spiegel 94 am Eingang einer Empfangs- und Decodiervorrichtung
96 reflektiert.
Die Vorrichtung 96 weist im Strahlengang des durch den
Spiegel 94 reflektierten Bündels ein mit dem Filter 74
identisches Interferenzfilter 98 sowie eine nachgeschaltete
Konvergenzlinse 100 auf, in deren Brennpunkt ein LIchtenergie-Detektor 102 angebracht Ist. Das Interferenzfilter
98 Ist drehbar um eine senkrecht zur Zeichenebene von Fig. 5 verlaufende Achse 104 angebracht, wodurch der
Neigungswinkel V des durch den Spiegel 94 reflektierten
Bündels 106 bezüglich der Normalen 108 des Filters 98
- 17 -
variiert werden kann. Eine mit einer abgestuften Skala 110 versehene Vorrichtung gestattet die Ermittlung der
Winkellage des Filters 98 bezüglich ihrer Achse 104, um so den Winkel ψ' zu messen.
Das Frequenzspektrum des auf das Interferenzfilter
fallenden Bündels 106 stellt ein Maß für den Einfallswinkel y des auf den Codierer 72 einfallenden Bündels
90 dar. Das Filter 98, dessen Funktion wie bei dem Filter 74 auf der Lichtübertragung beruht, Ist
für die Lichtenergie des Bündels 106 durchlässig, wenn der Winkel Ϋ1 gleich dem Winkel 9 ist. Folglich ist
die Neigung der Achse 108 gegenüber der Achse des aus dem Spiegel 94 austretenden Bündels ein Maß für den
Winkel V , sofern die von dem Detektor 102 empfangene Energie maximal ist. Bei gleichbleibender räumlicher
Orientierung des Körpers 70 und damit der Achse 76 bezüglich eines festgelegten Sichtpunktes ergibt sich
außerdem, daß sich bei Änderung der Bezugsllnie zwar
der Winkel ψ' ändert, jedoch die Orientierung der Achse 108 gegenüber dem In den Sichtpunkt gelegten
Auftreffpunkt nicht verändert wird.
Wenn also zum Beispiel die Rotationsachse 104 des Filters 98 senkrecht zur Sichtebene steht, die durch
eine Vertikale bezüglich des Sichtpunktes und der Sicht!ininie definiert ist, und wenn man annimmt, daß
die Orientierung der Achse 76 variiert, während sie bei der Ortsveränderung des Körpers 70 In dieser Sicht·
- 18 -
ebene verharrt, so bleibt die dem ermittelten Llchtenergiemaximum
zugeordnete Achse 108 konstant parallel zur Achse 76, deren Orientierung sie exakt widerspiegelt.
Die Messung des. Wi nkel s v'kann mittels einesmitder abgestuften
Skala 110 verbundenen Winkelnonlus mit sehr
großer Präzision vorgenommen werden, wie es bei Messungen der Längenverschiebung in der Interferometrie
geschieht, wobei das dem Durchlässigkeitsgrad der Platte
98 entsprechende Leuchtintensitätsmaximum bei Beleuchtung
mit dem resultierenden Bündel 106 außerordentl
ich scharf ausgeprägt ist. Je dicker die Platten Ik und 10^ sind, umso größer ist die für die Bestimmung
des gesuchten Winkels maßgebliche Auflösung.
Bei einer weiteren Ausführun"gsform eines Systems zum
Decodieren der das Frequenzspektrum des resultierenden
Bündels enthaltenen Information, die insbesondere zur schnelleren Bestimmung des Winkels ψ dient, transformiert
man das vom Codierer 72 abgestrahlte, resultierende Bündel 106 in ein Bündel divergierender
Strahlen, die mit einer Interferenzplatte 120
CFig. 6) aufgefangen werden, deren Ausgangsfläche mit einer Matrix oder einer Zeile photoempfindlicher
Dioden 122 längs einer zur Zeichenebene vonFig. 6 parallelen Linie versehen ist CFig. 7). Das vom
Empfangsspiegel 94 ausgehende Bündel 106 wird auf
eine zur Zeichenebene achsenparallele Linsenanordnung
124 und 126 gelenkt, um die Strahlen auf die Diodenzeile
122 zu bündeln. Die Platte 120 ist zur Achse 130
- 19 -
der Linse 126 geneigt und befindet sich In einer Entfernung
d_ vom Brennpunkt 128 der Linse 126. Das vom Brennpunkt 128 ausgehende divergierende Bündel trifft
auf die Eingangsfläche 133 der Platte 120 fluchtend
zu der Diodenzeile 122 auf (Fig. 7). Die Nei ung der Platte 120 ist so gewählt, daß jeder vom Brennpunkt
128 ausgehende Strahl des divergierenden Bündels 135
unter einem unterschiedlichen Winkel auf die Platte
120 auftrifft. Unter diesen Strahlen besitzt praktisch
ein einziger eine Einfallsrichtung f1 auf der Fläche
133 der Platte 120, die der Im Frequenzspektrum des das Bündel 135 bildenden Lichtes enthaltenen Winkelinformation
entspricht, so^dieser einzige Strahl in der Lage ist, die Platte 120 zu durchdringen. Dieser
eine Strahl trifft auf eine Diode der Diodenzelle auf, deren Position bezogen auf den Ursprung 137 der
Diodenzeile 122 die Bestimmung des Wertes des zugeordneten
Winkels ψ' gemäß der Beziehung >c = d_· tan ψ
gestattet, wobei x^ die Abzisse der angeregten Diode
der Diodenzeile 122 bezogen auf den Ursprung 137 Ist.
Der Ursprung 137 befindet sich in einer Entfernung d_
vom Brennpunkt 128 senkrecht zur Platte 120. Durch die elektronische Identifizierung der angeregten
Diode der Diodenzelle 135 lassen sich die Orientierungsänderungen des Codierers laufend verfolgen.
Bei einem speziellen Ausführungsbeispiel (Fig. 8)
wird ein optischer Codierer 140 mit einem Körper 142
verbunden und enthält neben einer Interferenzfilterplatte
144 und einem rückstrahlenden Tetraeder
- 20 -
eine Polarisationsplatte 148, die vor der Interferenzfilterplatte 144 angebracht und vorzugsweise senkrecht
zur optischen Achse des Tetraeders 146 orientiert ist.
Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel wird die
Polarisationsplatte 148 an der Interferenzf11tet—
platte 144 befestigt.
Das durch die Platten 144 und 148 und das Tetraeder
gebildete optische System 140 empfängt von einer Lichtquelle 160 ein einfallendes Bündel polychromatI sehen,
nicht polarisierten Lichtes über eine halbtransparente
Platte 162 und sendet ein polarisiertes Lichtbündel
mit codiertem Frequenzspektrum an die halbtransparente
Platte 162 zurück. Dieses Bündel wird mit Hilfe eines
Reflexspiegels 164 zu einem DocodIersystem 166 über—
tragen, das eine im Strahlengang des resultierenden
Bündels 170 angeordnete Auswerteplatte 168 aufweist,
welche auf einer parallel zur Achse des Bündels 170 rotierenden Achse befestigt Ist. Die Winkellage der
Auswerteplatte 168 kann auf einer kreisförmigen
Skala 172 abgelesen werden. Das von der Auswerteplatte
168 ausgehende Bündel wird anschließend auf einer orientierbaren, der Platte 98 in Fig. 5 ähnlichen
Interferenzfilterplatte 174 empfangen, hinter der sich
eine Konvergenzlinse 178 und ein Lichtenergiedetektor
176 zur Bestimmung des Winkels zwischen dem von der Lichtquelle 160 ausgehenden einfallenden Bündel und
der Achse 150 befinden. Durch Drehung der Auswerteplatte
168 läßt sich die Orientierung der Polarisationsebene
- 21 -
des vom optischen System 140 reflektierten Bündels
bezüglich einer in der Rotationsebene
der Auswerteplatte 168 liegenden Referenzachse bestimmen
.
Zur Fernbestimmung eines WInkelpositions- oder
Stellungsparameters eines entfernten Körpers visiert man
von einem Meßplatz aus den an dem Körper 142 befestigten
optischen Codierer 140 an; überträgt ein Bündel
weißen Lichts und wertet das an die Empfangsvorrichtung
reflektierte Lichtbündel aus, woraus sich die gesuchte Winkelposition ergibt. Nimmt man diese Auswertung
mit Hilfe einer orientierbaren Interferenzfilterplatte, beispielsweise der Platte 104 in FIg. 5,
vor, so hängt die der Decodierung des empfangenen Frequenzspektrums entsprechende Winkelposi11 on dieser
Platte bezüglich eines Sichtpunktes allein von der Achsenposition 76 hinsichtlich dieses Sichtpunktes und
nicht von der Richtung der SlchtlI nie- bezüglIch der
Achse 76 ab. Damit ist die beschriebene Vorrichtung gegenüber Verschiebungen des Körpers, die seine Winkelposition
nicht verändern,generei 1 unempfindlich.
Im Falle einer Zielverfolgung eines beweglichen
Körpers, z.B. eines Flugobjektes, dessen Stellungsparameter zu bestimmen Ist und dessen WlnkelposItion
sich rasch und ganz erheblich ändern kann, wird die Ausrichtung der Interferenzfilterplatte des der
Empfangsvorrichtung zugeordneten Detektors auf den
gemessenen Winkelwert nachgeführt, so daß den Winkel-
- 22 -
Veränderungen des Zielobjektes gefolgt werden kann. Diese Nachführung kann kont.inui er! ich nach Maßgabe
der Messung des gesuchten charakteristischen Winkels
oder inkrementell bei Überschreiten eines festgelegten
erfolgen.
Schwellwertes durch die Winkeländerung des Zi el Objektes /
Zu diesem Zweck können das in der Empfangsstation
befindliche Decod1er-Interferenzft1ter und dessen
Ausricht-vorrichtung auf einem ausrichtbaren Gestell
angeordnet sein, das von einem Motor verstellt wird, welcher von einem Signal gesteuert wird, dessen Wert
dem vom Filter decodierten Winkelwert entspricht. In diesem Fall wird der Wert des gesuchten charakteristischen Stellungswinkels durch die Summe der Winkeiver—
Schiebungen des Filters bezüglich seiner Ausrichtvorrichtung Οζ·Β· Drehung der Platte 98 um die
Achse 10k) und der WinkelverschIebung des Gestells
bezüglich eines Referenzpunktes ausgedrückt.
Das beschriebene Meßverfahren läßt sich, wie ohne
auch
weiteres ersichtlich ist,/auf die Bestimmung zweier oder dreier charakteristischer Winkel der Winkelposition eines Körpers anwenden, wenn diese mit Hilfe von zwei bzw. drei auf den betreffenden Körper unter vet— schiedenen Richtungen orientierten, rückstrahlenden Codierern verfolgt werden.
weiteres ersichtlich ist,/auf die Bestimmung zweier oder dreier charakteristischer Winkel der Winkelposition eines Körpers anwenden, wenn diese mit Hilfe von zwei bzw. drei auf den betreffenden Körper unter vet— schiedenen Richtungen orientierten, rückstrahlenden Codierern verfolgt werden.
Um die Lage eines Objektes, d.h. die drei Winkelkoordinaten,
zu bestimmen, wird auf dem Objekt mindestens ein aus einer Interferenzfilterplatte und
einer Polarisationsplatte gemäß Fig. 8 bestehender, rückstrahlender optischer Codierer sowie ein weiterer
- 23 -
Codierer angebracht, dessen Interferenzf11terplatte
so orientiert ist, daß die Interferenzfilterplatten
der beiden Codierer zueinander nicht parallel verlaufen. Man bringt beispielsweise auf dem Objekt zwei aus einem
rückstrahlenden Tetraeder mit einem WinkelbereIch von
+■ 30 Grad bestehende optische Codierer an und orientiert
einerseits die Tetraeder auf Paral1 elstel1ung ihrer
optischen Achsen und andererseits die Interferenzfilterplatten auf eine gegenseitige Neigung von 132° und
eine Neigung bezüglich der Achse der Tetraeder von ungefähr
55°.
Im Hinblick auf die beschriebenen, verschiedenen Ausführungsformen
läßt sich die Erfindung für zahlreiche Winkelfernmessungen verwenden, insbesondere für die
Bestimmung einer oder mehrerer Winkelpositionen eines
beweglichen Flugobjektes. Die Stellung eines beweglichen
Objekts bezüglich eines festen Sichtpunktes kann durch
drei Winkel definiert werden, von denen zwei die
Ortung der Lageachse (Längsachse) des beweglichen Objektes gestatten, während der dritte charakteristische
Winkel dessen Drehwinkel um dieses Lageachse angibt.
Das beschriebene Verfahren läßt sich auf frei bewegliche
Objekte unter vollem oder teilweisem Bezug auf ein Referenzsystem für die Objektbewegungen anwenden,
beispielsweise für die im Winkkanal erprobten Modelle
von Luftfahrzeugen, deren WInkelpos111 on gemessen
und/oder nachgeführt werden soll. Diese Messung ist
- 24 -
unabhängig von der Entfernungsänderung zwischen dem Meßobjekt und der Beobachtungsstat1 on,Ι η der das vom
Codierer reflektierte Licht aufgefangen wird.
Zur Ermittlung des im Frequenzspektrum des resultieren-
enthaitenen den Lichtbündels codiert/ charakteristischen Winkels
können selbstverständlich auch andere als die beschriebenen
Detektorvorrichtungen vorgesehen werden. Beispielsweise
ist es möglich, als Detektor eine Kombination eines für den Codlerer verwendeten Interferenzfilters
und eines am Ausgang dieses Filters angeordneten Lichtenergieniveauempfängers mit einer Einrichtung
zu verwenden, mit Hilfe derer sich das Filter so bewegen läßt, daß die Einfallsrichtung der vom resultierenden
Bündel ausgehenden Lichtstrahlen auf das zweite Interferenzfilter periodisch geändert wird. Am Ausgang
des Lichtenergieniveauempfängers kann ein bekannter,
elektronischer Phasendetektor angebracht werden, um
die maximalen, vom Signal ausgehenden Phasenverschiebungen
zu ermitteln, die als Folge einer Winkelpositions- änderung des mit dem erfindungsgemäßen Codierer
versehenen beweglichen Objekts auftreten. Dieses Ausführungsbeispiel läßt sich beispielsweise für Bewegungsuntersuchungen
von Werkstücken verwenden, die mechanischen Schwingungen unterworfen sind. An dem
Werkstück wird in diesem Fall mindestens ein optischer
Codierer angebracht, wobei die maximalen Phasenvei— Schiebungen ferngemessen werden, um daraus die
Amplitude und die Richtung der Schwingungen zu et—
mitteln.
- 25 -
Claims (1)
- . PatentansprücheOptischer Codierer zur Fernbestimmung mindestens eines für die WInkelposItIon oder die Stellung eines Körpers (70), charakteristischen Winkels, wöbe I der Codierer so ausgebildet ist, daß er ein polychromatisches Lichtbündel unter einer Einfallsrichtung empfängt, welche eine Funktion der Stellung des Körpers ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Codierer aus einer optischen Festkörpervorrichtung (72) besteht und ein Interferenzfilter (74) aufweist, das ein resultierendes Lichtbündel erzeugt, dessen Frequenzspektrum ein Maß für die Einfallsrichtung darstellt.Optischer Codierer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Festkörpervorrichtung (72) ferner eine Einrichtung (75) zum Reflektieren des resultierenden Lichtbündels In eine zum einfallenden Lichtbündel entgegengesetzte Richtung aufweist.Optischer Codierer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflexionseinrichtung (75) aus einem rückstrahlenden Tetraeder besteht.Optischer Cod lerer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Interferenzfilter eine aus parallelen Flächen (74) bestehende, für die Wellenlängen des das resultierende Bündel bildenden Lichtes durchlässige Platte ist.— O —5. Optischer Codierer nach einem der Ansprüche 1,2 oder 3, dadurch gekennzelehnet, daß das Interferenzfilter eine die Wellenlängen des das resultierende Bündel bildenden Lichtes reflektierende Platte ist.6. Optischer Codlerer nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte eine dünne, auf einer Fläche des rückstrahl enden Tetraeders C55) aufgebrachte Schicht durchlässigen Materials ist.7. Optischer Codierer nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Festkörpei— Vorrichtung ferner einen vor dem Interferenzfilter angeordneten Lichtpolarisator Ο^8) aufweist.8. Verfahren zur Fernbestimmung mindestens eines für die Winkelposition oder die Stellung eines Körpers charakteristischen Winkels, bei dem ein polychromatisches Lichtbündel auf ein optisches Festkörpersystem unter einer Einfallsrichtung gelenkt wird, welche eine Funktion der Stellung des Körpers Ist, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Festkörpersystem ein Interferenzfilter (71O aufweist, welches ein resultierendes Lichtbündel erzeugt, dessen Frequenzspektrum ein Maß für die Einfallsrichtung darstellt, und daß das resultierende Bündel empfangen und hinsichtlich seines Rrequenzspektrums zwecks Bestimmung des charaktejr I st i sehen Winkels analysiert wird.9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Licht des einfallenden Bündels weiß ist.10. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß das resultierende Bündel im optischen Codierer (72) gegensinnig zum einfallenden Bündel in etwa derselben Richtung übertragen wird11. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß zur Auswertung des Frequenzspektrums des empfangenen resultierenden Bündels die von diesem Bündel ausgehenden Strahlen auf ein zweites Interferenzfilter (98) gerichtet werden und daß das Interferenzfilter auf einen dem Einfallswinkel der Strahlen entsprechenden Extremwert der Lichtenergie am Filterausgang ausgerichtet wird.12. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das von einem zweiten optischen Codierer ausgehende resultierende Bündel aufgefangen und ausgewertet wird, wobei der zweite optische Codierer als Interferenzfilter am Körper angebracht ist und die Achsen des ersten und des zweiten Interferenzfilters eine unterschiedliche Ausrichtung besitzen, um einen zweiten, für die Position des Körpers charakteristischen Winkel zu messen.13. Vorrichtung zur Fernmessung eines für die Position oder die Stellung eines Körpers charakteristischen Winkels, mit einer Lichtquelle (88), welche zum Aussenden eines polychromatischen Lichtbündels untereiner von der Stellung des Körpers abhängigen Einfall sr ichtung gegen ein optisches System vorgesehen ist, gekennzeichnet durch einen optischen Festkorpercodierer mit einem Interferenzfilter (71O, das am Ausgang des optischen Systems ein resultierendes Lichtbündel erzeugt, dessen Frequenzspektrum ein Maß für die Einfallsrichtung dar— stellt, und ferner gekennzeichnet durch einen Empfänger (96) für da^ resultierende Bündel, mit einem Detektor (98, 102), der auf das Frequenzspektrum des das Bündel bi1denden Lichts zur Bestimmung des charakteristischen Winkels anspricht.T^. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle zur Abgabe weißen Lichts ausgebildet Ist.15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß der optische Codierer eine Einrichtung zum Rückstrahlen des resultierenden Bündels zum Empfänger in gegensinnig gleicher Richtung wie das einfallende Bündel aufweist.16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor (98, 102) ein zweites Interferenzfilter (98) und eine Ansprecheinrichtung (102) auf das Lichtenergieniveau am Ausgang des zweiten Interferenzfilters (98) aufweist.17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor eine Einrichtung (104) zur Änderung der Einfal1 srtchtung der von dem resultierenden Bündel ausgehenden Strahlen bezüglich des Interferenzfilters sowie eine Einrichtung (110) zum Feststellen derjenigen Einfal 1 srichtung, welche einem Extremwert des am Ausgang des zwei ten Interferenzfilters erfaßten Lichtenergieniveaus entspricht^ aufwe ist.18. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor eine Antriebseinrichtung zum periodischen Ändern der Einfallsrichtung der von dem resultierenden Bündel ausgehenden Lichtstrahlen bezüglich des zweiten Interferenzfilters sowie eine Einrichtung zum Ansprechen auf die Phase eines dem Lichtenergieniveau am Filterausgang entsprechenden Signals aufweist.19. Vorrichtung nach Anspruch 16, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum Erzeugen eines Bündels nichtparalleler Strahlen sowie zum Ausrichten dieses Strahlenbündels auf das zweite Interferenzfilter (120), und ferner gekennzeichnet durch eine Ansprecheinrichtung auf das Energieniveau mit einer Matrix von Detektoren (122), die am Filterausgang derart angebracht sind, daß Jeder Detektor nur durch das Filter übertragene Strahlen empfängt, welche einer jeweils festgelegten Einfall sr 1chtung nichtparalleler Strahlen des Bündels entsprechen, sodaß die Lage eines in dieser Matrix angeregten Detektors ein Maß für die Einfallsrichtung der durch das Filter hindurchgetretenen Strahlen darstellt.20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Interferenzfilter fest mit einem beweglichen Drehgestell vei— bunden Ist, dessen Orientierung in Abhängigkeit von der Messung des charakteristischen Winkels nachführbar Ist.21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Codierer einen Lichtpolarisator aufweist und daß der Empfänger ferner einen Analysator O68) für polarisiertes Licht aufweist, welcher zur Ermittlung der Richtung der Polarisationsebene des von dem Polarisator O^8 abgestrahlten resultierenden Bündels in geeigneter Welse ausrichtbar Ist.22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 21, gekennzeichnet durch mindestens einen zweiten Detektor für das Frequenzspektrum, welches . von einem zweiten als Interferenzfilter ausgebildeten optischen Codierer abgestrahlten zweiten resultierenden Bündel herrührt, wobei der zweiteauf dem
Cod Ierer/Körper in einer bezüglich der Richtung des ersten optischen Codierers unterschiedlichen Richtung orientiert ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8017495A FR2488396A1 (fr) | 1980-08-07 | 1980-08-07 | Procede et dispositifs optiques pour la determination d'un parametre d'attitude d'un corps |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3131335A1 true DE3131335A1 (de) | 1982-06-03 |
DE3131335C2 DE3131335C2 (de) | 1985-10-03 |
Family
ID=9245012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3131335A Expired DE3131335C2 (de) | 1980-08-07 | 1981-08-07 | Vorrichtung zur Fernbestimmung eines Stellungsparameters eines Körpers im Raum |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4472054A (de) |
DE (1) | DE3131335C2 (de) |
FR (1) | FR2488396A1 (de) |
GB (1) | GB2082867B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE9205427U1 (de) * | 1992-04-21 | 1992-06-25 | Bodenseewerk Gerätetechnik GmbH, 7770 Überlingen | Reflektoreinheit und Einrichtung zur kontaktlosen Messung der Orientierung eines beweglichen Meßobjektes im Raum |
DE102004051962A1 (de) * | 2004-10-26 | 2006-05-04 | Technische Universität Ilmenau | Messspiegel und Vorrichtung zur interferometrischen Messung der Raumkoordinaten eines Objektes |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3237035C1 (de) * | 1982-10-06 | 1984-01-26 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch | Reflexionslichtschranke |
DE3623083A1 (de) * | 1986-07-09 | 1988-01-21 | Precitronic | Vorrichtung zur schusssimulation |
FR2618891B1 (fr) * | 1987-07-31 | 1989-12-15 | Photonetics | Procede et dispositif de mesure par l'analyse d'un spectre lumineux cannele, notamment de mesure d'un deplacement de faible amplitude d'une surface mobile, eventuellement representatif de la variation d'une grandeur physique convertible en un tel deplacement |
US5110210A (en) * | 1990-07-23 | 1992-05-05 | Mcdonnell Douglas Corporation | Precision angle sensor |
US5249033A (en) * | 1991-11-27 | 1993-09-28 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Automated interferometric alignment system for paraboloidal mirrors |
US5348249A (en) * | 1993-01-11 | 1994-09-20 | Hughes Missile Systems Company | Retro reflection guidance and control apparatus and method |
US5600123A (en) * | 1993-02-17 | 1997-02-04 | Litton Systems, Inc. | High-resolution extended field-of-view tracking apparatus and method |
FR2717271B1 (fr) * | 1994-03-10 | 1996-07-26 | Aerospatiale | Cible rétroréflectrice pour télémétrie laser. |
US6384908B1 (en) | 1996-08-15 | 2002-05-07 | Go Sensors, Llc | Orientation dependent radiation source |
US5861956A (en) * | 1997-05-27 | 1999-01-19 | Spatialmetrix Corporation | Retroreflector for use with tooling ball |
EP1210619B8 (de) * | 1999-05-24 | 2006-01-18 | Go Sensors, L.L.C. | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der winkellage eines gegenständes |
WO2006110532A2 (en) * | 2005-04-07 | 2006-10-19 | Photonic Associates, Llc. | Precise rotational motion sensor |
DE102005039699B4 (de) * | 2005-08-23 | 2008-06-05 | Fernando Walker | Beobachtungsvorrichtung |
FR2953604B1 (fr) | 2009-12-04 | 2011-12-02 | Thales Sa | Reflecteur optique a lames semi-reflechissantes pour dispositif de detection de position de casque et casque comportant un tel dispositif |
FR2993371B1 (fr) * | 2012-07-13 | 2014-08-15 | Thales Sa | Systeme optique de mesure d'orientation et de position sans formation d'image a source ponctuelle et masque |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2141782A1 (de) * | 1971-08-20 | 1973-03-01 | Leitz Ernst Gmbh | Verfahren zum ermitteln von unebenheiten mittels eines fotoelektrischen autokollimationsfernrohres |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3824018A (en) * | 1971-09-10 | 1974-07-16 | Perkin Elmer Corp | Coherent light source detector |
US3914055A (en) * | 1974-05-23 | 1975-10-21 | Lansing Research Corp | Instrument for high resolution spectral analysis with large optical throughput |
DE2624295A1 (de) * | 1976-05-31 | 1977-12-15 | Leitz Ernst Gmbh | Interferenzlineal |
US4227807A (en) * | 1978-04-28 | 1980-10-14 | The Boeing Company | Holographic angle sensor |
US4355898A (en) * | 1979-05-23 | 1982-10-26 | Plessey Overseas Limited | Optical detecting, monitoring or measuring arrangements |
-
1980
- 1980-08-07 FR FR8017495A patent/FR2488396A1/fr active Granted
-
1981
- 1981-08-05 GB GB8123961A patent/GB2082867B/en not_active Expired
- 1981-08-05 US US06/290,367 patent/US4472054A/en not_active Expired - Fee Related
- 1981-08-07 DE DE3131335A patent/DE3131335C2/de not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2141782A1 (de) * | 1971-08-20 | 1973-03-01 | Leitz Ernst Gmbh | Verfahren zum ermitteln von unebenheiten mittels eines fotoelektrischen autokollimationsfernrohres |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Kohlrausch, Praktische Physik, Bd. 1, 20. Aufl., 1955, Teubner Verlagsgesellschaft, Stuttgart, S. 515 - 520, 539 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE9205427U1 (de) * | 1992-04-21 | 1992-06-25 | Bodenseewerk Gerätetechnik GmbH, 7770 Überlingen | Reflektoreinheit und Einrichtung zur kontaktlosen Messung der Orientierung eines beweglichen Meßobjektes im Raum |
US5267014A (en) * | 1992-04-21 | 1993-11-30 | Bodenseewerk Geratetechnik Gmbh | Position and orientation measurement device |
DE102004051962A1 (de) * | 2004-10-26 | 2006-05-04 | Technische Universität Ilmenau | Messspiegel und Vorrichtung zur interferometrischen Messung der Raumkoordinaten eines Objektes |
DE102004051962B4 (de) * | 2004-10-26 | 2007-08-09 | Technische Universität Ilmenau | Vorrichtung zur interferometrischen Messung der Raumkoordinaten eines Objektes |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2082867B (en) | 1984-11-14 |
GB2082867A (en) | 1982-03-10 |
FR2488396A1 (fr) | 1982-02-12 |
DE3131335C2 (de) | 1985-10-03 |
FR2488396B1 (de) | 1984-11-09 |
US4472054A (en) | 1984-09-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3131335A1 (de) | Optischer codierer sowie verfahren und vorrichtung zur fernbestimmung mindestens eines fuer die winkelposition oder stellung eines koerpers charakteristischen winkels | |
EP3324203B1 (de) | Laserdistanzmessmodul mit polarisationsanalyse | |
DE2935716C2 (de) | ||
DE102010053422B3 (de) | Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines mehrlinsigen optischen Systems | |
DE2444644A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur ermittlung und groessenbestimmung von einschluessen in edelsteinen | |
DE3728210C2 (de) | ||
DE2611514C3 (de) | Oberflächen-Abtastprüfvorrichtung | |
WO1999041568A9 (de) | Laserscanner-messsystem | |
DE102011103536B4 (de) | Positionsdetektionseinrichtung | |
DE3926349A1 (de) | Optische fehlerinspektionsvorrichtung | |
DE102011012611B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Messung eines Winkels | |
DE3800053C2 (de) | ||
WO1993004338A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur quantifizierten bewertung des physiologischen eindruckes von reflektionsfähigen oberflächen | |
EP1034413B1 (de) | Ellipsometer-messvorrichtung | |
EP0245198A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines telezentrischen Lichtstrahls und Verfahren zur Herstellung eines holographischen Elements | |
DE69126918T2 (de) | Messverfahren des Einfallwinkels eines Lichtstrahls, Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens sowie deren Verwendung zur Entfernungsmessung | |
DE69428287T2 (de) | Messgerät | |
CH668322A5 (de) | Vorrichtung mit einem telezentrischen, f-theta-korrigierten objektiv fuer kontaktloses messen und verwendung dieser vorrichtung. | |
DE3232885A1 (de) | Verfahren zur automatischen pruefung von oberflaechen | |
DE3149709A1 (de) | Infrarot-dickenmessvorrichtung | |
DE4229349C2 (de) | Verfahren und Anordnung zur Messung der optischen Oberflächengüte von spiegelnden Materialien und der optischen Güte transparenter Materialien | |
DE3814606C2 (de) | ||
DE19816359A1 (de) | Fasersensor zum Erkennen von Oberflächenstrukturen | |
DE4233336A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Fokusablagen | |
EP0447775A1 (de) | Verfahren und Anordnung zum Prüfen der Oberfläche von bewegten Objekten |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |