DE2935716C2 - - Google Patents
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des
Anspruchs 1 und eine Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 4.
Für die kontinuierliche, kontaktfreie On-line-Messung der Dicke
eines Polymer-Films auf der Filmfertigungsstraße werden die beiden
nachstehenden Methoden in großem Umfang eingesetzt:
- 1. Ein Verfahren zum Messen der Dicke des Polymer-Films unter Verwendung von Absorption und Streuung von Beta-Strahlen durch den Film.
- 2. Ein Verfahren zum Messen der Dicke des Polymer-Films durch Absorption von Infrarotstrahlen durch den Film.
Diesen beiden Verfahren haften folgende Nachteile an:
Wenn beim ersten Verfahren die zu messende Dicke des Polymer-
Films unter etwa 10 bis 30 µm abfällt, ergibt sich ein erheblicher
Meßfehler. Bei diesem Verfahren wird davon Gebrauch gemacht,
daß die Absorption und Streuung der Beta-Strahlen dem
Gewicht des zu messenden Elements entspricht, so daß die Filmdicke
durch Teilen des Filmgewichts pro Flächeneinheit durch
die Dichte des Films ermittelt werden kann. Es treten daher
keine Probleme auf, solange der Meßgegenstand ein Metall o. ä.
mit einer hohen Dichte ist. Im Falle eines Polymer-Films jedoch,
dessen Dichte nahe bei 1 liegt, ist das Gewicht sehr gering
und die Rate der vom Film absorbierten und gestreuten Beta-
Strahlen sehr klein, so daß die Messung stark von der Absorption
und Streuung der Beta-Strahlen durch die Luft und durch
Änderungen der Intensität der Beta-Strahlenquelle, die von
einem statistischen Verfall der Beta-Strahlen herrühren, beeinflußt
wird. Als Folge davon werden bei Verwendung von Beta-
Strahlen für die Filmdickenmessung Änderungen der Streuung und
Absorption von Beta-Strahlen aufgrund von Änderungen der Dicke
des zu messenden Polymer-Films mit einem geringen Signal/Rausch-
Verhältnis, d. h. mit einer geringen Genauigkeit gemessen. Insbesondere
die Messung der Dicke eines dünnen Polymer-Films erweist
sich als schwierig.
Das zweite genannte Verfahren ist zur Messung der Dicke eines
Polymer-Films sicher und dem ersten Verfahren überlegen, da es
anstelle einer Strahlung, etwa in Form von Beta-Strahlen, Infrarotstrahlen
verwendet, die gegen eine Beeinflussung durch Luft
unempfindlich sind. Dieses Verfahren macht Gebrauch vom Prinzip
der Dickenmessung eines Films auf der Grundlage der Absorption
von monochromatischem Infrarot-Licht durch den Film entsprechend
seiner Dicke. Wenn bei Messung eines dünnen Films die Voraussetzung
zur Bildung von Interferenzen eines parallele Oberflächen
aufweisenden dünnen Films erfüllt ist, ist das auffallende
Infrarot-Licht einer Mehrfach-Reflexion im Film unterworfen,
die die Lichtinterferenzerscheinung hervorruft. Wenn sich die
Filmdicke ändert, ändert sich der Interferenzzustand, wobei das
durch den Film übertragene Infrarot-Licht hell wird, wenn die
Lichtstrahlen in Phase sind, und dunkel wird, wenn die Lichtstrahlen
außer Phase sind. Diese Veränderung der Intensität des
Infrarot-Lichts ist völlig ununterscheidbar von der Veränderung
der Absorption des Infrarot-Lichts durch den Polymer-Film abhängig
von dessen Dicke. Daraus resultiert ein erheblicher Fehler
bei der gemessenen Filmdicke. Bei diesem Verfahren, bei dem
monochromatisches Infrarot-Licht der Wellenlänge mit der höchsten
Absorption durch den Polymer-Film verwendet wird, ist es
demzufolge schwierig, die Dicke eines Polymer-Films zu messen,
der eine deutliche Lichtinterferenz verursacht, dessen Dicke
sehr gering ist und dessen Oberflächen hoch parallel sowie flach
und glänzend sind und der ein hohes Maß an Transparenz aufweist.
Es sind daher in Verbindung mit der Filmdickenmessung nach dem
zweiten Verfahren verschiedene Vorschläge zur Verringerung der
Interferenzerscheinung durch Infrarotstrahlung in einem dünnen
Film, die einen Meßfehler hervorruft, bekannt geworden (U. S.-
Patentschriften 36 31 526; 36 93 025; 39 73 122 und 40 27 161, DE-OS
16 23 196, DE-AS 20 54 084).
Es sind auch Verfahren zur Messung der Filmdicke
unter Ausnutzung der von einem Film hervorgerufenen Lichtinterferenz
bekannt. Die US-Patentschrift 32 38 839 offenbart beispielsweise
ein Verfahren zur Messung der Dicke eines thermoplastischen
Films unter Ausnutzung der Interferenz. Bei diesem
Verfahren liegen die Wellenlängen des zur Messung verwendeten
Lichts zwischen 0,435 und 0,546 µm; es handelt sich also um sichtbares
Licht. Bei Verwendung solch sichtbaren Lichts besteht die
Gefahr, daß die Messung durch äußeres Licht beeinflußt und daher
weniger zuverlässig wird. Es ist außerdem eine komplizierte Meßvorrichtung
erforderlich. Wenn die verwendete Wellenlänge kürzer
wird, nehmen Amplitude und Periode der resultierenden Interferenzwellenform
ab, d. h., es wird schwierig, die Interferenzwellenform
zu erhalten, so daß die Messung schwierig wird. Beim
Gegenstand der genannten Patentschrift wird die Interferenzwellenform
angezeigt und von der Bedienungsperson von der Anzeige
die Wellenanzahl N ausgezählt und zur Errechnung der Filmdicke
verwendet. Die bekannte Meßvorrichtung liefert also nicht direkt
die Filmdicke als Meßergebnis, sondern erfordert das Auszählen
der Wellenanzahl N durch die Bedienungsperson. Diese Methode
eignet sich daher nicht für eine On-line-Messung der Dicke eines sich
auf einer Fertigungsstraße bewegenden Films. Überdies steht die
Meßvorrichtung fest, so daß es nicht möglich ist, die Dicke des
sich bewegenden Films über dessen gesamte Breite zu messen.
Die amerikanische Patentschrift 36 01 492 offenbart ebenfalls
eine Vorrichtung zur Messung einer Filmdicke unter Ausnutzung
der Interferenzerscheinung. Diese Vorrichtung dient der Messung
der Dicke eines Silicium-Scheibchens durch Ausnutzung der Interferenz
von Infrarot-Licht. Die erhaltenen Interferenzstreifen
werden auf einem Oszilloskop angezeigt und Markierungslinien
visuell an den angezeigten Interferenzstreifen eingestellt. Da
die Markierungslinien mittels des Auges eingestellt werden, ändert
sich der Meßwert mit jeder Einstellung und abhängig von
der jeweiligen Bedienungsperson, was zu einer ungenauen Messung
führt. Die manuelle Bedienung ist darüber hinaus zeitraubend,
woraus eine geringe Meßgeschwindigkeit folgt. Der Meßgegenstand
und die Meßvorrichtung sind beide fixiert, so daß es unmöglich
ist, die Dicke eines bewegten Gegenstandes zu messen, während
sich die Meßvorrichtung relativ zu diesem bewegt. Die Infrarotwellenlänge
liegt in diesem bekannten Fall im Bereich von 11 bis
35 µm. Falls dieser Wellenlängenbereich zur Messung der Dicke
eines Polymer-Films verwendet würde, würden eine Anzahl starker
charakteristischer Absorptionsspitzen abhängig vom besonderen
Polymer-Film auftreten. Es steht daher zu befürchten, daß eine
Messung nicht durchgeführt werden könnte.
Aus der DE-AS 11 47 406 ist ein Verfahren nach dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 1 bekannt, bei dem ein dünner Film mit weißem,
also sichtbarem Licht bestrahlt wird. Der Film hat nur eine
schwache Absorption und ist auf einen nicht absorbierenden Träger
aufgebracht. Das vom Film reflektierte Licht wird mittels eines
Prismas spektral zerlegt. Es werden dann die Winkel und Wellenlängen
für zwei Minima im sich ergebenden Interferenzspektrum ermittelt
und hieraus die Dicke des Films berechnet. Das vom Film
reflektierte Licht wird zu diesem Zweck durch einen Polarisator
zu einem Spektrometer geleitet. Zur Ermittlung der Wellenlängen
ist das Spektrometer entsprechend geeicht.
Die DE-OS 24 14 034 beschreibt eine Vorrichtung nach dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 4 zur Messung der Dicke mehrerer
übereinander liegender Schichten. Diese Vorrichtung macht von
der Reflexion polarisierten Lichts an dem zu messenden Film Gebrauch.
Das vom Film reflektierte Licht wird bei sich ändernder
Wellenlänge mit Hilfe eines Spektrophotometers aufgefangen
und die Intensität für verschiedene Wellenlängen aufgezeichnet.
Die so erhaltene Meßkurve wird mit rechnerisch oder experimentell
für verschiedene Dicken von zusammengesetzten Schichten ermittelten
Kurven verglichen, um auf diese Weise auf dem Weg einer
Iteration die gewünschten Dicken zu erhalten. Die Arbeitsweise
dieser Vorrichtung ist offensichtlich sehr zeitraubend und basiert
nicht auf der direkten Errechnung der gesuchten Dicke anhand von
Meßwerten.
Ausgehend vom Stand der DE-AS 11 47 406 liegt der Erfindung
die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung
zur Messung der Dicke des Films unter Ausnutzung von Interferenzerscheinungen
zu schaffen, mit denen es möglich ist, mit hoher
Genauigkeit die Dicke des dünnen Polymerfilms zu messen, wobei
die Messung im wesentlichen ohne manuelle Bedienung und kontinuierlich
mit hoher Genauigkeit auch bei einem sich bewegenden Polymerfilm
berührungslos möglich sein soll.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale im Patentanspruch 1
bzw. 4 gelöst.
Ein zu messender Polymer-Film mit weniger als 30 µm Dicke wird
mit Infrarot-Licht bestrahlt. Das Infrarot-Licht wird vor oder
nach der Bestrahlung spektroskopisch zerlegt, damit ein vom
Polymer-Film verursachtes Infrarot-Interferenzstreifenmuster
erzeugt wird. Die Extrempunkte dieses Spektrums werden
durch arithmetische Verarbeitung festgestellt, um auf diese
Weise die Dicke des Polymer-Films zu ermitteln.
Zur Erleichterung eines besseren Verständnisses der Erfindung
sollen zunächst die an sich bekannten Prinzipien der Filmdickenmessung
unter Verwendung der Infrarot-Interferenz beschrieben
werden.
Es ist bekannt, daß bei einem dünnen Film, dessen Vorder- und
Rückseite parallel zueinander sind (ein solcher Film wird nachfolgend
als Parallel-Flächen-Dünnfilm bezeichnet), eine Lichtinterferenz
aufgrund der Mehrfach-Reflexion des Lichts auftritt.
Wenn Licht senkrecht auf den Parallel-Flächen-Dünnfilm auftrifft,
dann ergibt sich die Bedingung dafür, daß der Anteil
des von diesem Film durchgelassenen Lichts maximal und der Anteil
des reflektierten Lichts minimal wird, aus folgender Gleichung:
Die Bedingung, daß der durchgelassene Lichtanteil minimal und
der reflektierte Lichtanteil maximal wird, ist durch folgende
Gleichung gegeben:
2nd = N λ (2)
In den Gleichungen (1) und (2) ist n die Brechzahl des Parallel-
Flächen-Dünnfilms, d die Filmdicke, N eine positive ganze Zahl
(der Grad der Interferenzstreifen) und λ die Wellenlänge des
Lichts. Wie aus den Gleichungen (1) und (2) ersichtlich, werden
die Interferenzstreifen bei den folgenden gleichen Wellenzahlintervallen
erzeugt.
Durch Messung des Wellenzahlintervalls Δν kann in bekannter Weise
die Filmdicke gemessen werden. Das heißt,
wobei λ A und λ B Wellenlängen des Lichts sind, die die Gleichungen (1)
und (2) erfüllen, während m eine Differenz im Grad zwischen
Interferenzstreifen ist und einer Differenz des Wertes
von N zwischen den Fällen von g A und λ B in den Gleichungen (1)
oder (2) entspricht.
Oben wurden der Zustand der Interferenzstreifen im Parallel-
Flächen-Dünnfilm und die bekannte Beziehung zwischen den Interferenzstreifen
und der Filmdicke dargelegt. Wenn die nach dem
erfindungsgemäßen Verfahren zu messende Dicke eines Polymer-Films
gering ist (weniger als 30 µ, das hängt von der Art und
dem optischen Zustand des Polymer-Films ab), dann ergibt sich
der oben im Hinblick auf den Parallel-Flächen-Dünnfilm beschriebene
Zustand, und es wird ein deutliches Interferenzmuster, wie
es in Fig. 1 gezeigt ist, erzeugt. Dies ist ein Beispiel eines
Infrarotlichtspektrums eines 10.5 µ dicken Polyvinylidenchlorid-Films.
Solche eine deutliche Interferenz wird durch eine interne
Mehrfach-Reflexion im Film hervorgerufen. Aufgrund der Tatsache,
daß, wenn ein dünner Kunststoff-Film die Interferenzbedingung
des Parallel-Flächen-Dünnfilms erfüllt, eine Infrarot-Interferenz
im Infrarotbereich zur Erzeugung eines Interferenzmusters
hervorgerufen wird, nutzt die Erfindung das Interferenzmuster
im Interferenzbereich zur Messung der Filmdicke auf der Basis
der Beziehung zwischen dem Zustand des Interferenzmusters und
der Filmdicke aus.
Als nächstes werden spezielle Arbeitsbeispiel von Verfahren
und Vorrichtung gemäß der Erfindung im einzelnen beschrieben.
Zur kontinuierlichen On-line-Messung der Dicke des Polymer-Films
ist es unmöglich, die bekannte Methode zur Erzielung des Interferenzstreifen-
oder -musterspektrums durch ein Infrarot-Spektrometer
einzusetzen. Notwendig für die Erfindung ist es daher, das
Interferenzmuster durch eine mit hoher Geschwindigkeit erfolgende
spektroskopische Zerlegung (im folgenden einfach als Zerlegung
bezeichnet) des Infrarot-Lichts rasch zu erhalten. Dies
schließt eine mit hoher Geschwindigkeit erfolgende Spektrum-
Abstastung über einen bestimmten Infrarotwellenlängenbereich ein,
so daß eine kontinuierliche On-line-Messung erreicht wird. Unter
Verwendung eines auf diese Weise mittels der schnellen Infrarotlichtzerlegung
erhaltenen Interferenzstreifen-Spektrumsignals
und eines Infrarotwellenlängensignals wird die Filmdicke durch
eine mit hoher Geschwindigkeit erfolgende arithmetische Verarbeitung
gemessen, die auf der Beziehung zwischen dem Interferenzmuster
und der Filmdicke basiert, wobei die Brechzahl des Polymer-Films
als Konstante eingeht.
Eine Vorrichtung zur praktischen Durchführung dieses erfindungsgemäßen
Verfahrens umfaßt grundsätzlich eine mit hoher Geschwindigkeit
arbeitende Infrarotlicht-Zerlegungseinheit zur Ermittlung
des Interferenzstreifenwellenlängenspektrums und eine mit hoher
Geschwindigkeit arbeitende Verarbeitungseinheit für die arithmetische
Ermittlung der Filmdicke aus dem Wellenlängenspektrum
der Interferenzstreifen und, falls nötig, dem Wellenlängensignal.
Für die schnelle Infrarot-Zerlegung gibt es die folgenden
beiden Methoden:
(1) Infrarot-Licht von einer Infrarot-Strahlenquelle, etwa einer
Wolfram-Lampe oder einem Nichrom-Draht wird senkrecht oder schräg
auf den zu messenden Polymer-Film gerichtet, ohne spektroskopisch
in monochromatisches Licht zerlegt worden zu sein, und
das vom Film durchgelassene odere reflektierte Infrarot-Licht
wird schnell in ein Lichtspektrum zerlegt, welches von einem
Infrarot-Detektor erfaßt wird, um das Interferenzstreifenmuster
zu erhalten;
(2) Infrarot-Licht von einer Infrarot-Strahlenquelle wird vorher
schnell in ein Lichtspektrum zerlegt und das resultierende
monochromatische Infrarot-Licht über die Zeit nach der Wellenlänge
abgetastet und nacheinander senkrecht oder schräg auf den
Polymer-Film gestrahlt, wobei das vom Film durchgelassene oder
reflektierte Infrarot-Licht mittels des Infrarot-Detektors ermittelt
wird, um das Interferenzstreifenspektrum zu erhalten.
Als Einrichtung zur schnellen Zerlegung des Infrarot-Lichts kann
bei beiden Methoden ein Beugungsgitter, ein Prisma oder ein ähnliches
optisches Streu-Element verwendet werden. Es ist aber
ebenso möglich, daß ein variables Schmalband-Interferenzfilter
für kontinuierliche Wellenlängen innerhalb eines gewissen Winkelbereichs
vor der Lichtquelle oder dem Infrarot-Detektor gedreht
oder in Schwingungen versetzt wird. Auch ist es möglich, das
Infrarot-Licht mittels des erwähnten optischen Streu-Elements
mit der Zeit der Wellenlänge nach abzutasten und aufeinanderfolgend
mittels eines einzigen Detektors das Infrarot-Licht der
unterschiedlichen Wellenlängen zu erfassen. Schließlich ist es
auch möglich, monochromatische Infrarot-Lichter, die durch Zerlegung
des Infrarot-Lichts gewonnen wurden, auf einer Detektoranordnung
mit einer Anzahl eng beieinander angeordneter Infrarot-
Detektoren zu fokussieren, so daß die Infrarot-Lichter der
jeweiligen Wellenlängen von den jeweiligen Detektor-Elementen
gleichzeitig erfaßt werden. Die Anordnung zur schnellen Infrarot-
Lichtzerlegung ist grob in folgender Weise in zwei geteilt:
- a) Eine Anordnung, bei der unzerlegtes Infrarot-Licht auf einen zu messenden Film geworfen wird und ein vom Film produziertes Interferenzlicht mit hoher Geschwindigkeit zerlegt wird und die zerlegten Lichtanteile je mittels eines Infrarot-Detektors erfaßt werden, um ein Interferenzstreifenspektrum zu erhalten; diese Anordnung umfaßt eine Lichtprojektionseinheit und eine Lichtzerlegungs- und Detektoreinheit;
- b) Eine Anordnung, bei der chromatisches Licht mit hoher Geschwindigkeit von Infrarot-Licht abgespalten und auf einen zu messenden Film geworfen wird und ein vom Film produziertes Interferenzlicht mittels eines Infrarot-Detektors erfaßt wird, um ein Interferenzstreifenspektrum zu erhalten; diese Anordnung umfaßt eine Spektrumprojektionseinheit und eine Detektoreinheit.
Wenn als Infrarot-Wellenlängenbereich für die Infrarot-Lichtzerlegung
ein Bereich gewählt wird, innerhalb dessen das Infrarot-Licht
nicht so sehr von dem Film absorbiert wird, damit das
Interferenzstreifenspektrum mit hoher Genauigkeit gemessen werden
kann, und wenn man berücksichtigt, daß die Filmdicke unabhängig
von der Art der Lichtquelle, des Detektors und des Films
soll gemessen werden können, dann ist es günstig, Infrarot-Licht
innerhalb des Wellenlängenbereichs von 0,8 bis 2,2 µ zu verwenden.
Der Grund hierfür ist folgender: In diesem Wellenlängenbereich
ist die Anzahl von Infrarot-Absorptionsspitzen des Polymer-Films
gewöhnlich gering, und selbst wenn Absorptionsspitzen
existieren, ist der Absorptions-Koeffizient klein, so daß der
dünne Polymer-Film als transparent gegenüber dem Infrarot-Licht
dieses Wellenlängenbereichs betrachtet werden kann. Außerdem
kann dann ein gewöhnlicher Phototransistor aus Silicium oder
Germanium oder ein Infrarot-Detektor aus Bleisulfid, der bei
Raumtemperatur betreibbar ist, als Detektor eingesetzt werden.
Der zu verwendende Wellenlängenbereich ist jedoch nicht speziell
auf den Bereich von 0,8 bis 2,2 µ beschränkt, es ist vielmehr
auch möglich, daß entsprechend der Art des Films, dessen Dicke
zu messen ist, ein Wellenlängenbereich, bei dem die Absorption
durch den Film gering ist, geeignet ausgewählt wird. Beispielsweise
ist möglich, zusätzlich zum Wellenlängenbereich von 0,8
bis 2,2 µ Wellenlängenbereiche von 2,4 bis 3,2 µ und 4,2 bis
6,8 µ für einen Polyäthylen-Film, 2,4 bis 3,2 µ und 4,0 bis
5,5 µ für einen Polyäthylenvinylacetat-Film und 2,4 bis 3,2 µ
und 4,0 bis 6,8 µ für einen Polyvinylidenchlorid-Film zu verwenden.
Auch kann ein Infrarot-Wellenlängenbereich geringerer
Wellenlänge entsprechend der Art der Infrarot-Strahlenquelle
oder des verwendeten Infrarot-Strahlendetektors und der Filmdicke
eingesetzt werden.
Bei der Interferenz-Filmdickenmessung ist es möglich, eine
Dicke von etwa der Hälfte der verwendeten Wellenlänge zu messen;
bei Verwendung kurzer Wellenlängen können daher dünne Filme
gemessen werden. Im Fall des Polymer-Films liegt jedoch die Dickenschwankung
in einem Punktbereich des Films bei ungefähr 0,4 µ,
so daß, falls eine Wellenlänge von weniger als 0,8 µ verwendet
wird, keine klare Interferenzwellenform erzielt werden kann.
Dies beruht auf der Auslöschung in dem Teil des Polymer-Films,
der mit dem Infrarot-Lichtstrahl bestrahlt ist, unter dem Einfluß
der geringen Schwankungen der Filmdicke. Eine genaue Messung
kann daher nicht durchgeführt werden. Die Wellenlänge von
weniger als 0,8 µ ist die untere Grenze der Infrarot-Strahlung,
und kürzere Wellenlängen liegen nahe beim sichtbaren Licht, so
daß bei Verwendung solcher Wellenlängen eine große Wahrscheinlichkeit
der Beeinflussung der Messung durch äußeres Licht besteht.
Je länger die verwendete Infrarot-Wellenlänge ist, desto
größer wird die Amplitude des resultierenden Interferenzmusters,
so daß sich ein Ausgangssignal mit gutem Signal/Rausch-Verhältnis
ergibt und die Periode der Interferenzstreifen groß wird
mit der Folge, daß die Messung leichter wird. In Anbetracht
dessen ist eine lange Wellenlänge vorzuziehen. Bei Wellenlängen
über 2,2 µ tritt im Fall des Polymer-Films eine verhältnismäßig
große Anzahl von Absorptionsspitzen auf. Unabhängig von der Art
des zu messenden Films ist es daher günstig, aus grundsätzlichen
Erwägungen Wellenlängen von weniger als 2,2 µ zu verwenden.
Das Interferenzstreifenspektrumsignal, das durch schnelle Zerlegung
des Infrarot-Lichts eines solchen Wellenlängenbereichs
gewonnen wird, wird zusammen mit dem Infrarot-Wellenlängensignal
als Grundlage für die arithmetische Ermittlung der Filmdicke
genommen. Für die arithmetische Verarbeitung zur Gewinnung
der Filmdicke können wahlweise die beiden folgenden Methoden
verwendet werden:
Bei diesem Verfahren erhält man das Wellenzahlintervall
Δν für die Filmdickenmessung nach obiger Gleichung (4)
aus den beiden Infrarot-Wellenlängen λ A und λ B , die Maxima
oder Minima der Interferenzstreifen bzw. des Interferenzmusters
darstellen, nach folgender Gleichung:
Wenn hierbei ein Wellenlängenpaar benachbarter Maxima oder
Minima des Interferenzmusters ausgewählt wird, beträgt die
Differenz der Ordnung der Interferenzstreifen m = 1.
Falls die schnelle Infrarot-Zerlegung durch eine Wellenlängenabtastung
bei gleichen Wellenzahl-Intervallen durchgeführt
wird, wird das Interferenzstreifenspektrum zu gleichen
Zeitintervallen festgestellt. Wenn daher die pro Zeiteinheit
abgetastete Wellenzahl bekannt ist, kann der Wert
des Wellenzahlintervalls Δν durch Messen der Zeitintervalle
zwischen den Maxima oder Minima des Interferenzstreifenspektrums
leicht ermittelt werden. Falls die schnelle Infrarot-Zerlegung
durch Wellenlängenabtastung in einem regelmäßigen
oder unregelmäßigen Wellenlängenintervall ausgeführt
wird, ist es durch Verwendung des Infrarot-Wellenlängensignals
erforderlich, die Infrarot-Wellenlänge zu ermitteln,
die das Maximum oder Minimum des Interferenzstreifenmusters
repräsentiert.
Dieses Verfahren dient dazu, eine scheinbare Interferenzstreifen-
Wellenzahldifferenz Δν a aus der Anzahl von Maxima
oder Minima des Interferenzstreifenspektrums innerhalb
eines bestimmten Infrarot-Wellenlängenbereichs oder der
Summe der Maxima oder Minima zu erhalten. Diese scheinbare
Interferenzstreifen-Wellenzahldifferenz Δν a ermittelt man
auf folgende Weise:
wobei Δν R eine Differenz zwischen einer maximalen Wellenzahl
und einer minimalen in einem bestimmten Infrarot-Wellenlängenbereich
ist, während N die Anzahl der Maxima oder
Minima des Interferenzstreifenspektrums innerhalb des Bereichs
von Δν R ist. Alternativ gilt,
wobei N′ die Summe der Anzahl von Maxima und Minima des
Interferenzstreifenspektrums innerhalb des Bereichs von
Δν R ist. In beiden Fällen der Gleichungen (6) und (7) wird
das Interferenzmuster nicht immer maximal oder minimal bei
den Wellenlängen an beiden Enden des bestimmten Infrarot-
Wellenlängenbereichs, so daß das mittels der beiden obigen
Gleichungen erhaltene Δν a im Vergleich zum tatsächlichen
Δν einen Fehler enthält. Der angenäherte Wert der Filmdicke
kann jedoch allein durch Zählen der Anzahl der Maximal und/oder
Minima innerhalb des Wellenlängenbereichs gemessen werden.
Demzufolge ist diese Art der Verarbeitung einfacher,
als die der Bestimmung der Wellenlänge wie bei der vorerwähnten
hoch-genauen Filmdicken-Ermittlung. Falls außerdem
der Infrarot-Wellenlängenbereich zu 1,0 bis 2,0 µ (10 000
bis 5 000 cm-1 als Wellenanzahl) gewählt wird, können Filme
von etwa 10 µ Dicke mit einem Fehler von 0,5 bis 1,0 µ gemessen
werden. Dies ist für den praktischen Gebrauch genau
genug.
Durch Ermittlung des Wellenzahlintervalls Δν des Interferenzmusters
entweder durch Verwendung des sehr genauen
oder des weniger genauen Filmdicken-Ermittlungsverfahrens kann
die Dicke des Polymer-Films gemessen werden.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezug auf die beiliegenden
Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 die Darstellung eines Beispiels eines Infrarot-Interferenzstreifenspektrums
eines Polyvinylidenchlorid-Films mit
10,5 µ Dicke;
Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
bei dem eine Spektrum-Detektoreinheit und eine Lichtprojektionseinheit
auf derselben Seite des zu messenden Films angeordnet
sind;
Fig. 3 ein anderes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen
Vorrichtung, bei dem eine Spektrum-Projektionseinheit und eine
Detektoreinheit auf derselben Seite des zu messenden Films angeordnet
sind;
Fig. 4 ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen
Vorrichtung, bei der eine Lichtprojektionseinheit und eine
Spektrum-Detektoreinheit auf entgegengesetzten Seiten des zu
messenden Films angeordnet sind,
Fig. 5 ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
bei dem eine Spektrum-Projektionseinheit und eine Detektoreinheit
auf entgegengesetzten Seiten des zu messenden Films
angeordnet sind;
Fig. 6 ein Blockschaltbild eines weiteren Ausführungsbeispiels
der erfindungsgemäßen Vorrichtung, die eine Verarbeitungseinheit
aufweist;
Fig. 7 eine Darstellung, die den Zusammenhang zwischen Speicheradressen
und Wellenformen erkennen läßt, und
Fig. 8 ein Flußdiagramm, das ein Beispiel der Arbeitsweise
der Verarbeitungseinheit zeigt.
Die folgenden Ausführungen beziehen sich zunächst auf Fig. 2.
Infrarot-Strahlen, die von einer Infrarotquelle 1 ausgesandt
werden, werden mittels eines Linsensystem 2 in ein paralleles
Strahlenbündel umgesetzt, durch einen halbdurchlässigen Spiegel 3
geleitet und dann durch einen Filter 4 auf einen Polymer-Film 5
projiziert, dessen Dicke gemessen werden soll. Das
Filter 4 stellt eine Sperre für sichtbare Strahlen dar und
läßt nur Infrarot-Stralen innerhalb eines erforderlichen Wellenlängenbereichs
durch.
Die Infrarot-Wellenlänge ändert sich mit der Art der verwendeten
Infrarot-Quelle 1. Zur Erzielung einer Infrarot-Wellenlänge,
die kürzer als 2,5 µ ist, wird eine Wolfram-Lampe vorgezogen,
während für längere Wellenlängen ein Nichrom-Draht oder eine
Globar-Lampe geeignet sind. Das Linsensystem 2 dient der Umwandlung
der Infrarot-Strahlen von der Infrarot-Quelle 1 in
ein paralleles Strahlenbündel und kann daher ein optisches
Parallel-Strahlensystem mit einem Konkavspiegel sein. Der halbdurchlässige
Spiegel 3 läßt das auf ihn über das Linsensystem
2 von der Infrarot-Quelle 1 gerichtete Strahlenbündel durch,
während er gleichzeitig dazu dient, Infrarot-Licht vom Film 5
zum nächsten spektral-optischen System zu lenken. Da es sich
bei dem Film 5 um einen Parallel-Flächen-Dünnfilm handelt,
unterliegt das auftreffende Licht infolge der Mehrfach-Reflexion
im Film 5 einer Interferenz. Das in dieser Weise durch
den Film 5 zur Interferenz gebrachte Infrarot-Licht trifft
auf einen nachfolgend als Winkelspiegel bezeichneten Tripelspiegel 6 auf. Der Winkelspiegel 6
soll einen einfallenden Lichtstrahl auf denselben optischen
Weg, den dieser genommen hat, reflektieren. Hierfür
können optische Einrichtungen verwendet werden, die in der
Lage sind, einfallendes Infrarot-Licht entgegengesetzt zur
Einfallrichtung zurückzureflektieren.
Um die Dicke eines sich auf einer Fertigungsstraße bewegenden
Polymer-Films kontinuierlich messen zu können, ist es notwendig,
ein Meßgliederpaar über und unter dem Film 5 anzuordnen
und diese über dem Film zu bewegen. Bei einer solchen Anordnung
ist jedoch die Wahrscheinlichkeit sehr groß, daß eine
Positions- oder Winkelabweichung zwischen den beiden Meßgliedern
infolge von Änderungen ihrer Bewegungsgeschwindigkeit
o. ä. auftritt. In solchem Fall reflektiert ein gewöhnlicher
Reflektor das einfallende Infrarot-Licht in eine Richtung
zurück, die sich von der Einfallrichtung unterscheidet, so daß
eine Abweichung der optischen Achse zwischen dem einfallenden
und dem zurückkehrenden Strahlenbündel nicht ausgeschaltet
werden kann. Bei Verwendung des Winkelspiegels 6 ist es jedoch
möglich, eine solche Abweichung der optischen Achsen zu vermeiden
und damit die Genauigkeit der kontinuierlichen Messung
der Dicke des Films 5 in seiner Breitenrichtung sicherzustellen.
Mit anderen Worten wird das vom Winkelspiegel 6 reflektierte
Infrarot-Licht längs genau derselben Bahn wie das einfallende
Licht erneut auf den Film 5 geworfen. Der Auftreffpunkt
auf dem Film 5 ist in diesem Fall identisch mit dem
Punkt, von dem aus das Infrarot-Licht den Film in Richtung
auf den Winkelspiegel 6 verläßt. Während das Infrarot-Licht
den Film 5 zweimal durchläuft, unterliegt es einer Interferenz
durch den Film 5. Das Interferenzmuster bzw. die Interferenzstreifen
werden verstärkt und deutlich, verglichen mit
einem Interferenzmuster eines Infrarot-Lichts, das nur einmal
den Film 5 durchlaufen hat. Auf diese Weise kann die Genauigkeit
der Messung weiter verbessert werden.
Das auf diese Weise durch den Film 5 geleitete Infrarot-Licht
durchläuft erneut das Filter 4 und wird vom halbdurchlässigen
Spiegel 3 reflektiert und auf eine Spektrum-Detektoreinheit
15 gerichtet, bei der es sich um ein mit hoher Geschwindigkeit
arbeitendes optisches System zur spektroskopischen Abtastung
handelt. Die Spektrum-Detektoreinheit 15 umfaßt eine
geeignete Kombination bekannter optischer Elemente und kann
ein optisches System sein, das ein Beugungsgitter oder Prisma
als optisches Streuglied verwendet, oder ein optisches System,
das ein Schmalband-Interferenzfilter variabler Wellenlänge
verwendet. Die in Fig. 2 dargestellte Spektrum-Detektoreinheit 15
benutzt ein Beugungsgitter 9. Das vom halbdurchlässigen
Spiegel 3 reflektierte Infrarot-Licht wird von einem
Schwingspiegel 7 reflektiert. Der Schwingspiegel 7 wird von
einem optischen Abtaster 8 in Schwingungen versetzt, so daß
das Licht zu dem Beugungsgitter 9 gerichtet wird und unter
einem Einfallwinkel auf dieses auftrifft, der sich mit der
Zeit kontinuierlich ändert. Der Schwingspiegel 7 und der optische
Abtaster 8, der den Schwingspiegel über einen vorgegebenen
Winkelbereich in Schwingungen versetzt, können ersetzt
werden durch die Kombination aus einem Vielflächenspiegel
mit einem zugehörigen Antriebsmotor. Das Beugungsgitter 9
ist entsprechend dem verwendeten Wellenlängenbereich ausgewählt.
Dadurch, daß man den Beugungswinkel des Infrarot-Lichts
vom Beugungsgitter 9 konstant macht und mit der Zeit den Einfallwinkel
des Lichts auf das Beugungsgitter 9 mittels des
optischen Abtasters ändert, wird auf diese Weise über der
Zeit nach Wellenlängen abgetastetes monochromatisches Infrarot-Licht
gebeugt, um zum nachfolgenden Detektorsystem gerichtet
zu werden.
Das monochromatische Licht vom Beugungsgitter 9 wird mittels
eines Spiegels 10 zu einem Konkavspiegel 11 reflektiert und
von diesem weiter zu einem Infrarot-Detektor 12 reflektiert
und fokussiert. Der Infrarot-Detektor 12 setzt eine Änderung
der Intensität des Infrarot-Lichts in ein elektrisches Signal,
etwa eine Spannung, um, das einer mit hoher Geschwindigkeit
arbeitenden arithmetischen Einheit 18 zugeführt wird. Bei der
beschriebenen Anordnung kann die schnelle Infrarot-Lichtzerlegungseinrichtung
auch eine Einrichtung sein, die das Infrarot-Licht
mittels eines Streuglieds spektroskopisch räumlich
in monochromatische Infrarot-Lichtanteile zerlegt, die jeweils
auf ein kleines Detektor-Element einer Detektoranordnung
abgebildet werden, um gleichzeitig die erforderlichen
Interferenzstreifenspektren zu erhalten.
Die Infrarot-Quelle 1, das Linsensystem 2 und das Filter 4
bilden einen Lichtprojektor 13, während der Lichtprojektor
13, der Winkelspiegel 6 und die Spektrum-Detektoreinheit 15
eine schnelle spektroskopische Infrarot-Lichtabtasteinheit
17 bilden. Die Lichtprojektionseinheit 13 und die Spektrum-
Detektoreinheit 15 sind bezogen auf den Film 5 auf derselben
Seite angeordnet. Wenn man daher beide relativ zueinander
fixiert, dann ist das vom halbdurchlässigen Spiegel 3 reflektierte
Licht immer längs derselben Bahn zur Spektrum-Detektoreinheit
15 gerichtet, was stabile Messungen der Filmdicke
sicherstellt. Der Winkelspiegel 6 kann in Form eines aus der
Ecke eines Glas- oder Quarzwürfels ausgeschnittenen Prismas
oder in der Form eines Spiegels sein, der drei rechtwinklig
zusammengesetzte ebene Spiegel aufweist. Es ist auch möglich,
die Filmdicke unter ausschließlicher Verwendung des reflektierten
Lichts vom Film 5 ohne Verwendung des Winkelspiegels
6 in der erfindungsgemäßen Vorrichtung von Fig. 2 zu messen.
Dies wird praktiziert, wenn der Winkelspiegel nicht auf
der anderen Seite des Films 5 als der Lichtprojektor 13 angeordnet
werden kann. Es ist ferner möglich, daß das vom
halbdurchlässigen Spiegel 3 reflektierte Infrarot-Licht mittels
einer optischen Faser zu der an einer vom bewegten Teil
entfernten Stelle sich befindenden Spektrum-Detektoreinheit
15 geleitet wird. Die Verwendung der optischen Faser dient
der schnellen spektroskopischen Lichtabtastung mit hoher Genauigkeit
und der Verminderung des Gewichts der bewegten Meßteile.
Fig. 3 zeigt eine optische Anordnung, die der weiter oben
mit (b) bezeichneten Ausführung entspricht. Hierbei wird das
mittels einer Spektrum-Projektionseinheit 16 monochromatisch
gemachte Infrarot-Licht schnell über der Zeit nach Wellenlängen
abgetastet und monochromatische Lichtanteile unterschiedlicher
Wellenlänge je mittels des halbdurchlässigen Spiegels
3 reflektiert, um den Film 5 zweimal längs desselben Weges
zu durchlaufen, wie in Fig. 2 gezeigt. Das auf diese Weise
zweimal der Interferenz durch den Film 5 unterlegene Licht
durchläuft den halbdurchlässigen Spiegel 3 und ein Linsensystem 19,
um dann von dem Infrarot-Detektor 12 erfaßt zu werden.
Eine auf diese Weise vom Infrarot-Detektor 12 wahrgenommene
Helligkeitsänderung des Interferenzmusters wird zusammen
mit einem die Wellenlänge des monochromatischen Lichts
angebenden Signal der schnellen arithmetischen Einheit 18
zugeführt. Auch in diesem Fall kann von der Anordnung Gebrauch
gemacht werden, bei der auf den Winkelspiegel verzichtet
wird oder eine optische Faser eingesetzt wird, wie es in Verbindung
mit der vorherigen Ausführungsform anhand von Fig. 2
erläutert wurde. In Fig. 3 bilden das Filter 4, das Linsensystem 19
und der Infrarot-Detektor 12 eine Detektoreinheit
14. Die Spektrum-Projektionseinheit 16 kann beispielsweise
dadurch erhalten werden, daß man in der Spektrum-Detektoreinheit 15
von Fig. 2 gemäß Darstellung in Fig. 3 den Infrarot-Detektor 12
durch die Infrarot-Quelle 1 ersetzt.
Es ist auch möglich, den Lichtprojektor 13 auf einer und die
Spektrum-Detektoreinheit 15 auf der anderen Seite des hochmolekularen
Films 5 anzuordnen, wie dies in Fig. 4 gezeigt
ist. Hier durchläuft das Infrarot-Licht vom Lichtprojektor 13
den Polymer-Film 5 und tritt dann in die Spektrum-Detektoreinheit 15
ein. Diese Anordnung ist von besonderer Nützlichkeit,
wenn sie eingesetzt wird, wo die Verschiebeeinrichtungen,
die den Lichtprojektor 13 bzw. die Spektrum-Detektoreinheit 15
tragen, sich mit hoher Genauigkeit bewegen, so daß
keine Abweichung der optischen Achsen zwischen dem auf den
Film 5 einfallenden Licht und dem von ihm ausgehenden Licht
auftritt. Nützlich ist diese Anordnung auch in dem Fall, wo
der Lichtprojektor 13 und die Spektrum-Detektoreinheit 15,
die beidseitig des Films 5 angeordnet sind, relativ zueinander
fixiert werden können. In diesem Fall ist es auch möglich,
die Spektrum-Detektoreinheit zu fixieren und das Meßinstrument
zu bewegen, so daß das Interferenzlicht über eine optische
Faser zur Spektrum-Detektoreinheit geleitet wird.
Weiter ist es auch möglich, gemäß Darstellung in Fig. 5 die
Spektrum-Projektionseinheit 16 und die Detektoreinheit 14
beidseitig des Polymer-Films 5 anzuordnen. Hiermit lassen
sich dieselben Wirkungen wie bei der Ausführungsform nach Fig. 4
erzielen.
Unter Bezug auf Fig. 6 soll nachfolgend ein spezielles Betriebsbeispiel
für die Verarbeitungseinheit oder arithmetische
Einheit 18 beschrieben werden, die die Abtasteinheit 17
von Fig. 2 verwendet. Ein Sinus-Wellensignal von einem Sinusgenerator 21
ist über einen Leistungsverstärker 22 an
eine Treiberschaltung 23 angelegt, die ihrerseits den optischen
Abtaster 8 ansteuert, um den Schwingspiegel 7 mit einer
Periode von beispielsweise 20 bis 60 Millisekunden in Schwingungen
zu versetzen. Bei jeder Bewegung des Schwingspiegels
7 in eine Richtung werden die Wellenlängen von beispielsweise
1,5 bis 2,2 µ abgetastet und monochromatische Lichtanteile
dieser Wellenlängen nacheinander erhalten. Die so erhaltenen
monochromatischen Lichtanteile werden je vom Infrarot-Detektor 12
in ein elektrisches Signal umgesetzt, und
dieses elektrische Signal, d. h. ein Interferenzwellenformsignal,
falls nötig, von einer Infrarot-Detektorschaltung 24
verstärkt und an einen Signalformer 25, beispielsweise mit
einem Hochpaßfilter zur Entfernung von Rausch- oder Störsignalen,
angelegt. Das geformte Signal wird einem Analog-Digital-Umsetzer 26
zugeführt. Das analoge Eingangssignal des
A-D-Umsetzers 26 wird von diesem beispielsweise in ein 8-bit-
Digitalsignal umgesetzt. Das auf diese Weise in digitaler Form
erhaltene Interferenzwellenformsignal wird zur Speicherung
einem Mikrocomputer geliefert.
Der Mikrocomputer 27 führt eine arithmetische Operation aus,
um die Filmdicke für jede Spektrumabtastung durch den Schwingspiegel
zu ermitteln. Für diese arithmetische Operation muß
das digitale Eingangssignal vom A-D-Umsetzer 26 mit der Wellenlänge
in der Spektrumabtastung koordiniert werden. Um dies
zu erreichen, wird beispielsweise ein Impuls erzeugt, wenn
der Schwingspiegel 7 eine bestimmte Winkeleinstellung einnimmt,
d. h., es wird jedesmal ein Impuls erzeugt, wenn eine bestimmte
Wellenlänge abgetastet wird. Dieser Impuls wird von einem
Impulsgenerator 28 erzeugt und dem Mikrocomputer 27 als Startsignal
für die arithmetische Operation geliefert. Während des
Vorwärtshubs des Schwingspiegels 7 wird das Interferenzwellenformsignal
vom Infrarot-Detektor 12 an den Mikrocomputer 27
angelegt, während beim Rückwärtshub des Schwingspiegels 7 das
Interferenzwellenformsignal einer arithmetischen Operation unterzogen
wird.
Bei der arithmetischen Operation werden Maxima oder Minima
(Berge oder Täler) des Interferenzwellenformsignals festgestellt
und dann die Filmdicke aufgrund der schon erwähnten
Gleichung (4) berechnet, die die Beziehung zwischen dem Interferenzzustand
und der Filmdicke darstellt. Im Fall der Filmdickenberechnung
mit geringer Genauigkeit wird die Anzahl von
Maxima oder Minima oder ihrer Summe festgestellt und dann unter
Benutzung der Gleichungen (6) oder (7) das Wellenzahlintervall
ermittelt, woraufhin dann unter Benutzung dieses Wellenzahlintervalls
die Gleichung (4) durchgerechnet wird.
Nebenbei bemerkt kann die Erfassung des Maximums oder Minimums
des Interferenzwellenformsignals in gleicher Weise durchgeführt
werden wie die Ermittlung des Maximums oder Minimums
eines Eingangssignals bei verschiedenen Digitalprozessoren.
Zur Durchbrechung der Gleichung (4) ist es erforderlich, die
den Maxima oder Minima entsprechenden Wellenlängen zu kennen.
Diese Wellenlängen können auf der Basis der Änderungen
des Interferenzwellenformsignals über der Zeit für einen Standardfilm
bekannter Dicke und der Wellenlänge bei jedem Maximum
oder Minimum errechnet werden. Es ist günstig, für die
zeitliche Änderungen des Interferenzwellenformsignals Speicheradressen
zu verwenden. Beispielsweise wird das Interferenzwellenformsignal
synchron mit Impulsen von Impulsgenerator 28,
also synchron mit der Spektrumabtastung, unter bestimmten
Adressen im Mikrocomputer 27 gespeichert. Auf diese
Weise sind die Speicheradresse und die Wellenlänge zu dem
Zeitpunkt, als das Signal gespeichert wurde, miteinander koordiniert,
und die Wellenlänge des Maximums oder Minimums
kann von der Adresse abgeleitet werden, unter der das Maximum
oder Minimum der Interferenzwellenform gespeichert war.
In einer ähnlichen Weise wird das Interferenzwellenformsignal
für den Standardfilm gespeichert. Da die Dicke des Standardfilms
bekannt ist, sind auch die Wellenlängen bekannt,
bei denen sich das Maximum oder Minimum der Interferenzwellenform
ergibt. Von jenen der Adressen, unter denen das Interferenzwellenformsignal
für den Standardfilm gespeichert
ist, bei welchen ein Maximum oder Minimum vorliegt, und von den
schon bekannten Wellenlängen kann der Zusammenhang zwischen
den Wellenlängen und den Adressen leicht abgeleitet werden.
Fig. 7 zeigt ein Beispiel. Ein Interferenzwellenformsignal
ist unter Adressen A₁ bis A n gespeichert. In einem Speicherbereich
29 a jeder Adresse sind 8 bits des Interferenzwellenformsignals
für den Standardfilm gespeichert, während in einem
Speicherbereich 29 b 8 bits des Interferenzwellenformsignals
von dem zu messenden Film gespeichert sind. In Fig. 7 sind
die in den Speicherbereichen 29 a und 29 b gespeicherten Werte
als Wellenformen 31 a bzw. 31 b darstellt. Es ist von vornherein
bekannt, daß die Maxima des Interferenzwellenformsignals
vom Standardfilm bei Wellenlängen von beispielsweise
2,14 µ, 2,00 und 1,88 µ liegen. Beim Auftreten der Maxima
des Standardfilm-Interferenzwellenformsignals werden die Adressen
4025, 4055 und 4080, wo diese Maxima gespeichert werden,
festgestellt. Auf diese Weise ergibt sich die Zuordnung
der Adressen zu den Wellenlängen.
Bei Auftreten der Maxima des Interferenzwellenformsignals vom
zu messenden Film kann man durch Berechnung auf der Grundlage
der Adressen, unter denen diese Maxima gespeichert werden,
und der Zuordnung dieser Adressen zu Wellenlängen als Wellenlängen,
bei denen diese Maxima auftreten, 2,2 µ, 2,08 µ,
1,95 µ und 1,83 µ feststellen. Es ist hierbei günstig, zur
Erhöhung der Rechengenauigkeit zu interpolieren. λ A und λ B
in Gleichung (4) seien 2,22 µ bzw. 1,83 µ und m = 3.
Unter Bezug auf Fig. 8 soll nun ein Beispiel eines Flußdiagramms
für ein von dem in Fig. 6 gezeigten Mikrocomputer
27 durchgeführten Programm gegeben werden. Nach dem Start
wird die Anfangseinstellung verschiedener Parameter, etwa
der Abtastintervalle im A-D-Umsetzer 26, der Brechzahl eines
Films bzw. einer zu messenden Probe, der die Extrempunkte
(Maximum oder Minimum) darstellenden Wellenlängen des Interferenzwellenformsignals
des Standardfilms, der Anzahl von
Messungen usw. im Schritt S₁ durchgeführt. Im Schritt S₂
wird dann geprüft, ob es sich bei der Meßprobe um den zu messenden
Film (Meßobjekt) oder den Standardfilm handelt. Ist es
der Standardfilm, dann wird der Schritt S₃ ausgeführt, bei
dem das Interferenzwellenformsignal in ein Digitalsignal umgesetzt
wird, welches im Schritt S₄ im Speicherbereich 29 a
jeder der Adressen A₁ bis A n gespeichert wird. Danach wird
im Schritt S₅ das gespeicherte Interferenzwellenformsignal
ausgelesen, wobei die Adressen festgestellt werden, bei denen
Extrempunkte, also die Maxima oder die Minima oder beide,
vorliegen. Als nächstes wird im Schritt S₆ aus den festgestellten
Adressen und den anfänglich eingestellten Wellenlängen
des Standardfilms die Zuordnung zwischen den Adressen und
den Wellenlängen berechnet und dann gespeichert. Der Ablauf
kehrt dann zum Schritt S₂ zurück.
Wenn die Prüfung im Schritt S₂ ergibt, daß es sich bei dem
Film um das Meßobjekt handelt, geht der Ablauf auf den
Schritt S₇ über, bei dem das Interferenzwellenformsignal in
ein Digitalsignal umgesetzt wird, welches im Schritt S₈ im
Speicherbereich 29 b jeder der Speicheradressen A₁ bis A n gespeichert
wird, wo die Wellenform des Standardfilms gelöscht
wurde. Nach einer Wellenlängenabtastung werden im Schritt
S₉ die Speicherbereiche 29 b der Adressen A₁ bis A n ausgelesen
und die Adressen festgestellt, bei denen Extremwerte
des Interferenzwellenformsignals vorliegen. Im Schritt S₁₀
werden die festgestellten Adressen dann jeweils auf der Basis
des Zusammenhangs zwischen Adressen und Wellenlängen in eine
Wellenlänge umgesetzt. Im Schritt S₁₁ wird die Filmdicke aus
der umgesetzten Wellenlänge auf der Basis der Gleichung (4)
errechnet und das Rechenergebnis gespeichert. Im Schritt S₁₂
wird dann geprüft, ob die Anzahl der Filmdickenberechnungen
gleich der anfangs eingestellten Zahl von Meßdurchläufen ist
oder nicht. Ist dies nicht der Fall, dann kehrt der Ablauf
zum Schritt S₇ zurück. Ergibt die Prüfung im Schritt S₁₂ jedoch,
daß die Meßhäufigkeit die anfangs eingegebene Anzahl
erreicht hat, dann wird der Mittelwert der bis dahin erhaltenen
Filmdicken errechnet und das Rechenergebnis im Schritt
S₁₃ ausgedruckt. Im Schritt S₁₄ wird der so erhaltene Mittelwert
der Filmdicke dann in ein Analog-Signal umgesetzt, welches
mittels eines Meßinstruments im Schritt S₁₅ angezeigt
und gleichzeitig im Schritt S₁₆ einem X-Y-Schreiber o. ä. geliefert
wird.
Entsprechend sind auch bei der Anordnung von Fig. 6 ein
Drucker 32 zum Ausdruck der im Mikrocomputer 27 ermittelten
Filmdicke und ein D-A-Umsetzer 33 zur Umsetzung der Filmdicke
in eine analoge Form vorgesehen. Der Ausgang des D-A-Umsetzers 33
ist mit einem Meßinstrument 34 und einem X-Y-Schreiber 35
verbunden. Ein Teil oder mehrere Teile von
Drucker 32, Meßinstrument 34 und Schreiber 35 können auch
weggelassen werden. In Fig. 8 werden die Schritte S₃, S₄
und S₅ im selben Unterprogramm wie die Schritte S₇, S₈ bzw.
S₉ ausgeführt.
Im folgenden wird ein praktisch ausgeführtes Beispiel der Erfindung
beschrieben. Als Infrarot-Quelle wurde eine Wolfram-Lampe
verwendet, und die Anordnung der optischen Instrumente
entsprach der in Fig. 2 gezeigten. Nichtchromatisches Infrarot-Licht
wurde auf einen Polyvinylidenchlorid-Film (unter
dem Warenzeichen "Saran" von der Asahi-Dow K. K. vertrieben)
von 10 µ Dicke gerichtet, um die Dicke des Films zu messen.
Der optische Abtaster 8 für den Antrieb des Schwingspiegels
7, bei dem es sich um einen Abtast-Galvanometertyp handelte,
wurde mit einer Frequenz von 20 bis 30 Schwingungen pro Sekunde
angetrieben. Das Beugungsgitter 9 hatte 600 Linien pro
Millimeter. Der Infrarot-Detektor 12 bestand aus Bleisulfid
(PbS). Der Winkelspiegel 6 bestand aus Quarz. Ein Infrarot-
Spektralbereich von 1,5 bis 2,2 µ wurde abgetastet. Das Interferenzstreifenspektrumsignal
vom Infrarot-Detektor 12
wurde mittels des A-D-Umsetzers 26 umgesetzt. Als Mikrocomputer 27
wurde zur Speicherung und zur Filmdickenberechnung
ein unter der Bezeichnung M 6800 bekannter Mikrocomputer
der Motorola Inc. verwendet. Der auf diese Weise ermittelte
Filmdickenwert wurde ausgedruckt und nach D-A-Umsetzung
in analoger Form auf einem X-Y-Schreiber dargestellt. Es
konnten auf diese Weise Änderungen der Dicke des "Saran"-Films
mit einer Auflösung von 0,2 µ genau gemessen werden.
Wie aus der vorangehenden Beschreibung ersichtlich, unterscheiden
sich Verfahren und Vorrichtung gemäß der Erfindung
wesentlich von Bisherigen dadurch, daß sie bewußt die Interferenzerscheinung
ausnutzen, die bislang Fehlerquelle bei
Filmdickenmessungen unter Verwendung der Infrarot-Absorption
eines Films war. Die Erfindung ermöglicht es, auf der Grundlage
des Zusammenhangs zwischen einem Interferenzstreifenspektrum,
das durch schnelles spektroskopisches Abtasten
eines Infrarot-Interferenzstreifenspektrums durch einen dünnen
Polymer-Film erhalten wird, und der Dicke des Films die
Filmdicke zu messen, so daß die Filmdicke eines dünnen Polymer-Films,
deren Messung bislang schwierig war, kontinuierlich,
berührungslos auf On-line- oder Off-line-Basis durchgeführt
werden kann. Daher eignet sich die Erfindung besonders
für die Qualitätskontrolle von Polymer-Filmen auf ihrer
Fertigungsstraße und ist somit von großem industriellen Wert.
Claims (10)
1. Verfahren zur laufenden Ermittlung der Dicke eines
Films, bei dem
- (a) der Film mit Licht, für das er im wesentlichen durchlässig ist, bestrahlt wird und das Licht vor oder nach dem Durchgang durch den Film spektroskopisch zerlegt wird,
- (b) Intensitätsmaxima und/oder -minima des dabei erhaltenen Interferenzspektrums sowie die ihnen jeweils zugeordneten Wellenlängen ermittelt werden und
- (c) hieraus in Verbindung mit bekannten Größen die Filmdicke errechnet wird,
dadurch gekennzeichnet, daß
- (d) als Licht IR-Licht verwendet wird,
- (e) die Intensität des von einem Bezugsfilm bekannter Dicke durchgelassenen bzw. reflektierten Lichts zeitlich nacheinander für eine Folge von verschiedenen Wellenlängen des IR-Lichts gemessen wird und die Meßwerte unter aufeinanderfolgenden Speicheradressen in einem ersten Speicherbereich eines Speichers gespeichert werde, so daß jeder Speicheradresse eine bestimmte Wellenlänge zugeordnet ist,
- (a1) beim Schritt (a) die Intensität des von dem zu messenden Film durchgelassenen bzw. reflektierten Lichts für die verschiedenen Wellenlängen derselben Reihenfolge wie beim Schritt (e) gemessen wird und die Meßwerte unter den aufeinanderfolgenden Speicheradressen mit gleicher Zuordnung zu den Wellenlängen wie beim Schritt (e) in einem zweiten Speicherbereich des Speichers gespeichert werden,
- (b1) im Schritt (b) mittels einer elektronischen Rechenvorrichtung diejenigen Speicheradressen ermittelt werden, unter denen im Speicher Extremwerte der im Schritt (a1) gewonnenen Meßwerte gespeichert sind und
- (b2) die zu den ermittelten Extremwerten gehörigen Wellenlängen mittels der elektronischen Rechenvorrichtung anhand der Meßwerte im ersten Speicherbereich sowie der bekannten Dicke des Bezugsfilms errechnet werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß bei den Schritten (a) und (b) polychromatisches
Licht vor oder nach dem Durchlaufen des
Films nacheinander in die einzelnen monochromatischen
Bestandteile zerlegt wird.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß IR-Licht innerhalb eines
Wellenlängenbereichs von 0,8 bis 2,2 µm verwendet wird.
4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, 2 oder 3, umfassend
eine Lichtquelle zur Abgabe von Licht verschiedener Wellenlängen,
einen Detektor, der Licht von der Lichtquelle auffängt, das durch den Film gelaufen ist, und nacheinander für eine Reihe von Wellenlängen ein der jeweiligen Intensität des aufgefangenen Lichts entsprechendes Ausgangssignal erzeugt, und
eine elektronische Rechenvorrichtung zur Bestimmung der gesuchten Dicke auf der Basis dieser Intensitäten und der ihnen zugeordneten Wellenlängen, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtquelle (1) eine IR-Lichtquelle ist,
daß eine Spektraleinrichtung zum spektroskopischen Zerlegen des IR-Lichts vorhanden ist,
daß des IR-Lichts vorhanden ist,
daß dem Detektor (12) ein A/D-Umsetzer (26) nachgeschaltet ist, der die Ausgangssignale des Detektors in digitale Pegelwerte umsetzt,
daß ein erster Speicherbereich (29 a) zur Speicherung der für die Reihe von Wellenlängen von einem Bezugsfilm bekannter Dicke erhaltenen Pegelwerte unter aufeinanderfolgenden Speicheradressen vorhanden ist,
daß ein zweiter Speicherbereich (29 b) zur Speicherung der für die Reihe von Wellenlängen von dem zu messenden Film erhaltenen Pegelwerte unter den aufeinanderfolgenden Speicheradressen vorhanden ist,
daß eine Adressenermittlungseinrichtung (27) zur Bestimmung von Extremwerten der im zweiten Speicherbereich (29 b) gespeicherten Pegelwerte sowie der Speicheradressen, unter denen diese gespeichert sind, vorhanden ist, und
daß eine Wellenlängenbestimmungseinrichtung (27) zur Bestimmung der Wellenlängen, die den von der Adressenermittlungseinrichtung ermittelten Speicheradressen zugeordnet sind, anhand der im ersten Speicherbereich (29 a) gespeicherten Pegelwerte und bekannter Größen des Bezugsfilms, vorhanden ist.
eine Lichtquelle zur Abgabe von Licht verschiedener Wellenlängen,
einen Detektor, der Licht von der Lichtquelle auffängt, das durch den Film gelaufen ist, und nacheinander für eine Reihe von Wellenlängen ein der jeweiligen Intensität des aufgefangenen Lichts entsprechendes Ausgangssignal erzeugt, und
eine elektronische Rechenvorrichtung zur Bestimmung der gesuchten Dicke auf der Basis dieser Intensitäten und der ihnen zugeordneten Wellenlängen, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtquelle (1) eine IR-Lichtquelle ist,
daß eine Spektraleinrichtung zum spektroskopischen Zerlegen des IR-Lichts vorhanden ist,
daß des IR-Lichts vorhanden ist,
daß dem Detektor (12) ein A/D-Umsetzer (26) nachgeschaltet ist, der die Ausgangssignale des Detektors in digitale Pegelwerte umsetzt,
daß ein erster Speicherbereich (29 a) zur Speicherung der für die Reihe von Wellenlängen von einem Bezugsfilm bekannter Dicke erhaltenen Pegelwerte unter aufeinanderfolgenden Speicheradressen vorhanden ist,
daß ein zweiter Speicherbereich (29 b) zur Speicherung der für die Reihe von Wellenlängen von dem zu messenden Film erhaltenen Pegelwerte unter den aufeinanderfolgenden Speicheradressen vorhanden ist,
daß eine Adressenermittlungseinrichtung (27) zur Bestimmung von Extremwerten der im zweiten Speicherbereich (29 b) gespeicherten Pegelwerte sowie der Speicheradressen, unter denen diese gespeichert sind, vorhanden ist, und
daß eine Wellenlängenbestimmungseinrichtung (27) zur Bestimmung der Wellenlängen, die den von der Adressenermittlungseinrichtung ermittelten Speicheradressen zugeordnet sind, anhand der im ersten Speicherbereich (29 a) gespeicherten Pegelwerte und bekannter Größen des Bezugsfilms, vorhanden ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, gekennzeichnet
durch eine Einrichtung (Tripelspiegel 6), mittels
derer das IR-Licht zweifach an derselben Stelle durch den
Film (5) sendbar ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die Einrichtung (Tripelspiegel 6)
eine Reflektoreinrichtung ist, die auf der der Lichtquelle
(1) entgegengesetzten Seite des Films (5) angeordnet ist,
und das einfallende Licht in die Einfallrichtung reflektiert.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die Reflektoreinrichtung ein Tripelspiegel
(6) ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß der Beginn der Rechenoperation
durch die Adressenermittlungseinrichtung und die
Wellenlängenbestimmungseinrichtung mit dem Betrieb der
Spektraleinrichtung (Abtasteinrichtung 17) synchronisiert
ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß die Adressenermittlungseinrichtung
und die Wellenlängenbestimmungseinrichtung
von einem Mikrocomputer (27) gebildet sind.
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE2935716A1 DE2935716A1 (de) | 1980-03-06 |
DE2935716C2 true DE2935716C2 (de) | 1987-07-09 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19792935716 Granted DE2935716A1 (de) | 1978-09-04 | 1979-09-04 | Verfahren und vorrichtung zum messen der dicke eines films durch ausnutzung von infrarot-interferenzerscheinungen |
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Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6134167Y2 (de) * | 1981-02-12 | 1986-10-06 | ||
JPS57150001U (de) * | 1981-03-17 | 1982-09-20 | ||
JPS57157105A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-28 | Kokusai Electric Co Ltd | Device for measuring thickness of thin film |
DE3135443A1 (de) * | 1981-09-08 | 1983-03-24 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren und fotometrische anordnung zur dickenmessung und -steuerung optisch wirksamer schichten |
JPS5879401U (ja) * | 1981-11-25 | 1983-05-28 | 本田技研工業株式会社 | 車両用ホイ−ル |
JPS58115306A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-09 | Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd | 塗膜厚連続測定装置 |
US4522510A (en) * | 1982-07-26 | 1985-06-11 | Therma-Wave, Inc. | Thin film thickness measurement with thermal waves |
JPS6037226A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-02-26 | Hitachi Ltd | 二部材の結合方法 |
JPS60127403A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-08 | Anritsu Corp | 厚み測定装置 |
DE3373341D1 (en) * | 1983-12-27 | 1987-10-08 | Ibm Deutschland | White-light interferometer |
JPS61217705A (ja) * | 1985-03-22 | 1986-09-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 膜厚測定装置 |
US4958930A (en) * | 1985-12-11 | 1990-09-25 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Apparatus for monitoring thickness variations in a film web |
JPH0617774B2 (ja) * | 1987-06-22 | 1994-03-09 | 大日本スクリ−ン製造株式会社 | 微小高低差測定装置 |
DE3728704A1 (de) * | 1987-08-28 | 1989-03-09 | Agfa Gevaert Ag | Vorrichtung zur bestimmung der dicke von schichttraegern |
DE3728705A1 (de) * | 1987-08-28 | 1989-03-09 | Agfa Gevaert Ag | Vorrichtung zur ueberpruefung von beschichteten und unbeschichteten folien |
DE3939876A1 (de) * | 1989-12-01 | 1991-06-06 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen |
DE3939877A1 (de) * | 1989-12-01 | 1991-06-06 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen |
JPH03285106A (ja) * | 1990-03-31 | 1991-12-16 | Photonics:Kk | 表面検査装置 |
US5333049A (en) * | 1991-12-06 | 1994-07-26 | Hughes Aircraft Company | Apparatus and method for interferometrically measuring the thickness of thin films using full aperture irradiation |
US5291269A (en) * | 1991-12-06 | 1994-03-01 | Hughes Aircraft Company | Apparatus and method for performing thin film layer thickness metrology on a thin film layer having shape deformations and local slope variations |
US5293214A (en) * | 1991-12-06 | 1994-03-08 | Hughes Aircraft Company | Apparatus and method for performing thin film layer thickness metrology by deforming a thin film layer into a reflective condenser |
US5290586A (en) * | 1992-09-10 | 1994-03-01 | International Business Machines Corporation | Method to monitor Meta-Paete cure on metallized substrates |
US5406090A (en) * | 1993-02-22 | 1995-04-11 | Mattson Instruments, Inc. | Spectrometer and IR source therefor |
US5452953A (en) * | 1993-10-12 | 1995-09-26 | Hughes Aircraft Company | Film thickness measurement of structures containing a scattering surface |
FR2716531B1 (fr) * | 1994-02-18 | 1996-05-03 | Saint Gobain Cinematique Contr | Procédé de mesure d'épaisseur d'un matériau transparent. |
DE19601923C1 (de) * | 1996-01-12 | 1997-07-24 | Inst Chemo Biosensorik | Verfahren und Vorrichtung zum Erkennen organischer Substanzen |
US5752607A (en) * | 1996-03-18 | 1998-05-19 | Moen Incorporated | Process for distinguishing plumbing parts by the coatings applied thereto |
KR20000016177A (ko) * | 1996-05-31 | 2000-03-25 | 브룬닝 존 에이치. | 반도체 웨이퍼의 두께 변화를 측정하는 간섭계 |
US6034774A (en) * | 1998-06-26 | 2000-03-07 | Eastman Kodak Company | Method for determining the retardation of a material using non-coherent light interferometery |
FR2780778B3 (fr) | 1998-07-03 | 2000-08-11 | Saint Gobain Vitrage | Procede et dispositif pour la mesure de l'epaisseur d'un materiau transparent |
US6470294B1 (en) * | 1999-04-13 | 2002-10-22 | Qualitek-Vib, Inc. | System and method for the on-line measurement of glue application rate on a corrugator |
GB0611156D0 (en) * | 2006-06-07 | 2006-07-19 | Qinetiq Ltd | Optical inspection |
JP5009709B2 (ja) * | 2007-07-20 | 2012-08-22 | 富士フイルム株式会社 | 厚み測定用光干渉測定装置 |
US9581433B2 (en) | 2013-12-11 | 2017-02-28 | Honeywell Asca Inc. | Caliper sensor and method using mid-infrared interferometry |
DE102015007054A1 (de) | 2015-06-02 | 2016-12-08 | Thomas Huth-Fehre | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke von dünnen organischen Schichten |
DE102015118069B4 (de) * | 2015-10-22 | 2017-08-31 | Precitec Optronik Gmbh | Messvorrichtung und Verfahren zur Messung der Dicke einer flächigen Probe |
CN108050947A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-05-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种膜层厚度的检测方法 |
WO2020128593A1 (en) * | 2018-12-20 | 2020-06-25 | Arcelormittal | Measure of the degree of crystallinity of a polymer coating on a metal substrate |
JP7230540B2 (ja) * | 2019-01-31 | 2023-03-01 | セイコーエプソン株式会社 | 分光システム |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1147406B (de) * | 1956-02-10 | 1963-04-18 | Siemens Ag | Verfahren und Einrichtung zur Messung von Dicke und Brechungsindex duenner, schwach absorbierender Schichten |
US3238839A (en) * | 1962-03-29 | 1966-03-08 | Gen Electric | Optical thickness gauge |
US3601492A (en) * | 1967-11-20 | 1971-08-24 | Monsanto Co | Apparatus for measuring film thickness |
US3631526A (en) * | 1969-11-05 | 1971-12-28 | Brun Sensor Systems Inc | Apparatus and methods for eliminating interference effect errors in dual-beam infrared measurements |
US3693025A (en) * | 1969-11-28 | 1972-09-19 | Brun Sensor Systems Inc | Apparatus and method for eliminating interference errors in dual-beam infrared reflection measurements on a diffusely reflecting surface by geometrical elimination of interference-producing specularly-reflected radiation components |
GB1382081A (en) * | 1972-03-14 | 1975-01-29 | Ici Ltd | Transmission spectra |
US3824017A (en) * | 1973-03-26 | 1974-07-16 | Ibm | Method of determining the thickness of contiguous thin films on a substrate |
US3973122A (en) * | 1974-06-17 | 1976-08-03 | Ixcon Inc. | Measuring apparatus |
US4027161A (en) * | 1976-04-05 | 1977-05-31 | Industrial Nucleonics Corporation | Minimizing wave interference effects on the measurement of thin films having specular surfaces using infrared radiation |
-
1978
- 1978-09-04 JP JP10754778A patent/JPS5535214A/ja active Pending
-
1979
- 1979-08-23 GB GB7929457A patent/GB2033079B/en not_active Expired
- 1979-08-29 US US06/070,555 patent/US4254337A/en not_active Expired - Lifetime
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US4254337A (en) | 1981-03-03 |
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GB2033079A (en) | 1980-05-14 |
FR2435019B1 (de) | 1984-02-24 |
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