DE2129928A1

DE2129928A1 - Aufzeichnungsmaterialien fuer Elektronenstrahlen

Info

Publication number: DE2129928A1
Application number: DE19712129928
Authority: DE
Inventors: Yoshihide Hayakawa; Satoru Honjo; Seiji Matsumoto; Masamichi Sato
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1970-06-18
Filing date: 1971-06-16
Publication date: 1971-12-23
Also published as: US3689768A; CA969797A; GB1333902A; FR2099111A5

Description

DR. E. WIEGAND DIPL-ING. W. NIEMANN 2129928

DR. M. KÖHLER DIPL-ING. C. GERNHARDT

MÜNCHEN HAMBURG

TELEFON: 55547i 8000 MD NCH EN 15,

TELEGRAMME:KARPATENT NUSSBAUMSTRASSEIO

16, Juni 1971

W 40541/71 - Ko/DE

Fuji Photo Film Co., Ltd. Ashigara-Kamigun, Kanagawa / Japan

Aufzeichnungsmaterialien für Elektronenstrahlen

Die Erfindung befaßt sich mit verbesserten Aufzeich-

nungsmaterialien für Elektronenstrahlen.

Bei der Aufzeichnung von Elektronenstrahlen wird ein modulierter Elektronenstrahl auf ein Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen im Vakuum zur Bildung eines latenten Bildes geführt und dann das latente Bild in geeigneter Weise zur Ausbildung des Bildes entwickele.

In den Figuren 1 und 2 sind Querschnitte von Aufzeichnungsrnaterialien für Elektronentrahlen gemäß der Erfindung wiedergegeben.

Beispielsweise sqhlägt ein Elektronenstrahl auf eine Silborhalogenideniulsionsschicht unter Bildung eines chemisch latenten Bildes auf und dann wird da^fj Aufzeichnungsmaterial in Luft abgelernten und kommt in Berührung mit einer chemischen Entwioklungslö3ung zur Durchführung der Entwicklung

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des latenten Bildes.

Im allgemeinen haben die zur Elektronenstrahlaufzeichnung verwendeten Elektronen eine weit größere Energie als die Photonen des sichtbaren Lichtes und der Ultraviolettstrahlen, so daß Aufzeichnungsmaterialien mit einer geringeren Empfindlichkeit verwendet werden können. Die bisher verwendeten Aufzeichnungsmaterialien für Elektronenstrahlen haben im allgemeinen deshalb eine niedrige Empfindlichkeit gegenüber sichtbarem Licht oder Ultraviolettstrahlen. Da jedoch· die Handhabung derartiger Aufzeichnungsmaterialien unter Raumlicht eine intensive Nebelbildung ergibt, rnüs-" sen die Aufzeichnungsmaterialien in einem Dunkelraum oder unter abgedunkeltem Licht gehandhabt werden·.. Deshalb haben die Aufzeichnungsmaterialien für Elektronenstrahlen Schwierigkeiten bei der Handhabung, so daß die Bestrahlung mit dem Elektronenstrahl im Dunkeln oder unter einem Sicherheitslicht ausgeführt werden muß.

Obwohl die Aufzeichnung mit Elektronenstrahlen die Vorteile hat, daß die Rastergeschwindigkeit hoch ist und eine

sie hohe Aufzeichnungsdichte erhalten werden kann, zeigt Vanderer-

seits den !Fehler, daß das folgende Strahlelektron durch die elektrostatische Ladung aufgrund des Strahles, der vorhergehend die Aufzeichnungsschicht erreicht hat, abgewiesen und } abgebeugt wird. Durch diese unerwünschte Abbeugung des Elektronenstrahles wird die Auflösung des aufgezeichneten Bildes verringert.

Eine Aufgabe der Erfindung besteht deshalb in einem verbesserten Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen, wodurch das Auftreten der vorstehend aufgeführten unerwünschten Abbeugung des Elektronenstrahls vermieden werden kann. Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht in einem verbesserten Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen, das sicher in

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einem hellen Raum gehandhabt werden kann.

Die Erfindung wird anhand der beiliegenden Zeichnungen weiter erläutert, worin

Pig. 1 einen Querschnitt einer Ausführungsform eines Aufzeichnungsmaterials für Elektronenstrahlen gemäß der Erfindung und

Fig. 2 einen Querschnitt einer weiteren Ausführungsform des Elektronenstrahlaufzeichnungsmaterials gemäß der Erfindung

zeigen.

Wie sich aus den Zeichnungen ergibt, hat das Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen gemäß der Erfindung einen Träger 13 mit einer darauf befindlichen Aufzeichnungsschicht 12, die lichtempfindlich ist und ein latentes Bild bei Berührung mit einem Elektronenstrahl bilden kann, eine opake Schicht 11 und eine dünne Metallschicht 10, die durch Vakuumabscheidung ausgebildet ist. Eine opake Schicht 14 ist auch an der Rückseite des Trägers 13 ausgebildet.

Als Materialien für den Träger 13 können Triacetylcellulose, Polyvinylchlorid, Polyvinylidenchlorid, Polyäthylenterephthalat, Polyäthylen, Polycarbonat und dergleichen gemäß der Erfindung eingesetzt werden.

Sämtliche gewöhnlich auf diesem Fachgebiet eingesetzten Aufzeichnungsschichten können als Aufzeichnungsschicht 12 verwendet werden, d. h. Materialien, welche.lichtempfindlich sind und welche ein latentes Bild boiiü Auftreffen von Elektronen-Strahlen bilden, können als Aufzeichnungsschicht 12 verwendet werden und al3 derartige lichtempfindliche Materialien werden Gelai-ine-Sirberhalogenidemulsionen und im Vakuum abgeschiedene lichtempfindliche Silberhalogenidschichten umfaßt.

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Die opake Schicht 11 ist auf der Aufzeichnungsschicht

12 ausgebildet. Mit dem Ausdruck "opak" der opaken Schicht 11 wird bezeichnet, daß die Schicht gegen Licht im lichtempfindlichen Bereich der Aufzeichnungsschicht 12 opak ist.

Die opake Schicht 14 wird auf der Rückseite des Trägers

13 gebildet. Die opake Schicht 14 ist auch gegenüber Licht im lichtempfindlichen Boreich der Aufzeichnungsschicht 12 wie die opake Schicht 11 opak.

Die dünne Metallschicht 10 wird auf der opaken Schicht

11 durch Vakuumabscheidung ausgebildet.. Pur den dünnen Metallfilm 10 ist es erforderlich, daß er elektrisch leitend

»ist und vorzugsweise hat er einen spezifischen Volumenwiderstand von weniger als ΙΟ^λοΐη und ist elektronendurchlässig. Praktische Beispiele für als dünne Metallfilme 10 verwendbare Metalle sind Aluminium, Zink, Beryllium, Chrom, Kobalt, Kupfer, Germanium, Gold, Bisen, Blei, Nickel, Silber, Zinn, Titan und ähnliche Materialien. Da durch eine zu geringe Stärke des Metallfilmes 10 die elektrische Leitfähigkeit der Metallschicht verringert wird, während durch eine zu starke Dicke derselben die Elektronendurchlässigkeit verringert wird, wodurch sich der praktische Gebrauch derartiger Metallschichten als ungeeignet ergibt, liegt die Stärke der dünnen Metallschicht 10 gewöhnlich in einem Bereich von 50 S bis

^ 10 000 S, vorzugsweise von 100 & bis 1000 Ä.

* Es ist erforderlich, daß die opake Schicht 11 gegenüber Licht im lichtempfindlichen Bereich der Aufzeichnungsschicht

12 opak ist und es ist am günstigsten, daß die Schicht 11 schwarz ist. Falls jedoch der lichtempfindliche Boroich der Aufzeichnungsschicht 12 im blauen Bereich oder im Ultraviolettbereich liegt, ist die Aufzeichnungsschicht gegenüber Rotlich unempfindlich und deshalb ist die l^?arbe der opaken Schicht 11 nicht notwendigerweise schwarz, sondern kann auch rot bi3 gelb sein. Die opake Schicht; 11 muß auch für Elektronen durchlässig sein. Allgemein ausgedrückt, wird pin Gemisch

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eines gefärbten Pigmentes und eines Polymeren oder eines durch einen Farbstoff gefärbten Polymeren als Material für die opake ,Schicht 11 verwendet. Von dem Gesichtspunkt, daß die Elektronen gut durchdringen und nur in einem geringen Ausmaß gestreut werden, ist es am günstigsten, einen Farbstoff und kein Pigment anzuwenden. Praktische Beispiele von für diesen Zweck verwendeten Pigmenten umfassen Ruß, Graphit, Phthalocyaninschwars, Anilinschwarz, Toluidinrot, Eisenoxydschwarz, Erilliantcarmin 6B, Hansagelb, Benzidingelb, Chromgelb und andere verschiede ähnliche Pigmente. Beispiele für mit dem Pigment zu vermischende Polymere sind Acrylpolymere, Polyvinylacetat, Siliconharze, Alkydharze, Polystyrol, Styrol-Butadien-Copolymere, Vinylchlorid-Vinylacetat-Copolymere, Nitrocellulose, Äthylcellulose, Polyvinylalkohol, Gelatine, Leim, Kasein, Eialbumi.n und verschiedene andere oleophile und hydrophile Polymere.

Als Beispiele für mit dem Polymeren zu verwendende Farbstoffe können zahlreiche hydrophilen und oleophilen Farbstoffe angegeben v/erden. Für die Praxis geeignete Beispiele von hydrophilen Farbstoffen sind die verschiedenen Magen tafarbstoffe und Gelb farbstoffe, wie Säurerot 6 (CI. 14680), Säureviolett 2 (CI. 18055), Säureviolett 9 (CI. 45190), Säureviolett 12 (CI. 16075), Säureviolett 19 (CI. 42685), Säurerot 34 (C I. 17030), Säurerot 80 (CI. 68215), Säuregelb 11 (CI. 18820), Säuregelb 23 (C.I. 19740), Säuregelb 34 (CI. 18890), Direktgelb 12 (CI. 24895), Säureorange 3 (CI. 10385), Beizgelb 1 (CI. 14025), Beizgelb 14 (CI. MO55), Beizviolett 19 (Ci. 43551) und Beizviolett 4 (CI. 14760).

Einige für die Praxis geeignete Beispiele für oleophile Farbstoffe sind ö] ro t .(CI. 12140), Ölrot B (CI. 26105), Ölgelb AB (CI. 11380), Nigroniriba3e (CI. 50415), Ölechwarz Bl¹ (CI. 26150). Weiterhin wird Solvent Black 18, ein Bei-

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spiel für technisch verfügbare Farbstoffe dieser Art ist Grasol Past Black G- der Geigy AG, gleichfalls bevorzugt werden, obwohl die Farbindexe und die chemischen Strukturen dieses Farbstoffes bis jetzt nicht geklärt sind.

Die Stärke der opaken Schicht 11 beträgt 0,2 bis 5 Mikron, vorzugsweise 0,2 bi3 2 Mikron. Es ist auch notwendig, daß die Durchlässigkeit der opaken Schicht 11 weniger als 10 fo, vorzugsweise weniger als 1 fo gegenüber blauen Licht oder Ultraviolettstrahlen beträgt. Fall3 die Durchlässigkeit der Schicht weniger als 0,1 % beträgt, kann das Aufzeichnungsmaterial in einem hellen Raum während eines langen Zeitraumes gehandhabt werden.

Es ist nicht unbedingt notwendig, daß die opake Schicht 14 für Elektronen durchlässig ist, da die Schicht 14 ausgebildet wird, um die Aufzeichnungsschicht gegenüber Licht opak zu machen. Deshalb ist es möglich, daß eine große Menge an Pigment in der opaken Schicht enthalten ist, um die Durchlässigkeit für Licht ausreichend zu verringern. Die Stärke der opaken Schicht beträgt 1 Mikron bis 10 Mikron oder kann dicker sein. Die Lichtdurchlässigkeit der opaken Schicht 14 kann leicht auf einen ¥ert weniger als 0,01 % verringert v/erden.

Zur Herstellung des Aufzeichnungsmaterials gemäß der Er- f findung wird zunächst die opake Schicht 14 auf der schwarzen Rückseite des Trägers ausgebildet und dann wird die Aufzeichnungsschicht 12 auf der entgegengesetzten Seite des Trägern gebildet. Dann wird die opake Schicht 11 auf der Aufzeichnungsschicht ausgebildet und schließlich v/ird die dünne Metallschicht 10 auf der opaken Schicht 11 gebildet. Selbstverständlich kennen die Aufzeichnungsmaterialien auch in anderer Weise hergestellt werden.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß ein Metall rait einer hohen Aufdampfungatemperatur, wie Silber, Gold, Eisen, Aluminium, Kupfer, Wickel, Chrom und dergleichen als mterial für die dünne Kotallschicht verwendet

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werden kann. Falls die opake Schicht 11 fehlt, wird die Aufzeichnungsschicht an das bei der Vakuumabscheidung des Metalles emittierte Licht, wo das Metall auf eine ausreichend hohe Temperatur zur Vakuumabscheidung erhitzt wird, ausgesetzt, so daß die Aufzeichnungsschicht einheitlich mit einem Nebel versehen wird. Die Yakuumabscheidung des Metalles kann auch unmittelbar vor der Aufzeichnung des Elektronenstrahls durchgeführt werden, indem ein übliches Vakuumsystem für die Aufzeichnung angewandt wird.

Auch Asphalt oder Teer können als opake Schichten und 14 verwendet werden.

Während ein Merkmal der Erfindung darin liegt, daß das Aufzeidmungsmaterial leicht in einem hellen Raum gehandhabt werden kann, ist die optische transparente Dichte der opaken Schicht 11 oder 14 günstigerweise höher als 2 gegenüber dem licht, bei dem die darunterliegende lichtempfindliche Schicht die maximale Empfindlichkeit zeigt.

Obwohl bei der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform der Erfindung die opaken Schichten lediglich auf der Aufzeichnungsschicht und der Rückseite des Trägers gebildet sind, können die opaken Schichten auch auf den Seiten der Aufzeichnungsschicht und des Trägers zur Verhinderung des Eintrittes von licht von den Seiten der Aufzeichnungsschicht und des Trägers vorhanden sein. Das Aufzeichnungsmaterial gemäß der Erfindung kann auch die in Fig. 1 gezeigte Struktur besitzen, bei der beide Seiten der Aufzeichnungsschicht 12 durch die opake Schicht 11 abgedeckt sind.

Bei der Anwendung des Aufzeichnungsmaterials gemäß der Erfindung wird das latente Bild zunächst auf der Aufzeichnungsschicht durch die Einwirkung des Elektronenstrahles im Vakuum gebildet und dann wird nach der Abnahme des Aufzeichnungsmateri.als in luft die Aufzeichnungsschicht einer EntwicklungenGhandlung unterworfen. Vor der Entwicklungsbehandlung können der dünne Ketallfilin 10, die opake Schicht

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und die opake Rückseitenschicht 14 weggelöst werden. Andererseits können diese Schichten auch während der Entwicklung weggelöst werden. Im Fall der Ablesung mittels eines Elektronenstrahls ist es am günstigsten, wenn der dünne Metallfilm 10 nicht entfernt wird.

Falls der dünne Metallfilm 10 aus einem basischeren Metall als Silber gebildet wird, trägt die opake Schicht auch als Schutzschicht bei, um eine Reduktion des Silberhalogenids in der lichtempfindlichen Schicht zu Silber durch Wechselwirkung mit dem Metall in dem Film 10 zu verhindern. Wenn ein edleres Metall als Silber verwendet wird, treten keine Störungen hinsichtlich der Reduktion des SiI-berhalogenids auf.

Wie vorstehend angegeben, wird die Anv/endung eines Farbstoffes stärker bevorzugt als die Anwendung eines Pigmentes in der opaken Schicht 11, da die Streuung des Elektronenstrahles im Fall der Anwendung des Farbstoffes geringer ist.

Es ist auch günstig, wenn die opake Schicht an der Rückseite des Trägers entfernt werden kann, da das gebildete Bild durch das hindurchgehende Licht bei der Wiedergabe des Bildes abgelesen oder beobachtet werden kann. Im Fall der Wiedergabe des Bildes durch Abtasten des Bildes mit einem Elektronenstrahl kann der Träger nicht-lichtdurchlässig sein und für diesen Zweck kann ein opaker Träger verwendet werden. Auch kann die opake Schicht selbst entfernt werden oder der Farbstoff in der opaken Schicht kann während der Behandlung ausgebleicht werden.

Beispiel 1

Eine Seite eines Polyäthylenterephthalatf.times mit einer Stärke von 75 Mikron, dessen beide Oberflächen mit Ultraviolettstrahlen bestrahlt worden', waren, wurde mit einem Gemisclj aus Nitrocellulose und Puß der folgenden

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Zusammensetzung zu einer Trockenstärke von 5 Mikron tiberzogen:

Gew.-Teile

Ruß (mittlere Korngröße 0,1 Mikron) 50 Teile

Nitrocellulose 20 Teile

Äthanol 80 Teile

Butylacetat 20 Teile

Das vorstehende Gemisch wurde während 20 Stunden in einer Kugelmühle vor dem Aufziehen verknetet.

Dann wurde die gegenüberstehende Oberfläche des Filmes mit einer feinkörnigen Gelatine-Silberchlorbromid-Emulsion zu einer Trockenstärke von 5 Mikron als Aufzeichnungsschicht überzogen. Anschließend wurde ein mit einem schwarzen Farbstoff gefärbtes Polyvinylacetat auf die Aufzeichnungsschicht zu einer Trockenstärke von 0,6 Mikron aufgetragen. Die Überzugsflüssigkeit für die vorstehend verv/endete Polyvinylacetatschicht hatte die folgende Zusammensetzung:

Schwarzer Farbstoff Grasol Fast Black G (Produkt der Geigy AG) 10 Teile

Polyvinylacetat 50 Teile

Methanol 200 Teile

Dann wurde Aluminium im Vakuum auf der vorstehend gebildeten opaken Schicht zu einer Stärke von 400 Ä unter den Bedingungen von 1000⁰C Vakuumabscheidungstemperatur und 5 r- 10 ^ min Hg Druck abgeschieden.

Unter Anwendung des auf vorstehende Weise hergestellten Aufzeichnungsmaterials wurde ein latentes Bild mittels einor Elektronen3trahlaufzeichnungsvorrichtung unter den folgenden Bedingungen ausgebildet:

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Strahlspannung 15 EV

Strahlstromstärke 5/U Amp.

Strahldurchmesser 5 Mikron

Strahlverweilzeit 10 Sek.

Druck 10 mm Hg.

Das Aufzeichnungsmaterial mit dem darauf ausgebildeten latenten Bild wurc.3 aus dem Aufzeichnungssystem in Luft abgenommen und der folgenden Behandlung unterworfen. Das Aufzeichnungsmaterial wurde dazu zunächst in. Me-

^ thanol während 2 Minuten zur Ablösung der schwarzen PoIyvinylacetatschicht und zur gleichzeitigen Entfernung des dünnen Metallfilmes eingetaucht. Dann wurde das Aufzeichnungsmaterial mit frischem Methanol während 10 Sekunden gespült und dann mit Wasser während etwa 30 Sekunden gewaschen. Anschließend wurde das Aufzeichnungsmaterial in eine Entwicklerlösung während 90 Sekunden eingetaucht. Die Lösung war durch Auflösen der vorgemischten Entwieklungsmasse Papitol (Bezeichnung der Puji Photo Film Co.) in Wasser hergestellt worden. Nach der Entwicklung wurde erneut in eine 1 $-ige wässrige Essigsäurelösung während einer Minute eingetaucht und dann mit einer Fixierlösung_f die durch Auflösung der vorgemischten Fixiermasse -Fuji Fix

f (Bezeichnung der Fuji Photo Film Co.) hergestellt worden war, in Wasser während 3 Minuten fixiert. Nach der Fixierung wurde das Aufzeichnungsmaterial mit Wasser während Minuten gewaschen und dann getrocknet. Schließlich wurde das Aufzeichnungsmaterial in Butylacetat während 2 Minuten zum Weglösen der rußhaltigen schwarzen Schicht eingetaucht, mit frischem Butylacetat gewaschen und dann getrocknet, so daß ein klares Bild erhalten wurde.

Wenn eine opake Schicht mit der gleichen Zusammensetzung wie die auf der Silberhalogenidemulsionssehicht beim vorstehenden Verfahren gebildete farbstoffhaltige Schicht als Eücicseitonschicht anstelle der rußhaltigen

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Rückseitenschicht aufgetragen wurde, konnten beide opaken
Schichten bei der ersten Auflösungsbehandlung weggelöst
werden.

Beispiel 2

Ein Aufzeichnungsmaterial wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 hergestellt, jedoch folgende Bedingungen angewandt:

Die opake Schicht 11 wurde durch Auftragung einer Überzugsflüssigkeit mit folgender Zusammensetzung zu einer Trokkenstärke von 1 Mikron ausgebildet.

Polyvinylalkohol 50 Teile

Farbstoffe Säuregelb 34 (CI. 18890) 2 Teile

Säurerot 80 (CI. 68215) 3 Teile

Lösungsmittel Wasser " 150 Teile

Die opake Schicht 14 wurde durch Auftragung der gleichen Überzugsflüssigkeit wie vorstehend zu einer Trockenstärke von 2 Mikron ausgebildet.

Der dünne Metallfilm 10 wurde durch Vakuumabscheidung von Kupfer zu einer Stärke von 400 S. unter den Bedingungen einer Vakuumabdampfungstemperatür von 1300⁰C und 10 mm Hg Druck ausgebildet.

Nach der Ausbildung eines latenten Bildes durch Behandlung des erhaltenen Aufzeichnungsmaterials wie in Beispiel 1 wurde das Aufzeichnungsmaterial in Wasser während
etwa 2 Minuten vor der Entwicklung zur Ablösung der opaken Schichten eingetaucht, der gleichen Entwicklungsbehandlung und Fixierbehandlung wie in Beispiel 1 unterworfen und getrocknet und ein klares Bild erhalten.

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Beispiel 3

Die opake Schicht 11 wurde durch Auftragung einer Überzugsflüssigkeit der folgenden Zusammensetzung, die einverleibt ein Härtungsmittel enthielt, zu einer Trockenstarke von 1,2 Mikron ausgebildet:

Gelatine 10 Teile

^ Farbstoff Säurerot 1 (CI. 18050) 2 Teile

Wasser 200 Teile

Die dünne Metallschicht wurde Vakuumabscheidung von Zink auf der opaken Schicht 11 in einer Stärke von 800 S unter den Bedingungen einer Vakuumabscheidungstemperatur von 300⁰C und 2 χ 10"⁴" mm Hg Druck ausgebildet.

Die opake schwarze Schicht 14 wurde durch Auftragung einer Überzugsflüssigkeit der folgenden Zusammensetzung zu einer Trockenstärke von 3 Mikron ausgebildet:

Polyvinylacetat 50 Teile

Ruß (mittlere Korngröße 0,1 /u) 15 Teile Methanol 200 Teile

Nach der Ausbildung eines latenten Bildes in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 wurde das erhaltene Aufzeichnungsmaterial mit einer wässrigen 50 $-igen Essigsäurelösung zum Weglösen des Zinks behandelt, mit Wasser gewaschen und der Entwicklungsbehandlung und Pixierbehandlung wie in Beispiel 1 unterworfen. Der Farbstoff in der opaken Schicht wurde vollständig bei der vorstobenden Stufe der Auflösung der Metallschicht und der Wasserwaschstufe aufgelöst. Schlief.?-

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lieh wurde die rußhaltige Schicht an der Rückseite des Trägers durch Methanol gelöst, mit Wasser gewaschen und getrocknet.

Beispiel 4

Ein Aufzeichnungsmaterial wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 hergestellt, jedoch die folgenden Bedingungen angewandt:

Die opake Schicht 11 wurde durch Auftragung einer Überzugsflüssigkeit mit der folgenden Zusammensetzung zu einer Trockenstärke von 1,2 Mikron hergestellt:

Vinylacetat-Maleinsäureanhydrid-Copolymeres 20 Teile

Farbstoffe Ölrot B (CI. 26105) 4 Teile

ölschwarz BT (CI. 26150) 2 Teile

lösungsmittel Aceton 200 Teile

Dioxan 50 Teile

Der dünne Metallfilm wurde auf der opaken Schicht 11 durch Vakuumabscheidung von Aluminium zu einer Stärke von 500 Ä unter den gleichen Bedingungen wie in Beispiel 1 ausgebildet. Die opake schwarze Schicht 14 wurde durch Auftragung einer Überzugsflüssigkeit mit der gleichen Zusammensetzung wie die opake Schicht 11 zu einer Trockenstärke von 2 Mikron ausgebildet.

Nach der Bildung des latenten Bildeo wie in Beispiel 1 wurde das Aufzeichnungsmaterial während 2 Minuten unter Anwendung der Entwicklungsflüssigkeit mit der gleichen Zusammensetzung wie in Beispiel 1 entwickelt, wodurch die opaken Schichten in der Ent v/icklungslösung aufgelöst wurden und der Metallfilm _f?3eichzeitig abgestreift wurde. Dann wurde das Aufzoichnung-irngterial wie in Beispiel 1 fixiert, mit Wasser gewaschen un3 getrocknet.

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Beispiel 5

Das gleiche Verfahren wie in Beispiel 4 wurde angewandt, jedoch Ruß mit einer mittleren Korngröße von 0,1 Mikron anstelle des Farbstoffes in den opaken Schichten 11 und 14 verwendet. Da die Rußteilchen in der opaken Schicht 11 dispergiert waren, wurde die Klarheit des erhaltenen Bildes etwa.:? aufgrund der Streu/ung des Elektronenstrahles verringert.

Beispiel 6

Bei jedem der vorstehenden Beispiele wurden nun die opaken Schichten lediglich auf die obere Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht und die schwarze Oberfläche des Trägers aufgetragen, jedoch in einem derartigen Aufbau, daß die Kantenteile des Aufzeichnungsmaterials durch den Eintritt von Licht durch die Seiten des Trägers und der lichtempfindlichen Schicht vernebelt wurden. Wenn zur Überwindung dieser Schwierigkeiten die opake Schicht auch auf die Seiten des Trägers und der lichtempfindlichen Schicht gemäß diesem Beispiel aufgetragen wurden, wurde kein Nebel ausgebildet.

Beispiel 7

Pech wurde für die opaken Schichten verwendet. Bei dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 1 wurden die beiden opaken Schichten jeweils duroh Auftragung einer lösung von Pech zum Lin3enpolieren in Toluol zu einer Trockenstärke von 1,5 Mikron ausgebildet·. Ein dünner Film aus Aluminium wurde in der gleichen Weise wie in Beispiel 4 ausgebildet. Nach der Bildung eines latenten Bildes in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 wurden die opaken Schichten durch Toluol

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vor der Entwicklung weggelöst, wobei gleichzeitig der Aluminiumfilm abgestreift wurde. Nach der Wäsche mit Aceton und dann mit Wasser wurde das Aufzeichnungsmaterial wie in Beispiel 1 entwickelt und fixiert, mit Wasser gewaschen und getrocknet.

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Claims

Patentansprüche

1· Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen, bestehend aus einem Träger, einer auf dem Träger ausgebildeten lichtempfindlichen Silberhalogenidschicht» einer auf der lichtempfindlichen Silberhalogenidschicht ausgebildeten, opaken Schicht, wobei diese opake Schicht das Eindringen von licht im lichtempfindlichen Bereich der lichtempfindlichen Schicht verhindert und das Eindringen- des Elektronenstrahles ermöglicht, einer auf der opaken Schicht abgeschiedenen dünnen Metallschicht mit einer Stärke von 50 bis 10 000 S und einer auf der Rückseite des Trägers ausgebildeten opaken Schicht, wobei die auf der Rückseite des Trägers ausgebildete opake Schicht das Eindringen von Licht in den lichtempfindlichen Bereich der lichtempfindlichen Schicht verhindert.
2. Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen nach-Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger aus einer Kunststoffgrundlage besteht.
3. Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die auf der lichtempfindlichen Silberhalogenidschicht gebildete opake Schicht aus einem Gemisch eines Polymeren und eines Pigmentes oder eines Farbstoffes besteht.
4. Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die auf eier Rückseite des Trägers ausgebildete opake Schicht aus einem Gemisch eines Polymeren und eines Pigmentes oder eines !Farbstoffes besteht.
5· Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stärke der opaken Schicht auf der lichtempfindlichen Schicht 0,2 bis 5 Mikron und die Stärke der opaken Schicht auf der Rückseite des Trägers 1 bis 10 Mikron beträgt.

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6. Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen nach Anspruch 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der opaken Schichten aus Pech besteht.
7. Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Seiten der lichtempfindlichen Schicht durch die opake Schicht abgedeckt sind.
8. Aufzeichnungsmaterial für Elektronenstrahlen nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Seiten der lichtempfindlichen Schicht und des Trägers durch die opake Schicht abgedeckt sind.

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