DE2114555C3 - Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden von Schichten aus Niob, Vanadium, Molybdän oder Wolfram oder deren Legierungen - Google Patents
Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden von Schichten aus Niob, Vanadium, Molybdän oder Wolfram oder deren LegierungenInfo
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Description
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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum elektrolyt!- sehen Abscheiden von Schichten aus Niob, Vanadium,
Molybdän oder Wolfram oder deren Legierungen aus einem im wesentlichen aus Alkalifluoriden und wenigstens
einem Fluorid des abzuscheidenden Metalls bestehenden schmelzflüssigen Elektrolyten auf einer
Kathode in Gegenwart einer inerten Atmosphäre.
Die Metalle Niob. Vanadium, Molybdän, Wolfram und ihre Legierungen können bekanntlich aus einem im
wesentlichen aus Alkalifluoriden und wenigstens einem Fluorid des abzuscheidenden Metalles bestehenden
schmelzflüssigen Elektrolyten in Gegenwart einer inerten Atmosphäre als Schichten auf einer Kathode
abgeschieden werden. Als Alkalifluoride kommen dabei 6s
insbesondere Kalium-, Rubidium- und/oder Caesiumfluorid und Fluoride eines Elementes, das in der
elektrischen Spannungsreihe höher steht als das abzuscheidende Metall, wie Natriumfluorid und Lithwimfluorid,
in Frage (deutsche Patentschriften 12 26 311 und 12 30 233; Aufsatz von G.W. M e 1! ο r s
und S. Se nderof f in »Jpurpal of the
Electrochemical Society,s Band 112 L1965J, S. 266-272).
Die genannten Metalle werden dabei in einer Wertigkeitsstufe
abgeschieden, die niedriger ist^aIs die höchst >
mögliche Wertigkeit Bei Niob wird beispielsweise die
Wertigkeit im schmelzflOssigen Elektrolyten von 5 auf
einen Wert um etwa 4 herabgesetzt. Vanadium und Molybdän werden als etwa dreiwertige Ionen, Wolfram
mit einer Wertigkeit von etwa 4 abgeschieden.
Für die Abscheidung von Niob ist es ferner bekannt,
den frisch angesetzten schmelzflussigen Elektrolyten einige Zeit lang zu elektrolysleren, um verbliebene
Verunreinigungen zu entfernen und eine für eine
Abscheidung von dichten Niobschichten gunstige
Wertigkeit einzustellen.
Es hat sich aber m der Praxis gezeigt, daß
insbesondere bei der Abscheidung von Niob, aber auch
bei der Abscheidung von Vanadium, Molybdän oder Wolfram durch eine solche Behandlung des frisch
angesetzten Elektrolyten die Abscheidung von Schichten einwandfreier Qualität, insbesondere von Schichten
mit gleichmäßiger Dicke und mit glatter Oberfläche noch nicht gewährleistet ist. Vielmehr bilden sich in bzw.
auf der abgeschiedenen Schicht häufig pickelartige, meist annähernd halbkugel- oder kugelförmige Gebilde
dendritischer Struktur, die Durchmesser bis zu etwa 3 mm haben können und offenbar Einschlüsse aus
Fremdsubstanzen enthalten. Diese Gebilde wirken sich
für viele Anwendungen der abgeschiedenen Schichten sehr störend aus.
Insbesondere bei dünnen Niobschichten, die als Supraleiter für Wechsclstromanwendungen ausgenutzt
werden sollen und zu diesem Zwecke auf einer als Träger dienenden Kathode aus einem elektrisch gut
normallei'.enden Metall, wie Kupfer, abgeschieden werden, ist eine möglichst glatte, störungsfreie Oberfläehe
von großer Bedeutung. Rauhigkeiten in der Oberfläche solcher Schichten führen nämlich bei der
Verwendung der Schichten als Wechselstromsupraleiter, beispielsweise bei supraleitenden Hohlraumresonatoren,
zu erheblichen Verlusten. Auch bei der Abscheidung von dickeren Niobschichten, beispielsweise zur
Herstellung von Niobteilen durch Elektroforming, stören diese pickelartigen Gebilde erheblich, da sie zu
Elektrolyteinschlüssen führen. Diese Einschlüsse können bei einer Entgasungsglühung der von der Kathode
abgelösten Niobteile unerwünschte Gasausbrüche und eventuell ein teilweises Aufreißen der Nioboberfläche
verursachen. Ferner können sich in der Niobschicht durchgehende kapillare Kanäle bilden, so daß die
erzeugten Niobteile nicht vakuumdicht sind. Vakuumdichtigkeit und ein einwandfreies Verhalten der
Niobteile bei einer Entgasungsglühung sind insbesondere wiederum dann wichtig, wenn die Niobteile als
Supraleiter für Wechselstromanwendiingen. beispielsweise
als supraleitende Hohlraumresonatoren, verwendel
werden sollen. Auch bei der Abscheidung von Vanadium, Molybdän und Wolfram, beispielsweise zur
Bildung von Oberflächenschutz- oder Vergütungsschichten, ist die Pickelbildung natürlich störend.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Qualität der abgeschiedenen Schichten zu erhöhen und
insbesondere eine Abscheidung gleichmäßig glatter Schichten zu ermöglichen.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß
unmittelbar vor dem Eintauchen der Kathode in den schmelzflüssigen Elektrolyten eine Vorabscheidung auf
eine Hilfskathode vorgenommen und di-; Kathode erst nach Einstellung eines etwa konstanten Anodenpotentials
zur Hauptabscheidung in den schmelzflüssigen Elektrolyten eingetaucht
Durch diese einfache Maßnahme wird überraschenderweise eine Pickelbildung auf bzw. in der abgeschiedenen
Schicht praktisch völlig vermieden. Offenbar beruht die Pickelbildung im wesentlichen darauf, daß
nach der eingangs erwähnten Behandlung des frisch angesetzten Elektrolyten die für die Abscheidung
günstigste Wertigkeitsstufe nicht ohne weiteres aufrechtzuerhalten ist Das liegt vermutlich daran, daß mit
dem in der Abscheidungsvorrichtung enthaltenen Inertgas und infolge von Undichtigkeiten in der
Abscheidungsvorrichtung kleine Mengen von Sauerstoff zum schmelzflüssigen Elektrolyten geführt und von
diesem begierig aufgenommen werden. Ferner kann sich auch Sauerstoff störend auswirken, der bei der
Auflösung des Anodenmaterials, das in der Regel aus dem abzuscheidenden Metall besteht, aus diesem frei
wird.
Durch die erfindungsgemäße Maßnahme wird nun erreicht, daß unmittelbar vor jeder Abscheidung einer
Schicht auf einer Kathode im schmelzflüssigen Elektrolyten die für die Abscheidung günstigste Wertigkeit des
abzuscheidenden Metalles eingestellt wird. Die erforderliche Vorabscheidungsdauer ist abhängig von der
Elektrodengröße, der bei der Abscheidung angewandten Stromdichte, der Elektrolytmenge und dem
Elektrolytzustand. Sie wird in der Regel etwa 1 Stunde bis 20 Stunden betragen. Das Ende der nötigen
Vorabscheidungsdauer und damit die Einstellung des erwünschten Elektrolytzustandes wird dadurch angezeigt,
daß das Anodenpotential von einem zunächst höheren Wert auf einen annähernd konstanten Wert
absinkt. Erst nach Einstellen dieses konstanten Wertes wird dann die Kathode zur eigentlichen Abscheidung in
den schmelzflüssigen Elektrolyten eingetaucht.
Ferner ist es bekanntlich zur Abscheidung befriedigender Schichten wichtig, die Kathode vor dem
Inberührungbringen mit der Schmelze des Elektrolyten auf mindestens die erste Erstarrungstemperatur der
Schmelze, vorzugsweise auf die Temperatur der Schmelze, vorzuwärmen (deutsche Patentschrift
12 59 104). Diese Vorwärmung kann vorteilhaft derart erfolgen, daß man die Kathode in der Abscheidungsvorrirhtung
vor dem Eintauchen in die Schmelze des Elektrolyten einige Zeit oberhalb der Schmelze
verweilen läßt. Dabei hat es sich als besonders vorteilhaft herausgestellt, zunächst die Kathode oberhalb
des Elektrolyten auf dessen Temperatur vorzuwärmen und die Vorabscheidung erst im Anschluß daran
durchzuführen. Durch die Vorabscheidung werden dann auch die nachteiligen Auswirkungen des Sauerstoffs
beseitigt, der während des Vorwärmens durch Desorption von den Oberflächen der Kathode, deren
Halterungen und gegebenenfalls auch der zusammen mit der Kathode oberhalb der Schmelze befindlichen
Anode frei wird.
Für die Abscheidung von Niob wird ein schmelzflüssiger Elektrolyt aus einem Niobfluorid und einem
cutektischen Gemisch aus Kaliumfluorid, Natriumfluorid
und Lithiumfluorid bevorzugt. Mit einem solchen Elektrolyten lassen sich besonders glatte und dichte
Niobschichten erzielen.
Als Hilfskathode kann vorteilhaft ein eine Verlängerung der Kathode bildender, mit der Kathode
mechanisch und elektrisch verbundener Fortsatz verwendet werden, der zur Vorabscheidung vor der
Kathode in den schmelzflüssigen Elektrolyten eingetaucht wird Nach Beendigung der Vorabscheidung wird
dann auch die Kathode in den Elektrolyten eingetaucht.
Grundsätzlich kann die Vorabscheidung mit der gleichen Kathodenstromdichte vorgenommen werden,
wie die Hauptabscheidung. Besonders vorteilhaft ist es jedoch, die Vorabscheidung mit einer Kathodenstromdichte
vorzunehmen, die wenigstens um 50 % niedriger ist als die Kathodenstromdichte bei der Hauptabscheidung.
Bei kleiner Kathodenstromdichte werden nämlich bevorzugt diejenigen im Elektrolyten und in der Anode
als Verunreinigungen enthaltenen Metalle abgeschieden, die edler sind als das abzuscheidende Metall. Bei
der Abscheidung von Niob handelt es sich dabei insbesondere um Eisen. Durch eine niedrige Kathodenstromdichte
bei der Vorabscheidung kann also ein zusätzlicher Reinigungseffekt erzielt werden. Eine
niedrige Kathodenstromdichte kann bei der Vorabscheidung in einfacher Weise durch Verwendung einer
Hilfskathode mit möglichst großer Oberfläche erreicht werden. Bevorzugt wird daher in diesem Falle als
Hilfskathode das Gefäß des schmelzflüssigen Elektrolyten verwendet. Um einen gleichmäßigen Reinigungseffekt
über die ganze Schichtdicke zu erreichen, kann es ferner beim Abscheiden dicker Schichten vorteilhaft
sein, die Hauptabscheidung ein oder mehrmals zur erneuten Vornahme einer Vorabscheidung mit verminderter
Kathodenstromdichte zu unterbrechen.
An Hand einiger Figuren und Ausführungsbeispiele soll die Erfindung noch näher erläutert werden.
Fig. 1 zeigt schematisch eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
Fig. 2 und 3 zeigen schematisch je einen Ausschnitt
aus der Vorrichtung nach Fig. 1, während der Vor- bzw.
der Hauptabscheidung bei einer anderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens.
Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung besteht im wesentlichen aus einem Topf 1 aus rostfreiem Stahl, der
mit einem ebenfalls aus rostfreiem Stahl bestehenden Aufsatz 2 versehen ist. Der Topf 1 und der Aufsatz 2 sind
mit Hilfe der Rohrstutzen 3 bis 6 evakuierbar und mit Inertgas bespülbar. Der Topf 1 ist von einem
Widerstandsheizofen 7 umgeben, im Topf 1 befindet sich ein Nickeltopf 8, der zur Aufnahme de?
schmelzflüssigen Elektrolyten 9 dient, und bei der Abscheidung von Niob, die in den folgenden Ausführungsbeispielen
näher erläutert werden soll, an der Innenseite mit einer Niobschichl überzogen ist. Der
obere Teil 10 des Aufsatzes 2 dient als Schleusenkammer, die einen Wechsel der Kathode 11 und der Anode
12 bei geschmolzenem Elektrolyten ermöglicht, und kann durch einen vakuumdichten Schieber 13 von der
restlichen Vorrichtung abgetrennt werden. Am oberen Ende der Schleusenkammer 10 ist eine vakuumdichte
Durchführung 14 für die stabförmige Halterung 15 der Kathode Il und die rohrförmigc Halterung 16 der
Anode 12 vorgesehen, die eine vertikale Bewegung der Halterungen ermöglicht. Der Stub 15 und das Rohr 16
können beispielsweise aus Nickel besiehen. Der Stab 15
und das Rohr 16 sind gegeneinander verschiebbar und durch ein isolierendes Dichtungselement 17 vakuumdicht
gegeneinander abgedichtet. Zur Abscheidung wird die Kathodenhalterung 15 mit dem Minuspol und die
Anodenhalterung 16 mit dem Pluspol einer Konstantstromquelle 18 verbunden. Mit 19 ist ein Amperemeter
bezeichnet. Ein Voltmeter 20 mit sehr hohem Innenwiderstand, das mit der Anodenhalterung 16 und mit
dem Nickeltopf 8 verbunden ist, dient zur Messung des Anodenpotentials während der Vorabscheidung. Mit 21
ist eine Kühlschlange bezeichnet, die beispielsweise aus Kupferrohr bestehen und von Wasser durchströmt
werden kann.
Im folgenden Ausführungsbeispiel wird eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens näher
erläutert, bei der als Hilfskathode für die Vorabscheidung ein Fortsatz der eigentlichen Kathode verwendet
wird. Auf der Kathode soll eine Niobschicht abgeschieden werden. Als Elektrolyt 9 wird eine eutek'ische
Mischung von Natriumfluorid, Kaliumfluorid und Lithiumfluorid verwendet, in der Kaliumheptafluorniobat
(R2NbF7) gelöst ist. Im einzelnen besteht der
Elektrolyt aus 16,2Gew.-% K2NbF7, 26,2Gew.-% LiF,
10.4Gcw.-% NaF und 47,2Gew.-% KF. Nach Einbringen
dieser Bestandteile in den Topf 8 werden der Stahltopf 1 und der Aufsatz 2 zunächst evakuiert und
dann über die Rohrstutzen 3 bis 6 mit Inertgas, nämlich Argon mit einer Reinheit von 99,99 Gew.-%, bespült
Mit Hilfe des Ofens 7 wird dann der Elektrolyt 9 geschmolzen und auf eine Temperatur von etwa 7400C
gebracht. Die Temperatur kann durch in Fig. 1 nicht dargestellte Thermoelemente kontrolliert werden. Zur
Vorbehandlung des frisch angesetzten Elektrolyten werden dann zunächst eine Anode aus Niob und eine
Kathode, beispielsweise aus Kupfer, in die Abscheidevorrichtung eingeführt und in den schmelzflüssigen
Elektrolyten eingetaucht. Mit einer anodischen und kathodischen Stromdichte von etwa 50 mA/cm2 wird
dann etwa 10 Stunden lang elektrolysiert wobei Kathode und Anode alle 2 bis 3 Stunden erneuert
werden.
Zur Einführung der Anode und der Kathode wird zunächst die Schleusenkammer 10 durch den Schieber
13 von der restlichen Vorrichtung abgetrennt. Die Anode und die Kathode, die an den Halterungen 15 und
16 befestigt sind, werden dann in die Schleusenkammer 10 eingebracht die anschließend wieder evakuiert und
durch die Rohrstutzen 3 und 4 mit Argon bespült wird. Anschließend wird der Schieber 13 geöffnet und das
Anode-Kathode-System in den Elektrolyten abgesenkt Beim Wechsel der Anode und der Kathode werden
diese zunächst aus dem Elektrolyten heraus nach oben in die Schleusenkammer 10 gezogen und nach Schließen
des Schiebers 13 in der wassergekühlten Schleusenkammer auf Raumtemperatur abgekühlt und dann aus der
Vorrichtung herausgenommen.
Nach der etwa zehnstündigen Vorbehandlung des frisch angesetzten Elektrolyten ist dieser soweit
vorbereitet daß die eigentliche Abscheidung erfolgen kann. Beim vorliegenden Ausrührungsbeispiel soll ein
40 mm breites, etwa 1 mm starkes Kupferblech mit Niob
beschichtet werdea Dieses Kupferblech wird als Kathode 11 an der Halterung 15 befestigt Als Anode 12
dient ein ebenfalls etwa 40 mm breites und 1 mm starkes Niobblech, das an der Halterung 16 befestigt wird. Der
Abstand zwischen Anode und Kathode beträgt etwa 5 cm. Das die Kathode U bildende Kupferblech hat an
einem Ende einen ebenfalls aus Kupferblech bestehenden Fortsatz 22, der als Hilfskathode zur Vorabscheidung dient Die als Kathode und Hilfskathode bzw.
Anode dienenden Blechstreifen sind etwa 80 mm lang.
Anode-Kathode-System in die Abscheidevorrichtung eingeführt. Zur Erwärmung auf die Temperatur des
schmelzflüssigen Elektrolyten von etwa 74O°C werden zunächst die Anode sowie die Kathode und die
Hilfskathode etwa eine Stunde lang oberhalb des Elektrolyten gehalten. Zur Vorabscheidung werden
dann die Halterungen 15 und 16 so weit in die Abscheidevorrichtung hineingeschoben, daß die Hilfskathode
22 und ein entsprechender Teil der Anode 12 in
ίο den schmelzflüssigen Elektrolyten eintauchen. Dieser
Zustand ist in Fig. I dargestellt. Die Eintauchtiefe beträgt etwa 40 mm. Nach dem Eintauchen wird mit
einer anodischen und kathodischen Stromdichte von etwa 40 mA/cm2 Niob auf der Hilfskathode 22 etwa
5 Stunden lang abgeschieden. Während dieser Vorabscheidung wird mit Hilfe des Voltmeters 20 das
Potential der Anode 12 gemessen, wobei als Bezugselektrode der Topf 8 dient Zu Beginn der Vorabscheidung
beträgt das Potential etwa 80 mV, nach 30minütiger Vorabscheidung 62 mV, nach einer Stunde 58 mV,
nach 2 Stunden 57 mV. Nach 3 Stunden ist schließlich ein Wert von 56 mV erreicht, der sich in den nächsten
Stunden nicht mehr ändert. Nach 4 Stunden wird daher die Vorabscheidung beendet und es werden zur
Hauptabscheidung die Kathode 11 und die Anode 12 vollständig in den Elektrolyten 9 eingetaucht. Die
Hauptabscheidung erfolgt wiederum mit einer anodischen und kathodischen Stromdichte von etwa 40 mA/
cm2. Nach etwa einer Stunde wird das Anode-Kathode-System aus dem schmelzflüssigen Elektrolyten herausgezogen
und über die Schleusenkammer 10 aus der Abscheidevorrichtung entfernt. Während die auf der
Hilfskathode 22 abgeschiedene Niobschicht zahlreiche mittelgroße Pickel mit Durchmessern von etwa
0,5 bis 1 mm und noch einige kleinere Pickel zeigt, ist die bei der Haupiabscheidung auf der Kathode 11
abgeschiedene Niobschicht fcinkristallin und völlig pickelfrei.
Durch das folgende Ausführungsbeispiel soil an Hand der F i g. 2 und 3 eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Verfahrens erläutert werden, bei welcher die Vorabscheidung mit verminderter Kathodenstromdich
te erfolgt Die Fig.2 und 3 zeigen jeweils nur der unteren Teil der Abscheidevorrichtung. Soweit die
einzelnen Teile mit den in Fig. 1 dargestellter übereinstimmen, sind sie mit den gleichen Bezugszifferr
bezeichnet Als Kathode dient ein massiver Kupf erzylin der 31 mit einem Durchmesser von 40 mm und eine:
Länge von 70 mm, der an seiner Außenseite mit Niot beschichtet werden solL Als Anode 30 dient ein Zylindei
aus etwa 1 mm starkem Niobblech mit einem Durch messer von 78 mm und einer Länge von ebenfall
70 mm. Es wird der gleiche Elektrolyt verwendet wie 11 Beispiel 1. Auch die Vorbehandlung des friscl
angesetzten Elektrolyten erfolgt in gleicher Weise wii in Beispiel 1 erläutert Nach dieser Vorbehandlung de
Elektrolyten werden die Anode 30 und die Kathode 3 in die Abscheidungsvorrichtung eingeführt und zu
nächst etwa 1 Stunde lang zur Erwärmung auf ein Temperatur von etwa 7400C oberhalb des schmelzflüs
sigen Elektrolyten 9 gehalten. Anschließend wird zu Vorabscheidung, wie F i g. 2 zeigt, die Anode 30 in de
schmelzflüssigen Elektrolyten 9 eingetaucht De Pluspol der Konstantstromquelle 18 wird dann mit de
Anode und der Minuspol mit dem Elektrolytgefäß
verbunden, das als Hilfskathode zur Vorabscheidun
dient. Zur Messung des Anodenpotentials ist eine Sonde
32. beispielsweise aus Niobdraht, in den schmelzflüssigen Elektrolyten eingetaucht. Die Anodcnstromdichtc
bei der Vorabscheidung beträgt etwa 40 mA/cm2. die Kathodenstromdichte etwa 4 mA/cm2. Die Vorabscheidung
dauert etwa 18 Stunden lang. Das Anodenpotential sinkt dabei in den ersten 10 Stunden von etwa 62.5 V
auf etwa 51,5 mV ab und bleibt dann auf diesem Wert. Nach der Vorabscheidung wird zur Hauptabscheidung
die Kathode 31 in den schmelzflüssigen Elektrolyten 9 eingetaucht. Der Minuspol der Stromquelle 18 wird
dann mit der Kathode verbunden. Dieser Zustand ist in Fig. 3 dargestellt. Die Hauptabscheidung dauert etwa
1,5 Stunden lang und erfolgt mit einer anodischen und kathodischen Stromdichte von etwa 40 mA/cm2. Die auf
der Kathode 31 abgeschiedene Niobschicht ist feinkristallin und völlig pickelfrei und hat einen Eisengehalt
von etwa 63 ppm. Eine bei einem Vergleichsversuch ohne Vorabscheidung aber unter sonst gleichen
Bedingungen abgeschiedene Niobsehicht hatte dagegen einem Eisengehalt von 185 ppm und wies zahlreiche
Pickel mit Durchmessern bis zu mehr als 1 mm auf.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann natürlich gegenüber den Ausführungsbeispielen noch weitei
variiert werden. Beispielsweise kann beim Beispiel I die Anode 12 auch schon /ur Vorabscheidung vollständig ir
den schmel/flüssigen Elektrolyten eingetaucht werden
wahrend es beim Beispiel 2 möglich ist, die Anode 30 zui
Vorabscheidung nur teilweise in den schmelzflüssiger Elektrolyten einzutauchen. Ferner ist es nicht unbedingt
erforderlich, die Anode vor dem Eintauchen in der Elektrolyten vorzuwärmen. So kann etwa beim Beispie
2 die Anode 30 in den Elektrolyten abgesenkt und mil der Vorabscheidung begonnen werden, während dit
Kathode noch oberhalb des Elektrolyten auf desser Temperatur erwärmt wird.
Bei der Vorabscheidung der Elemente Vanadium Molybdän und Wolfram können die zur Abscheidung
dieser Elemente bekannten Elektrolyten verwcndei werden. Vor- und Hauptabscheidung können danr
grundsätzlich in gleicher Weise durchgeführt werder wie bei der Abscheidung von Niob.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (7)
- PatentansprOche:I.Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden von Schichten aus Niob. Vanadium, Molybdän oder Wolfram oder deren Legierungen aus einem im wesentlichen aus Alkalifluoriden und wenigstens einem Fluorid des abzuscheidenden Meta'ls bestehenden schmelzflüssigen Elektrolyten auf einer Kathode in Gegenwart einer inerten Atmosphäre, dadurch gekennzeichnet, daß unmittelbar vor dem Eintauchen der Kathode in den schmelzflüssigen Elektrolyten eine Vorabsrheidung auf eine Hilfskathode vorgenommen und die Kathode erst nach Einstellung eines etwa konstanten Anodenpotentials zur Hauptabscheidung in den schmelzfluss!- gen Elektrolyten eingetaucht wird.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode zunächst oberhalb des schmelzflüssigen Elektrolyten auf dessen Temperatür vorgewärmt wird und die Vorabscheidung im Anschluß daran erfolgt
- 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Abscheidung von Niob aus einem schmelzflüssigen Elektrolyten aus einem Niobfluorid und einem eutektischen Gemisch aus Kaliumfluorid, Natriumfluorid und Lithiumfluorid erfolgt
- 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Hilfskathode ein eine Verlängerung der Kathode bildender, mit der Kathode mechanisch und elektrisch verbundener Fortsatz vor der Kathode in den schmelzflüssigen Elektrolyten eingetaucht wird.
- 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorabscheidung mit einer Kathodenstromdichte vorgenommen wird. die wenigstens um 50 % niedriger ist als die Kathodenstromdichte bei der Hauptabscheidung.
- 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Hilfskathode das Gefäß des schmelzflüssigen Elektrolyten verwendet wird.
- 7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß beim Abscheiden dicker Schichten die Hauptabscheidung ein- oder mehrmals zur erneuten Vornahme einer Vorabscheidung mit verminderter Kathodenstromdichte unterbrochen wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19712114555 DE2114555C3 (de) | 1971-03-25 | Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden von Schichten aus Niob, Vanadium, Molybdän oder Wolfram oder deren Legierungen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19712114555 DE2114555C3 (de) | 1971-03-25 | Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden von Schichten aus Niob, Vanadium, Molybdän oder Wolfram oder deren Legierungen |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2114555A1 DE2114555A1 (en) | 1972-10-05 |
DE2114555B2 DE2114555B2 (de) | 1976-09-23 |
DE2114555C3 true DE2114555C3 (de) | 1977-05-05 |
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