DE20309010U1 - Vorrichtung zur Durchführung einer Online-Elementanalyse - Google Patents

Vorrichtung zur Durchführung einer Online-Elementanalyse

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Claims (26)

1. Vorrichtung zur Durchführung einer Online-Elementanalyse an einer an einer Meßstation vorbeigeförderten oder vorbeifließenden Sub­ stanz (S) mit:
  • - einer Transporteinrichtung (51) für die zu messende Substanz
  • - einer Meßstation mit einer Röntgenquelle (10) und einem Rönt­ genfluoreszenzdetektor (20) mit einem Strahlungseinlass,
dadurch gekennzeichnet, dass sich vom Strahlungseinlass des Rönt­ genfluoreszenzdetektors (20) wenigstens ein erster Röntgenleiter in Richtung der Transporteinrichtung (51) erstreckt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass sich von der Röntgenquelle (10) wenigstens ein zweiter Röntgenleiter in Richtung der Transporteinrichtung erstreckt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und/oder der zweite Röntgenleiter aus jeweils wenigstens ei­ nem Hohlrohr bestehen.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Hohlrohr zumindest teilweise aus Glas besteht.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Hohlrohr eine Glaskapillare (30, 40) ist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeich­ net, dass wenigstens ein Teil der Hohlrohre an ihrem der Transpor­ teinrichtung zugewandten Ende ein Fenster (30b) tragen.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeich­ net, dass zumindest ein Teil der Hohlrohre mit Wasserstoff oder Heli­ um gefüllt ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeich­ net, dass zumindest ein Teil der Hohlrohre mit einer Heliumquelle (28) verbunden sind und während des Betriebes mit Helium gespült wer­ den.
9. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder einem der Ansprüche 3 bis 8, so­ weit sie auf Anspruch 2 rückbezogen sind, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und der zweite Röntgenleiter derart zusammengeführt sind, dass am der Transporteinrichtung zugewandten Ende der Rönt­ genleiter ein Bündel von wenigstens zwei Röntgenleitern vorliegt.
10. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere erste und mehrere zweite Röntgenleiter vorhanden sind und dass die­ se so zusammengeführt sind, dass eine matrixartige Struktur entsteht.
11. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Ach­ sen der Röntgenleiter an dem der Transporteinrichtung zugewandten Ende parallel zueinander sind.
12. Vorrichtung Nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass wenig­ stens ein zweiter Röntgenleiter und mehrere erste Röntgenleiter vor­ handen sind, die zumindest am der Transporteinrichtung (51) zuge­ wandten Ende um den zweiten Röntgenleiter herum angeordnet sind.
13. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder Anspruch 10, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Achse wenigstens eines zweiten Röntgenleiters mit der Achse wenigstens eines ersten Röntgenleiters in Richtung der Transporteinrichtung einen spitzen Winkel einschließt.
14. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, dass zwischen Röntgenfluoreszenzdetektor (20) und Transporteinrichtung (51) wenigstens ein Hitzeschild (59) angeordnet ist.
15. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, dass sie einen Abstandssensor zur Messung der Höhe der Probenoberfläche aufweist.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstandssensor ein Laser-Abstandssensor (60) ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass an den Laserabstandssensor (60) ein Lichtleiter (61) angeschlossen ist, so dass eine Fernabstandsmessung möglich wird.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtleiter (61) mit dem wenigstens einen ersten Röntgenleiter ein Bündel bildet.
19. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, dass sich im Strahlengang der Röntgenquelle (10) eine Röntgen-Halblinse (12) zur Parallelisierung der Röntgenstrahlung be­ findet.
20. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, dass im Strahlengang der Röntgenquelle ein Filter (42) oder ein Monochromator angeordnet ist.
21. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, dass im Strahlengang der Röntgenquelle ein Polarisator (44) angeordnet ist.
22. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, dass der erste Röntgenleiter und die von der Röntgen­ quelle kommende anregende Strahlung im im Wesentlichen gleichen Winkel zur Oberfläche der Probe stehen.
23. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel ein flacher Winkel ist.
24. Vorrichtung nach Anspruch 21 und Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass der flache Winkel dem Brewster-Winkel der po­ larisierten Strahlung entspricht.
25. Vorrichtung nach Anspruch 6 und Anspruch 21, dadurch gekenn­ zeichnet, dass das Filter als Fenster dient.
26. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Meßstation auf einem verfahrbaren und/oder verschwenkbaren Schlitten angeordnet ist.
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