DE2023265A1 - Fotoelektrische Vorrichtung - Google Patents

Fotoelektrische Vorrichtung

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DE2023265A1 DE19702023265 DE2023265A DE2023265A1 DE 2023265 A1 DE2023265 A1 DE 2023265A1 DE 19702023265 DE19702023265 DE 19702023265 DE 2023265 A DE2023265 A DE 2023265A DE 2023265 A1 DE2023265 A1 DE 2023265A1
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Description

DR. JQHABiraS "HSinsraDCIH. 11. Kai 19?C
Fotoelektrische Vorrichtung
Die Erfindung betrifft eine fotoelektrische Vorrichtung zum Feststellen von Lageänderungen mit einer beleuchteten schwingenden Blende und einer Abbildungaoptik für diese * Schwingbl*ende.
Bei bekennten fotoelektrischen Vorrichtungen dieser Art führt ein zwischen der beleuchteten Schwing— blende und der Abbildungaoptik eingebrachter Strahlenteiler das reflektierte Idchtbündel einem Abtastelement BU, das in bekennten Fällen ein Strichgitter ist. Ein wesentlicher Nachteil derartiger Vorrichtungen ist, daß durch unvermeidbare Störreflexe am Strahlenteiler eine Signalverschlechterung hervorgerufen wird. Nachteilig ist ferner die aufwendige Justierung, da sowohl die beleuchtete Schwingblende als euch das dem Strahlenteiler nachgeschaltete Abtastelement in der Brennebene der Abbildungsoptik angeordnet sein müssen.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, die obigen Nachteile zu beheben und mit einfachen Mitteln eine hochgenaue fotoelektrische Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, bei der keine durch Störreflexe verursachte Signalverschlechterung auftreten kann und bei der ferner auch bei großen
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das Objektiv 6 und wird dann in der Brennebene des Objektives 6 abgebildet, in der die Schwingblende 2 angebracht ist, die crfindungsgerJiß ??uch das Abtastelement verkörpert» Ein Objektiv 8 kon-' zentriert den den Spalt 1 der Schwing/blende 2 durchsetzenden Lichtstrom auf ein fotoelektroni— Gches Bauelement 9* das in bekannter Weise zur Auswertung der sich während der Abtastung ergebenden Lichtstromänderungen dient.
Steht der Planspiegel 7 genau senkrecht zur optischen Achse 11 des Autokollimator, dann fällt das Spaltbild mit der Ruhelage des Spaltes 1 der Schwingblende 2 zusammen. Erfährt dagegen der Spiegel 7 eine Lageveränderung, so daß er entgegen der Darstellung in der Zeichnung nicht mehr senkrecht zur optischen Achse 11 steht, dann verlagert sich dns Speltbild in der Brennebene des Objektives 6 gegenüber der optischen Achse 11, in der der Spalt 1 bzw. dessen Schwerlinie in der Ruhelege liegt. Der schwingende Spelt 1 testet die Lage des Spaltbildes periodisch ab und moduliert so den auf das fotoelektronische Bauelement 9 feilenden Lichtstrom in Abhängigkeit von der Lege des Speltbildes.
Ein wesentlicher Vorteil dieser Vorrichtung besteht auch darin, daß bei großen Winkelablagen des Hanspiegels 7 praktisch keine Vignettierung am Rand des Objektives 6 eintreten kann. Deshalb eignet sich der erfindungsgemaße Autokollimator auch bei großen Entfernungen des Planspiegels 7 für große Winkelablagen, wenn nur der Planspiegel 7 so groß ist, daß er vom Lichtbündel stets erfaßt wird.
109849/0 538
■ ■ ■ ~ 4; ~ ■ ■
Lageabweichungen dec zu vermessenden Objektes praktisch keine Vignettierung am Rand der Ab— bildungsoptik eintreten kann und die darüber hinaus auch einfach justierbar ist.
Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe bei einer fotoelektrischen Vorrichtung der eingangs genannten Art dadurch, daß die Schwingblende zugleich auch das Abtastelement für das reflektierte Lichtbündel verkörpert. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird die beleuchtete Schwingblende der Abbildungsoptik direkt d.h. ohne Zwischenschaltung eines. Störreflexe verursachenden optischen Elementes vorgelagert.
Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung, in der schematisch eine mögliche Ausführungsform dargestellt ist.·
Heb Aueführungsbeispiel zeigt einen fotoelektrischen Autokollimator nach der Erfindung. Der schwingende Spalt 1 einer lichtundurchlässigen Schwingblende 2 wird durch eine Lampe 3 über ein Objektiv 4 und einen Strahlenteiler 5 beleuchtet. Die Blende 2 kann an einer Stahlsaite 10 befestigt sein, die sich senkrecht zur Zeichenebene erstreckt und die in bekannter Weise zum Schwingen angeregt wird. Das am Spalt 1. austretende Lichtbündel durchläuft ein Objektiv 6 und trifft dann als Parallelbündel auf einen Planspiegel 7» der am zu prüfenden Objekt (nicht dargestellt) angebracht ist. Das am Planspiegel ? reflektierte Bündel durchläuft wieder
109849/0638 BADOR1O1NAL
In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung knnn das im Ausführungebeispiel eus Schwing— draht und Spoltblende bestehende Schwingsystem im Gesichtsfeld der Abbiidungsoptik Verschiebbar angeordnet sein. Ein mit dem Schwingsystem mechanisch gekuppeltes Meßsystem misst dessen Verschiebewege. Ein Servosystem verfährt das Schwingsystem jeweils soweit im Gesichtsfeld der Abbildungsoptik, bis das Spaltbild einge— •fengen ist. Dbs messbar verschiebbare Schwingsystem bei der Vorrichtung nach der Erfindung ermöglicht die Messung besonders großer Winkel— ablagen des zu prüfenden Objektes, ohne dass dabei am Rand der Abbildungsoptik eine Vignet— tierung eintritt. Messbar verschiebbare Schwing— systeme der vorstehenden Art sind für sich ge nommen bekannt und beschrieben in der eigenen Patentanmeldung P 17 73 877.1-
109849/0538 BAD original

Claims (1)

  1. « '■» Λ
    DR, JOHANNES HEIDEMiAIN 11
    Ansprüche
    Fotoelektrische Vorrichtung zum. Feststellen von Lageänderungen mit einer beleuchteten schwingenden Blende und einer Ab"bil dungs optik für diese SchwingblendeT dadurch gekennzeichnet, daß die Schwingblende (2) zugleich auch das Abtastelement für das reflektierte Lichtbündel verkörpert,
    2·) Vorrichtung nach Anspruch I1 dadurch gekennzeichnet, daß die beleuchtete Schwingblende (2) der Abbildungsoptik (6) direkt, d.h, ohne Zwischenschaltung eines optischen Elementes vorgelagert ist.
    5·) Vorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet» daß des Schwingsystem aus einer gespannten Saite'(1.0) und einer daran befestigten Spaltblende (2) besteht»
    4,) Vorrichtung nach Anspruch. 3 oder einem vorherigen, dadurch gekennzeichnet, daß zum Festetellen großer Legeänderungen eines Objektes das Schwingsystem im Gesichtsfeld der Abbil— dungeoptik messbar verschiebbar angeordnet ist, und daß ein Servosystem das Schwingsystem zum Absuchen der jeweiligen Spaltbildlage im Gesichts feld der Abbildungsoptik verfährt· -
    BAD ORIGINAL
    109849/0538
    L e e r s e i t e
DE19702023265 1970-05-13 1970-05-13 Fotoelektrische Vorrichtung Expired DE2023265C3 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19702023265 DE2023265C3 (de) 1970-05-13 1970-05-13 Fotoelektrische Vorrichtung
CH493871A CH532242A (de) 1970-05-13 1971-04-05 Fotoelektrische Vorrichtung zum Messen der Abweichung der Winkellage einer spiegelnden Fläche von einer Bezugslage
FR7117208A FR2091518A5 (de) 1970-05-13 1971-05-12

Applications Claiming Priority (1)

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DE19702023265 DE2023265C3 (de) 1970-05-13 1970-05-13 Fotoelektrische Vorrichtung

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Publication Number Publication Date
DE2023265A1 true DE2023265A1 (de) 1971-12-02
DE2023265B2 DE2023265B2 (de) 1973-10-04
DE2023265C3 DE2023265C3 (de) 1975-06-05

Family

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CH (1) CH532242A (de)
DE (1) DE2023265C3 (de)
FR (1) FR2091518A5 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4549808A (en) * 1982-05-19 1985-10-29 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Movable aperture photoelectric measuring instrument

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4549808A (en) * 1982-05-19 1985-10-29 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Movable aperture photoelectric measuring instrument

Also Published As

Publication number Publication date
DE2023265B2 (de) 1973-10-04
DE2023265C3 (de) 1975-06-05
CH532242A (de) 1972-12-31
FR2091518A5 (de) 1972-01-14

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