DE19841704C2

DE19841704C2 - Vorrichtung und Verfahren zum Korrigieren der Zitterbewegung eines fokussierten Bildes

Info

Publication number: DE19841704C2
Application number: DE19841704A
Authority: DE
Inventors: Shigeo Enomoto
Original assignee: Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Current assignee: Pentax Corp
Priority date: 1997-09-12
Filing date: 1998-09-11
Publication date: 2002-08-01
Anticipated expiration: 2018-09-12
Also published as: DE19841704A1; US6127667A

Description

Es sind bereits optische Geräte wie Einzelbildkameras oder Fernrohre bekannt, die eine Vorrichtung zur Korrektur der Zitterbewegung eines fokussierten Bilds enthalten. Eine solche Vorrichtung enthält ein optisches Korrektursystem. Dieses wird in vorbestimmter Richtung in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse so bewegt, daß die Bewegung der übrigen optischen Systeme des Geräts kompen siert wird, wodurch eine Zitterbewegung des fokussierten Bildes beseitigt wird.

Ist aber die Bewegungsgeschwindigkeit des fokussierten Bildes größer als die maximal mögliche Antriebsgeschwindigkeit des optischen Korrektursystems, so wird dieses mit der maximalen Geschwindigkeit in einer Richtung bewegt, in der die Bewegung der optischen Achsen der übrigen optischen Systeme aufgehoben wird. Auch wenn in dieser Situation die Zittergeschwindigkeit etwas unter die ma ximale Antriebsgeschwindigkeit des optischen Korrektursystems verringert wird oder das fokussierte Bild seine Bewegung in entgegengesetzter Richtung beginnt, wird das Korrektursystem doch mit der maximalen Antriebsgeschwindigkeit in der selben Richtung bewegt. Es ergibt sich also ein Antrieb des optischen Korrektur systems mit einer höheren Geschwindigkeit als der Sollgeschwindigkeit oder in einer Richtung entgegengesetzt der Richtung, in der es sich eigentlich bewegen sollte. Dadurch wird die Zitterbewegung des Bildes noch stärker, und der Benutzer empfindet dies als sehr unangenehm.

Aus der DE 41 00 463 C2 ist eine Kamera mit einer Vorrichtung zur Korrektur der Zitterbewegung eines fokussierten Bildes bekannt. Die in der Kamera vorgesehene Vorrichtung erfaßt nicht nur die Versetzungen eines abbildenden Linsensystems, sondern auch diejenigen einer Abbildungsoberfläche, auf der das Objektbild durch das Linsensystem abgebildet wird. Mit den so erfaßten Versetzungen wird ein Korrektursystem angesteuert, wodurch sich unerwünschte Bildverwacklungen mit noch höherer Präzision ausschalten lassen. Das oben erläuterte, auf die Antriebsgeschwindigkeit des Korrektursystems bezogene Problem sowie Maßnahmen zu dessen Lösung sind in der DE 41 00 463 C2 nicht angesprochen.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Möglichkeit zur Korrektur der Zit terbewegung eines fokussierten Bildes anzugeben, durch die zu jedem Zeitpunkt eine stabile Steuerung der Korrektur gewährleistet ist.

Die Erfindung löst diese Aufgabe durch eine Vorrichtung nach Patentanspruch 1 oder 9 bzw. durch ein Verfahren nach Anspruch 11. Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand jeweiliger Unteransprüche.

Die Erfindung vermeidet einen Antrieb des optischen Korrektursystems mit ma ximaler Geschwindigkeit, wenn die Zittergeschwindigkeit bereits verringert wurde.

Gemäß Anspruch 3 erübrigt sich eine Bestimmung, ob die Zittergeschwindigkeit größer als die maximale Antriebsgeschwindigkeit des optischen Korrektursystems ist. Dadurch ergibt sich eine vereinfachte Betriebsweise.

Gemäß Anspruch 4 wird ein momentaner Spannungsabfall an den Antriebssyste men verhindert, indem die Differenz des von dem Integrator abgegebenen Wertes und des von den Erfassungssystemen abgeleiteten Wertes gebildet wird. Dadurch ergibt sich eine gleichmäßigere Antriebssteuerung des optischen Korrek tursystems.

Gemäß Anspruch 6 und Anspruch 8 erübrigt sich eine besondere Vorrichtung zum Erfassen der Positionsdaten des optischen Korrektursystems. Dies ermöglicht ei nen kompakten Aufbau des optischen Geräts.

Bei der Weiterbildung nach Anspruch 7 ist eine besondere Berechnung der Po sitionsdaten des optischen Geräts nicht erforderlich. Dies ermöglicht eine einfa chere Betriebsweise des Steuersystems.

Die Erfindung wird im folgenden an Hand der Zeichnungen näher erläutert. Darin zeigen:

Fig. 1 die perspektivische Darstellung einer Vorrichtung zur Korrektur der Zitterbewegung eines fokussierten Bildes als erstes Ausführungs beispiel,

Fig. 2 das Blockdiagramm der in Fig. 1 gezeigten Vorrichtung,

Fig. 3 das Flußdiagramm der Hauptroutine des ersten Ausführungsbei spiels,

Fig. 4 das Flußdiagramm einer Interrupt-Routine des ersten Ausführungs beispiels,

Fig. 5 eine grafische Darstellung der Position des optischen Geräts relativ zur Zitterbewegung eines fokussierten Bildes bei dem ersten Aus führungsbeispiel,

Fig. 6 das Flußdiagramm der Hauptroutine eines zweiten Ausführungsbei spiels,

Fig. 7 das Flußdiagramm einer Interrupt-Routine des zweiten Ausfüh rungsbeispiels,

Fig. 8 eine grafische Darstellung der Position des optischen Geräts relativ zu der Zitterbewegung des fokussierten Bildes bei dem zweiten Ausführungsbeispiel,

Fig. 9 die perspektivische Darstellung einer Vorrichtung zur Korrektur einer Zitterbewegung als drittes Ausführungsbeispiel,

Fig. 10 das Blockdiagramm der Vorrichtung nach Fig. 9,

Fig. 11 das Flußdiagramm der Hauptroutine des dritten Ausführungsbei spiels, und

Fig. 12 das Flußdiagramm einer Interrupt-Routine des dritten Ausführungs beispiels.

In der folgenden Beschreibung bedeutet "Längsrichtung" die vertikale Richtung bei normaler Benutzungsposition eines optischen Geräts und "Querrichtung" be deutet die zu der Längsrichtung orthogonale Richtung.

In der in Fig. 1 gezeigten Vorrichtung befindet sich eine Korrekturlinse 28 in einer Linsenfassung 25. Diese ist eine Platte mit einer ebenen Fläche 25X senkrecht zur optischen Achse OP der Korrekturlinse 28. Die Linsenfassung 25 hat in einer Ebene parallel zur Fläche 25X eine Rechteckform. Die Oberseite 25A der Linsen fassung 25 liegt rechtwinklig zur ebenen Fläche 25X und parallel zu einer in Querrichtung verlaufenden Ebene, die die optische Achse OP enthält. Die rechte Seitenfläche 25B der Linsenfassung 25 liegt rechtwinklig zur ebenen Fläche 25X und parallel zu einer Ebene, die in Längsrichtung verläuft und die optische Achse OP enthält. Die Oberseite 25A und die rechte Seitenfläche 25B gehen recht winklig ineinander über. Die Oberseite 25A hat eine Aussparung 26. Die rechte Seitenfläche 25B hat eine Aussparung 27.

In einem optischen Gerät, das mit einer solchen Vorrichtung ausgerüstet ist, wird das durch ein Objektiv fallende Licht durch die Korrekturlinse 28 geführt und über ein optisches Umkehrsystem wie z. B. ein Dachkantprisma oder Porroprisma auf ein Okular gerichtet. Die Linsenfassung 25 ist in dem optischen Gerät so ange ordnet, daß sich die Korrekturlinse 28 zwischen der Objektivlinse und dem opti schen Umkehrsystem befindet. Im folgenden bedeutet "Normalposition", daß die optische Achse der Korrekturlinse 28 mit der optischen Achse der anderen opti schen Systeme des optischen Geräts zusammenfällt.

Ein erster Direktantrieb 131 befindet sich in der Aussparung 26. Es ist beispiels weise ein Elektromagnet mit einem stationären Wicklungsgehäuse 131a und ei nem beweglichen Anker 131b. Der Anker 131b wird durch Drehung in Richtung seiner Längsachse ausgefahren oder eingezogen. Betrag und Richtung der Be wegung des Ankers 131b sind durch die Richtung die Stärke eines der Wicklung (in Fig. 1 nicht gezeigt) in dem Wicklungsgehäuse 131a zugeführten elektrischen Stroms bestimmt. Das Wicklungsgehäuse 131a ist an der Innenseite (in Fig. 1 nicht gezeigt) eines äußeren Rahmens des optischen Geräts befestigt. Das freie Ende des Ankers 131b steht mit der Aussparungsfläche 26a in Gleitkontakt.

Ein zweiter Direktantrieb 132 befindet sich in der Aussparung 27. Er hat ein sta tionäres Wicklungsgehäuse 132a und einen beweglichen Anker 132b ähnlich wie der Antrieb 131. Betrag und Richtung der Bewegung des Ankers 132b sind durch die Richtung die Stärke eines der Wicklung (in Fig. 1 nicht gezeigt) in dem Wicklungsgehäuse 132a zugeführten elektrischen Stroms bestimmt. Das Wick lungsgehäuse 132a ist an der Innenseite des Rahmens des optischen Geräts befestigt. Das freie Ende des Ankers 132b steht in Gleitberührung mit der Aus sparungsfläche 27a.

In der rechten Seitenfläche 25B sind zwei Bohrungen 29a und 29b vorbestimmter Tiefe oben und unten vorgesehen. Sie haben zueinander und zur Oberseite 25A parallele Längsachsen. Eine Führungsschiene 61 hat zueinander parallele Quer teile 61a und 61b und einen Längsführungsteil 61c, der sie verbindet. Die Länge des Längsführungsteils 61c entspricht etwa dem Abstand zwischen den Bohrun gen 29a und 29b. Der Querführungsteil 61a sitzt verschiebbar in der Bohrung 29a, der Querführungsteil 61b verschiebbar in der Bohrung 29b.

Der Längsführungsteil 61c wird durch einen Vorsprung 11 an der Innenseite des Rahmens des optischen Geräts in Längsrichtung verschiebbar gehalten.

Ein Stift 151 befindet sich an der ebenen Fläche 25X nahe einer Ecke, an der die Oberseite 25A in die rechte Seitenfläche 25B übergeht. Ein Ende 152a einer Schraubenfeder 152 ist an dem Stift 151, das andere Ende 152b an einem Vor sprung (in Fig. 1 nicht gezeigt) an der Innenseite des optischen Geräts befestigt, so daß die Linsenfassung 25 unter einem Winkel von 45° gegenüber der Quer richtung in Normalposition in einer Ebene rechtwinklig zur optischen Achse OP beaufschlagt wird.

Die Linsenfassung 25 wird also elastisch so vorgespannt, daß das freie Ende des Ankers 131b des ersten Antriebs 131 immer in Gleitkontakt mit der Aussparungs fläche 26a steht, und daß das freie Ende des Ankers 132b des zweiten Antriebs 132 immer in Gleitkontakt mit der Aussparungsfläche 27a steht, so daß der mit dem Anker 131b auf die Aussparungsfläche 26a und der mit dem Anker 132b auf die Aussparungsfläche 27a ausgeübte Druck einander gleich sind.

Die Linsenfassung 25 hat einen ersten Schlitz 208 zum Erfassen ihrer Position in Querrichtung und einen zweiten Schlitz 211 zum Erfassen ihrer Position in Längsrichtung. Die Längsrichtung des ersten Schlitzes 208 in der Ebene der Flä che 25X liegt rechtwinklig zur Bewegungsrichtung des Ankers 131b. Die Längsrichtung des zweiten Schlitzes 211 in der Ebene der Fläche 25X liegt rechtwinklig zur Bewegungsrichtung des Ankers 132b.

Eine erste Leuchtdiode 207 ist dem ersten Schlitz 208 zugeordnet und hat einen vorbestimmten Abstand zur Linsenfassung 25. Ein erster Positionsdetektor 204 ist auf der der ersten Leuchtdiode 207 abgewandten Seite der Linsenfassung 25 an geordnet. Eine zweite Leuchtdiode 210 ist dem zweiten Schlitz 211 in einem vor bestimmten Abstand zur Linsenfassung 25 zugeordnet. Ein zweiter Positionsde tektor 209 ist auf der der zweiten Leuchtdiode 210 abgewandten Seite der Linsen fassung 25 angeordnet.

Das Licht der ersten Leuchtdiode 207 fällt durch den ersten Schlitz 208 auf den ersten Positionsdetektor 204. Die Position in Querrichtung der Linsenfassung 25 wird mit dem ersten Positionsdetektor 204 erfaßt. Das Licht der zweiten Leuchtdi ode 210 fällt durch den zweiten Schlitz 211 auf den zweiten Positionsdetektor 209. Die Position der Linsenfassung 25 in Längsrichtung wird mit dem zweiten Positionsdetektor 209 erfaßt.

Wird der Wicklung in dem Wicklungsgehäuse 131a des ersten Antriebs 131 ein elektrischer Strom erster Richtung zugeführt, so wird der Anker 131b in Richtung x1 ausgefahren und damit die Linsenfassung 25 in Richtung x1 bewegt. Hat der die Wicklung in dem Wicklungsgehäuse 131a durchfließende elektrische Strom die entgegengesetzte Richtung, so wird der Anker 131b in Richtung x2 eingezo gen, so daß die Linsenfassung 25 durch die Kraft der Feder 152 in Richtung x2 bewegt wird.

Wird der Wicklung in dem Wicklungsgehäuse 132a des zweiten Antriebs 132 ein Strom in einer ersten Richtung zugeführt, so wird der Anker 132b in Richtung y1 ausgefahren, wodurch die Linsenfassung 25 in Richtung y1 bewegt wird. Wird der Strom umgekehrt, so wird der Anker 132b in Richtung y2 eingezogen, so daß die Linsenfassung 25 durch die Kraft der Feder 152 in Richtung y2 bewegt wird.

Fig. 2 zeigt das Blockdiagramm der Steuerschaltungen zur Korrektur der Zitter bewegung eines fokussierten Bildes in Querrichtung für das erste Ausführungs beispiel. Eine CPU 200 ist ein Mikrocomputer, der die Korrektur der Zitterbewe gung des fokussierten Bildes insgesamt steuert. Durch Schließen eines Schalters 201 wird die Korrektur der Zitterbewegung gestartet. Das Schließen des Schalters 201 wird an einem Eingangsport Ph der CPU 200 erfaßt. Ein Gyro-Sensor 202 für die Querrichtung gibt ein Winkelgeschwindigkeitssignal aus, das die Richtung und den Betrag der Bewegung des optischen Geräts quer zur optischen Achse angibt. Ein Querrichtungsverstärker 203 ist mit dem Querbewegungssensor 202 verbunden und verstärkt das Winkelgeschwindigkeitssignal. Der Querrichtungs verstärker 203 ist an die CPU 200 angeschlossen. Das verstärkte Win kelgeschwindigkeitssignal wird einem ersten A/D-Wandlereingang AD1 zugeführt.

Wie beschrieben, gibt das Signal des ersten Positionsdetektors 204 Positionsda ten für die Querrichtung der Korrekturlinse 28 ab, die sich aus dem Licht der er sten Leuchtdiode 204 ergeben. Der erste Positionsdetektor 24 ist mit der CPU 200 verbunden, so daß die Positionsdaten einem zweiten A/D-Wandlereingang AD2 zugeführt werden.

Der A/D-Wandlereingang ist mit einem Wandler verbunden, durch den ein analo ges in ein digitales Signal, gesteuert durch die CPU 200, umgesetzt wird.

Ein Oszillator 205 gibt ein Unterbrechungssignal ab, das eine A/D-Wandlerperi ode des ersten und des zweiten A/D-Wandlereingangs AD1 und AD2 bestimmt. Der Oszillator 205 ist mit der CPU 200 so verbunden, daß dieses Unterbre chungssignal einem externen Unterbrechungsanschluß INT zugeführt wird. Durch dieses Unterbrechungssignal wird mit jedem Impuls eine Interrupt-Routine initiiert, die z. B. eine Länge von 1 ms hat, und die A/D-Umsetzung wird gleichfalls über den ersten und den zweiten A/D-Wandlereingang AD1 und AD2 mit jedem Impuls so durchgeführt, daß jedes digitale Signal in der CPU 200 gelesen wird.

Die digitalen Signale der A/D-Wandlereingänge AD1 und AD2 werden in vorbe stimmter Weise verarbeitet und an einem D/A-Wandlerausgang DA1 abgegeben. Ein Querrichtungs-Antriebsverstärker 206 ist mit diesem Ausgang DA1 verbunden und verstärkt die Ausgangssignale.

Der D/A-Wandlerausgang ist mit einem Wandler verbunden, der die digitalen Si gnale in jedem Register der CPU 200 in analoge Signale abhängig von der Steuerung durch die CPU 200 umsetzt, so daß der Ausgang DA1 analoge Signale abgibt.

Der die Korrekturlinse 28 in Querrichtung bewegende erste Antrieb 131 ist mit dem Querrichtungsverstärker 206 verbunden. Die Korrekturlinse 28 wird also in Querrichtung mit dem ersten Antrieb 131 abhängig von den an dem Ausgang DA1 abgegebenen und mit dem Querrichtungs-Antriebsverstärker 206 verstärkten analogen Signalen bewegt.

Die CPU 200 enthält ein Integrationsregister 221, ein Korrekturpositionsregister 222 und einen Festspeicher (ROM) 223. Das Integrationsregister 221 integriert die Winkelgeschwindigkeitssignale des Querbewegungssensors 202, um die Winkeldaten des optischen Geräts bei der Zitterbewegung zu erhalten. Das Kor rekturpositionsregister 222 enthält die Positionsdaten der Korrekturlinse 28, die der erste Positionssensor 204 liefert. In dem Festspeicher 223 sind Daten wie die Maximalgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28 gespeichert. Diese Geschwindig keit hat einen Maximalwert, mit dem der erste und der zweite Antrieb 131, 132 die Korrekturlinse 28 bewegen können. Dieser Wert wurde zuvor experimentell be stimmt und berechnet.

Ein Längsbewegungssensor, der Positionssensor 209, ein Längsrichtungsver stärker und ein Längsrichtungs-Antriebsverstärker sind zur Korrektur der Zitter bewegung in Längsrichtung ähnlich wie für die Querrichtung mit der CPU 200 verbunden, so daß eine Korrektur beschriebener Art auch für die Längsrichtung durchgeführt wird. Der Längsrichtungs-Antriebsverstärker ist mit dem zweiten An trieb 132 verbunden.

Fig. 3 zeigt das Flußdiagramm der Korrektursteuerung für das erste Ausführungs beispiel, Fig. 4 das Flußdiagramm einer Interrupt-Routine, die in Schritt 303 des Flußdiagramms nach Fig. 3 ausgeführt wird. Ein Maximalgeschwindigkeitsmerker zeigt, ob die Zittergeschwindigkeit größer als die maximale Antriebsgeschwindig keit der Korrekturlinse 28 ist, wozu ein bestimmtes Bit in einem bestimmten Spei cher gesetzt wird.

Durch Einschalten des optischen Geräts wird mit der CPU 200 die Korrektur steuerung gestartet. In Schritt 301 wird geprüft, ob der Schalter 201 geschlossen ist. Trifft dies zu, so geht der Prozeß zu Schritt 302. Ist der Schalter 201 nicht ge schlossen, so wird Schritt 301 wiederholt ausgeführt. In Schritt 302 werden der Maximalgeschwindigkeitsmerker und das Integrationsregister 221 initialisiert. In Schritt 303 wird ein Interrupt-Modus gesetzt.

In Schritt 304 wird geprüft, ob der Schalter 201 geschlossen ist. Ist er geöffnet, so geht der Prozeß zu Schritt 305, und es wird eine Interrupt-Sperre gesetzt. Ist der Schalter 201 geschlossen, so wird Schritt 304 wiederholt ausgeführt, bis er geöff net wird, während der Interrupt-Betrieb beibehalten wird. Dieser wird also fortge setzt, während der Schalter 201 geschlossen bleibt.

Nach dem Start der in Fig. 4 gezeigten Interrupt-Routine wird in Schritt 401 das dem ersten A/D-Wandlereingang AD1 zugeführte Signal in ein digitales Signal umgesetzt und in dem Integrationsregister 221 integriert. Diese Integration erfolgt entsprechend der Bewegungsrichtung der optischen Achse folgendermaßen. Be wegt sich die optische Achse beispielsweise nach rechts und dann nach links, so wird das zugeführte Signal zu einem im Integrationsregister 221 bereits vorhan denen Wert addiert, jedoch bei einer Bewegung nach links mit negativem Vorzei chen. Bei einer Linksbewegung wird das zugeführte Signal also von dem zuvor vorhandenen Wert subtrahiert. Durch die Integration werden die Zitter-Winkelda ten des optischen Geräts, d. h. die Differenz der vorherigen und der neuen Win keldaten der optischen Achse in dem Integrationsregister 221 gespeichert.

Bei Schritt 402 wird das dem zweiten A/D-Wandlereingang zugeführte Signal in ein digitales Signal umgesetzt, und die Positionsdaten der Korrekturlinse 28, nämlich Daten des Abstandes zwischen der Korrekturlinse 28 und der optischen Achse des optischen Geräts, werden in dem Korrekturpositionsregister 222 ge speichert.

In Schritt 403 werden die Zittergeschwindigkeit des fokussierten Bildes und die maximale Antriebsgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28 aus dem Festspeicher 223 miteinander verglichen. Die Zittergeschwindigkeit wird folgendermaßen be rechnet. Die von dem Querbewegungssensor 202 abgegebene Winkelge schwindigkeit der optischen Achse des Geräts wird dem ersten A/D-Wandlerein gang AD1 zugeführt, verstärkt und der Zittergeschwindigkeit des fokussierten Bil des in einer Bildebene angepaßt, indem sie mit einem vorbestimmten Faktor mul tipliziert wird, so daß sich die Zittergeschwindigkeit des fokussierten Bildes ergibt. Ist diese größer als die maximale Antriebsgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28, so wird der Maximalgeschwindigkeitsmerker in Schritt 404 auf 1 gesetzt, und der Prozeß geht zu Schritt 408.

Übersteigt die Zittergeschwindigkeit des fokussierten Bildes die Maximalge schwindigkeit nicht, so wird in Schritt 405 geprüft, ob der Maximalgeschwindig keitsmerker auf 1 gesetzt ist. Trifft dies zu, so werden die Positionsdaten des Kor rekturpositionsregisters 222 in Schritt 406 in das Integrationsregister 221 kopiert. In Schritt 407 wird der Maximalgeschwindigkeitsmerker auf 0 zurückgesetzt, und der Prozeß geht zu Schritt 408. Ist der Maximalgeschwindigkeitsmerker nicht auf 1 gesetzt, so springt der Prozeß zu Schritt 407, und der Merker wird auf 0 gesetzt, wonach der Prozeß zu Schritt 408 geht.

Der Prozeß geht also zu Schritt 406, wenn sich die Zittergeschwindigkeit des fo kussierten Bildes von einem über der Maximalgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28 liegenden Wert auf einen darunterliegenden Wert ändert. In dieser Situation werden die in dem Korrekturpositionsregister 222 vorhandenen Positionsdaten in das Integrationsregister 221 kopiert. Die Daten des Integrationsregisters 221 wer den also durch die Daten des Korrekturpositionsregisters 222 ersetzt.

In Schritt 408 wird der Unterschied der in dem Integrationsregister 221 gespei cherten Zitter-Winkeldaten des optischen Geräts und der Positionsdaten der Kor rekturlinse 28 in dem Korrekturpositionsregister 222 berechnet. Diese Differenz wird mit einem vorbestimmten Faktor multipliziert und über den D/A-Wandleraus gang DA1 abgegeben. Danach kehrt der Prozeß zu Schritt 304 des in Fig. 3 ge zeigten Flußdiagramms zurück.

Wie oben beschrieben, werden die Zitter-Winkeldaten der optischen Achse des Geräts und die Positionsdaten der Korrekturlinse 28 verglichen, wenn die Zitter geschwindigkeit des fokussierten Bildes weiterhin höher oder niedriger als die Maximalgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28 ist, und der erste Antrieb 131 wird so betätigt, daß der Unterschied der jeweiligen Positionsdaten verschwindet.

Wird die Zittergeschwindigkeit des fokussierten Bildes von einem über der maxi malen Antriebsgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28 liegenden Wert auf einen darunterliegenden Wert verringert, so wird der Antrieb der Korrekturlinse 28 be rechnet, nachdem die Positionsdaten der Korrekturlinse 28 die Winkeldaten der optischen Achse des Geräts ersetzen. Die Korrekturlinse 28 wird also in der ge rade vorhandenen Position zwangsweise stillgesetzt, bis eine nächste Interrupt- Routine eintritt. Bei dieser nächsten Interrupt-Routine haben sich die Daten des Integrationsregisters 221 geändert, und es tritt nun eine Differenz der jeweiligen Positionsdaten auf, und die Korrekturlinse 28 wird aus der gegenwärtigen Position bewegt, um die Zitterbewegung des fokussierten Bildes auszugleichen.

Nach Abschluß der Interrupt-Routine und Rückkehr des Prozesses zur in Fig. 3 gezeigten Hauptroutine geht der Prozeß zu Schritt 305, wenn der Schalter 201 geöffnet ist. In Schritt 305 wird die Interrupt-Sperre gesetzt. In Schritt 306 werden die dem zweiten A/D-Wandlereingang AD2 zugeführten Positionsdaten der Kor rekturlinse 28 in ein digitales Signal umgesetzt und in die CPU 200 eingelesen. In Schritt 307 wird das digitale Signal mit einem vorbestimmten Faktor multipliziert, umgekehrt und an dem D/A-Wandlerausgang DA1 an den Querrichtungs-An triebsverstärker 206 abgegeben, so daß der erste Antrieb 131 entsprechend be tätigt wird. Das diesem zugeführte Signal wird durch Umkehr des dem zweiten A/D-Wandlereingang AD2 zugeführten Eingangssignals erzeugt. Die Korrektur linse 28 wird entsprechend in einer Richtung angetrieben, in der ihre optische Achse OP mit den optischen Achsen der anderen optischen Systeme des Geräts zusammenfällt.

In Schritt 308 wird geprüft, ob die optische Achse der Korrekturlinse 28 in Nor malposition ist. Trifft dies zu, so geht der Prozeß zu Schritt 309. Hier wird der An trieb der Korrekturlinse 28 unterbrochen, und der Prozeß kehrt zu Schritt 301 zu rück. Hat die optische Achse OP ihre Normalposition nicht erreicht, so kehrt der Prozeß zu Schritt 306 zurück. Die Schritte 306 bis 308 bringen die Korrekturlinse 28 also in die Normalposition. Während der Schalter 201 geöffnet ist, erfolgt keine Korrektur der Zitterbewegung des fokussierten Bildes, und die optische Achse OP der Korrekturlinse 28 sollte in Normalposition sein. Entsprechend wer den die Schritte 306 bis 308 ausgeführt.

Fig. 5 zeigt eine grafische Darstellung der Änderung des Zitterwinkels der opti schen Achse des Geräts und der Position der Korrekturlinse 28 sowie die Diffe renz der Zittergeschwindigkeit des fokussierten Bildes und der Bewegungsge schwindigkeit der Korrekturlinse 28. Eine durchgezogene Linie A zeigt die Ände rung der Daten des Integrationsregisters 221 in der CPU 200. Wie beschrieben, wird in dem Integrationsregister 221 die Winkelgeschwindigkeit der optischen Achse des Geräts integriert, deren Größe der Querbewegungssensor 202 liefert. Die Linie A zeigt die Änderung der Zittergeschwindigkeitsdaten der optischen Achse des Geräts. Diese Wellenform wird auch als "Fokuszitterwelle" bezeichnet. Eine gestrichelte Linie B zeigt die Änderung der Position der Korrekturlinse 28.

Eine durchgezogene Linie C zeigt die Änderung der Differenz, die sich durch Subtraktion der Änderungsgeschwindigkeit der Position der Korrekturlinse 28 von der Zittergeschwindigkeit ergibt.

Zum Zeitpunkt t0 startet der Antrieb der Korrekturlinse 28. Von t0 bis t1 ist der Änderungsbetrag der Zitterwinkeldaten der optischen Achse des Geräts etwa gleich dem Änderungsbetrag der Position der Korrekturlinse 28. Deren An triebsgeschwindigkeit folgt also der Zittergeschwindigkeit des fokussierten Bildes. Der Unterschied beider Geschwindigkeiten ist hier vernachlässigbar.

Von t1 bis t2 steigt die Zittergeschwindigkeit über die maximale Antriebsge schwindigkeit der Korrekturlinse 28 leicht an. Nach der Zeit t2 ist der Änderungs betrag der gestrichelten Linie B konstant, obwohl der Änderungsbetrag der Positi on des optischen Geräts allmählich zunimmt, denn der Änderungsbetrag der Po sition der Korrekturlinse 28 erreicht ein Maximum. Da die Zittergeschwindigkeit nach Überschreiten der maximalen Antriebsgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28 weiter ansteigt, fällt die durchgezogene Linie C ab, die den Unterschied der Zit tergeschwindigkeit und der Antriebsgeschwindigkeit angibt.

Von t2 bis t3 beginnt der Abfall der Zittergeschwindigkeit. Bei t3 wird die Zitterge schwindigkeit kleiner als die maximale Antriebsgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28, die der Zittergeschwindigkeit dann folgen kann. Der Unterschied der Zitter geschwindigkeit und der Antriebsgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28 ist 0, wie die durchgezogene Linie C zeigt. In diesem Moment werden die Zitter-Winkelda ten der Korrekturlinse 28 in das Integrationsregister 221 kopiert, das die Positi onsdaten des optischen Geräts enthält. Entsprechend erreicht die durchgezogene Linie A zum Zeitpunkt t3 dann etwa den Wert der gestrichelten Linie B. Nach t3 wird die Zittergeschwindigkeit unter der maximalen Antriebsgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28 gehalten, und die Differenz wird mit der durchgezogenen Linie C als Wert 0 dargestellt.

Wenn sich die Zittergeschwindigkeit in Querrichtung von einem über der maxima len Antriebsgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28 liegenden Wert auf einen dar unterliegenden Wert ändert, werden also die Positionsdaten der Korrekturlinse 28 zu den Zitter-Winkeldaten des optischen Geräts kopiert. Die Differenz der Positi onsdaten der Korrekturlinse 28 und der Zitter-Winkeldaten des optischen Geräts wird dabei auf 0 gebracht. Folglich wird die Korrekturlinse 28 in dem Moment, in dem die Differenz auf 0 gesetzt wird, zwangsweise in der gerade erreichten Posi tion stillgesetzt. Sie bleibt in dieser Position, bis der Wert des Integrationsregi sters 221 sich ändert und die Differenz von 0 abweicht. Danach wird die Korrektur der Zitterbewegung erneut gestartet, wenn die Interrupt-Routine auftritt und der Differenzwert erneut erzeugt wird.

In Längsrichtung wird eine gleichartige Korrektur durchgeführt.

Fig. 6 zeigt das Flußdiagramm zur Korrektursteuerung bei einem zweiten Ausfüh rungsbeispiel, Fig. 7 zeigt das Flußdiagramm der Interrupt-Routine bei Schritt 603 der Korrektursteuerung. Der Aufbau des optischen Geräts beim zweiten Aus führungsbeispiel ist ähnlich demjenigen bei dem ersten Ausführungsbeispiel. Be zeichnungen in den Flußdiagrammen der Fig. 6 und 7 haben dieselbe Bedeutung wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel, so daß diese Einheiten nicht nochmals beschrieben werden müssen.

Durch Einschalten des optischen Geräts wird die in Fig. 6 gezeigte Routine ge startet. In Schritt 601 wird geprüft, ob der Schalter 201 geschlossen ist. Trifft dies zu, so geht der Prozeß zu Schritt 602. Ist der Schalter 201 nicht geschlossen, so wird Schritt 601 wiederholt ausgeführt. In Schritt 602 werden eine Variable N, die eine Interrupt-Zeit angibt, und das Integrationsregister 221 initialisiert. In Schritt 603 wird ein Interrupt-Betrieb gesetzt.

In Schritt 604 wird geprüft, ob der Schalter 201 geschlossen ist. Ist er geöffnet, so geht der Prozeß zu Schritt 605, und es wird eine Interrupt-Sperre gesetzt. Ist der Schalter 201 geschlossen, so wird der Interrupt-Betrieb fortgesetzt, und der Pro zeß bleibt in dieser Position. Nach dem Setzen bleibt der Interrupt-Betrieb wirk sam, während der Schalter 201 geschlossen ist.

Nach Start der in Fig. 7 gezeigten Interrupt-Routine bei Schritt 603 in Fig. 6 wird bei Schritt 701 ein dem ersten A/D-Wandlereingang AD1 zugeführtes Signal in ein digitales Signal umgesetzt, das in dem Integrationsregister 221 integriert wird, so daß die Zitter-Winkeldaten des optischen Geräts in dem Integrationsregister 221 gespeichert werden. Das Eingangssignal ergibt sich durch Verstärken der Winkelgeschwindigkeitssignale der optischen Achse des Geräts, die von dem Querbewegungssensor 202 abgegeben werden.

In Schritt 702 wird ein dem zweiten A/D-Wandlereingang AD2 zugeführtes Signal in ein digitales Signal umgesetzt, das in dem Korrekturpositionsregister 222 ge speichert wird. Das zugeführte Signal enthält die Positionsdaten der Korrekturlin se 28, die der erste Positionssensor 204 abgibt.

In Schritt 703 wird der Wert der Variablen N um 1 erhöht. In Schritt 704 wird ge prüft, ob der Wert 10 erreicht ist. Ist dies nicht der Fall, geht der Prozeß zu Schritt 707.

Wird der Wert 10 erreicht, so geht der Prozeß zu Schritt 705. Hier werden die Positionsdaten der Korrekturlinse 28 aus dem Korrekturpositionsregister 222 in das Integrationsregister 221 kopiert. In Schritt 706 wird der Wert auf 0 rückge setzt. Danach geht der Prozeß zu Schritt 707.

In Schritt 707 wird die Differenz der Zitter-Winkeldaten des optischen Geräts im Integrationsregister 221 und der Positionsdaten der Korrekturlinse 28 in dem Kor rekturpositionsregister 222 berechnet, mit einem vorbestimmten Faktor multipli ziert und an dem D/A-Wandlerausgang DA1 abgegeben. Dann kehrt der Prozeß zu Schritt 604 des in Fig. 6 gezeigten Flußdiagramms zurück.

Wie vorstehend beschrieben, werden unter einem vorbestimmten Intervall die in dem Korrekturpositionsregister 222 gespeicherten Daten in das Integrationsregi sters 221 kopiert, und es wird der Antrieb der Korrekturlinse 28 berechnet. Unab hängig davon, ob die Zittergeschwindigkeit höher als die maximale Antriebsge schwindigkeit der Korrekturlinse 28 ist, werden das Kopieren und die Berechnung bei jeder zehnten Ausführung der Integrationsroutine wiederholt.

Nach Rückkehr aus der Interrupt-Routine stimmen die Schritte 605 bis 609 mit den Schritten 305 bis 309 des Flußdiagramms in Fig. 3 überein, so daß sie hier nicht nochmals erläutert werden.

Fig. 8 zeigt die grafische Darstellung der Positionsänderung der optischen Achse des Geräts relativ zur Position der Korrekturlinse 28 sowie den Unterschied der Zittergeschwindigkeit des fokussierten Bildes und der Bewegungsgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28. Eine durchgezogene Linie A, eine gestrichelte Linie B und eine durchgezogene Linie C entsprechen den in Fig. 5 gezeigten Linien A, B und C.

Von t12 bis t15 ist die Zittergeschwindigkeit größer als die maximale Antriebsge schwindigkeit der Korrekturlinse 28. Zu Zeitpunkten t13, t14 und t15, die einem vorbestimmten Intervall entsprechen, in dem die Variable N auf den Wert 10 an steigt, werden die in dem Korrekturpositionsregister 222 enthaltenen Daten in das Integrationsregister 221 kopiert. Ähnlich wird von t10 bis t12 und von t15 bis t21 das Kopieren gleichfalls mit dem vorbestimmten Intervall durchgeführt, auch wenn die Zittergeschwindigkeit unter der maximalen Antriebsgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28 liegt.

In Schritt 704 kann geprüft werden, ob die Variable N den Wert 1 hat, so daß das Kopieren und die Berechnung bei jeder Interrupt-Routine durchgeführt werden. Das vorstehend beschriebene vorbestimmte Intervall ist dann die Zeit, in der die Variable N den Wert 1 erreicht. Dieses Intervall kann das Intervall der A/D- Wandlung mit dem ersten und dem zweiten A/D-Wandlereingang AD1 und AD2 sein.

Fig. 9 zeigt perspektivisch eine weitere Vorrichtung zur Korrektur der Zitterbewe gung eines fokussierten Bildes als drittes Ausführungsbeispiel. Ein erster Antrieb 231 hat ein Motorgehäuse 231a und einen beweglichen Anker 231b. Ein in Fig. 9 nicht gezeigter Schrittmotor befindet sich in dem Motorgehäuse 231a. Die Welle 231b wird in Richtung ihrer Längsachse in Drehbewegung ausgefahren oder ein gezogen entsprechend einer Drehung des Schrittmotors im Uhrzeiger- oder Ge genuhrzeigersinn. Ein zweiter Antrieb 232 hat ein Motorgehäuse 232a und eine Welle 232b. Ein in Fig. 9 nicht gezeigter Schrittmotor befindet sich in dem Motor gehäuse 232a. Die Welle 232 wird in ihrer Längsrichtung ausgefahren oder ein gezogen entsprechend einer Drehung des Schrittmotors im Uhrzeiger- oder Ge genuhrzeigersinn.

Die Korrekturlinse 28 wird um einen Betrag entsprechend der Zahl der Antriebs schritte des Schrittmotors bewegt. Die Positionsdaten des optischen Geräts erhält man durch Berechnen des Produkts einer angesammelten Anzahl Antriebsschritte und des Bewegungsbetrages anstelle einer Erfassung mit Leuchtdiode und Positionssensor. Diese Elemente des ersten Ausführungsbeispiels sind hier also überflüssig. Im übrigen stimmt die Konstruktion mit derjenigen des ersten Ausführungsbeispiels überein. Für in Fig. 9 dargestellte Komponenten, die mit Komponenten des ersten Ausführungsbeispiels übereinstimmen, sind dieselben Bezugszeichen vorgesehen.

Fig. 10 zeigt das Blockdiagramm der Steuerschaltung zur Korrektur der Zitterbe wegung eines fokussierten Bildes in Querrichtung für das dritte Ausführungsbei spiel. Komponenten, die auch bereits in dem ersten Ausführungsbeispiel vorhan den sind, haben hier dieselben Bezugszeichen. In der CPU 200 wird ein über den ersten A/D-Wandlereingang AD1 gewandeltes Digitalsignal in vorbestimmter Weise verarbeitet, also integriert u. ä., dann wird ein aus 2 Bit bestehendes Steu ersignal an den Ausgängen PO0 und PO1 abgegeben. Ein Querrichtungstreiber 14 erzeugt ein Treibersignal, mit dem der Schrittmotor des ersten Antriebs 231 entsprechend dem 2 Bit-Steuersignal betätigt wird.

Die Positionsdaten der Korrekturlinse 28 werden durch Multiplikation eines An triebsbetrages der Linsenfassung 25, der einer Schrittbewegung des Schrittmo tors entspricht, mit der Schrittanzahl berechnet. Die Positionsdaten werden in dem Korrekturpositionsregister 222 gespeichert.

Ein Bewegungssensor und ein Längsrichtungstreiber zur Korrektur der Zitterbe wegung in Längsrichtung sind ähnlich wie für die Querrichtung mit der CPU 200 verbunden, so daß in Längsrichtung eine gleichartige Korrektur wie in Querrich tung durchgeführt wird.

Fig. 11 zeigt das Flußdiagramm der Prozedur der Korrektursteuerung für das dritte Ausführungsbeispiel, Fig. 12 zeigt das Flußdiagramm einer Interrupt-Rou tine, die in Schritt 803 (Fig. 11) während der Korrektursteuerung ausgeführt wird. Die Operationen der Schritte 801 bis 805 stimmen mit denjenigen der Schritte 301 bis 305 des Flußdiagramms nach Fig. 3 überein, so daß sie hier nicht nochmals beschrieben werden. Der in Fig. 803 gestartete Interrupt-Betrieb wird mit der in Fig. 12 gezeigten Routine fortgesetzt, während der Schalter 201 geschlossen ist.

Der in Fig. 12 gezeigte Schritt 901 enthält ähnliche Operationen wie Schritt 401 in Fig. 4. Das dem ersten A/D-Wandlereingang AD1 zugeführte Signal wird in ein digitales Signal umgesetzt und im Integrationsregister 221 integriert, so daß die Zitter-Winkeldaten des optischen Geräts in diesem Register gespeichert werden. In Schritt 902 werden die laufenden Positionsdaten der Korrekturlinse 28 durch Multiplikation des Antriebsbetrages der Linsenfassung 25 pro Schritt des Schrittmotors mit einer Anzahl solcher Schritte berechnet. Die Positionsdaten der Korrekturlinse 28 werden dann in dem Korrekturpositionsregister 222 gespeichert.

Die Operationen der Schritte 903 bis 905 stimmen mit denjenigen der Schritte 403 bis 405 aus Fig. 4 überein. In Schritt 905 wird der Prozeß zum Schritt 906 geleitet, wenn der Wert des Maximalgeschwindigkeitsmerkers 1 ist. In Schritt 906 wird ein vorbestimmter Wert β zu dem Wert des Korrekturpositionsregisters 222 addiert oder von ihm subtrahiert. Ist der vorbestimmte Wert β höher als ein Schwellenwert, durch den der Schrittmotor betätigt wird, so erfolgt eine Schrittbe wegung des Schrittmotors. In diesem Ausführungsbeispiel ist der vorbestimmte Wert β größer als der Schwellenwert festgelegt. Abhängig von der Bewegungs richtung der Korrekturlinse 28 wird entschieden, ob der Wert β zu addieren oder zu subtrahieren ist. Beispielsweise wird eine Bewegung der Korrekturlinse 28 nach rechts als positiv und nach links als negativ gewertet. Hat sich die Korrek turlinse 28 nach rechts bewegt, so wird der vorbestimmte Wert β zu dem Wert des Korrekturpositionsregisters 222 addiert, hat sie sich nach links bewegt, so wird er von dem Wert des Korrekturpositionsregisters 222 subtrahiert.

In Schritt 907 werden die Positionsdaten nach Anfügen des vorbestimmten Wer tes β in das Integrationsregister 221 kopiert. In Schritt 908 wird der Maximalge schwindigkeitsmerker initialisiert, und der Prozeß geht zu Schritt 909. Hier wird die Differenz der Zitter-Winkeldaten des Geräts im Integrationsregister 221 und der Positionsdaten der Korrekturlinse 28 im Korrekturpositionsregister 222 be rechnet. Die Anzahl der zum Beseitigen der Differenz erforderlichen Antriebs schritte wird berechnet, und die Kontrollsignale entsprechend dieser Schrittzahl werden an den Ausgängen PO0 und PO1 abgegeben. Durch Addition oder Sub traktion des vorbestimmten Werts β, der höher als der Schwellenwert ist, wird der Schrittmotor um mindestens einen Schritt bewegt, wenn die Zittergeschwindigkeit des fokussierten Bildes von einem über der maximalen Antriebsgeschwindigkeit der Korrekturlinse 28 liegenden Wert auf einen darunterliegenden Wert geändert wird.

Nach Ende der Interrupt-Routine und Rückkehr des Prozesses in die in Fig. 11 gezeigte Hauptroutine geht der Prozeß zu Schritt 805, wenn der Schalter 201 geöffnet ist. Hier wird die Interrupt-Sperre gesetzt. In Schritt 806 wird die Korrek turlinse 28 entsprechend der angesammelten Schrittzahl des Schrittmotors in die Normalposition gebracht. In Schritt 807 werden die Ausgangssignale an den Aus gängen PO0 und PO1 auf 0 gesetzt.

Wie oben beschrieben, wird bei dem dritten Ausführungsbeispiel der vorbe stimmte Wert β zu den Daten des Korrekturpositionsregisters 222 addiert oder von ihnen subtrahiert, so daß Daten, die um den vorbestimmten Wert β höher oder niedriger als die Daten des Korrekturpositionsregisters 222 sind, in das Inte grationsregister 221 kopiert werden. Daher wird ein Spannungsabfall an dem je weiligen Antrieb in einem Moment verhindert, wenn die Differenz der Daten beider Register berechnet wird. Somit ergibt sich eine störungsfreie Antriebssteuerung der Korrekturlinse 28.

Die Erfindung ermöglicht eine stabile Steuerung der Korrektur der Zitterbewegung zu jedem Zeitpunkt, auch wenn die Zittergeschwindigkeit die maximale Antriebs geschwindigkeit des Korrektursystems überschreitet.

Claims

1. Vorrichtung zur Korrektur der Zitterbewegung eines fokussierten Bildes in einem optischen Gerät, mit einem die Winkelgeschwindigkeit der Zitterbe wegung der optischen Achse des Geräts erfassenden Detektor, einem die Winkelgeschwindigkeit in Winkeldaten durch Integration der Ausgangssi gnale des Detektors umsetzenden Integrator, einer Antriebsanordnung zum Bewegen eines optischen Korrektursystems, Erfassungselementen zum Er fassen von Positionsdaten des Korrektursystems, und einem Steuersystem zur Steuerung der Antriebsanordnung derart, daß die Differenz der Winkel daten der optischen Achse und der Positionsdaten des Korrektursystems verschwindet, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersystem den von dem Integrator abgegebenen Wert durch einen Wert ersetzt, der weitgehend äquivalent einem von den Erfassungselementen abgegebenen Wert ist, wenn ein vorbestimmter Zustand eintritt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der vorbe stimmte Zustand eintritt, wenn die Zittergeschwindigkeit der optischen Achse sich von einem Wert über der maximalen Antriebsgeschwindigkeit auf einen Wert unter dieser Geschwindigkeit ändert.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersystem den von dem Integrator abgegebenen Wert durch den von den Erfassungselementen abgegebenen Wert in vorbestimmten periodischen In tervallen während der Antriebsbewegung des optischen Korrektursystems ersetzt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersystem den von den Erfassungselementen abgegebenen Wert durch einen vorbestimmten Wert verändert und den von dem Integrator abgegebe nen Wert durch den von den Erfassungselementen abgegebenen Wert er setzt, um die Antriebsrichtung des Korrektursystems dann beizubehalten.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersy stem den von den Erfassungselementen abgegebenen Wert um den vor bestimmten Wert erhöht, wenn die Antriebsrichtung eine erste Richtung ist, und daß es den von den Erfassungselementen abgegebenen Wert um den vorbestimmten Wert verringert, wenn die Antriebsrichtung der ersten Rich tung entgegengesetzt ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebs anordnung einen Schrittantrieb enthält, der bei einem über einem Schwel lenwert für eine Schrittbewegung liegenden vorbestimmten Wert wirksam wird.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsanordnung einen Elektromagnetantrieb enthält und daß die Erfassungselemente die Positionsdaten optisch erfassen.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsanordnung einen Schrittantrieb enthält, und daß die Erfas sungselemente die Positionsdaten aus der mit dem Antrieb jeweils durchge führten Schrittzahl berechnen.

9. Vorrichtung zur Korrektur der Zitterbewegung eines fokussierten Bildes in einem optischen Gerät, mit einem die Winkelgeschwindigkeit der Zitterbe wegung der optischen Achse des Geräts erfassenden Detektor, Integratoren zum Umsetzen der Winkelgeschwindigkeit in Winkeldaten durch Integration der Ausgangssignale des Detektors, einem optischen Korrektursystem zur Korrektur der Zitterbewegung eines fokussierten Bildes, einer Antriebsan ordnung zum Antrieb des Korrektursystems, Erfassungselementen für Posi tionsdaten des Korrektursystems, und einem Steuersystem zur Steuerung der Antriebsanordnung derart, daß eine Differenz der Winkeldaten der opti schen Achse und der Positionsdaten des Korrektursystems verschwindet, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersystem die Antriebsanordnung stillsetzt und damit das optische Korrektursystem in der jeweils erreichten Position hält, wenn ein vorbestimmter Zustand eintritt.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß beim Auftreten des vorbestimmten Zustands die Differenz mit Null bewertet wird, und daß das Steuersystem das Korrektursystem in der dann erreichten Position still setzt.

11. Verfahren zur Korrektur der Zitterbewegung eines fokussierten Bildes in ei nem optischen Gerät, mit folgenden Schritten:

1. Erfassen der Winkelgeschwindigkeit der optischen Achse des opti schen Geräts,
2. Integrieren der Winkelgeschwindigkeit und Umsetzen in Winkeldaten,
3. Erfassen der Positionsdaten eines optischen Korrektursystems,
4. Bewegen des Korrektursystems derart, daß die Differenz der Winkel daten und der Positionsdaten verschwindet, gekennzeichnet durch
5. Ersetzen der Winkeldaten durch Daten, die den Positionsdaten weitge hend äquivalent sind, wenn ein vorbestimmter Zustand eintritt.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der vorbe stimmte Zustand dann eintritt, wenn die Zittergeschwindigkeit der optischen Achse sich von einem Wert höher als die maximale Antriebsgeschwindigkeit des Korrektursystems auf einen darunterliegenden Wert ändert.

13. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der vorbe stimmte Zustand der Ablauf einer vorbestimmten Zeit ist.