DE1976157U

DE1976157U - Halter fuer die schneiden einer vorrichtung zum zerschneiden duenner plaettchen.

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Publication number: DE1976157U
Application number: DEN18546U
Authority: DE
Original assignee: Norton Co
Current assignee: Saint Gobain Abrasives Inc
Priority date: 1965-03-19
Filing date: 1966-03-18
Publication date: 1967-12-28
Also published as: US3326071A; DE1976158U; GB1140875A; BE678068A; GB1140874A; NL6603495A

Description

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neqotive zu den üblichen Preisen geliefert.

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zu der G-ebrauchsniusteranmeldung

HORTON 0 OtIPAIY, Worcester, Massachusetts, U.S.A.

betreffend

Halter für die Schneiden einer Vorrichtung zum.Zerschneiden dünner Plättchen.

Die Neuerung betrifft einen Halter für mehrere parallel an einem hin- und herver schiebbar en Reiimen einer Vorrichtung zum _. Zerschneiden dünner Plättchen befestigte Schneiden.

Bei den bisher üblichen Vorrichtungen zum Zerschneiden von dünnen Halbleiterplättchen in Würfel sind die Schneiden nur an ihren Enden über geeignete Befestigungsstücke am hin- und her-yersehiebbaren Rahmen befestigt und werden durch geeignete Spa-nneinricht^ingen in Längsrichtung gespannt gehalten. Diese'bekannte Befestigungsart für die Schneiden ist zwar zum Zer-

schneiden von "blanken Halbleiterplättehen in Würfelehen, wie sie z.B. zum Herstellen von Transistoren benötigt werden, "brauchbar, nicht jedoch zum genauen Zerschneiden von solchen Halbleiterplättchen, auf deren Oberfläche sehr eng nebeneinander in einem vorbestimmten Muster Mikrominiaturschaltungen aufgebracht sind, oder auf deren Oberfläche eine dünne Schicht aus einem anderen Material, beispielswei.se Siliziumdioxyd, aufgebracht ist, denn für diese bekannten Schneidenhalterungen müssen relativ dicke Schneiden verwendet werden, damit diese sich bei der Hin- und Herbewegung nicht ausbiegen.

■&& ist Aufgabe der Neuerung, einen Schneidenhalter für derartige Vorrichtungen zum Zerschneiden von dünnen Halbleiterblättehen, auf deren Oberfläche beispielsweise sehr eng nebeneinander Mikrominiaturschaltungen aufgebracht sind, zu schaffen und ferner diese Vorrichtungen selbst derart zu verbessern, daß auch sehr dünne Halbleiterplättchen aus relativ teuerem Material sehr genau und trotzdem schnell in eine Vielzahl von kleinen Würfelchen zerschnitten werden können und dabei der Materialverlust auf ein Minimum reduziert wird.

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Diese Aufgabe wird neuerungsgemäß durch einen Halter gelöst, der aus einer genau ausgerichtet auf dein Rahmen anbringbaren langgestreckten Stützplatte besteht, an der nach unten ragende seitliche Binspannabschnitte ausgebildet sind und an welcher'ein sich längs der Stützplatte erstreckendes, in Querrichtung gegen einen der seitlichen Einspannabschnitte "verspannbares Klemmstück angebracht ist, und die Schneiden zwischen diesen seitlichen Einspannabschnitten zusammen mit sich über die gesamte Länge der Schneiden erstreckender Abstandstücke derart einspannbar sind, daß sie über ihre gesamte Länge und im wesentlichen über ihre ganze Breite mit Ausnahme einer der Schneidkante benachbarten Zone eingespannt sind. Vorzugsweise ist dabei an den Enden jeder Stützplatte jeweils ein !Fortsatz angebracht, durch welche die Stützplatte mit den Schneidkanten nach unten durch die Rthmenöffnung ragend - auf der Oberseite des Rahmens befestigbar ist. Das Ausmaß, mit welchem die Schneidkanten der Schneiden nach unten über die Abstandstücke hinausragen, wird vorzugsweise durch auswechselbare Beilegstücke bestimmt, die zwischen der Stützplatte und den Schneiden angeordnet sind.

Der neuerungsgemäße Halter ermöglicht die Verwendung von sehr dünnen Schneiden, so daß auch Halbleiterplättchen, auf welchen sehr nahe nebeneinander Mikrominiaturschaltungen aufgebracht sind, in entsprechend kleine Würfel mit scharfen genauen Kanten zerschnitten werden können. So können "beispielsweise Schneiden von nur etwa 0,025 "bis 0,050 mm Dicke und AId stand stücke von weniger als 0,75 mm Dicke verwendet werden und es können damit sehr dünne Plättchen zerschnitten werden, deren Dicke weniger als 0,25 mm "beträgt. Der Pehler "bezüglich der Abstände der Schneiden über die ganze Breite

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eines Plättehens kann damit innerhalb äußerst enger Grenzen von etwa 0,025 mm über eine Breite von bis zu etwa 38 mm gehalten werden, wobei längs dieser Strecke bis zu 70 Würfel vorhanden sein können. Dur oh "die Verwendung der sehr dünnen Schneiden wird auch das beim Schneidvorgang, bei dem ein sehr feines Schleifmittel verwendet werden kann, abfallende Material auf ein Minimum reduziert.

Vor allem im Zusammenwirken mit einer neuerungsgemäßen Yferkstückvorschubeinrichtung, die unmittelbar an dem auch die führungen für den Rahmen tragenden Maschinengestell befestigt ist, wird eine sehr genaue Ausrichtung der Sehneiden gegenüber den Sollschnittlinien erreicht, wie dies mit keiner bekannten Vorrichtung dieser Art bisher möglich war. Die neuerungsgemäße Vorrichtung ermögliht es nämlich, daß die HaIbleiterplättchen zuerst in einer' Richtung durch mehrere parallele Schnitte in genau vorbestimmten Abständen in Streifen zerschnitten werden können und daß das Plättchen anschließend in einer zu der ersten Schneidrichtung rechtwinkligen Richtung ebenfalls mit zahlreichen parallelen Schnitten versehen wird, um so eine Vielzahl von Würfel mit sehr glatten, zueinander rechtwinkligen Kanten her-

zustellen. Jeder Würfel trägt dann, falls auf den Plättchen vorher entsprechende Mikrominiaturschaltungen aufgebracht waren, eine unversehrt gebliebene Mikrominiaturschaltung, die sich in der litte des ^ürfels befindet. Die Kerbverluste betragen dabei etwa nur 0,075 mm.

Die !Teuerung wird im folgenden anhand schematischer Zeichnungen an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert.

Pig. 1 zeigt eine bevorzugte Ausbildungsform einer erfindungsgemäßen Würfelschneidvorrichtung im Grundriß.

Pig. 2 ist eine teilweise weggebrochen gezeiehaete Seitenansicht der Vorrichtung nach Pig. 1.

Pig. 3 ist ein vergrößerter Schnitt längs der Linie 3.-3 in Pig. 1.

Pig. 4 zeigt in einem Seil eines Grundrisses einen Werkstückhalter und die ihm benachbarten Unterstützungen für die Mittel zum Ausrichten und Bestimmen der Lage des Werkstücke #■' -

Fig. 5 ist ein. Teilschnitt längs der Linie 5-5 in Fig. 3 und zeigt ein Werkstück in seiner Bearbeitungsstellung, wobei Einzelheiten der PräzisiGnseinstellmittel für das langgestreckte Unterstützungsteil für die Sägeblätter zu erkennen sind.

Fig. 6 ist ein Teilsohnitt längs der linie 6-6 in lig. 5 und zeigt weitere Einzelheiten der Präzisionseinstellmittel für die Unterstützung der Sägeblätter.

Fig. 7 zeigt in einem Ausschnitt einer Seitenansicht eine typische Werkstückunterstützung, wobei der erste Schritt der Vorbereitung von Mitteln dargestellt ist, mittels deren ein Werkstück in der gewünschten Weise angeordnet und orientiert werden kann.

Fig. 8 ähnelt Fig. 7_} zeigt jedoch das Zusammenarbeiten der Mittel zum Bestimmen der Lage und Orientierung eines Werkstücks mit der WerkstüekunterStützung.

In den Zeichnungen sind einander entsprechende Teile jeweils mit gleichen B.ezugszahlen bezeichnet; gemäß Fig. 1 und 2 umfaßt die insgesamt mit 10 bezeichnete Würfelschneidvorrichtung eine Tragkonstruktion 12, auf der ein kräftig ausgebildeter starrer einteiliger Haupttragrahmen

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mit drei in Abständen verteilten, nach unten vorspringenden ^uflagefläöhen 16 angeordnet ist, wobei sich die Auflageflachen 16 an der Oberseite der Tragkonstruktion 12 abstützen. Da die Tragkonstruktion 12 mit drei durch Abstände getrennten Bißen 17 versehen ist, ist es möglich, die Vorrichtung 10 gemäß Hg* 2 auf einer beliebigen geeigneten, relativ ebenen Fläche anzuordnen; der starre Haupttragrahmen 14 kann an der Tragkonstruktion 12 mit Hilfe geeigneter Befestigungsmittel befestigt werden, z.B. mit Hilfe von Sehrauben 18, die durch Öffnungen in den Auflageflächen 16 ragen, ohne daß innere Spannungen hervorgerufen werden, die zu einer Verformung des s.tarren Haupttragrahmens 14 führen könnten. Der starre Haupttragrahmen 14 umfaßt eine V-förmige Führung 23 und eine dazu parallele Flachbahnführung 24, die gemäß Fig. 3 beide an dem einteiligen Haupttragrahmen 14 ausgebildet sind, um eine geeignete Unterstützung für einen kräftig ausgebildeten einteiligen starren Tragrahmen 31 für mehrere Sätze von Sägeblättern zu bilden; der Tragrahmen 31 weist eine V-förmige Führung 33 und eine ebene Führungsfläche 34 auf, die mit der V-förmigen Führung 23 bzw. der Flachbahnführung 24 des Haupttragrahmens 14 zusammenarbeiten. Der Tragrahmen 31 für die Sägeblätter weist eine ebene Oberseite auf, die sich längs des Umfangs einer rechteckigen zentralen Öffnung 37 des Tragrahmens 31 erstreckt.

Der rechteckige Tragrahmen 31 für die Sägeblätter unterstützt einen Satz von langgestreckten, jeweils mehrere Sägeblätter aufnehmenden, insgesamt mit 41 bezeichneten Aggregaten, von denen jedes eine langgestreckte flache und starre Stützplatte 42 mit zwei Fortsätzen 43 umfaßt; diese Portsätze 43 schließen sich an die Enden der Platte 42 an und weisen in einer gemeinsamen Ebene liegende untere !lachen 44 auf, die mit der ebenen oberen !lache 56 des Tragrahmens 31 für einen Satz von Sägeblättern zusammenarbeiten; die ebene obere !lache 46 der Stützplatte 42 verläuft parallel zu den unteren !lachen 44 der !ortsätze 43·

Der Tragrahmen 31 für die Sägeblätter wird längs des Haupt tr agrahmens -14 durch Antriebsmittel hin- und herbewegt, die zweckmäßig einen mit variabler Drehzahl arbeitenden Elektromotor 51 umfassen, ferner eine Kupplung 52, ein Untersetzungsgetriebe 53, eine mit einem Exzenter 55 versehene Scheibe 54 sowie eine Platte 56 mit einem Querschlitz 57, in den der Exzenter 55 eingreift, so daß die Platte 56 zusammen mit dem daran befestigten Tragrahmen 31 für die Sägeblätter gegenüber dem Haupttragrahmen 14 hin- und herbewegt wird, wenn sich die Scheibe 54 dreht.

Um das Einstellen und den Betrieb der Torrichtung 10 zu erleichtern, können die Antriebsmittel gemäß Fig. 1 und eine insgesamt mit 61 bezeichnete schnell lösbare Verbindung

umfassen; diese Verbindung 61 umfaßt einen Klotz 62, der am Tragrahmen 31 für die Sägeblätter befestigt ist und genau bearbeitete, in der Querrichtung verlaufende, gegeneinander versetzte Flächen 63 aufweist, mit denen dazu passend geformte, sich in der Querrichtung erstreckende versetzte Flächen 64 zusammenarbeiten, die nahe dem betreffenden Ende der Platte 56 vorgesehen sind. Die schnell lesbare Verbindung 61 umfaßt ferner schnell lösbare Klemm- oder Spannmittel, die gemäß Iig. 1 und 2 einen Griff 66 umfassen können, mittels dessen ein .Ansatz 67 und eine von diesem aus nach unten ragende Schraube gemäß Fig. 1 im Uhrzeigersinne gedreht werden können, um die Platte 56 mit dem Klotz 52 zu verspannen, bzw. entgegen dem Uhrzeigersinne, um die Platte 56 zu lösen, die in der Wähe der versetzten Flächen 64 geschlitzt ist, so daß sie leicht in den Raum zwischen den versetzten Flächen 63 und dem Ansatz 67 eingeführt bzw. herausgezogen werden kann, ohne daß diese Bewegungen durch die Schraube 68 behindert werden, nachdem der Griff 66 genügend weit entgegen dem Uhrzeigersinne geschwenkt worden ist«

Der Haupttragrahmen 14 unterstützt ferner einen insgesamt mit 81 bezeichneten Werkstückzuführung- bzw. Vorschubmechanismus mit Hilfe eines starren, allgemein U-förmigen, insgesamt mit 71 bezeichneten Bügelteils, das einen ebenen unteren Abschnitt 72 umfaßt,, ferner zwei senkrechte seitliche Abschnitte 73, Verstärkungsrippen und Befestigungsflansehe 75. Das Bügelteil 71 kann mit dem Haupttragrahmen 14 durch beliebige geeignete Befestigungs-

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mittel verbunden sein, z.B. gemäß Pig. 3 durch. Schrauben 77» die durch Öffnungen der Plansche 75 ragen und in Gewindetohrungen des Haupttragrahmens 14 eingeschraubt sind.

Gemäß Pig. 2 und 3 umfaßt der Vorschubmechanismus 81 eine ringförmige Buchse 82 mit einem nach außen ragenden Plansch. 83, der sieh am unteren Abschnitt 72 des Bügelteils 71 abstützt und daran mit Hilfe von Maschinenschrauben 84 befestigt ist. Die uchse 82 weist außerdem eine innenliegende Schulter 86 auf, die gemäß 3?ig.3 eine langgestreckte Buchse 91 aus lylon oder dergleichen abstützt, welche mit einer äußeren Schulter 92 versehen ist, die an der Schulter 86 angreift, so daß die Buchse 91 konzentrisch mit der Buchse 82 unterstützt wird, um eine genaue Pührungsfläche für einen langgestreckten zylindrischen Kolben bzw. eine Stange 94 zu bilden, die nahe ihrem oberen Ende mit einem großen waagerechten Plansch 95 versehen ist, welcher über die Buchse 82 hinausragt und am oberen Ende der Stange 94 eine in der Querrichtung langgestreckte Tragplatte 96 für die Werkstücke trägt.

Gemäß Pig. 3 wird die zylindrische Stange 94 gegen Drehbewegungen innerhalb der Buchse 91 durch eine Stange gesichert, deren oberes ^näe an dem-Plansch 95 befestigt ist, und die an ihrem unteren Ende einen am unteren Ende der

Stange 94 befestigten Sehenkel 102 trägt. Die parallelen Seitenflächen 103 der Stange 101, die genau auf die Mittellinie der Stange 94 ausgerichtet sind, werden zwischen zwei Rollen 104 geführt, die auf einer Fläche 105 am umfang ^er Buchse 82 drehbar gelagert sind. Damit der Abstand zwischen den Rollen 104 eingestellt werden kann, um jedes Spiel zu beseitigen, kann eine der Rollen 104 auf exzentrischen verstellbaren Haltemitteln 106 gelagert sein.

Damit eine senkrechte Vorschubbewegung der Stange 94 hervorgerufen werden kann, ist ein insgesamt mit 110 bezeichnetes langgestrecktes Bauteil zwischen seinen Enden in zwei Stehlagern 112 gelagert, die gemäß 5¹Ig. 1 und 2 an der Tragkonstruktion 12 befestigt sind; der Trägerabschnitt 114 des langgestreckten Bauteils 110 trägt Gewichte 115» die auf geeignete Weise gewählt und an diesem Abschnitt aufgehängt sind, so daß der bügeiförmige Abschnitt 116 am anderen Ende des Bauteils 110, Rollen 117» die auf den Enden der Bügelschenkel gelagert sind, gegen die Unterseite des Flansches 95 drückt; hierbei ist der Bügelabschnitt 116 so angeordnet, daß die gemeinsame Drehachse der Rollen 117 die Achse der Stange 94 im wesentlichen schneidet, wenn die Werkstücke mit den Sägeblättern 123 in Berührung stehen.

Im folgenden wird auf die Einzelheiten der insgesamt mit 41 bezeichneten Aggregate zum Aufnehmen mehrerer Säge-

blätter eingegangen; gemäß ^ig. 2 und 3 umfaßt die starre Stützplatte 42 nach unten ragende parallele seitliche Schienenabschnitte 121a und I21t>, welche die erinander gegenüber liegenden feststehenden Backen eines Einspannaggregats "bilden, das eine Spannschiene 122 umfaßt, die gegen einen Satz von Sägeblättern 123 mit dazwischen angeordneten Abstandstücken 124 gedrückt werden kannj um dies zu ermöglichen, sind mehrere in Abständen verteilte Spannschrauben 126 vorgesehen, die in G-ewindebohrungen der seitlichen Schienenabschnitte 121b eingesehraubt sind.

Da man die langgestreckten Aggregate 41 zum Aufnehmen mehrerer Sägeblätter aus der Vorrichtung 10 ausbauen kann, um das Instandsetzen oder Auswechseln der Sägeblätter 23 zu ermöglichen, kann man die Aggregate 41 in umgekehrter Lage auf einem Arbeitstisch anordnen, um die Sägeblätter 123 und die Abstandsstücke 124 auszubauen. Die Sägeblätter 123_} die gemäß Fig. 5 über beide Enden der langgestreckten Abstandsstücke 124 hinausragen, können durch zwei Beilegstücke 128 abgestützt werden, deren Dicke so gewählt ist, daß sie die Sägeblätter so abstützen, daß deren Sehneidkanten über die benachbarten Kanten der Anstandsstücke 124 um einen Betrag hinausragen, der ausreicht, um es den Sägeblättern zu'ermöglichen» ein dünnes Werkstück zu durchschneiden, ohne daß dieser Vorgang durch die benachbarten Kanten der Abstandsstücke 124 behindert wird.

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Nachdem man einen Satz von Sägeblättern 123 mit dazwischen angeordneten Anstandsstücken 124 durch Festziehen der Spanns ehr aub en 126 in dem zugehörigen Tragstüek 41 festgelegt hat, kann das Tragstüek 41 auf dem Tisch einer Flächenschleifmaschine so angeordnet werden, daß es auf seiner ebenen oberen Fläche 46 ruht, um dann in der Längsrichtung unter der Schleifscheibe der Flächenschleifmaschine hindurchgeführt zu werden, damit die Schneidkanten sämtlicher Sägeblätter 123 so geschliffen werden, daß sie in einer gemeinsamen Ebene liegen, die z. B. in einem Jbstand von etwa 0,5 mm von einer dazu parallelen Ebene verläuft, in welcher die benachbarten Kanten der Abstandstücke 124 liegen» Ferner kann man die eingebauten Sägeblätter 123 mehrmals nacharbeiten, ohne daß sie aus den Tragstücken 41 ausgebaut zu werden brauchen; zu diesem Zweck baut man das betreffende Tragstück 41 aus, wendet das Tragstück um, löst die Spannschrauben 126, ersetzt die Beilegklötze 128 durch zwei etwas dickere Beilegklötze, zieht die Spannschrauben 126 wieder fest und schleift dann die Schneidkanten der Sägeblätter erneut in der beschriebenen Weise, so daß die abgenutzten Teile der Sägeblätter 123 beseitigt werden und ihre Sohneidkanten wieder in einer gemeinsamen Ebene liegen«

Wenn das Tragstück 41 für mehrere Sägeblätter auf dem rechteckigen Tragrahmen 31 angeordnet ist, greift in eine

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Öffnung eine der Portsätze 43 ein Stift 131 fest ein, der gegenüber der ebenen oberen Fläche 36 naoh oben ragt, und ein weiterer Stift 132, der am anderen Ende des rechteckigen Tragrahmens 31 gegenüber der ebenen oberen Fläche 36 nach oben vorspringt, greift in einen Schlitz eines lockenklotzes 134 ein, der in einer Öffnung des Tragstücks 41 angeordnet ist; der Schlitz 135 des Nockenklotzes 134 ist gemäß ^ig. 6 'etwas geneigt. Hunmehr kann man den lockenklotz 134 längs der Achse des Tragstüeks 41 verschieben, indem man eine Stellschraube 136 dreht, die in dem Tragstück 41 drehbar gelagert ist, bis die Sägeblätter 123 genau auf die Bewegungsbahn des rechteckigen Tragrahmens 31 für die Sägeblätter ausgerichtet sind. Jedes Tragstück 41 mit mehreren Sägeblättern wird mit Hilfe von vier Schrauben 138 gegenüber dem Tragrahmen 31 genau in der richtigen Stellung festgelegt.

An der Oberseite der Werkstücktragplatte 96 sind mehrere Werkstückhalteaggregate befestigt, von denen jedes durch ein mit Unterdruck zu beaufschlagendes Spannfutter gebildet wird, dessen ebene Oberseite mit mehreren Saugöffnungen 143 versehen ist.

Mittel zum Bestimmen der Lage und Winkelstellung jedes Werkstücks, die weiter unten an Hand von Fig. 4, 7 und 8 beschrieben werden, werden nahe jedem Saugspannfutter

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141 durch zwei Sockel 151 unterstützt, die an der Y/erkstüektragplatte 96 befestigt sind, so daß zwischen ihnen ein Längsabstand vorhanden ist und sie sich quer zur Bewegungsbahn des Tragrahmens 31 für die Sägeblätter erstrecken. Die Sockel 151 sind mit ebenen zusammenarbeitenden oberen Flächen 152 versehen, die parallel zueinander etwas tiefer angeordnet sind als die obere Fläche 142 des Saugspannfutters 141; jeder Sockel 151 ist mit zwei einander gegenüber liegenden verstellbaren Spannorganen 153 versehen, die

jeweils
mit dem Sockel 151\Alurch eine Spannschraube 154 verbunden

.-■-■■/-^ie Mittel zum Bestimmen der Lage und Winkelstellung jedes Werkstücks umfassen ein relativ langgestrecktes dünnes und flaches Bezugsorgan 161 aus einem harten durchsichtigen Material, das gemäß Fig. 7 so angeordnet werden kann, saß es auf einer Seite mit Hilfe einer Hin- und Herbewegung der Sägeblätter 123 markiert bzw. eingeritzt werden kann, sowie zwei relativ kurze dünne und flache Bezugsklätze 162 aus einem harten Material, die an den ebenen oberen Flächen 152 der betreffenden Sockel gemäß Fig. 4 mit Hilfe der Spannorgane 153 befestigt und ebenfalls mit Hilfe der sich hin« und herbewegenden Sägeblätter 123 markiert bzw. eingeritzt werden können*

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Um Tferkstücke 171 einzurichten, "bei denen es sich um dünne Plättchen aus einem harten kristallinischen Material handelt, die eine große Zahl von nahe beieinander angeordneten, durch regelmäßige Abstände getrennten Mikrominiaturschaltungen auf einer Hache tragen, und zwar derart, daß jedes Werkstück die richtige Lage und Winkelstellung einnimmt, um in eine große Zahl von Würfeln 172 zerlegt werden zu können, wird jedes Werkstück zeitweilig mit einer flachen Unterstützung verbunden, die eine kreisrunde Unterlage 175 umfaßt, welche zweckmäßig durch eine dünne ebene Glasplatte oder dergleichen gebildet werden kann.

Bevor die Werkstücke 171 auf den zugehörigen Saugspannaggregaten 141 angeordnet werden, ordnet man gemäß ]?ig. 7 ein langgestrecktes Bezugsstüek 161 auf dem be« treffenden Aggregat 141 an, wobei dieses Bezugsstüek entweder durch Spannorgane 153 oder durch die Betätigung des Saugspannaggregats 141 in seiner Lage gehalten wird, während die in den Tragrahmen 31 eingebauten Sägeblätter 123 in Gegenwart einer sehr feinen Schleifmittelaufschwemmung hin« und herbewegt werden, um das langgestreckte Bezugsstück 161 anzureißen bzw. es mit einem Satz von durch Abstände getrennten parallelen Linien zu versehen-, deren Verlauf den Bewegungsbahnen der verschiedenen Sägeblätter 123 entspricht. Nach dem Entfernen des

langgestreckten BezugsStücks 161 werden zwei Bezugsklotze 162 gemäß Fig. 4 auf den oberen ebenen Flächen 152 der Sockel 151 dadurch festgespannt» daß die Spannorgane 153 mit Hilfe der Spannsehrauben 154 festgezogen werden. Dann werden die Bezugsklötze 162 dadurch in der "beschriebenen Weise angerissen, dass der Tragrahmen 31 mit den Sägeblättern 123 in Gegenwart einer sehr feinen Schleifmittelaufschwemmung hin- und herbewegt wird, um auf den Bezugsklötzen 162 durch Abstände getrennte parallele Linien zu erzeugen, deren Verlauf den Bewegungsbahnen der verschiedenen Sägeblätter 123 entspricht.

lunmehr wird das mit einer kreisrunden Yferkstü'ökunter-* stützung 175 verbundene Werkstück 171 gemäß Fig, 8 auf der Oberseite 142 des Takuumspannaggregats 141 angeordnet, und Abstandsstücke 163 werden mit der angerissenen fläche des langgestreckten Bezugsstüeks 161 an dessen Enden verbunden, so daß man das langgestreckte Bezugsstück 161 umschlagen kann, um es gemäß I¹Ig. 8 mit einem Spielraum einzubauen, der ausreicht, um eine seitliche Bewegung des Werkstückes 171 ohne Behinderung durch die abgerissene Fläche des langgestreckten Bezugsstüeks 161 zu ermöglichen.

Mit Hilfe einer Betrachtungseinrichtung 181, bei der es sich um ein Mikroskop bekannter Art handeln kann, dessen optische Achse rechtwinklig zur Schneidebene verläuft, werden die auf dem langgestreckten Bezugsstück 161 ange-

rissenen linien zuerst in senkrechte Fluchtung mit den entsprechenden Linien gebracht, die auf den "beiden Be-* zugsklötzen 162 in zur Schneidebene rechtwinkligen Ebenen angerissen worden sind. Hunmehr bestimmt man die lage und die Orientierung des Werkstücks 171 mit Hilfe der Betrachtungseinrichtung 181 derart, daß die auf der Oberseite des Werkstücks vorgesehenen Mikrominiaturschaltungen symmetrisch zwischen den Änreißlinien des langgestreckten Bezugsstücks 161 auf den Bahnen der Sägeblätter 123 liegen. Dieser Yorgang kann dadurch erleichtert werden, daß man das Spannaggregat 141 nur mit einem relativ geringen Unterdruck beaufschlagt. Schließlich wird das Werkstück 171 zur Durchführung des Sehneidvorgangs festgelegt, indem man das Spannaggregat 141 mit einem relativ hohen Unterdruck beaufschlagt.

Nachdem man diese Arbeitsgänge wiederholt hat, um jedes Werkstück 171 in die richtige lage und Winkelstellung zu bringen, werden die langgestreckten Bezugsstücke 161 entfernt, und der die Sägeblätter tragende Rahmen 31 wird mit dem Antriebsmechanismus mit Hilfe der schnell lösbaren Verbindung 61 gekuppelt, so daß die Sägeblätter 123 in Gegenwart einer sehr feinen Schleifmittelaufschwemmung, die auf die Oberseite jedes Werkstücks aufgebracht wird, hin- und herbewegt werden können, während die. Stange 94 dureh die Gewichte 115 nach oben gegen den Tragrahmen 31 für die Sägeblätter vorgespannt wird.

Uach der Beendigung des ersten Arbeitsgänge zum Zerschneiden der Werkstücke wird der Vorgang zum Bestimmen der lage und Winkelstellung der Werkstücke wiederholt, wobei man das gleiche langgestreckte Bezugsstück 161 benutzt, um jedes Werkstück genau rechtwinklig zu seiner ■vorherigen Stellung anzuordnen; hierauf wird der beschriebene Sohneidvorgang wiederholt, so daß jedes Werkstück 171 in eine große Zahl von Würfeln 172 zerlegt wird.

Das beschriebene Verfahren zur Bestimmung der lage der Werkstücke macht es ebenso wie der nachfolgende Schneidvorgang erforderlich, daß der Tragrahmen für die Sägeblätter einerseits mit den Antriebsmitteln gekuppelt wird, um hin- und herbewegt werden zu können, und daß der Tragrahmen andererseits zur Seite bewegt werden kann, um den Bereich oberhalb der Werkstücktragplatte zugängig zu machen; der häufige Wechsel zwischen diesen beiden Betriebszuständen wird durch die beschriebene schnell lösbare Verbindung 61 erleichtert. Entsprechend wird die Handhabung des Vorschubmechanismus 81 zur Erzielung verschiedener Stellungen für das Beschicken der Vorrichtung, das Einbringen der Werkstücke und das Entnehmen der Werkstücke dadurch erleichtert, daß eine Rolle 191 vorgesehen ist, die am unteren Ende der Stange 94 auf einer Seite derselben gelagert ist und mit einem langen Hebel zusammenarbeiten kann, welcher mit einem

■Ende auf der Tragkonstruktion 12 gelagert ist und am anderen Ende ein drehbares Griffstück 193 trägt, das einen abgeflachten -Anschnitt aufweist, welcher sich durch einen Schlitz 194 in einem Segment 195 erstreckt; das Segment 195 ist an der Tragkonstruktion 12 und dem Bügelteil 71 "befestigt; somit kann die Stange 94 mit Hilfe des Griff Stücks 193? das längs des Schlitzes 194 bewegt wird,-in die gewünschte Stellung gebracht und dadurch in dieser Stellung gehalten werden, daß man das Griffstück 193 dreht, um es in Eingriff mit einer kreisrunden Erweiterung 196 des Schlitzes 194 zu bringen» Da der an der Solle 191 angreifende Hebel 192 die Gewichte 115 wirkungslos macht, kann man die Stange 94 jeweils in die erforderliche Steljung bringen, ohne daß zuerst die Gewichte 115 entfernt werden müssen. .Andererseits läßt sich der Hebel 192 leicht in eine obere Stellung ausser Berührung mit der Rolle 91 bringen und sich in dieser Stellung festlegen, so daß die Stange 94 unter der liärkung der Gewichte 115 ihre Vorschubbewegung nach oben ausführen kann.

Da die Einzelheiten der Betrachtungseinrichtung 181 und ihrer Unterstützung nicht einen Gegenstand der Erfindung bilden, dürfte sich eine nähere Erläuterung erübrigen. Es sei jedoch bemerkt, daß es sich bei der Betrachtungseinrichtung um ein beliebiges Gerät bekannter Art handeln kann, z.B. um ein Mikroskop für industrielle Zwecke, das auf einem waagerechten Ausleger angeordnet ist, welcher seinerseits

verstellbar von einem geeigneten Bock getragen wirdj dieser Bock ist an der !Tragkonstruktion 12 so angebracht, dass man die letrachtungseinrichtung 181 jeweils auf das betreffende Yakuumspannaggregat 141 ausrichten kann, wobei die optische Achse der Einrichtung ihre rechtwinkelige Lage zur ebenen Oberseite 142 jedes Yakuumspannaggregats 141 beibehält.

^ie Zeichnungen zeigen keine Mittel zum Zuführen der erwähnten feinen Schleifmittelaufschwemmung, denn diese Aufschwemmung kann mit der Hand, z.B. unter Benutzung eines Pinsels, auf die betreffenden ELächen der zu zerschneidenden Werkstücke aufgetragen werden. Alternativ kann die Sehleifmittelaufsohwemmung automatisch zugeführt werden, und zwar kontinuierlich oder intermittierend, während der Schneidvorgang durchgeführt wird; zu diesem Zweck kann ein geeignetes System vorgesehen sein, mittels dessen die Aufschwemmung über die zu sehneidende Hache geleitet wird.

Man erkennt somit, dass die !Teuerung eine Würfelschneidvorrichtung vorsieht, die es ermöglicht, ausserordentlich dünne gerade Sohneidorgane bzw. Messer oder Sägeblätter zu verwenden, um dünne Plättchen aus einem harten kristallinischen Material in Würfel zu zerlegen, wobei nur sehr geringe Kerbverluste auftreten» Die neuerungsgemäße Würfelschneidvorrichtung ermöglicht es ferner, ein ausserordentlich genau arbeitendes Verfahren anzuwenden, um die Werkstücke in die richtige lage

zu "bringen und sie richtig zu orientieren, und zwar auch dann, wenn die Werkstücke durch dünne Plattehen aus einem harten kristallinischen Material gebildet werden, die eine große Zahl von durch kleine Abstände getrennten Mikrominiaturschaltungen tragen. Ausserdem gewährleistet die neuerungsgemäße Würfelschneidvorrichtung eine sehr genaue relative Verstellung zwischen mehreren Sägeblättern und zu schneidenden Werkstücken; dies wird durch die Verwendung eines kräftig ausgebildeten einteiligen Haupttragrahmens ermöglicht, der direkt sowohl den die Sägeblätter enthaltenden, hin- und herbewegbaren Eahmen als auch den Mechanismus zum Vorschieben der Werkstücke unterstützt. Schließlich ist die neuerungsgemäße Vorrichtung, die die vorstehend beschriebenen Merkmale aufweist, geeignet, zahlreiche Würfel zu erzeugen, von denen jeder eine unbeschädigt gebliebene MikrominJafcu rs ehalt ung trägt und quadratische, glatt bearbeitete Seitenflächen aufweist, wodurch die manuelle oder automatische Durchführung weiterer Arbeitsgänge erleichtert wird.

Es sei bemerkt, daß man bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel die verschiedensten Abänderungen und Abwandlungen vorsehen kann, ohne den Bereich der feuerung zu verlassen.

Schutzansprüche

Claims

y^ ' υ' ι -Lt. j.u/ N 18 546/8Od Sbm / 1G-31 381 25.September 1967 Schutzansprüche

1. Halter für mehrere parallel an einem hin- und herverschiebbaren Rahmen einer Vorrichtung zum Zerschneiden dünner Plättchen befestigbare Schneiden, gekennzeichnet durch eine genau ausgerichtete auf dem Rahmen (31) anbringbare langgestreckte Stützplatte (42), an der nach unten ragende seitliche Einspannabschnitte (121a, 121b) ausgebildet sind, und an welcher ein sich längs der Stützplatte erstreckendes, in Querrichtung gegen einen der seitlichen Einspannabschnitte verspannbares Klemmstück (122) angebracht ist, und die Schneiden (123) zwischen diesen seitliehen Einspannabsehnitten zusammen mit sich über die gesamte Länge der Schneiden erstreckender Abstandstücke (124) derart einspannbar sind, daß sie über ihre gesamte Länge und im wesentlichen über ihre ganze Breite mit Ausnahme einer der Sehneidkante benachbarten Zone eingespannt sind.

2. Halter nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η - ζ e iehne t , daß an den Enden jeder Stützplatte (42) jeweils ein Fortsatz (43) angebracht ist, durch welche die Stützplatte - mit den Sehneidkanten nach unten durch die Rahmenöffnung ragend - auf der Oberseite des Rahmens (31) befestigbar ist.

3· Halter nach. Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß das Ausmaß, mit welcnem die Schneidkanten der Schneiden (123) nach unten über die Kbstandstücke (124) hinausragen, durch auswechselbare Beilegstücke (128) bestimmt ist, die .zwischen der Stützplatte (42) und den Schneiden (123) angeordnet sind.

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