DE19717380A1 - Verfahren zur Anbringung eines Schmelztiegels auf einer Halterung einer Einkristall-Ziehvorrichtung, sowie dabei verwendete Vorrichtung zum Zusammenfügen der Halterung und dabei verwendete Halterung - Google Patents

Verfahren zur Anbringung eines Schmelztiegels auf einer Halterung einer Einkristall-Ziehvorrichtung, sowie dabei verwendete Vorrichtung zum Zusammenfügen der Halterung und dabei verwendete Halterung

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Description

1. Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Anbringen eines Schmelztiegels auf einer Halterung einer Einkristall-Ziehvorrichtung, bei dem die Tätigkeit eines Anbringens des Schmelztiegels auf der Halterung der Einkristall-Ziehvorrichtung einfach und schnell abgeschlossen werden kann, sowie eine Vorrichtung zum Zusammenfügen der Halterung und eine Halterung, die bei dem beschriebenen Verfahren verwendet werden.
2. Beschreibung des Standes der Technik
Einkristall-Ziehvorrichtung sind Vorrichtungen, in denen ein Halbleiterausgangsmaterial, wie beispielsweise Silicium, in einem Schmelztiegel in eine Halbleiterschmelze verwandelt wird und dann aus der Halbleiterschmelze ein Halbleitereinkristall nach oben gezogen und gezüchtet wird, wobei der beim Züchten von zum Beispiel Siliciumeinkristallen verwendete Schmelztiegel aus Quarz, d. h. einer Verbindung aus Silicium und Sauerstoff, geformt sein muß. Der Quarzschmelztiegel zeigt während des Ziehens des Siliciumeinkristalls nicht immer eine ausreichende Steifigkeit, und so sind Einkristall-Ziehvorrichtungen mit einer (als Aufnahme bekannten) Halterung ausgestattet.
Jedoch müssen im Anschluß an die Herstellung eines Halbleitereinkristalls in einer Einkristall-Ziehvorrichtung zur Vorbereitung der Herstellung des nächsten Halbleitereinkristalls zuerst der Schmelztiegel und dann die Halterung aus dem Inneren der gasdichten Kammer entnommen werden, welche den Schmelztiegel der Einkristall- Ziehvorrichtung und die Halterung umschließt, und dann in einem Reinraum das restliche Halbleiterausgangsmaterial vollständig aus dem Schmelztiegel entfernt werden. Als nächstes muß ein neuer Schmelztiegel auf der Halterung angebracht, frisches Halbleiterausgangsmaterial in den neuen Schmelztiegel eingebracht, ein Deckel auf den Schmelztiegel gelegt, die Einheit zum gasdichten Behälter der Einkristall­ ziehvorrichtung transportiert und ins Inneren derselben eingebracht und dann die Halterung und der Schmelztiegel eingepaßt werden.
Bei dieser Reihe von Tätigkeiten schließt die Tätigkeit einer Anbringung des Schmelztiegels auf der Halterung gegenwärtig ein, daß Bedienungspersonen den oberen Rand des Schmelztiegels festhalten und den Schmelztiegel dann nach unten ins Innere der Halterung hinablassen.
Wenn man die Tätigkeit des Anbringens des Schmelztiegels auf der Halterung auf diese Weise durchführt, bedeutet dies jedoch, daß das gesamte Gewicht des Schmelztiegels getragen werden muß, indem man den oberen Rand des Schmelztiegels festhält, und so ist insbesondere in den Fällen, wo große Schmelztiegel verwendet werden, um Halbleitereinkristalle mit großem Durchmesser zu erzeugen, die Tätigkeit mit Schwierigkeiten verbunden, und es treten Sicherheitsprobleme auf.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Verfahren zum Anbringen eines Schmelztiegels auf einer Halterung einer Einkristall-Ziehvorrichtung bereitzustellen, bei dem die Tätigkeit des Anbringens eines Schmelztiegels auf der Halterung der Einkristall-Ziehvorrichtung sicher, einfach und schnell durchgeführt werden kann, sowie eine Vorrichtung zum Zusammenfügen der Halterung und eine Halterung zur Verwendung bei dem beschriebenen Verfahren.
Zusammenfassung der Erfindung
Zur Lösung dieser Aufgabe ist das Verfahren der vorliegenden Erfindung zum Anbringen eines Schmelztiegels auf einer Halterung einer Einkristall-Ziehvorrichtung, die mit einem Schmelztiegel zur Aufnahme einer Halbleiterschmelze und einer Halterung zum Halten des Schmelztiegels versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß man die Halterung in einen Bodenteil und einen mit dem Bodenteil verbindbaren Trommelteil trennt oder zerlegt, den Schmelztiegel auf dem Bodenteil anbringt und anschließend die Halterung durch Verbinden des Trommelteils mit dem Bodenteil zusammenfügt.
Dies ermöglicht es, den Schmelztiegel während seines Anbringens auf dem Bodenteil der Halterung in der Mitte oder im unteren Teil eines Trommelteils des Schmelztiegels zu ergreifen.
Ein anderer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Zusammenfügen der Halterung, die bei dem Verfahren der vorliegenden Erfindung verwendet wird, um einen Schmelztiegel auf einer Halterung einer Einkristall- Ziehvorrichtung anzubringen, und die dadurch gekennzeichnet ist, daß sie einen Bodenteiluntersatz einschließt, auf dem der Bodenteil der Halterung angebracht wird, einen Trommelteiluntersatz, auf dem der Trommelteil der Halterung angebracht wird, sowie einen Annäherungs-Antriebsmechanismus, um den Bodenteiluntersatz und den Trommelteiluntersatz zusammenzubringen, um dadurch den Bodenteil und den Trommelteil der Halterung zusammenzufügen.
Dies ermöglicht es, die Tätigkeit des Zusammenfügens der Halterung durch Verbinden des Trommelteils mit dem Bodenteil einfach und schnell durchzuführen.
Hierbei kann in einer Unterseite des Trommelteils eine ringförmige Positioniervertiefung ausgebildet sein, und auf der Oberseite des Trommelteiluntersatzes kann ein ringförmiger Eingriffsvorsprung vorgesehen sein, der mit der ringförmigen Positioniervertiefung des Trommelteils in Eingriff tritt und dessen Innenseite als Führungsfläche dient, die sich nach oben zu allmählich aufweitet. Indem man beim Anbringen der Halterung die ringförmige Positioniervertiefung des Trommelteils mit der Führungsfläche des Eingriffsvorsprungs des Trommelteiluntersatzes in Eingriff bringt, kann der Trommelteil mühelos in der vorgesehenen Lage angebracht werden.
Noch ein anderer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft eine Halterung, die bei dem Verfahren der vorliegenden Erfindung zum Anbringen eines Schmelztiegels auf einer Halterung einer Einkristall-Ziehvorrichtung verwendet wird, und die dadurch gekennzeichnet ist, daß sie einen Bodenteil und einen Trommelteil umfaßt, der eine Eingriffsöffnung aufweist, in welche der Bodenteil paßt, und bei der eine äußere Eingriffsfläche des Bodenteils und eine Eingriffsfläche der Eingriffsöffnung des Trommelteils schräge Oberflächen aufweisen, die nach unten zu verjüngt sind.
Dies bedeutet, daß der Trommelteil durch die schrägen Oberflächen in Bezug zum Bodenteil geführt wird, so daß der Eingriff einfach und reibungslos erfolgen kann, wenn der Bodenteil und der Trommelteil durch Einpassen des Bodenteils in die Eingriffsöffnung des Trommelteils zusammengefügt werden. Außerdem verhindern die schrägen Oberflächen ein Herausfallen des Bodenteils aus dem Trommelteil, wenn die beiden Teile zusammengepaßt sind, und somit kann man die Halterung durch Ergreifen des Trommelteils tragen.
Hierbei kann der Trommelteil der Halterung aus einer Mehrzahl von Segmenten zusammengesetzt sein, die den Trommelteil in Umfangsrichtung unterteilen, so daß die Anbringung des Trommelteils auf dem Trommelteiluntersatz vorgenommen werden kann, indem man zuerst den Trommelteil in die Mehrzahl von Segmenten zerlegt und dann die Segmente zusammenfügt, so daß sie einen Zylinder bilden, indem man die Segmente einzeln nacheinander auf dem Trommelteiluntersatz anbringt. Verglichen mit dem Fall, wo der sehr schwere Trommelteil angehoben und dann als ein Teil angebracht wird, kann somit die Tätigkeit erleichtert werden.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Fig. 1 ist eine Seitenansicht einer Ausführungsform einer bei dem Verfahren der vorliegenden Erfindung zum Anbringen eines Schmelztiegels auf einer Halterung einer Einkristall- Ziehvorrichtung verwendeten Vorrichtung zum Zusammenfügen der Halterung;
Fig. 2 ist eine vergrößerte Ansicht der auf der Vorrichtung zum Zusammenfügen der Halterung aus Fig. 1 angebrachten Halterung; und
Fig. 3 ist eine Draufsicht auf die Halterung aus Fig. 2.
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
Nachfolgend findet sich eine Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung auf der Grundlage der Zeichnungen.
Wie in Fig. 1 dargestellt, umfaßt ein Schmelztiegel 1 einer Ausführungsform einer Einkristall-Ziehvorrichtung der vorliegenden Erfindung einen Trommelteil 2, umfaßend einen Zylinder, der an einem oberen Ende offen ist, und einen Bodenteil 3, umfassend eine nach unten weisende konvexe sphärische Oberfläche, die ein unteres Ende des Trommelteils 2 abschließt.
Eine Halterung 10 ist mit einem Bodenteil 11 versehen, umfassend eine kreisförmige Platte, die einen mittleren Teil des Bodenteils 3 des Schmelztiegels 1 abstützt, sowie einem Trommelteil 12, der eine Eingriffsöffnung 13 enthält, in die der Bodenteil 11 eingepaßt wird, und der den Randteil des Bodenteils 3 des Schmelztiegels 1 sowie den Trommelteil 2 des Schmelztiegels 1 abstützt, und eine äußere Eingriffsfläche 11a des Bodenteils 11 und eine Eingriffsfläche 13a der Eingriffsöffnung 13 des Trommelteils 12 umfassen nach unten zu verjüngte schräge Oberflächen 11b bzw. 13b, wie in Fig. 2 dargestellt. Außerdem ist in der Unterseite des Trommelteils 12 eine ringförmige Positioniervertiefung 14 ausgebildet und umgibt die Eingriffsöffnung 13. Wie in Fig. 3 dargestellt, besteht außerdem der Trommelteil 12 aus drei Segmenten 15, die in einer horizontalen Umfangsrichtung miteinander verbunden sind. Darüber hinaus umfaßt die Unterseite des in Fig. 2 dargestellten Bodenteils 11 eine Positioniervertiefung 11c.
Wie in Fig. 1 dargestellt, ist eine Vorrichtung 200 zum Zusammenfügen der Halterung auf dem Boden R eines Reinraums angeordnet. Die Vorrichtung 200 zum Zusammenfügen der Halterung weist einen frei rollenden Unterwagen 210, eine auf dem Unterwagen 210 befestigte Tragsäule 225, einen am oberen Ende der Tragsäule 225 befestigten Bodenteiluntersatz 230, auf dem der Bodenteil 11 der Halterung 10 angebracht wird, einen Trommelteiluntersatz 240, auf dem der Trommelteil 12 der Halterung 10 angebracht wird, sowie einen Annäherungs- Antriebsmechanismus 250 auf, um den Trommelteiluntersatz 240 nach oben (in Richtung des Pfeils M in der Figur) zu bewegen, um so den Bodenteil 11 und den Trommelteil 12 der Halterung 10 zusammenzufügen.
Der Unterwagen 210 ist mit einem Grundrahmen 211 und einer Mehrzahl von Rädern 213 versehen, welche am Grundrahmen 211 befestigt sind. Der Grundrahmen 211 weist zwei parallele Träger 212 und einen Halterahmen 215 auf, der zwischen die beiden parallelen Träger 212 eingebaut ist. Ein Bodenteiluntersatz 230 umfaßt eine horizontale kreisförmige Platte, die einen kleineren Durchmesser aufweist als der Bodenteil 11 der in Fig. 2 dargestellten Halterung 10.
Ein Trommelteiluntersatz 240 weist einen U-förmigen Rahmen 241 mit einem Freiraum in der Mitte sowie einen Hauptuntersatz 242 in Form einer runden Platte auf, der horizontal auf der Oberseite des Rahmens 241 liegt. Eine Öffnung 243 durchsetzt einen mittleren Teil des Hauptuntersatzes 242. Die zuvor erwähnte Tragsäule 225 und der Bodenteiluntersatz 230 können durch die Öffnung 243 hindurchtreten. Der Trommelteil 12 der Halterung 10 wird so auf der Oberseite des Hauptuntersatzes 242 der Trommelteiluntersatzes 240 angebracht, daß die Mittellinie der Eingriffsöffnung 13 des Trommelteils 12 mit der Mittellinie der Öffnung 243 des Trommelteiluntersatzes 240 fluchtet. Ein ringförmiger Eingriffsvorsprung 245 für einen Eingriff mit der ringförmigen Positioniervertiefung 14 auf der Unterseite des Trommelteils 12 der Halterung 10 ist auf der Oberseite des Hauptuntersatzes 242 der Trommelteiluntersatzes 240 vorgesehen. Die Innenseite des Eingriffsvorsprungs 245 umfaßt eine Führungsfläche 245a, die sich nach oben zu allmählich aufweitet. Der Bodenteiluntersatz 230 enthält einen Positioniervorsprung 231, der mit der Vertiefung 11c im Bodenteil 11 der Halterung 10 in Eingriff tritt.
Der in Fig. 1 dargestellte Antriebsmechanismus 250 ist zwischen dem Grundrahmen 211 des Unterwagens 210 und dem Rahmen 241 des Trommelteiluntersatzes 240 angeordnet und weist Hydraulikhebevorrichtungen 251 auf, die in einer vertikalen Richtung ungehindert ausgefahren und eingezogen werden können.
Nachfolgend findet sich eine Beschreibung des Verfahrens zum Anbringen des Schmelztiegels 1 auf der Halterung 10 unter Verwendung der Vorrichtung 200 zum Zusammenfügen der Halterung.
Zuerst wird der Hauptuntersatz 242 angehoben und die Halterung 10 wird mit zusammengefügtem Trommelteil 12 und Bodenteil 11 auf der Vorrichtung 200 zum Zusammenfügen der Halterung abgesetzt.
Wenn die Halterung 10 auf der Vorrichtung 200 zum Zusammenfügen der Halterung abgesetzt wird, wird der Bodenteil 11 der Halterung 10 auf dem Bodenteiluntersatz 230 der Vorrichtung 200 zum Zusammenfügen der Halterung angebracht, wobei die Mitte des Bodenteils 11 mit der Mitte CP1 des Bodenteiluntersatzes 230 ausgerichtet ist, und der Trommelteil 12 der Halterung 10 wird so auf dem Trommelteiluntersatz 240 der Vorrichtung 200 zum Zusammenfügen der Halterung angebracht, daß der Trommelteil 12 den Bodenteiluntersatz 230 umgibt. Als nächstes wird der Trommelteil 12 der Halterung 10 zusammen mit dem Trommelteiluntersatz 240 abgesenkt, wodurch sich um den Bodenteil 11 herum ein oberer Zwischenraum öffnet.
Wenn man den Trommelteil 12 der Halterung 10 auf dem Trommelteiluntersatz 240 anbringt, indem man den Trommelteil 12 zuerst in die drei Segmente 15 zerlegt, wie in Fig. 3 dargestellt, und dann wieder in einer zylindrischen Form zusammenfügt, indem man die Segmente 15 einzeln nacheinander auf dem in Fig. 1 dargestellten Trommelteiluntersatz 240 anbringt, kann die Tätigkeit des Anbringens des Trommelteils 12 im Vergleich zu gebräuchlichen Techniken erleichtert werden, bei denen der schwere Trommelteil 12 als ein Teil angehoben und dann angebracht wird. Wie in Fig. 2 dargestellt, ist außerdem auf der Oberseite des Trommelteiluntersatzes 240 ein ringförmiger Eingriffsvorsprung 245 für einen Eingriff mit der ringförmigen Positioniervertiefung 14 in der Unterseite des Trommelteils 12 der Halterung 10 vorgesehen, und die Innenseite des Eingriffsvorsprungs 245 umfaßt die Führungsfläche 245a, die sich nach oben zu allmählich aufweitet. Infolgedessen kann jedes der in Fig. 3 dargestellten Segmente 15 mühelos an der vorbestimmten Stelle angebracht werden, wie in Fig. 2 dargestellt, indem man die Segmente 15 positioniert, während man die ringförmige Positioniervertiefung 14 in der Unterseite jedes Segments 15 mit der Führungsfläche 245a des Eingriffsvorsprungs 245 in Eingriff bringt. Das heißt, die Mittellinie der Eingriffsöffnung 13 des zusammengesetzten Trommelteils 12 kann mühelos mit der Mittellinie der Öffnung 243 des Trommelteiluntersatzes 240 ausgerichtet werden. Folglich kann die Anbringung des Trommelteils 12 der Halterung 10 auf dem Trommelteiluntersatz 240 leicht durchgeführt werden.
Weil der Bodenteil 11 der Halterung 10 und der Bodenteiluntersatz 230 eine Positioniervertiefung 11c bzw. einen Positioniervorsprung 231 aufweisen, die miteinander in Eingrifftreten, kann außerdem die Tätigkeit des Anbringens des Bodenteils 11 der Halterung 10 mühelos so durchgeführt werden, daß die Mitte des Bodenteils 11 mit einem hohen Grad an Genauigkeit mit der Mitte des Bodenteiluntersatzes 230 fluchtet.
Der in Fig. 1 dargestellte Schmelztiegel 1 wird so angebracht, daß die Mittellinie des Schmelztiegels mit der Mittellinie des Bodenteils 11 der Halterung 10 fluchtet. Dann wird der Trommelteiluntersatz 240 in Richtung des Pfeils M in der Figur angehoben, indem man die Hydraulikhebevorrichtungen 251 für den Untersatz der Vorrichtung 200 zum Zusammenfügen der Halterung betätigt. Dabei bewegt sich der auf dem Trommelteiluntersatz 240 angebrachte Trommelteil 12 der Halterung 10 allmählich nach oben und bedeckt den Rand des Schmelztiegels 1, wobei die Innenseite des Trommelteils 12 schließlich die äußere Oberfläche des Schmelztiegels 1 berührt. Außerdem wird gleichzeitig der auf dem Bodenteiluntersatz 230 angebrachte Bodenteil 11 mit der Eingriffsöffnung 13 des Trommelteils 12 in Eingriff gebracht. Da die äußere Eingriffsfläche 11a des Bodenteils 11 und die Eingriffsfläche 13a der Eingriffsöffnung 13 des Trommelteils 12 schräge Oberflächen 11b bzw. 13b aufweisen, die nach unten zu verjüngt sind, wie in Fig. 2 dargestellt, wird dabei der Trommelteil 12 durch die schrägen Oberflächen 11b, 13b in Bezug zum Bodenteil 11 geführt. Folglich kann der zuvor erwähnte Eingriff einfach und reibungslos erfolgen. Außerdem verhindern die schrägen Oberflächen 11b, 13b ein Herabfallen des Bodenteils 11 aus dem Trommelteil 12 während des Transports der Halterung im Anschluß an das Zusammenfügen, und so ist neben dem Eingriff kein Verbinden erforderlich. Folglich kann das Zusammenfügen der Halterung 10 einfach und schnell erfolgen.
Mit dem oben umrissenen Verfahren wird außerdem die Halterung 10 in den Bodenteil 11 und den Trommelteil 12 zerlegt oder getrennt, wobei der Trommelteil 12 mit dem Bodenteil 11 der Halterung 10 verbunden wird, nachdem der Schmelztiegel 1 auf dem Bodenteil 11 angebracht worden ist.
Deshalb kann der Schmelztiegel 1 während des Anbringens des Schmelztiegels 1 auf dem Bodenteil 11 der Halterung 10 im mittleren Teil oder im unteren Teil des Trommelteils 2 des Schmelztiegels 1 ergriffen werden. Folglich kann der Schmelztiegel 1 leicht festgehalten oder getragen werden.
Die oben beschriebenen Wirkungen bedeuten, daß mit der vorliegenden Ausführungsform die Tätigkeit des Anbringens des Schmelztiegels 1 auf der Halterung 10 sicher, einfach und schnell durchgeführt werden kann.
Die vorliegende Erfindung schließt auch diejenigen Fälle ein, wo der bei der zuvor erwähnten Vorrichtung 200 zum Zusammenfügen der Halterung verwendete Unterwagen 210 durch eine feststehende Unterlage ersetzt ist.
Anstatt den zuvor erwähnten Antriebsmechanismus 250 zu verwenden, ist auch ein Annäherungs-Antriebsmechanismus möglich, bei dem der Bodenteiluntersatz 230 auf den Trommelteiluntersatz 240 zu bewegt wird, um so den Bodenteil 11 und den Trommelteil 12 der Halterung 10 zusammenzufügen.
Außerdem braucht der Trommelteil 12 nicht notwendigerweise aus drei Segmenten 15 zu bestehen, wie in Fig. 3 dargestellt, und Ausbildungen, die zwei Segmente oder vier oder mehr Segmente umfassen, sind ebenfalls möglich. Außerdem schließt die vorliegende Erfindung auch diejenigen Ausbildungen ein, bei denen der Trommelteil 12 ein einstückiger Körper ist, der nicht in Segmente zerlegt werden kann.
Wie oben umrissen, kann mit dem Verfahren der vorliegenden Erfindung zum Anbringen eines Schmelztiegels 1 auf einer Halterung 10 der Schmelztiegel 1 bis zu dem Zeitpunkt, wo der Schmelztiegel 1 auf der Halterung 10 angebracht ist, im mittleren Teil oder im unteren Teil des Trommelteils 2 des Schmelztiegels 1 ergriffen und festgehalten werden, und so ist ein Halten des Schmelztiegels 1 einfach. Folglich kann die Tätigkeit des Anbringens des Schmelztiegels 1 auf der Halterung 10 sicher, einfach und schnell durchgeführt werden.
Weil es die Vorrichtung 200 zum Zusammenfügen der Halterung 10 der vorliegenden Erfindung ermöglicht, die Tätigkeit des Anbringens der Halterung 10 einfach und schnell durchzuführen, indem der Trommelteil 12 auf den Bodenteil 11 der Halterung 10 aufgepaßt wird, ermöglicht sie es auch, die Tätigkeit des Anbringens des Schmelztiegels 1 auf der Halterung 10 mit noch größerer Sicherheit, Leichtigkeit und Geschwindigkeit durchzuführen.
Mit der Halterung 10 der vorliegenden Erfindung kann außerdem das Zusammenfügen des Bodenteils 11 und des Trommelteils 12 durch Einpassen des Bodenteils 11 in die Eingriffsöffnung 13 des Trommelteils 12 wegen der als Führungsflächen dienenden schrägen Oberflächen 11b, 13b einfach und reibungslos durchgeführt werden. Nach dem Eingriff werden außerdem die schrägen Oberflächen 11b, 13b zu Stützflächen für den Trommelteil 12 und verhindern das Herabfallen des Bodenteils 11 aus dem Trommelteil 12, und so ist neben dem Eingriff kein Verbinden erforderlich. Folglich kann das Zusammenfügen der Halterung 10 einfach und schnell durchgeführt werden und ermöglicht es, die Tätigkeit des Anbringens des Schmelztiegels 1 auf der Halterung 10 sogar mit noch größerer Sicherheit, Leichtigkeit und Geschwindigkeit abzuschließen.

Claims (5)

1. Verfahren zum Anbringen eines Schmelztiegels auf einer Halterung einer Einkristall-Ziehvorrichtung, die mit einem Schmelztiegel zur Aufnahme einer Halbleiterschmelze und einer Halterung zum Abstützen des besagten Schmelztiegels versehen ist, wobei das besagte Verfahren gekennzeichnet ist durch:
Trennen der besagten Halterung (10) in einen Bodenteil (11) und einen Trommelteil (12), der mit dem besagten Bodenteil (11) verbunden werden kann,
Anbringen des besagten Schmelztiegels (1) auf dem besagten Bodenteil (12), und anschließend
Zusammenfügen der besagten Halterung (10) durch Verbinden des besagten Trommelteils (12) mit dem besagten Bodenteil (11).
2. Vorrichtung zum Zusammenfügen der bei dem Verfahren nach Anspruch 1 verwendeten Halterung, dadurch gekennzeichnet, daß sie einschließt:
einen Bodenteiluntersatz (230), auf dem der Bodenteil (11) der besagten Halterung (10) angebracht wird,
einen Trommelteiluntersatz (240), auf dem der Trommelteil (12) der besagten Halterung (10) angebracht wird, und
einen Annäherungs-Antriebsmechanismus (250), um den Bodenteiluntersatz (230) und den Trommelteiluntersatz (240) zusammenzubringen, um dadurch den Bodenteil (11) und den Trommelteil (12) der besagten Halterung (10) zusammenzufügen.
3. Vorrichtung zum Zusammenfügen der Halterung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß in einer Unterseite des besagten Trommelteils (12) eine ringförmige Positioniervertiefung (14) ausgebildet ist, und auf einer Oberseite des besagten Trommelteiluntersatzes (240) ein ringförmiger Eingriffsvorsprung (245) vorgesehen ist, der mit der besagten ringförmigen Positioniervertiefung (14) des besagten Trommelteils (12) in Eingriff tritt und von dem eine Innenseite als Führungsfläche (245a) dient, die sich nach oben zu allmählich aufweitet.
4. Halterung zur Verwendung bei dem Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie einschließt:
einen Bodenteil (11) und einen Trommelteil (12), der eine Eingriffsöffnung (13) aufweist, in die der Bodenteil (11) paßt, wobei eine äußere Eingriffsfläche (11a) des besagten Bodenteils (11) und eine Eingriffsfläche (13a) der Eingriffsöffnung (13) des besagten Trommelteils (12) schräge Oberflächen (11b, 13b) aufweisen, die sich nach unten zu verjüngen.
5. Halterung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der besagte Trommelteil (12) der Halterung (10) eine Mehrzahl von Segmenten (15) umfaßt, in die der besagte Trommelteil (12) im Umfangsrichtung unterteilt ist.
DE19717380A 1996-05-20 1997-04-24 Verfahren zur Anbringung eines Schmelztiegels auf einer Halterung einer Einkristall-Ziehvorrichtung, sowie dabei verwendete Vorrichtung zum Zusammenfügen der Halterung und dabei verwendete Halterung Expired - Fee Related DE19717380B4 (de)

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