KR970074986A - 단결정 인상 장치의 지지대에의 도가니 장착 방법과, 그 방법에 사용되는 지지대 조립 장치 및 지지대 - Google Patents

단결정 인상 장치의 지지대에의 도가니 장착 방법과, 그 방법에 사용되는 지지대 조립 장치 및 지지대 Download PDF

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KR970074986A
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미찌오 야나바
히로아끼 다구찌
다까시 아따미
히사시 후루야
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나가사와 마사유끼
미쯔비시 마테리알 실리콘 가부시끼가이샤
아끼모또 유미
미쯔비시 마테리알 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 단결정 인상 장치의 지지대(10)에 도가니(1)를 장착하는 작업을 안전하고, 용이하며, 신속하게 수행될 수 있도록 한다. 지지대(10)에 도가니(1)를 부착시키는 방법에서, 지지대(10)는 저부(11) 및 상기 저부에 끼워맞춤되는 동체부(12)로 분활되며, 상기 도가니(1)는 상기 저부(11) 상에 장착된다. 상기 지지대(10)는 상기 동체부(12)를 저부(11)에 결합시켜서 조립된다.

Description

단결정 인상 장치의 지지대에의 도가니 장착 방법과, 그 방법에 사용되는 지지대 조립장치 및 지지대
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 단결정 인상 장치의 지지대에의 도가니 장착방법에 사용되는 지지대 조립 장치의 일 실시예의 측면도.

Claims (5)

  1. 도가니를 단결정 인상 장치의 지지대에 장착시키는 방법에 있어서, 상기 지지대를 저부와, 상기 저부에 부착될 수 있는 동체부로 분할하는 단계와, 상기 저부에 반도체 용융체를 저장하기 위한 도가니를 장착하는 단계와, 이어서 상기 저부에 상기 동체부를 부착하여 상기 지지대를 조립하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 도가니 장착 방법.
  2. 도가니를 단결정 인상 장치의 지지대에 장착시키기 위한 청구항 제1의 방법에 사용되는 지지대 조립장치에 있어서, 상기 지지대의 저부가 장착되는 저부 장착대와, 상기 지지대의 동체부가 장착되는 동체부 장착대와, 상기 저부 장착대와 상기 동체부 장착대를 같이 접근시켜서 상기 지지대의 저부와 동체부를 조립하는 접근구동 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 지지대 조립장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 동체부의 저면에 환형 배치 리세스가 형성되고, 상기 동체부의 환형 배치 리세스와 결합하고 그 내면이 상향으로 점차 넓어지는 안내면으로서 작용하는 환형 결합 돌기가 상기 동체부 장착대의 상면에 제공된 것을 특징으로 하는 지지대 조립 장치.
  4. 도가니를 단결정 인상 장치의 지지대에 장착시키기 위한 청구항 1의방법에 사용되는 지지대의 있어서, 저부와, 상기 저부가 끼워맞춤되는 결합 개구를 갖는 동체부를 포함하고, 상기 저부의 외부 결합면과 상기 동체부의 결합 개구의 결합면이 하향 테이퍼된 경사면을 갖는 것을 특징으로 하는 지지대.
  5. 제4항에 있어서, 상기 지지대의 동체부는 상기 동체부를 주연 방향 둘레에서 분할하는 복수개의 분할편으로 구성된 것을 특징으로 하는 지지대.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970019284A 1996-05-20 1997-05-19 단결정인상장치의지지대에의도가니장착방법과,그방법에사용되는지지대조립장치및지지대 KR100487450B1 (ko)

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