DE1941215B2

DE1941215B2 - Verfahren und anordnung zum vakuumaufdampfen von nicht metallischen hochschmelzenden stoffen mittels elektronen strahlen

Info

Publication number: DE1941215B2
Application number: DE19691941215
Authority: DE
Inventors: Gerhard Dr Kienel
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1969-08-13
Filing date: 1969-08-13
Publication date: 1971-04-08
Also published as: DE1941215A1; FR2056639A5; BE754553A; US3684557A

Description

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Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Wärmemenge in der Randzone anders als in der Aufdampfen von nichtmetallischen, hochschmelzen- Mitte des zu verdampfenden Materials. Schließlich den Stoffen, insbesondere Siliciumdioxyd oder Glas ist beim Abdampfen von der Stirnseite einer Kreisauf Trägerkörper durch Verdampfen dieser Stoffe scheibe, auf der der Elektronenstrahl auf radialen im Vakuum mittels eines gebündelten Elektronen- 5 Linien zwischen dem Mittelpunkt und dem Rand Strahls, welcher das Verdampfungsgut zonenweise oszilliert, in der Randzone wesentlich mehr Material durch oszillierendes Abtasten quer zur Vorschub- vorhanden und zu verdampfen als in der Mitte der richtung auf Verdampfungstemperatur erhitzt. Scheibe.

Durch die deutsche Patentschrift 882 174 ist es Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die den

bekannt, Stoffe im Vakuum mittels eines gebündelten io bekannten Verdampfungsverfahren anhaftenden Elektronenstrahls zu verdampfen, wobei der Elek- Nachteile zu vermeiden und ein Verfahren zu schaftronenstrahl alternierend auf verschiedene Ver- fen, bei dem ein hoher Prozentsatz des teuren Eindampfertiegel abgelenkt wird. Die Ablenkung wird satzmaterials mit konstanter Verdampfungsrate und dabei durch elektrische oder elektromagnetische FeI- ohne Unterbrechung verdampft werden kann. Dabei der bewirkt. Bei der bekannten Lösung wird der 15 sollen keine rillenförmige Vertiefungen und keine Elektronenstrahl jedoch stets wieder auf die gleichen übersteigerte Richtwirkung in bezug auf den Dampf-Punkte der einzelnen zu verdampfenden Materialien strahl entstehen. Schließlich soll auch die Gefahr gerichtet, so daß nur eine eng begrenzte Menge eines eines Springens des Verdampfungsguts vermieden jeden Stoffes verdampft werden kann. werden, wenn dies in kompakter Form als Scheibe,

Es wurde auch schon vorgeschlagen, Quarz von 20 Tafel oder Block vorliegt.

der Mantelfläche eines gegenüber dem Elektronen- Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst

strahl rotierenden Quarzzylinders abzudampfen. Der durch eine solche Steuerung des Elektronenstrahls, gebündelte Elektronenstrahl wird hierbei harmonisch, daß die von ihm an das Verdampfungsgut abgeged. h. nach einer Sinusfunktion, parallel zur Zylinder- bene Energie pro Volumenelement mindestens im achse und damit quer zur Vorschubrichtung der 25 Bereich der Umkehrpunkte des Elektronenstrahls ZyLinderoberfläche abgelenkt, wobei die Amplitude über das beim Abtasten mit einer harmonischen Abder Ablenkbewegung einen Bruchteil der Länge des lenkbewegung gegebene Maß erhöht ist. Die Er-Quarzzylinders beträgt. Der »gewobbelte« Elektro- höhung der an das Verdampfungsgut abgegebenen nenstrahl bewegt sich — relativ betrachtet — wäh- Energie pro Volumenelement kann dadurch erfolgen, rend des Verdampfungsvorgangs in einer Schrauben- 30 daß man den Elektronenstrahl an den Umkehrpunklinie auf der Zylinderoberfläche und dampft hierbei ten und/oder in deren Nähe länger verweilen läßt. Quarz von der gesamten Oberfläche ab. Trotz des Eine andere Möglichkeit ist die Erhöhung der Strahl-Oszillierens hinterläßt der Elektronenstrahl auf dem intensität an diesen Stellen, die auf Grund der be-Quarzzylinder schraubenlinienförmige Rillen, die kannten elektrischen Zusammenhänge durch Ereinen zweiten Abdampfvorgang vom gleichen Quarz- 35 höhung der Strahlspannung U oder des Strahlstroms/ zylinder verbieten, weil die vorhandenen Rillen einen oder durch erhöhte Fokussierung und damit Verkleigerichteten und begrenzten Dampfstrahl erzeugen, nerung des Brennflecks F bewirkt werden kann, der für viele Aufdampfprozesse nicht zulässig ist. Der Selbstverständlich sind auch Kombinationen dieser Quarzzylinder muß also ausgewechselt werden, ob- Maßnahmen mit Erfolg anwendbar,
wohl nur ein Bruchteil der Quarzmenge verdampft 40 Man könnte zunächst annehmen, daß die bekannte worden ist. Dabei ist neben dem hohen Preis von harmonische, d. h. sinusförmige Oszillation des Elekgeeignetem Verdampfungsmaterial die Tatsache von tronenstrahls bereits eine Lösung des der Erfindung Nachteil, daß die Vakuumanlage zum Zwecke des zugrundeliegenden Problems beinhaltet hätte. Be-Auswechselns belüftet und nachfolgend wieder auf trachtet man nämlich eine sinusförmige Strahlbewe-Hochvakuum evakuiert werden muß. 45 gung, so nimmt die Strahlablenkgeschwindigkeit in

Die entstehenden Rillen lassen auf eine ungleich- Richtung auf die Umkehrpunkte bis auf den Wert 0 mäßige Ausnutzung der Energie des Elektronen- ab und nachfolgend in umgekehrter Richtung wieder Strahls für den eigentlichen Verdampfungsvorgang zu. Mit anderen Worten: Die Verweilzeit des Strahls schließen. Bei anderen Stoffen als Quarz hat ein an den Umkehrpunkten und in ihrer Nähe ist bereits ungleichmäßiger Eingang von Wärmeenergie in das 50 bei den bekannten Verfahren erhöht. Es hat sich aber Verdampfungsgut noch den Nachteil Wärmespan- gezeigt, daß diese, der harmonischen Strahlablenkung nungen zu erzeugen, die das Verdampfungsgut in innewohnende Eigenschaft nicht genügt und daß Verbindung mit mechanischen Spannungen zersprin- zusätzliche Maßnahmen ergriffen werden müssen, die gen lassen. Hierbei wird der Bedampfungsvorgang über die bei der harmonischen Ablenkbewegung erunterbrochen und Ausschuß produziert. Unterschied- 55 forderlichen Mittel hinausgehen,
lieh starkes, d. h. bei einer Relativbewegung rillen- Eine besonders vorteilhafte, weil einfache Anord-

förmiges Verdampfen des Verdampfungsgutes kann nung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Vermehrere Ursachen haben, die einzeln oder kombi- fahrens besteht aus einem Elektronenstrahlerzeuger, niert auftreten können. Die Ablenkung eines optimal dem eine spannungs- bzw. stromabhängige Ablenkfokussierten Elektronenstrahles aus seiner Mittellage 60 vorrichtung für den Elektronenstrahl zugeordnet ist, kann mit einer Änderung der Brennneckgröße ver- wobei in der Stromversorgungsleitung für die Abbunden sein. Bei konstant eingestellter Leistung an- lenkvorrichtung ein periodisch veränderbarer Widerdert sich damit die Leistungsdichte und damit die stand angeordnet ist. Gemäß der Erfindung besitzt Verdampfungsrate. Ferner hat das zu verdampfende dieser Widerstand einen Antrieb, welcher in bezug Material sowohl in kompakter Form als auch in 65 auf die Endstellungen des Widerstandes einen soge-Granulatform endliche Abmessungen. Durch Ab- nannten »toten Gang« aufweist. Die einfachste Form strahlung, Wärmeverluste durch Leitung usw. ist eines solchen Antriebs ist ein mit konstanter Drehdie für das Abdampfen zur Verfügung stehende zahl angetriebener Schubkurbeltrieb, dessen Pleuel

ORiQiNAL JNSPECTEO

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an einem Mitnehmer des Gleitkontaktes des Wider- veränderlich mittels der Klemmbacken 9 und 10 an

stands angreift und wobei zwischen Pleuel und Mit- einer Säule 11 festklemmbar. Die Säule 11 trägt an

nehmer ein begrenzter Leerhub möglich ist. Durch ihrem oberen Ende eine Montageplatte 12, auf der

diese Maßnahme wird die Verweilzeit des Elektro- eine Ablenkvorrichtung 13 für den Elektronennenstrahls an den Umkehrpunkten erhöht. 5 strahl 6 angeordnet ist. Die Ablenkvorrichtung 13 be-

Die Erfindung ist nicht beschränkt auf bestimmte steht aus einem Eisenkern 14, der von einer Ablenkgeometrische Formen des Verdampfungsguts. Sie spule 15 umgeben ist. An beiden Enden setzt sich kann angewandt werden beim Verdampfen von der Eisenkern 14 in zwei parallelen Polplatten 16 und geradlinig gegenüber dem Elektronenstrahl bewegten 17 fort, die nahe ihrem dem Eisenkern 14 abgekehr-Quadern, ferner beim Abdampfen von der Stirnseite ίο ten freien Ende zwei sich gegenüberliegende Polkreisförmiger, um die Mittelachse rotierender Schei- schuhe 18 und 19 besitzen. Die Polschuhe lassen zwiben und von der Mantelfläche um ihre Längsachse sehen sich einen Luftspalt für den Durchtritt des rotierender Zylinder und schließlich auch beim Ver- Elektronenstrahls 6 frei.

dampfen von granuliertem, in einem Behälter befind- Unterhalb der Polplatten 16, 17 befindet sich eine

liehen Verdampfungsgut. 15 kreisförmige Scheibe 20 aus dem zu verdampfenden

Auch die räumliche Lage der Oberfläche, von der Material, beispielsweise aus Quarz. Die Scheibe 20

das Material verdampft werden soll, setzt der An- ruht auf einem Drehteller 21, der mit einer Welle 22

Wendung des erfindungsgemäßen Verfahrens keine in Verbindung steht, die mittels einer Stopfbuchs-

Grenzen. Sowohl die übliche horizontale als auch dichtung vakuumdicht durch die Basisplatte 23 des

eine vertikale Lage sind — mit einer Ausnahme bei ao gesamten Systems geführt ist. Die Stopfbuchsdich-

granuliertem Verdampfungsgut — möglich. tung ist — nicht sichtbar — innerhalb des Rohr-

Mit ganz besonderem Vorteil ist das Verfahren Stutzens 24 untergebracht.

gemäß der Erfindung anwendbar bei der Abdamp- Die Ablenkspule 15 ist über zwei Leitungen 25 fung von der Stirnfläche rotierender, längerer Zylin- und 26 mit einem Steuergerät 27 verbunden, welche der, die m dem Maße, wie das Material abgedampft 25 eine Spannungsquelle 28 und ein Potentiometer 29 wird, dem Elektronenstrahl in Achsrichtung ent- enthält. Das Potentiometer 29 besteht in bekannter gegengeschoben werden. Die Vorschubbewegung er- Weise aus einem Widerstand 30 und einem Gleitfolgt zu dem Zweck, daß die Fläche, auf der die Ver- kontakt 31, welcher auf dem Widerstand 30 aufliegt, dampfung erfolgt, stets ihre räumliche Lage bei- Die Leitung 25 führt zum Widerstand 30, und vom behält. 30 Gleitkontakt 31 führt eine weitere Leitung 32 über

Als Oszillationsfrequenz haben sich solche zwi- ein stromleitendes, aber elastisches Glied 33 zur

sehen 0,1 und 10 Hz, vorzugsweise zwischen 0,5 und Spannungsquelle 28, deren anderer Pol über die Lei-

2 Hz, bestens bewährt. tung 26 mit der Ablenkspule 15 verbunden ist. Der

Weitere Ausgestaltung des Gegenstandes der Stromkreis ist auf diese Weise geschlossen, wobei die

Erfindung, die Wirkungsweise der Verfahren gemäß 35 Stärke des fließenden Stroms und damit die Stärke

dem Stande der Technik und der Erfindung sowie des ablenkenden Magnetfeldes von der Stellung des

ein Ausführungsbeispiel zur Durchführung des erfin- Potentiometers 29 abhängen.

dungsgemäßen Verfahrens seien nachfolgend an Der Gleitkontakt 31 ist auf einer Welle 34 befe-

Hand mehrerer Figuren näher beschrieben: Es zeigt stigt, die in einem Lagerbock 35 gelagert ist. Auf der

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Elek- 40 Welle befindet sich ferner eine drehbare Scheibe36,

tronenstrahlverdampfers mit vorgeschaltetem Steuer- die starr mit dem Gleitkontakt 31 gekuppelt ist.

gerät, Außerdem besitzt die Scheibe 36 einen exzentrischen

Fig. 2 einen Vergleich der der Ablenkvorrichtung Mitnehmer 37. An dem Mitnehmer 37 greift mittels

zugeführten Ablenkspannungen bei harmonischer eines Langlochs 38 ein Pleuel 39 an, das über einen

und bei erfindungsgemäßer Steuerung des Strahls, 45 weiteren Kurbelzapfen 40 mit der Kurbelscheibe 41

F i g. 3 einen Querschnitt durch scheibenförmiges eines elektrischen Antriebmotors 42 zusammen-

Verdampfungsgut und dessen Drehteller nach An- wirkt. Der Motor wird über die Klemmen 43 mit

wendung des bekannten Verdampfungsverfahrens, Strom versorgt und treibt mittels der Welle 44 die

F i g. 4 einen Querschnitt analog F i g. 3, jedoch Kurbelscheibe 41 an. Zweckmäßigerweise wird ent-

nach Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens, 50 weder ein Getriebemotor verwendet oder ein dreh-

Fig. 5 die Anwendung des erfindungsgemäßen zahluntersetzendes Getriebe vorgeschaltet. Damit die

Verfahrens auf der Mantelfläche eines rotierenden Welle 34 des Gleitkontaktes 31 nicht umläuft, ist es

Zylinders und erforderlich, die Exzentrizität des Kurbelzapfens 40

F i g. 6 die Anwendung des erfindungsgemäßen kleiner als die des Mitnehmers 37 zu machen.

Verfahrens auf der Oberfläche eines geradlinig be- 55 Die Wirkungsweise der abgebildeten Anordnung

wegten Quaders. ist folgende: Der Antriebsmotor 42 ist stillgesetzt,

In Fig. 1 ist mit 1 ein Elektronenstrahlverdampfer und der Gleitkontakt 31 möge sich, wie abgebildet,

bezeichnet, der den eigentlichen Elektronentrahl- in einer mittleren Stellung befinden. Das Steuergerät

erzeuger 2, nachfolgend kurz als Kanone bezeichnet, 27 und damit der Stromfluß in der Ablenkspule 15

enthält. Die Einzelheiten einer solchen Kanone sind 60 sind in diesem Falle so abgestimmt, daß sich auch

Stand der Technik und brauchen daher nicht näher der auf der Scheibe 20 auftreffende Brennfleck des

erläutert zu werden. 3 und 4 sind die Anschlußklem- Elektronenstrahls 6 in einer mittleren Lage, d. h. etwa

men für die Heiz- und Beschleunigungsspannung. Die auf halbem Radius der Scheibe 20 befindet. Wird

Kanone besitzt eine Austrittsöffnung 5 für den um nun der Antriebsmotor 42 eingeschaltet, so rotiert

180° umgelenkten gebündelten Elektronenstrahl 6 65 die Kurbelscheibe 41, die Scheibe 36 und damit der

und ist mittels einer Schraube 7 horizontal verschieb- Gleitkontakt 31 führen jedoch nur periodische

bar auf einer Grundplatte 8 befestigt. Zum Zwecke Schwenkbewegungen aus. Der Widerstand des Po-

einer Justage ist die Grundplatte 8 ihrerseits höhen- tentiometers 29 verändert sich hierdurch ebenfalls

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periodisch, desgleichen die Ablenkspannung an der der Scheibe blieben dabei in Höhe der ursprünglichen

Ablenkspule 15. Die Folge ist ein gleichfalls periodi- Umrißlinie 49 erhalten. In dem Bereich dazwischen

sches Hin- und Herwandern des Brennflecks auf der grub sich eine tiefe Ringmulde 50 in die Scheibe ein,

Scheibe 20. Da die Mittelachse der Ablenkvorrich- die ein weiteres Abdampfen verhinderte. Der Aus-

tung 13 die Drehachse der Scheibe 20 schneidet und 5 nutzungsgrad der kostspieligen Scheibe war gering,

der Elektronenstrahl 6 sich in der Symmetrieebene Das Stehenbleiben einer Kuppe im Zentrum der

der Ablenkvorrichtung 13 befindet, bewegt sich der Scheibe ist auf eine merkliche Defokussierung des

Brennfleck des Strahls 6 auf einer radialen Linie der Elektronenstrahls an den inneren Umkehrpunkten

Scheibe 20. Die Auslegung des Steuergeräts 27 und zurückzuführen, das Stehenbleiben des Randwulstes

der Ablenkvorrichtung 13 ist nun so getroffen, daß ίο aber auf die mit dem Radius zunehmende Masse der

der Brennfleck des Strahls 6 sich beim Hin- und Kreisscheibe. Beide Ursachen wirken sich aber bei

Hergehen des Gleitkontaktes 31 von einer Endale Anwendung des erfLndungsgemäßen Verfahrens nicht

in die andere ziemlich genau vom Mittelpunkt der mehr aus, wie F i g. 4 zeigt.

Scheibe 20 bis zu deren Rand bewegt. Diese beiden In Fig. 4 ist die gleiche Anordnung wie in Fig. 3

Grenzstellungen des Strahls 6 bzw. Brennflecks wer- 15 dargestellt, jedoch mit dem Unterschied, daß die

den auch als Umkehrpunkte bezeichnet. Da die Scheibe 20 nach dem erfindungsgemäßen Verfahren

Scheibe 20 gleichzeitig unter dem Elektronen- verdampft worden ist. Das Material der Scheibe ist

strahl 6 rotiert, beschreibt der Brennfleck auf der auf der gesamten Oberfläche praktisch gleichmäßig

Scheibe eine stark gedrängte »Schlangenlinie«. abgetragen worden, so daß nur ein flacher, scheiben-

Würde das Pleuel 39 ohne Längsspiel am Mit- 20 förmiger Rest übrigblieb. Zum Vergleich ist die urnehmer 37 angreifen, so würde, abgesehen von den sprüngliche Kontur 49 der Scheibe gestrichelt dar-Eigenarten eines Kurbeltriebs bei endlicher Pleuel- gestellt. Der Ausnutzungsgrad war ersichtlich erheblänge, die Ausgangsspannung des Potentiometers 29 h'ch größer.

einen harmonischen, d.h. sinusförmigen Verlauf F i g. 5 zeigt die Möglichkeit einer Anwendung des besitzen. Desgleichen würde der Elektronenstrahl 6 25 erfindungsgemäßen Verfahrens bei einem zylindriharmonisch abgelenkt. Da nun aber das Pleuel mit- sehen Körper 50 aus dem zu verdampfenden Material. tels des einen Endes eines Langlochs 38 abgestimm- Der Zylinder ist auf einer Welle 51 gelagert und ter Länge am Mitnehmer 37 angreift, bleibt die rotiert um seine Achse, wobei der Elektronenstrahl 6 Scheibe 36 unmittelbar nach dem Durchgang des so geführt wird, daß sein Brennfleck auf der Mantel-Kurbelzapfens 40 durch seine beiden Totpunktlagen 30 fläche des Zylinders eine schraubenünienförmige für eine kurze Zeit stehen, bis das Pleuel 39 eine Bahn beschreibt. Gleichzeitig oszilliert der Strahl solche Längsverschiebung ausgeführt hat, daß das parallel zu den Mantellinien des Zylinders, wodurch andere Ende des Langlochs 38 am Mitnehmer 37 eine flächenmäßige Abtragung analog Fig. 4 stattangreift und ihn wieder in entgegengesetzter Rieh- findet. Der übrigbleibende Restzylinder hat im rung antreibt. Das gleiche Weg-Zeit-Verhalten besitzt 35 wesentlichen eine glatte Oberfläche,
auch der Gleitkontakt 31, und da einem definierten In Fig. 6 ist die Anwendung der Erfindung beim Widerstand des Potentiometers 29 eine bestimmte Verdampfen eines Quaders 52 aus dem zu verdamp-Ablenkung des Elektronenstrahls 6 entspricht, ver- fenden Material beschrieben, der in Richtung des harrt auch der Brennfleck für die gleiche kurze Zeit Pfeiles 53 gegenüber dem Elektronenstrahl 6 längsin seinen Umkehrpunkten. Hiermit wird der ge- 40 verschoben wird. Der Strahl oszilliert dabei mit einer wünschte Erfolg erreicht. Amplitude, die der Breite des Quaders, quer zur Be-

Die Steuerung der Ablenkspannung wurde der wegungsrichtung gemessen, entspricht. Auch hier erbesseren Anschaulichkeit halber an Hand eines folgt eine flächenmäßige, rillenfreie Abtragung des zu Beispiels mit mechanischer Verstellung eines Poten- verdampfenden Materials bei guter Materialaustiometers dargestellt und beschrieben. Es ist jedoch 45 nutzung.

ohne weiteres möglich, gleichwertige Effekte auch Die Maßnahmen nach den Fig. 4 und 6 sind auch

mittels elektronischer Steuerungselemente zu erzielen. auf die sogenannte Wannenverdampfung übertrag-

Die an der Ablenkspule 15 anliegende Ablenk- bar, bei der das zu verdampfende Material in loser,

spannung U_n ist in Abhängigkeit von der Zeit in z. B. Granulatform, in einem Tiegel untergebracht ist

Fig. 2 grafisch dargestellt. Die gestrichelte Kurve 45 5° und durch eine Nachfüllvorrichtung kontinuierlich

zeigt die Ablenkspannung, wie sie für eine harmoni- oder diskontinuierlich ergänzt wird. Hat der Tiegel

sehe Ablenkbewegung des Strahls 6 benötigt wird. die Form eines flachen, runden Napfes, so kann man

Die ausgezogene Kurve 46 ist ein beispielhaftes Ab- um an die Stelle der Scheibe 20 in Fig. 4 setzen,

bild der Ablenkspannung für die Steuerung des Elek- ist der Tiegel länglich, wie z.B. ein Schiffchen, so

tronenstrahls bei dem erfindungsgemäßen Verfahren. 55 kann er an die Stelle des Quaders 52 in Fig. 6

Es ist deutlich zu sehen, daß die Spannung im Be- treten.

reich der Maximal- und Minimalwerte, die den Um- Beispiel
kehrpunkten des Elektronenstrahls entsprechen, bei

der Kurve 46 längere Zeit konstant gehalten wird Auf den Drehteller 21 einer Vorrichtung ge-

als bei der gestrichelten, harmonischen Kurve 45. ⁶° maß F i g. 1 wurde eine Glasscheibe von 70 mm

Fig. 3 zeigt einen Querschnitt durch eine ver- Durchmesser und 100 g Gewicht gelegt. Die Elek-

brauchte kreisförmige Scheibe 20 aus dem zu ver- tronenkanone 2 lieferte einen in der Mittelstellung

dampfenden Material, die auf dem Drehteller 21 ruht auf einen Brennfleck von 30 mm² fokussieren Elek-

und von der Welle 22 angetrieben wird. In diesem tronenstrahl mit einer Beschleunigungsspannung von

Fall ist die Verdampfung gemäß dem Stand der Tech- 65 10 kV und einem Strahlstrom von 80 mA. Die an

nik erfolgt: Der Elektronenstrahl wurde auf radialen der Ablenkspule 15 anliegende Ablenkspannung

Linien harmonisch zwischen den Umkehrpunkten 47 wurde mittels des Potentiometers 29 periodisch zwi-

und 48 abgelenkt. Die Randzone und das Zentrum sehen 3,3 und 5,2 Volt verändert, wodurch der oszil-

iicrcndc Brennlleck eine Amplitude von etwa 15 mm erhielt. Die Länge des Langlochs 38 war in Verbindung mit den übrigen Abmessungen des Kurbeltriebs so abgestimmt, daß der Strahl an jedem Umkehrpunkl 20 "/ο der für eine Schwingung benötigten Zeit verweilte. Die Scheibe 20 wurde mit einer Drehzahl von 0,2 U/min angetrieben. Von der Scheibe 20 konnten 66 Gramm, d. h. 66 % des Einsatzgewichtes abgedampft werden, bis eine Restdicke von 4 mm, die aus Sicherheitsgründen eingehalten wurde., erreicht war. Der nicht verdampfte Rest entsprach der Darstellung in Fig. 4.

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Aufdampfen von nichtmetallischen, hochschmelzenden Stoffen, insbesondere Siliciumdioxyd oder Glas auf Trägerkörper durch Verdampfen dieser Stoffe im Vakuum mittels eines gebündelten Elektronenstrahls, welcher das Verdampfungsgut zonenweise durch oszillierendes Abtasten quer zur Vorschubrichtung auf Verdampfungstemperatur erhitzt, gekennzeichnet durch eine solche Steuerung des Elektronenstrahls, daß die von ihm an das Verdampfungsgut abgegebene Energie pro VoIumenelement mindestens im Bereich der Umkehrpunkte des Elektronenstrahls über das beim Abtasten mit einer harmonischen Ablenkbewegung gesehene Maß erhöht wird.

2. Verfahren nach Anspruch J, dadurch gekennzeichnet, daß die Vcrweilzcit des Elektronenstrahls nahe den Umkehrpunkten über das beim Abtasten mit einer harmonischen Ablenkbewegung gegebene Maß erhöht wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem Elektronenstrahl mindestens im Bereich seiner Umkehrpunkte eine höhere Strahlintensität erteilt wird.

4. Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 und 2, bestehend aus einem Elektronenstrahlerzeuger und einer diesem vorgeschalteten Ablenkvorrichtung für den Elektronenstrahl, wobei in der Stromversorgungsleitung für die Ablenkvorrichtung ein periodisch veränderbarer Widerstand angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Widerstand (29. 30, 31) einen Antrieb (36, 37, 38, 39, 40 und 41) besitzt, welcher in bezug auf mindestens eine Endstellung des Widerstandes einen Leerhub bzw. toten Gang aufweist.

5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb ein mit konstanter Drehzahl angetriebener Schubkurbeltrieb ist, dessen Pleuel (39) an einem den Gleitkontakt (31) bewegenden Mitnehmer (37) angelenkt ist und wobei zwischen Pleuel (39) und Mitnehmer (37) ein Spiel in Form eines Langlochs (38) in Längsrichtung des Pleuels vorhanden ist.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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