DE1822766U - Vorrichtung zum vakuumbedampfen von baendern. - Google Patents

Description

• Gebrauchsmusteranmeldung "Anlage zum Vakuumbedampfen von Bändern" Es wird eine Anlage beschrieben, die zum Bedampfen von Bändern im Vakuum dient. Die Anlage dient vor allen Dingen zum Bedampfen sehr dünner Folien, die beim Ab-und Aufrollen die Neigung haben, Falten zu bilden. Eine Abhilfe gegen diese Faltenbildung ist achon früher dadurch geschaffen worden, daß die im Vakuumbehälter angeordneten Abwickel-, Aufdampfe und Aufwickelrollen zusammen mit vorhandenen Führungsrollen als Wälzpaarungen mit dazwischen durchlaufendem Band angeordnet sind. Eine solche Anlage ist zum Bedampfen auch extrem dünner Folien, z. B. von 6 Mikron Dicke, sehr geeignet.
• Im allgemeinen werden Folien, wie sie z. Bo für Kondensatoren und andere Zwecke benutzt werden als breites Band bedampft und dann außerhalb der Vakuumanlage unter normalem Luftdruck in schmale Streifen geschnitten. Dies hat den Nachteile daß die gesamte Behandlung zwei getrennte Arbeitsgänge und auch zwei Apparaturen erforderte Bei der Dünne der Folien liegt hier ein ernstes Problem vor, das die Fertigung erschwert und die Herstellungskosten stark vergrößert.
• Es wurde nun überraschenderweise gefunden. daß in einer solchen Anlage, bei der die Rollen als Wälzpaarungen ausgebildet sind, eine der Führungsrollen gleichzeitig als Gegenlagerrolle für mindestens eine Schneidrolle dienen kann, die das schon bedampfte Band unter Vakuum in zwei oder vorzugsweise mehr Streifen zerschneidet. Als Gegenlagerrolle dient dabei vorzugsweise eine Führungsrolle, die sich zwischen der Aufdampfrolle und der Aufwickelrolle befindet. Ist die aufgedampfte Schicht durch bekannte Einrichtungen, wie

  zu B. Schablonen, Abdeckstãbe und dergleichen, in Form von

  Streifen niedergeschlagen, zwischen denen sich ein unbedampfter Zwischenraum befindet, so werden die Schwidrollen vorzugsweise so angeordnet, daß sie je am Rande oder in der Mitte eines bedampften bzw. unbedampften Streifens die Folie zerschneiden « Für Kondensatoren ist es wichtig, die Metalldicke der Niederschlagsschicht messen zu können. Hier werden in weiterem Ausbau der gemachten Vorschläge mindestens ein Paar mitlaufender die Folie berührender Rollen vorgesehen, die einen Edelmetallbelag besitzen und den elektrischen Widerstand der aufgedampften Metallschicht zu messen gestatten. Dies ist vor allen Dingen unter Vakuum sogar bei Aluminiumschichten mögliche deren Oxydhaut sich unter Vakuum praktisch nicht bildet « Das Rollenpaar zur Messung des Widerstandes berührt die Folie vorteilhafterweise noch auf der Aufdampfrolle unmittelbar hinter der Bedampfungszoneo In Abhängigkeit von dem gemessenen Widerstand wird dann die Durchlaufgeschwindigkeit des Bandes so eingeregelte daß der gewünschte bestimmte Widerstandswert entweder voll oder nahezu erreicht wird.
• Dieses Verfahren ist insofern günstige als die Durchlaufgeschwindigkeit sich in relativ schneller Zeit ändern läßt und so eine relativ schnelle Änderung der Schichtdicke erlaubt Es wäre auch theoretisch mögliche durch höhere Verdampfertemperaturen die verdampfte Menge zu vergrößern und damit den Niederschlag selbst dicker zu machen.
• Dieses Verfahren ist aber deshalb nur schlecht gangbar weil der Verdampfer selbst meist eine relativ hohe Wärmeträgheit besitzt und daher nur langsam aufgeheizt werden kann. ur Erläuterung der voliergenden Erfindung dienen die beigegebenen Zeichnungen : in Fig. 1 ist eine Aufsicht auf eine Anlage bei geöffnetem Deckel dargestellte

  in Fig. 2 dieselbe Anlage in dem Schnitt 11/11 der Fig. 1p

  in Fig. 3 ist die Anordnung der Rollen ur WiderstandemMsung

  einer aufgedampften Metallschicht gezeigt.

  In Figo 1 befindet sich die gesamte Anlage innerhalb eines sylin

  derfrmigen TakuMNesaels l. Das M bedampfende Band. befindet sich

  auf der Vorratsrolle 2 und läuft von ihr in Pfeilriehtvng af die

  Aufdampfrolle 59 von ihr auf die Fiihrmigsrolle 6 undwird auf die

  Rolle 8 abgewickelt. Diese Rollen laufen sämtlich ? ls Wäl-

  Paarungen mit dazwischen durchlaufendem Banda So kSnnen anch sehr

  dünne Folien bedampft werden ohne dasa dabei Falten entstehen.

  Es ist sehr wichtige dass diese Rollen ausserordentlich glatt nnd

  gleichmäßig ist sehr genau parallel geführt werdeno Nur so

  wlvndo mb he h¢bo

  wi : ? d der mögliche Erfolg erreiehto

  Erfindungsgemäss sind nun gegenüber der Rolle 6 Schneidrollen 31

  vorgesehen die federnd an einem Tragebalken 30 angebracht sindo

  Dies Rollen zerschneiden das Band in zwei oder mehrere Streifeng

  dir dann auf Einzelrollen 8 aufgerollt werden Dieses Zerschneiden

  der-', folie geht zur grossen Ueberraschung ohne Ealtenentstehung

  vor niehg was bei so dünnen Folien durchaus nicht su erwarten

  wäre

  Soll die AnLage auch sum Zurückrollen des Bandes von der Rolle 8

  zurolle 2 benutst werden so wird sweckmässig zwischen die Rolle 2

  usdnie Anfdsmpfrolle 5 eine Zwischenrolle (analog der Rolle 6)

  eingeschaltet.

  Die 5 und auch die anderen Rollen vierde-n von ai-nem

  W mp5o w. æe n er

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  i ; S j @ 5 h ite andSsr sE W m

  &es'Mll 20 getragen an dessen Unterseite ein-vorzugsweise wasser-

  gekil'iltes Sabgitter 21 angebracht ist. Dieses Stabgitter ist

  in 2Lg. 2 besonders klar su sehen 9 es bewirkt ;, dass die dMrehlan-

  fend3 Folie nur an den Stellen a bedampft wird während die Stellen

  b g-3g : en Verdampfung geschützt sind und also bedampfungpfreie Zonen

  ei-g'3'äen. Vorzugsweise werden nun die Rollen 31 so montierte dass

  se gerade zwischen einer unbedampften Zone das Band serschneideno

  Das hat für Kondensatoren den grossen Vorteil, dass an dem einen

  Rand leicht ein elektrischer Anschluß an eine Netallbelegung

  hergestellt werden kann.

  Bei Netallbelägen ist es auch von Vorteil, wenn man die Belag-

  dicke kennt Hier bietet sich ein überraochevd Vor-

  fahren an nämlich die Schichtdicke drch ihren elektrischen

  Widerstand zu messen. In Fig. 3 ist eine Einrichtung zu diesem

  Zweck gezeigt ; sie besteht aus den beiden Rollen 329 die in einem

  festen Abstand, beispielsweise 10 cm angeordnet sind und an

  ihremänsseren Rande eine Edelmetallbelegnng tragen. Die Rollen

  werden durch Leitungen mit einer Widerstandsbrueke verbunden. Die

  Rollen werden durch einen Arm 33 an die Folie angedräcktB Nd

  ZW.unmittelbar hinter der Bedampfungszone noch auf der Aufw.

  Rollen5o Dies hat den Vorteil, dass selbst bei Altminim

  sich noch keine Oxydhaut bilden konnte die sich nter Vakuum

  nur sehr laugsam herstellt.

  Die Messung der Schiehtdicke durch den Widerstand erlaubt nun

  ineinfacher Weise is Schichtdieke su verändern und auf oingabeetiam

  ten geöffinschten Wert einzustelleno Dies geschieht dadnehg dass bei

  zu geringem Widerstand, d. h. zu grosseF Sohichtdicke die Drch

  laufgesehwindigkeit des Bandes erhöht wird während sie bei zu

  hohem Widerstände &a ho su kleiner Sehichtdickep Teringert wirds

  h y J os Du.. nd e l o 2 ß ¢h i £} t b d a

Claims (1)

1. Neut. St NeueSchtK&Mi&reh<t sur e'brauchsmusterasmaldtmM H 3 44'K/48 b 1, Bedampf ungsvorriohtungt in der unter Vakuum Bänder bedampft werden und die Binder Über Abwickel, Auf dampf*-, Aufwickel-* und eventuelle weitere Ftthrungsrollen lauten, wobei diese Rollen als Wälfipaarungen mit dazwischen durohlantendem Baud angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine, vorzugsweise aber mehr Schneidrollen (31) gegenüber einer Rolle,vorsiEugsweise einer Fahrungsrolle (6), angeordnet eind, die das über diese Führungsrolle laufende. bedampfte Band in Streitenschneiden. 2* Bedampfungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen deat Verdampfer (10) und der Autdamptrolle (5) stegfSrmige Sohablonen (21) angebracht sind, die eine streiten- farm ge Bedamptung des Bandes bewirken, und die Scbneidrollen (3) gerade in der Mitte je eines unbedampften (und vorzugs- weise auch je eines bedampften) Streifens angeordnet sind. 3. Bedampfungsvorrichtung, insbesondere nach den Ansprüchen 1-2, dadurchgekennzeichnet, daß ein Paar mitlaufender, die aufge- dampfte Metallschicht berührender Rollen (32) mit Edelmetall- belag zur Messung des elektrischen Widerstandes der Metall- schicht vorgesehen ist.