DE69126684T2 - Vorrichtung zum Positionieren eines Maskenbandes in einer Maschine zum Metallisieren - Google Patents

Vorrichtung zum Positionieren eines Maskenbandes in einer Maschine zum Metallisieren

Info

Publication number
DE69126684T2
DE69126684T2 DE69126684T DE69126684T DE69126684T2 DE 69126684 T2 DE69126684 T2 DE 69126684T2 DE 69126684 T DE69126684 T DE 69126684T DE 69126684 T DE69126684 T DE 69126684T DE 69126684 T2 DE69126684 T2 DE 69126684T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
metal
comb
coated
positioning
width
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69126684T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69126684D1 (de
Inventor
Jean-Paul Bouchard
Thierry Feral
Andre Mounoussamy
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
THOMSON CSF PASSIVE COMPONENTS
Original Assignee
THOMSON CSF PASSIVE COMPONENTS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by THOMSON CSF PASSIVE COMPONENTS filed Critical THOMSON CSF PASSIVE COMPONENTS
Publication of DE69126684D1 publication Critical patent/DE69126684D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69126684T2 publication Critical patent/DE69126684T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G13/00Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
    • H01G13/06Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00 with provision for removing metal surfaces
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Positionierung von Maskenbändern in einer Maschine zur Metallbeschichtung, insbesondere einer Maschine zur Metallbeschichtung einer dielektrischen Folie großer Breite, an deren Ausgang eine Folie mit metallisierten und mit nicht- metallisierten Zonen erhalten wird.
  • Zur Herstellung von Stapel- oder Wickel-Kondensatoren mit einer metallbeschichteten dielektrischen Folie der Art gestapelt oder aufgewickelt verwendet man derzeit Kunststoffolien, die eine metallbeschichtete Zone und einen nicht-metallbeschichteten seitlichen Rand aufweisen. Diese metallbeschichteten biegsamen Kunststoffolien mit einem nicht-metallbeschichteten Rand ergeben sich durch ein zweistufiges Verfahren erhalten. In der ersten Stufe wird eine biegsame dielektrische Folie großer Breite, wie z.B. aus Polyester, Polycarbonat, Polysulfon, Polypropylen durch ein Vakuumverdampfungsverfahren in einer Maschine zur Metallbeschichtung mit Metall beschichtet. Die Metallbeschichtung erfolgt durch Verdampfung eines Metalls wie z.B. Aluminium, Zink oder Legierungen, die Aluminium, Zink, Chrom oder ähnliches enthalten. Die nicht-metallbeschichteten Ränder werden während des Vakuumverdampfungsverfahrens durch eine Gruppe von Maskenbändern erhalten, mit deren Hilfe nicht- metallbeschichtete Teile auf der Folie großer Breite erhalten werden. Bei den heute verwendeten Metallbeschichtungsmaschinen besteht die Vorrichtung zur Positionierung von Maskenbändern aus mehreren Rollen mit Kehlen, über die die Maskenbänder angetrieben werden. Diese Vorrichtung besitzt eine bestimmte Anzahl von Nachteilen. Sie erfordert nämlich mindestens einen Satz von zwei Rollen, meist drei oder vier, die Kehlen identischer Breite aufweisen. Andererseits ist es notwendig, ebensoviele Sätze von Rollen in Reserve zu halten, wie es Bandbreiten der Maskenbänder gibt. Außerdem ist die Positionierung der Rollen innerhalb der Maschine oft langwierig und komplex, da jedesmal mehrere Rollen entnommen und wieder eingesetzt werden müssen, wenn man eine Folie erhalten möchte, die nicht-metallbeschichtete Zonen unterschiedlicher Breite aufweisen.
  • Die vorliegende Erfindung hat also zum Ziel, diese Nachteile zu beseitigen, indem sie eine neue Vorrichtung zur Positionierung von Maskenbändern in einer Maschine zur Metallbeschichtung von Folien großer Breite vorschlägt.
  • Folglich hat die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zur Positionierung von mindestens einem Maskenband in einer Maschine zur Metallbeschichtung von Folien großer Breite zum Gegenstand, die eine Folie mit metallbeschichteten und nicht-metallbeschichteten Zonen ergibt, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus mindestens zwei Antriebsrollen mit glatter Oberfläche für die Maskenbänder, wobei die Antriebsrollen so positioniert werden, daß die Maskenbänder bei der Metallbeschichtung vor die Folie gelangen, und aus mindestens einem festen Kamm zur Positionierung und Führung dieser Bänder besteht.
  • Vorzugsweise ist der feste Kamm vor dem eigentlichen Metallbeschichtungsbereich angeordnet. Dies ermöglicht es, die Maskenbänder sehr genau zu positionieren, um nach der Metallbeschichtung und dem Zerschneiden eine metallbeschichtete Kunststoffolie zu erhalten, deren Breiten in sehr engen Toleranzgrenzen konstant sind.
  • Vorzugsweise und gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung enthält die Positioniervorrichtung weiter einen Vor-Führungskamm, der die Positionierung der Maskenbänder vervollkommnet.
  • Gemäß einem zusätzlichen Merkmal der vorliegenden Erfindung ist jeder Kamm mit einer Reihe von Zinken versehen, wobei die Einschnitte zwischen den Zinken eine Breite aufweisen, die der Breite der Maskenbänder gleicht, um nicht-metallbeschichtete Zonen stabiler Breiten zu erhalten.
  • Gemäß einem weiteren Merkmal ist jeder Kamm mit zwei Reihen von Zinken versehen, die zueinander symmetrisch angeordnet sind, wobei die Einschnitte jeder Reihe unterschiedliche Breiten aufweisen, um sich Folien anzupassen, die metallbeschichtete Zonen und nicht-metallbeschichtete Zonen unterschiedlicher Breite oder unterschiedlichen Abstands aufweisen. Dieses Merkmal ermöglicht die Begrenzung der Anzahl von vorhandenen Kämmen und erleichtert ihre Montage.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform besteht jeder Kamm aus einem Material, das die in der Metallbeschichtungsmaschine herrschenden Temperaturen und/oder Drücke aushält. Vorzugsweise ist jeder Kamm aus INVAR -Stahl.
  • Die Verwendung eines solchen Materials führt zu Kämmen, deren Abmessungen sich nicht mit der Temperatur und in einem Vakuum (10&supmin;² bis 10&supmin;³ Pascal) verändern, wie sie in der normalerweise verwendeten Metallbeschichtungsmaschine herrschen.
  • Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung gehen aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten, aber nicht einschränkend zu verstehenden Ausführungsbeispiels anhand der beiliegenden Zeichnungen hervor.
  • Figur 1 zeigt schematisch in Perspektive einen erfindungsgemäßen Kamm.
  • Figur 2 zeigt schematisch eine andere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Kamms.
  • Figur 3 zeigt schematisch die Positionierung des Kamms in einer bekannten Metallbeschichtungsmaschine für Folien großer Breite.
  • Figur 1 zeigt schematisch in Perspektive eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Kamms. Dieser Kamm besitzt zwei Befestigungsarme 2, die je zwei Löcher 3 für den Durchlaß von Mitteln zur Befestigung an Trägerarmen oder ähnlichen Organen aufweisen, wie z.B. von Gewindestäben. Wie in Figur 1 gezeigt, ist der zentrale Bereich des Kamms 1 auf einer seiner Seiten mit Zinken 4 versehen, die eine definierte Breite 1 aufweisen und durch Kerben 5 getrennt sind, durch die Maskenbänder verlaufen, wie sie im Schnitt mit dem Bezugszeichen 6 dargestellt sind. In diesem Fall besitzen die Kerben 5 eine Breite 1' im wesentlichen gleich der Breite der Maskenbänder 6. Diese Breite gleicht dem doppelten des nicht-metallbeschichteten Rands, wenn die durch Verwendung des Kamms erhaltenen Folien verwendet werden, um Kondensatoren mit metallbeschichteter Kunststoffolie herzustellen, und insbesondere für Kondensatoren vom Chip-Typ. In diesem Fall kann die Breite 1' der Kerben, d.h. die Breite der Bänder, etwa 0,5 mm betragen.
  • Gemäß einer in Figur 2 gezeigten Ausführungsvariante kann der Kamm Zinken 4 und 4' auf jeder Seite des zentralen Bereichs aufweisen, die die Arme 2 verlängern. In diesem Fall besitzen die Zinken und die Kerben auf jeder Seite unterschiedliche Breiten, damit sie für die Herstellung von metallbeschichteten Folien verwendet werden können, die beschichtete Zonen und nicht-beschichtete Zonen aufweisen, deren Maße gemäß ihrer Endverwendung unterschiedlich sind. Die Zinken und die Kerben können auch einen unterschiedlichen Abstand aufweisen. Dadurch läßt sich die Anzahl von Kämmen reduzieren, die in Abhängigkeit von den Endprodukten gelagert werden müssen, die man herstellen möchte.
  • Die oben erwähnten Kämme werden in einer Vakuum- Metallbeschichtungsmaschine verwendet. Sie werden also aus einem Material hergestellt, das sich bei den in diesen Maschinen herrschenden Temperaturen und Drücken (10&supmin;² bis 10&supmin;³ Pascal) nicht verändert. Vorzugsweise bestehen sie aus INVAR -Stahl.
  • Nun wird unter Bezugnahme auf Figur 3 eine Ausführungsform einer Vakuum-Metallbeschichtungsmaschine mit einer Vorrichtung zur Positionierung von Maskenbändern genauer beschrieben, die mindestens einen erfindungsgemäßen Kamm verwendet. Wie in Figur 3 gezeigt, befindet sich in einem unter Vakuum stehenden Raum 10 schematisch dargestellt eine erste Spule 11, die Mutterspule, die auf einen Dorn 11' gewickelt ist. Diese Mutterspule besteht aus einer unbeschichteten dielektrischen Folie, z.B. aus Polyester, Polycarbonat, Polysulfon, Polypropylen. Diese Folie hat eine große Breite, z.B. 515 mm. Wie in Figur 3 gezeigt, wird die von der Mutterspule 11 kommende Folie gemäß dem Pfeil f abgewickelt und von einer Rolle 12 zu einem Rad 13 gefördert, das auf einer Temperatur von -30ºC gehalten wird und auf dem die Metallbeschichtung durch Verdampfung unter Vakuum stattfindet. Dann wird die mittels der Rolle 14 gespannt gehaltene Folie auf ein Rad 15 gewickelt, auf dem sie gelagert wird für die späteren Verarbeitungsvorgänge. Wie in Figur 3 gezeigt, werden die verschiedenen Spulen und Räder 11, 13, 15 in Richtung der Pfeile f1, f2, f3 in Drehung versetzt.
  • Erfindungsgemäß ist die soeben beschriebene Metallbeschichtungsmaschine mit einer Vorrichtung zur Positionierung von Maskenbändern ausgestattet, die eine metallbeschichtete Folie ergibt, die metallbeschichtete Zonen und nicht-metallbeschichtete Zonen aufweist. Die Vorrichtung zur Positionierung von Maskenbändern besteht in der dargestellten Ausführungsform aus vier Führungs- und Antriebsrollen 20, 21, 22, 23 für die Maskenbänder. Ein Band 25 ist in Figur 3 dargestellt. Dieses Band wird gemäß dem Pfeil f4 angetrieben. Es besteht vorzugsweise aus einem Kunststoffmaterial, wie z.B. das unter der Marke KAPTON verkaufte Kunststoffmaterial. Erfindungsgemäß haben die Rollen 20, 21, 22, 23 eine glatte Oberfläche im Gegensatz zu den bisher benutzten Rollen, die alle Führungskehlen aufwiesen. Daher sind die Rollen 20, 21, 22, 23 dauerhaft in der Metallbeschichtungsmaschine befestigt. Andererseits besitzt die Positioniervorrichtung erfindungsgemäß zwei Kämme 26, 27, mit denen die Führung bzw. die Vor-Führung der verschiedenen Maskenbänder 25 erfolgt. Diese Kämme haben die in Figur 1 oder die in Figur 2 dargestellte Form. Der Kamm 27, der direkt vor der Rolle 20 positioniert ist, d.h. vor der Rolle, die sich vor der Zone befindet, in der die Maskenbänder mit der zu metallisierenden Folie in Höhe der Metallbeschichtungsstelle in Kontakt geraten, ist ein Vor-Führungskamm, der eine erste angenäherte Positionierung der Maskenbänder erlaubt. Der Kamm 26 direkt hinter der Rolle 20, d.h. unmittelbar vor der Stelle der Metallbeschichtung, ist ein Führungskamm, der eine exakte Positionierung der Maskenbänder in Bezug auf die von der Spule 11 kommende und zu beschichtende Folie ermöglicht. Die Verwendung einer solchen Führungsvorrichtung für die Maskenbänder hat mehrere Vorteile, die in der Einleitung der vorliegenden Anmeldung erwähnt wurden. Insbesondere muß man, wenn man eine neue Folie mit anderen Breiten der metallbeschichteten und der nicht-metallbeschichteten Zone bearbeiten möchte, nur die Führungskämme verändern, da die Antriebsrollen der Maskenbänder 20, 21, 22, 23 Rollen mit glatter Oberfläche sind. Dies ermöglicht eine viel schnellere Einstellung der Maschine als bei der Vorrichtung gemäß dem Stand der Technik. Andererseits ermöglicht die Verwendung eines Führungskamms 26 eine sehr genaue Positionierung der Maskenbänder, wodurch nach der Metallbeschichtung und dem Zerschneiden während einer späteren Verfahrensstufe eine metallbeschichtete Kunststoffolie erhalten wird, deren Breiten in sehr engen Toleranzgrenzen konstant sind. Zum Beispiel kann man beschichtete Kunststoffbänder für Chip-Kondensatoren erhalten, deren Folienbreite 2,5 mm und deren Randbreite 0,25 mm beträgt.
  • Andererseits ermöglicht die Verwendung eines wie oben beschriebenen Kammes die Metallbeschichtung einer sehr breiten Folie, indem eine beliebig große Anzahl von geführten Maskenbändern verwendet wird. Es ist möglich, Kämme herzustellen, die die Führung von mehr als 100 Maskenbändern erlauben.
  • Es ist dem Fachmann klar, daß verschiedene Veränderungen an der Vorrichtung zur Positionierung von Maskenbändern durchgeführt werden können, die unter Bezug auf Figur 3 beschrieben wurde, insbesondere in Bezug auf die Anzahl von glatten Rollen, die für den Antrieb der Maskenbänder verwendet werden, die mindestens zwei betragen muß, und in Bezug auf die Anzahl von Kämmen, die mindestens eins sein muß.

Claims (7)

1. Vorrichtung zur Positionierung von mindestens einem Maskenband (25) in einer Maschine zu Metallbeschichtung von Folien großer Breite, die eine Folie mit metallbeschichteten und nicht-metallbeschichteten Zonen ergibt, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus mindestens zwei Antriebsrollen mit glatter Oberfläche (20, 21, 22, 23) für die Maskenbänder, wobei die Antriebsrollen so positioniert werden, daß die Maskenbänder bei der Metallbeschichtung vor die Folie gelangen, und aus mindestens einem festen Kamm (26) zur Positionierung und Führung dieser Bänder besteht.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der feste Kamm (26) vor dem eigentlichen Metallbeschichtungsbereich angeordnet ist.
3. Vorrichtung nach einem beliebigen der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß sie außerdem einen Vor-Führungskamm (27) aufweist.
4. Vorrichtung nach einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Kamm (1) mit einer Reihe von Zinken (4) versehen ist, wobei die Kerben (5) zwischen den Zinken eine Breite (1') aufweisen, die der Breite der Maskenbänder (6) gleicht.
5. Vorrichtung nach einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Kamm mit zwei Reihen von Zinken (4, 4') versehen ist, die zueinander symmetrisch angeordnet sind, wobei die Kerben jeder Reihe unterschiedliche Breiten aufweisen, um sich Folien anzupassen, die metallbeschichtete Zonen und nicht-metallbeschichtete Zonen unterschiedlicher Breite oder unterschiedlichen Abstands aufweisen.
6. Vorrichtung nach einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Kamm aus einem Material besteht, das die in der Metallbeschichtungsmaschine herrschenden Temperaturen und/oder Drücke aushält.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Kamm aus INVAR -Stahl hergestellt wird.
DE69126684T 1990-05-11 1991-04-30 Vorrichtung zum Positionieren eines Maskenbandes in einer Maschine zum Metallisieren Expired - Fee Related DE69126684T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9005904A FR2662015B1 (fr) 1990-05-11 1990-05-11 Dispositif de positionnement de bandes-cache dans une machine de metallisation.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69126684D1 DE69126684D1 (de) 1997-08-07
DE69126684T2 true DE69126684T2 (de) 1997-10-23

Family

ID=9396521

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69126684T Expired - Fee Related DE69126684T2 (de) 1990-05-11 1991-04-30 Vorrichtung zum Positionieren eines Maskenbandes in einer Maschine zum Metallisieren

Country Status (7)

Country Link
US (1) US5211757A (de)
EP (1) EP0456556B1 (de)
JP (1) JPH04228558A (de)
CA (1) CA2041780A1 (de)
DE (1) DE69126684T2 (de)
ES (1) ES2106065T3 (de)
FR (1) FR2662015B1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008052731B4 (de) * 2008-03-24 2010-11-18 Samsung Electro - Mechanics Co., Ltd., Suwon Vakuumabscheidungseinrichtung und Steuerungsverfahren für diese

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19527604A1 (de) * 1995-07-28 1997-01-30 Leybold Ag Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von metallfreien Streifen bei der Metallbedampfung
JPH09263932A (ja) * 1996-03-26 1997-10-07 Kureha Chem Ind Co Ltd 縞状パターンの形成方法およびこの方法に使用されるマスキング装置
US20070137568A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Schreiber Brian E Reciprocating aperture mask system and method
US7763114B2 (en) * 2005-12-28 2010-07-27 3M Innovative Properties Company Rotatable aperture mask assembly and deposition system
FR3013739B1 (fr) * 2013-11-28 2016-01-01 Valeo Vision Procede et dispositif de revetement de piece automobile
CN112277347B (zh) * 2020-09-24 2022-05-27 铜陵市超越电子有限公司 抗氧化型金属化薄膜的制备装置及加工方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US407724A (en) * 1889-07-23 Grain-conveyer for harvesters
US2759594A (en) * 1955-01-17 1956-08-21 Petersen Oven Co Tensioning means for cable conveyor
US2957572A (en) * 1957-05-02 1960-10-25 Ferro Corp Multiple strand conveyor
GB1268376A (en) * 1968-06-06 1972-03-29 Stone Platt Crawley Ltd Former Improvements relating to conveyors
US3941646A (en) * 1972-09-25 1976-03-02 Byers Photo Equipment Company Apparatus for forming a tabbed film strip
US3866565A (en) * 1973-12-21 1975-02-18 David E U Ridout Vapor deposition apparatus with rotating drum mask
DE2744147A1 (de) * 1977-09-30 1979-04-12 Siemens Ag Verfahren zur herstellung von elektrischen schichtkondensatoren
JPS61261471A (ja) * 1985-05-13 1986-11-19 Sumitomo Electric Ind Ltd 部分被覆方法
IT1185177B (it) * 1985-07-03 1987-11-04 Metalvuoto Films Spa Dispositivo per realizzare film plastici metallizzati presentanti zone ben delimitate prive di metallizzazione
JPS6373654A (ja) * 1986-09-17 1988-04-04 Sumitomo Electric Ind Ltd リ−ドフレ−ムの製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008052731B4 (de) * 2008-03-24 2010-11-18 Samsung Electro - Mechanics Co., Ltd., Suwon Vakuumabscheidungseinrichtung und Steuerungsverfahren für diese

Also Published As

Publication number Publication date
EP0456556A1 (de) 1991-11-13
FR2662015B1 (fr) 1995-02-17
FR2662015A1 (fr) 1991-11-15
US5211757A (en) 1993-05-18
CA2041780A1 (fr) 1991-11-12
DE69126684D1 (de) 1997-08-07
JPH04228558A (ja) 1992-08-18
EP0456556B1 (de) 1997-07-02
ES2106065T3 (es) 1997-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2430474C2 (de) Verfahren zum Herstellen eines Bandes für elektrische Kondensatoren
DE2408617C3 (de) Verfahren zur kontinuierlichen und partiellen Beschichtung eines Werkstücks
DE1932178B2 (de) Gepraegte kunststoffolienbahn
DE69126684T2 (de) Vorrichtung zum Positionieren eines Maskenbandes in einer Maschine zum Metallisieren
DE102011052821A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Klebebandes
DE2359432C3 (de) Verfahren zur Herstellung von mit Aluminium beschichteten Folien für Kondensatoren und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE1496222B1 (de) Verfahren zur Herstellung von Elektrodenwickeln,insbesondere fuer Akkumulatoren
DE3727976C1 (de) Drahteinziehvorrichtung fuer eine Drahtlackiermaschine
EP0031298A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Bandrollen
DE69027278T2 (de) Selbstvorrückende Filmkassette
DE3434717C2 (de) Verpackung elektronischer, Anschlußfahnen aufweisender Kleinteile
DE3126573C2 (de) Verfahren zur Herstellung von länglichen Verschlußlamellen
DE2217086A1 (de) Metallischer Verbundstreifen
DE2424368C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Stapeloder Schichtkondensatoren
DE2139264C3 (de) Vorrichtung zur kontinuierlichen Behandlung von textlien Fäden
DE4334405A1 (de) Transportvorrichtung
DE3013049C2 (de) Filmleiteinrichtung einer automatischen Filmentwicklungsvorrichtung
DE10027010C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Streckgitters sowie ein mit diesem Verfahren hergestelltes Streckgitter
DE2002517A1 (de) Vorrichtung zum Aufbringen einer fluessigen Oberflaechenschicht auf eine Platte od.dgl.
DE1549070C3 (de) Verfahren zum Herstellen von Magnetkernblechen für Magnetköpfe
DE976941C (de) Verfahren zur Herstellung eines Kondensatorbandes fuer Einfolien-Kondensatoren mit Lackdielektrikum und Vorrichtung zu seiner Durchfuehrung
DE2651127A1 (de) Verfahren zum nachformen von spaltdraht
DE976369C (de) Verfahren zur Herstellung eines mehrschichtigen Bandes fuer selbstregenerierende elektrische Einfolien-Kondensatoren mit Lackdielektrikum
DE2024357C3 (de) Kämmwalze für Kämmaschinen
DE2060258C3 (de) Transporteinrichtung, insbesondere zum Fördern photographischer Blattfilme

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee