DE1767548C - Verfahren zur Herstellung von Fluor wasserstoffsaure hohen Reinheitsgrades und Anlage zur Durchfuhrung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von Fluor wasserstoffsaure hohen Reinheitsgrades und Anlage zur Durchfuhrung des VerfahrensInfo
- Publication number
- DE1767548C DE1767548C DE19681767548 DE1767548A DE1767548C DE 1767548 C DE1767548 C DE 1767548C DE 19681767548 DE19681767548 DE 19681767548 DE 1767548 A DE1767548 A DE 1767548A DE 1767548 C DE1767548 C DE 1767548C
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- high purity
- hydrofluoric acid
- water
- production
- purity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N HF Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000009434 installation Methods 0.000 title 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 9
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 9
- VZJVWSHVAAUDKD-UHFFFAOYSA-N Potassium permanganate Chemical compound [K+].[O-][Mn](=O)(=O)=O VZJVWSHVAAUDKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- FBPFZTCFMRRESA-KVTDHHQDSA-N Mannitol Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-KVTDHHQDSA-N 0.000 claims description 6
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 6
- FBPFZTCFMRRESA-KAZBKCHUSA-N D-Mannitol Natural products OC[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-KAZBKCHUSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000594 mannitol Substances 0.000 claims description 5
- 235000010355 mannitol Nutrition 0.000 claims description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 3
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 3
- 230000003068 static Effects 0.000 claims description 3
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 claims description 2
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011591 potassium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N Tetrafluoroethylene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 6
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 4
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 4
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 3
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 2
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N Silver nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L Sodium persulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N sulphur dioxide Chemical compound O=S=O RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 240000003598 Fraxinus ornus Species 0.000 description 1
- 235000002917 Fraxinus ornus Nutrition 0.000 description 1
- 101710032250 MICAL1 Proteins 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene (PE) Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 239000008213 purified water Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000001519 tissues Anatomy 0.000 description 1
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 1
Description
40
Die Erfindung betrifft ein Verfahren /ur Herstellung von Fluorwasserstoffsäure hohen Reinheitsgrades
mit einem Gehalt an einzelnen Verunreinigungen von 1.10" his I.KWu. und eine Anlage zur
Durchführung des Verfahrens.
Fluorwasserstoffsäure hohen Reinheitsgrades wird in der Halbleitertechnik sowie für analytische Zwecke
verwendet.
In tier Literatur sind viele laboratoriumsniäßige
Verfahren zur Herstellung von Fluorwasserstoffsäure (FluLisäiire) unterschiedlicher Qualität beschrieben.
Es handelt sich dabei im wesentlichen um Verfahren zur Destillation tier f-lußsäure unter Einführung verschiedener
Zusätze zur Bindung oder Oxydation der Verunreinigungen. So wurde ein Verfahren zur
Destillation konzentrierter technischer Flußsäure nach der isothermischen Methode (bei 50 C) in
einer Vakuumapparatur. hergestellt aus Polyäthylen, bekannt. F.s wurde auch ein Verfahren zur mehrfachen
Destillation der Säure in eir-τ Apparatur aus
Platin und Blei unter Einführung von KMnO1, Natriumperoxydisulfat, Silbcrnitrat beschrieben. Ferner
ist ein Verfahren zur Reinigung der Flußsäure durch deren aufeinanderfolgendes Durchleiten durch
Auionen- und Kationenaustauscher bekannt.
Diese Verfahren ermöglichen es nicht, eine komplexe Reinigung der Flußsäure von den meisten Verunreinicungen
durchzuführen und garantieren nur die Hei stellung eines Produkts mit einem Gehalt an einzelnen
Verunreinigungen von I.IO~:1 bis I. K) "■"',>.
Arbeiten zur Reinigung des gasförmigen Fluorwasserstoffs
zwecks Herstellung von Flußsäure hoher Qualität fehlen in der Literatur. Eis gibt einige Arbeiten
zur »einfachen Reinigung des gasförmigen oder flüssigen Fluorwasserstoffs nach den DestilL·-
tions- und" Rektifikationsmethoden oder durch die Einführung chemischer Stoffe, vorzugsweise zum Entfernen
von"Silizium\ erbindungen. Schwefeldioxid und anderer.
Der Hauptnachteil der in der Literatur beschriebenen Verfahren besteht darin, daß sie es nicht gestatten,
eine komplexe Entfernung einiger Verunreinigungen und vor allem des Eisens, Phosphor.
Kalziums, Bors. Arsens und anderer durchzuführen, ferner fehlt eine Apparatur, die die Herstellung eine-Produktes
\on höh^r Qualität ermöglicht.
Das Ziel der Erfindung war die Herstellung V1 n
Flußsäure hoher Qualität für die Halbleitertev.h!<·;
und für Analysen von Stoffen von hohen Reinhei:
graden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein
Verfahren zur Herstellung von Flußsäure hohe·:
Reinheitsgrades und eine Anlage zur Durchführen: des Verfahrens durch eine komplexe Entlenu: ;.
einer Reihe von Verunreinigungen, wie 1 1-... .
Phosphor. Bor. Arsen. Kalzium und andere, an/ i geben.
Zur I ösung dieser Aufgabe ist das Verfahren c
findunüsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß led
nischer gasförmiger Fluorwasserstoff hintcrcinam!.:
durch Aktivkohle und einen r:ilter mit einem stati-eK
Elektrizität enthallenden Feinstrukturgewebe au-Perchlorvinyipolymerisat
geieitet. das gereinigte G ^ in Wasser hohen Reinheitsgrades mit einem spei
fischen Widerstand von K) bis 15 ΜΩ · cm gelöst, die
FluLisäiire mit Lösungen von Mannit und Kaliumper matmanat unter anschließender Destillation behänd«. H
wird.
Die Anlage zur Durchführung des Verfahrens ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß sie
dem verfahrenstechnischen Ahlauf gemäß angeordnete Adsorptionssäulen, die mit Aktivkohle gcfülli
sind, ein Filter mit einem statische Elektrizität enthaltenden Feinstrukturgewebe aus Perchlorvinylpolvmerisat
zur Reinigung des gasformigen Fluorwasserstoffs, einen Absorber zum Auflösen des gereinigten
Gases in Wasser hohen Reinheitsgrades, das einen spezifischen Widerstand von K) bis 15 ΜΩ · cm aufweist.
Behälter zur Behandlung der Säure mit Lösungen von Kaliumpermanganat und Mannit, einen
Destillierapparat zum Destillieren der Säure, der einen Abweiser für die Tropfen-Flüssigkeits-Phase
aufweist, eine Vorlage für das Fertigprodukt und einen Destillierapparat für die Flerstellung von
Wasser hohen Reinheitsgrades enthält. Die Apparatur ist aus Polytetrafluoräthylen ausgeführt und in einem
Gehäuse untergebracht, das mit einer Einrichtung zum Vorwärmen und Reinigen der Luft versehen ist
und vorzugsweise auch die Anlage zur Herstellung von Wasser hohen Reinheitsgrades enthält.
Nachstehend wird die Erfindung durch die Beschreibung einer der Alisführungsvarianten der erfindiingsgemäßen
Anlage zur Flerstellung von Fluorwasserstoffsäure hohen Reinheitsgrades unter Bezug-
nähme auf die Zeichnung näher erläutert, in der hohen Reinheitsgrades mittels. d«.r Pi mpc -0 die aus
das prinzipielle Schema der Anlaae schematisch dar- Polymelhylmcthacrylat ausgeführt
>_s in du Druckgestellt
ist ^ behälter 4 und weiter in den Absorber 3 Die Blasen-
AIs AusaanasrohstolT wird technischer Fluor- rückstände in einer Menge von _l) nis,.-3 .. utr ι u-
wasserstoll mit^folaendem Gehalt (in Gewichtspro- 5 stung der Destillierblase können vtr-vortui w^idui
/ent) an Verunreinigen: Arsen 10"· bis 10"*, Die Durchflußmenge des Huorwasserstoirs w,rd
Phosphor 1.10 ' bis 10 \ Bor 1.10", Silizium selbsttätig durch das Ventil-I gcrcguiuiL uuiui-
1 bis 5, Kalzit:,, Magnesium. Eisen, Kupfer u. a. m. llußmengen des Wassers hohen Reinheitsgrades ,us
hauptsächlich Mm 1.10-· bis 1.10 ■· und destilliertes dem Behälter 4 in den Absorber 3 sowie der Manna-
Wasser, verwendet. .o und Kaliumpermanganat-l osung werden uurch u.lu-
Der Fh wasserstoff mit einer Temperatur von metrische Dosiereinrichtungen — eingestellt.
40 bis 50 aelanat in einer Menee von 1.2 k» in Die Temperatur der Saure im Absorber (*>
bis
die Adsorptionssäulen I mit Aktivkohle, in denen es 60 C) wird durch ein Thermoelement 23 überwacht,
/ur Reinigung des Gases hauptsächlich von Jen Ver- das in einer Hülse aus-PoUtetralluorathylen enge-
imreiniüiinüen. wie Arsen (bis auf IO - bis 10 "■" a) 15 schlossen ist.
und Phosphor (bis auf 1.10 "■ bis I.Io '<··„) kommt. Das Ablassen der Blasen.iickstande aus Appara-
Dann tritt das (ias mit einer linearen Geschwindig- ten 9 und 18 erfolgt durch die F.leklromagnet-
keii bis zu 1 cm s durch den Filier 2 mit einem sta- ventile 24. .
tische t leklrizität aufweisenden feinslrukturcewehe Die Überwachung und Ref :ung des hullstaiu:^
ausPerchlominlpohmerisat. woeszueirerfeh.eren *o in den Behältern 4. 7, 16, 17 luid 20 erfolgt min.K
Reinigung \on den Verunreinigung kommt, die in des Behälterfüllstandmessers-5
Form" von Aerosolen (lluorhalfige "Verbinduimen der Die gesamte Apparatur ist aus I olytetratluoratln , π
Schwermetalle, des Kupfers. Fisens. Kalziums usw.) ausgeführt und wird im Gehäuse-6 untergenrai ■·■
enthalten sind und utlangt in den Absorber 3, dem das mit einer Finrichtung zum Vorwarmen u: ..i
Wasser hohen Reinheitsgrades mit einem spezifischen 25 Reinigen der Luft (in der Zeichnung nicht angedcui i;
Widerstand \on 10 bis 15 MiJ-cm in einer Menize versehen ist. ^ , ,
son 1.2 kii h aus dem Behälter 4 zugeführt wird. Die Die Leistung der Anlage betragt bis 1 k : ;>
.ich im Absorber 3 bildende SaW 45 bis 50n„iaer Fluusäure hohen Reinheitsgrades. Man erhalt ^c
Kvn/entration eelanut in den Behälter 5 für die Be- Fluorwasserstoffsäure mit einer Konzentration -.-,i
handhmg mit I" .iger Mannitlosung in Mengen von 3° 45 bis 50"» und folgendem Gehalt an Verunrc; ;
0.02-1 je 1 kg Fe;tigprodukt. Der'.Mannit wird aus gungen (in Gewichtsprozent) \on höchstens:
dem Behälter 6 zugeführt. Dann gelangt die Säure in
den /wischenbe'iälter 7. in den aus dem Behalter 8 /Is '.
.]" ,ige Losung ν on Kaliumpermanganat in Mengen Al 1 Ki -
\on 0.3 bis 0.5 t> je I kii Fertigprodukt hinzugefüet 35 Au
]■
Aus den1 Behälter 7 gelangt die Säure in die B '·' (.
Destillierblase 9 und durch den Abweiser 10 der Ca
-7
Tropfen-Flüssigkeits-Phase in den Kondensator 11. Cr J J '_
Die Säure hohen Reinheitsgrades wird in dem Be- 40 Cu
J' _ (.
hälter 12 für das Fertigprodukt gesammelt. Fc
ί im-'·
Die überschüssige Säure im Absorber wird durch .V/ -· ('.
ein Überl.iufrohr 53 in den Behälter 14 abgeleitet. Mg
I'{!' '
Die Blasenrückstände in einer Menge von 20 bis Mn
i'im-7
25" 11 der Anlagenleistung, bezogen auf das Fertig- 45 Ni
' .
produkt, werden aus der Destillierblase 9 in den Be- l'h 1Ί0--
hälter 15 übergegossen. /' SIM-'
Zur Herstellung von Wasser hohen Reinheitsgrades Sp ■ (.
mit einem spezifischen Widerstand von 10 bis Γα ι'ιή-τ
15 MiJ · cm verwendet man destilliertes Wasser, das 5c 7- ' , .
in den Behälter 56 eingegossen wird und durch den SOx ·
Zwischenbehälter 17 im die Destillierblase 18 gelangt. SO3 ~.?\ ο
Aus dem Kondensator 19 gelangt das Wasser Cl '" "'·
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. Verfahren zur Herstellung von Fluorwasserstoffsäure
hohen ReinheitMirades mit einem Gehalt
a._ jinzelnen Verunreinigungen von 1.10""
bis 1.11i -:" ι,, dadurch gekennzeichnet.
da Li technischer gasförmiger Fluorwasserstoff
hintereinander durch AktivKt)IiIe und '.-inen F:ilter
mit einem statische Elektrizität enthaltenden Feinstruktu nie webe aus Perchlor vinyl polymerisat
geleitet, das gereinigte Gas in Wasser hohen Reinheitsgrades mit einem spezifischen Wideband
von Ϊ0 bis 15 MiJ -cm gelöst, die erhaltene Fluorwasserstoffsäure
mit Losungen von Mannit und Kaliumpermangatiat behandelt und dann destilliert
wir..!.
2. Anlage /ur Durchführung des Verfahrens
nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, daß sie dem verfahrenstechnischen Ablauf gemäß angeordnete
Adsorptionssäulen (i) mit Aktivkohle, einen Filter (2) mit einem statische Elektrizität
enthaltenden FeinstruktUigevvebe aus Perchlor- \in\ !polymerisat, einen Absorber (3) zur Auflösung
des gereinigten Fluorwasserstoffs in Wasser hohen Reinheitsgrades. Behälter (S und 7) zur
Behandlung der Säure mit Lösungen von Mannit und Kaliumpermanganat, eine DestiüicrMu'-e (9)
mit dem Abweiser (10) der Tropfen-Flüssigkeits-Phase,
den Kondenstor (U) und die Vorlage (12) zum Sammeln des K-rtigprodukts enthält.
3. Anlage naei Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet,
daß sie vollständig aus Pol\ tetrafluoräthvlen
ausgeführt und in einem Gehäuse (26) untergebracht ist. das zugleich mit einer Appapitiir
/sim Hi-I-UfIIrTi νnn Wasser hohen Reinheitsgrades
versehen ist.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19681767548 DE1767548C (de) | 1968-05-21 | Verfahren zur Herstellung von Fluor wasserstoffsaure hohen Reinheitsgrades und Anlage zur Durchfuhrung des Verfahrens | |
| GB24662/68A GB1192474A (en) | 1968-05-21 | 1968-05-23 | Method and Apparatus for Producing Hydrofluoric Acid of High Purity |
| FR158886A FR1596497A (de) | 1968-05-21 | 1968-07-11 | |
| BE717933D BE717933A (de) | 1968-05-21 | 1968-07-11 |
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19681767548 DE1767548C (de) | 1968-05-21 | Verfahren zur Herstellung von Fluor wasserstoffsaure hohen Reinheitsgrades und Anlage zur Durchfuhrung des Verfahrens | |
| GB24662/68A GB1192474A (en) | 1968-05-21 | 1968-05-23 | Method and Apparatus for Producing Hydrofluoric Acid of High Purity |
| BE717933 | 1968-07-11 | ||
| FR158886 | 1968-07-11 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1767548A1 DE1767548A1 (de) | 1972-03-09 |
| DE1767548B2 DE1767548B2 (de) | 1972-10-19 |
| DE1767548C true DE1767548C (de) | 1973-05-17 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE4116890A1 (de) | Verfahren zum abtrennen von quecksilber aus einem abfallstrom und verfahren zur herstellung eines adsorptionsmittels hierfuer | |
| DE629297C (de) | Verfahren zur Beseitigung der durch Kohlenwasserstoffe bedingten Schwierigkeiten bei der Gewinnung von Krypton und Xenon aus Luft durch Rektifikation | |
| DE1171878B (de) | Verfahren zum Reinigen waessriger Salzsaeure | |
| DE972303C (de) | Verfahren zur Trennung von Kohlendioxyd und Ammoniak | |
| DE1003698B (de) | Verfahren zur Gewinnung von mit Deuterium angereicherten Wasser oder Wasserstoff | |
| DE2131507C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Absicherung von Edelgasspuren, insbesondere Krypton, aus einer Kohlendioxid als Bestandteil enthaltenden Gasmischung | |
| DE1924052A1 (de) | Verfahren zum Entfernen von CO2 und/oder H2S aus Spaltgasen und Vorrichtung zum Durchfuehren des Verfahrens | |
| DE1767548C (de) | Verfahren zur Herstellung von Fluor wasserstoffsaure hohen Reinheitsgrades und Anlage zur Durchfuhrung des Verfahrens | |
| DE664931C (de) | Verfahren zur Gewinnung von fluessigem, reinem Ammoniak aus Gaswasser | |
| DE2640938C2 (de) | Verfahren zum Entfernen von Vinylchlorid aus Gasströmen | |
| DE1289834B (de) | Verfahren zur Reinigung einer anorganischen Halogenidverbindung oder einer Mischung solcher Halogenidverbindungen | |
| DE2810249A1 (de) | Verfahren zur regeneration eines absorptionsmittels | |
| DE1567504B1 (de) | Verfahren zur Gewinnung bzw.Entfernung von Fluorwasserstoff aus Gasmischungen | |
| DE3721039C2 (de) | ||
| EP0075536B1 (de) | Verfahren zur absorptiven Abscheidung von organischen Stoffen aus Abluftdämpfen | |
| DE1767548B2 (de) | Verfahren zur herstellung von fluorwasserstoffsaeure hohen reinheitsgrades und anlage zur durchfuehrung des verfahrens | |
| DE2058108A1 (de) | Verfahren zur Beseitigung von Stickoxyden aus Abgasen und Vorrichtung fuer dieses | |
| DE652958C (de) | Verfahren zur Herstellung hochprozentiger Salpetersaeure | |
| DE1177624B (de) | Verfahren zur Reinigung von Helium | |
| AT272501B (de) | Verfahren zur Austreibung von Gasen aus schwefelsäurenhaltigen Bädern der Viskoseverarbeitung | |
| DE90327C (de) | ||
| AT226207B (de) | Verfahren zur Isolierung von hochkonzentriertem Isopren | |
| AT247836B (de) | Verfahren zur Reinigung von mit Schwefelverbindungen, insbesondere Schwefelchloriden, verunreinigtem gasförmigem oder flüssigem Chlor | |
| DE760924C (de) | Verfahren zur Gewinnung von Blausaeure | |
| DE925644C (de) | Verfahren zur Gewinnung von Cyanwasserstoff |