DE1764063B1 - Elektrodensystem zur erzeugung eines elektronenstrahlbuendels - Google Patents
Elektrodensystem zur erzeugung eines elektronenstrahlbuendelsInfo
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Description
1 2
Die Erfindung bezieht sich auf ein Elektroden- Das in F i g. 1 dargestellte Elektrodensystem weist
system zur Erzeugung eines Elektronenstrahlbündels in bereits vorgeschlagener Weise eine ringförmige Kamit
einer Kathode und einer Anode in einer auf einen thode 10 mit einer ringförmigen, elektronenemittierenvorgegebenen
Gasdruckbereich evakuierten, gasge- den Kathodenoberfläche 14 auf. Die Kathode 10 ist
füllten Kammer und mit einer Einrichtung zur Er- 5 zusammen mit einer auf positivem Potential gehalzeugung
einer Glimmentladung mit einem Kathoden- tenen Anode 12 in einer auf einen vorgegebenen Gasfall
zwischen den genannten Elektroden, bei dem die druckbereich evakuierten, durch eine strichpunktierte
Kathode eine dem Gas in der Kammer ausgesetzte, Umrahmung angedeuteten, gasgefüllten Kammer
die Ausgangsfläche eines Elektronenstrahlbündels angeordnet. Mittels einer Spannungsquelle 16 ist die
bildende, zur Fokussierung des Elektronenstrahlbün- io Kathode 10 auf ein derart gewähltes negatives Podels
konkav gekrümmte Oberfläche aufweist, sowie tential gebracht, daß bei dem vorgegebenen Gasdruck
mit einer Abschirmung, die die Kathode umgibt und in der Kammer an der Kathode 10 eine Glimmentnur
so weit von ihr entfernt ist, daß zwischen Abschir- ladung mit einem Kathodenfall zwischen Kathode
mung und Kathode keine Glimmentladung brennt. 10 und Anode 12 auftreten kann. Als Ausgangsfläche
Ein Elektrodensystem zur Erzeugung eines Elek- 15 eines Elektronenstrahlbündels weist die Kathode 10
tronenstrahlbündels mit einer Kathode und einer eine dem Gas in der Kammer ausgesetzte, zur Fokus-Anode
in einer auf einen vorgegebenen Gasdruckbe- sierung des Elektronenstrahlbündels konkav gereich
evakuierten, gasgefüllten Kammer und mit einer krümmte Oberfläche 14 auf. Nur derjenige Teil der
Einrichtung zur Erzeugung einer Glimmentladung mit Oberfläche 14 kann jedoch als Ausgangsfläche eines
einem Kathodenfall zwischen den genannten Elektro- 20 Elektronenstrahlbündels dienen, der von einer Öffden
ist bekannt (französische Patentschrift 1 455 620). nung 18 freigelassen ist, die in einem relativ zur Ka-Hierbei
ist die Kathode als Hohlkathode ausgebildet, thode 10 bewegbaren Teil 17 einer Abschirmung 11
in der thermische Ionen durch Zusammenstoß mit gebildet ist. Der übrige Teil der Oberfläche 14 und
Gasmolekülen Elektronen erzeugen, die die Hohl- die sonstigen Oberflächenbereiche der Kathode 10
kathode als Elektronenstrahl durch eine in der Ka- 25 sind dagegen von der Abschirmung 11 in derart gethode
vorgesehene Öffnung verlassen. Das bekannte ringem Abstand umgeben, daß zwischen Abschirmung
Elektrodensystem neigt nachteiligerweise zu Insta- 11 und Kathode 10 keine Glimmentladung brennt,
bilitäten, da beispielsweise schon eine geringe Druck- Die Abschirmung 11 mit dem bewegbaren Teil 17 änderung in der gasgefüllten Kammer dazu führt, daß kann aus leitendem Material bestehen, das dann auf entweder ein Bogenentladungsbetneb auftritt oder der 30 dem Potential der Anode 12 liegen kann, oder sie Elektronenstrahl abreißt. kann aus einem nichtleitenden Material bestehen.
bilitäten, da beispielsweise schon eine geringe Druck- Die Abschirmung 11 mit dem bewegbaren Teil 17 änderung in der gasgefüllten Kammer dazu führt, daß kann aus leitendem Material bestehen, das dann auf entweder ein Bogenentladungsbetneb auftritt oder der 30 dem Potential der Anode 12 liegen kann, oder sie Elektronenstrahl abreißt. kann aus einem nichtleitenden Material bestehen.
Es ist auch bereits ein Elektrodensystem der ein- Sie hat die Wirkung, daß die Emission von Elektro-
gangs genannten Art vorgeschlagen worden (deut- nen von solchen Oberflächenbereichen der Kathode,
sches Patent 1 589 006). Hierbei erzeugt die Ka- welche nicht zu dem Elektronenstrahlbündel beitra-
thode auf der von der Abschirmung freigelassenen 35 gen, vermieden wird, so daß ein besonders scharf
Oberfläche einen räumlich feststehenden Elektronen- begrenztes Elektronenstrahlbündel erhalten wird,
strahl. Der bewegbare Teil 17 der Abschirmung 11 ist
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein ringförmig ausgebildet und konzentrisch zur ringför-
Elektrodensystem der eingangs genannten Art so zu migen, emittierenden Kathodenoberfläche 14 ange-
verbessern, daß das Elektronenstrahlbündel räumlich 40 ordnet, sowie um die Symmetrieachse der Kathode
beweglich ist. 10 drehbar. Die Drehung erfolgt mittels eines von
Die Aufgabe wird gemäß der Erfindung bei einem einem Elektromotor 21 über eine Welle 20 angetrie-Elektrodensystem
der eingangs genannten Art da- benen Zahnrads 19, das in ein am Außenumfang des durch gelöst, daß die Abschirmung einen relativ zur bewegbaren Teils 17 vorgesehene Verzahnung einKathode
bewegbaren Teil aufweist, der der elek- 45 greift.
tronenemittierenden Oberfläche gegenüberliegt und Bei dem Ausführungsbeispiel ist der bewegbare
der mit mindestens einer Öffnung versehen ist. Teil 17 zwischen der Symmetrieachse der Kathode
Bei dem Elektrodensystem wird durch die Be- 10 und der auf die Achse gerichteten emittierenden
wegung des bewegten Teils der Abschirmung gegen- Kathodenoberfläclie 14 angeordnet. Hierdurch kann
über der Kathode der elektronenemittierende Fleck 50 ein konzentrisch zur Symmetrieachse angeordnetes
auf der Kathode verschoben und damit auch das rohrförmiges, aus zwei miteinander zu verschweißen-Elektronenstrahlbündel
räumlich bewegt. Es ist so den Teilen bestehendes Werkstück 15 in der Weise beispielsweise möglich, beim Elektronenstrahlschwei- verschweißt werden, daß das Elektronenstrahlbündel
ßen die Schweißstelle auf einem Werkstück entlang entlang der Stoßlinie der beiden Teile um das Werkzu
führen, während bei Verwendung des bereits vor- 55 stück 15 herumgeführt wird. Gegenüber einer gleichgeschlagenen Elektrodensystems entweder das Werk- zeitigen Verschweißung auf dem gesamten Umfang
stück oder die Kathode zusammen mit der Abschir- des Werkstücks 15 hat diese Arbeitsweise den Vorteil,
mung bewegt werden mußten, was mit großem Auf- daß ein Fließen der Schweißnaht selbst bei von der
wand verbunden ist. dargestellten vertikalen Stellung des Werkstücks 15
Die Erfindung wird im folgenden an Hand der 60 abweichenden Stellungen nicht zu befürchten ist.
Zeichnungen näher erläutert, in denen Ausführungs- Bei dem in F i g. 2 dargestellten Ausführungsbeibeispiele dargestellt sind. Es zeigt spiel ist eine langgestreckte Kathode 25 vorgesehen,
Zeichnungen näher erläutert, in denen Ausführungs- Bei dem in F i g. 2 dargestellten Ausführungsbeibeispiele dargestellt sind. Es zeigt spiel ist eine langgestreckte Kathode 25 vorgesehen,
F i g. 1 ein Elektrodensystem mit einer ringförmig deren konkav gekrümmte, elektronenemittierende
ausgebildeten Kathode, Oberfläche 31 die Gestalt eines Zylinderabschnitts
Fig. 2 eine Kathode mit zylinderabschnittsförmi- 65 hat. Die Kathode25 ist von einer Abschirmung26
ger elektronenemittierender Oberfläche sowie eine umgeben, die einen relativ zur Kathode 25 beweg-
Abschirmung mit mehreren Öffnungen eines Elek- baren, als Schieber ausgebildeten Teil 27 aufweist,
trodensystems. Um auf der elektronenemittierenden Oberfläche 31
mehrere Ausgangsflächen für Elektronenstrahlbündei freizulassen, ist der bewegte Teil 27 mit mehreren
Öffnungen 28, 29, 30 versehen. Wie am Beispiel der öffnung 28 erkennbar, ist deren Gestalt entsprechend
der gewünschten Querschnittsform des Elektronen-Strahlbündels frei wählbar.
Claims (4)
1. Elektrodensystem zur Erzeugung eines Elektronenstrahlbündels
mit einer Kathode und einer Anode in einer auf einen vorgegebenen Gasdruckbereich
evakuierten, gasgefüllten Kammer und mit einer Einrichtung zur Erzeugung einer Glimmentladung mit einem Kathodenfall zwischen
den genannten Elektroden, bei dem die Kathode eine dem Gas in der Kammer ausgesetzte, die
Ausgangsfläche eines Elektronenstrahlbündels bildende, zur Fokussierung des Elektronenstrahlbündels
konkav gekrümmte Oberfläche aufweist, sowie mit einer Abschirmung, die die Kathode
umgibt und nur so weit von ihr entfernt ist, daß zwischen Abschirmung und Kathode keine
Glimmentladung brennt, dadurch gekennzeichnet,
daß die Abschirmung (11,26) einen relativ zur Kathode (10,25) bewegbaren Teil
(17, 27) aufweist, der der elektronenemittierenden Oberfläche (14, 31) gegenüberliegt und der
mit mindestens einer Öffnung (18, 28, 29, 30) versehen ist.
2. Elektrodensystem gemäß Anspruch 1 mit einer ringförmigen Kathode und einer ringförmigen,
elektronenemittierenden Kathodenoberfläche, dadurch gekennzeichnet, daß der bewegbare
Teil (17) der Abschirmung (11) ringförmig ausgebildet und konzentrisch zur ringförmigen,
emittierenden Kathodenoberfläche (14) angeordnet ist und daß der bewegbare Teil (17) der Abschirmung
(11) um die Symmetrieachse der Kathode (10) drehbar ist.
3. Elektrodensystem gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der bewegbare Teil
(17) zwischen der Symmetrieachse und der auf die Achse gerichteten emittierenden Kathodenoberfläche
(14) angeordnet ist.
4. Elektrodensystem gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der
bewegbare Teil (27) mit mehreren Öffnungen (28, 29, 30) versehen ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen COPY
Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1275261A (en) * | 1968-06-04 | 1972-05-24 | Atomic Energy Authority Uk | Improvements in or relating to non thermionic cathode slow discharge devices |
FR2039566A5 (de) * | 1969-03-31 | 1971-01-15 | Soudure Autogene Elect | |
JPS5523746Y2 (de) * | 1976-02-05 | 1980-06-06 | ||
FR2346094A1 (fr) * | 1976-03-29 | 1977-10-28 | Sciaky Sa | Pistolet de soudage |
NL7906958A (nl) * | 1979-09-19 | 1981-03-23 | Philips Nv | Metaaldraadkathode voor elektronenstraalapparaat. |
GB8601421D0 (en) * | 1986-01-21 | 1986-02-26 | Welding Inst | Charged particle beam generator |
JPH02295040A (ja) * | 1989-05-10 | 1990-12-05 | Hitachi Ltd | 集束イオンビーム装置 |
CN107078004B (zh) * | 2014-11-07 | 2019-10-15 | 应用材料公司 | 用于利用电子束处理具有大宽度柔性基板的设备和方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1589006C (de) * | United Aircraft Corp.. East Hartford, Conn. (V.St.A.) | Elektrodensystem zur Erzeugung eines Elektronenstrahles | ||
FR1455620A (fr) * | 1964-12-10 | 1966-10-14 | United Aircraft Corp | Cathode creuse annulaire et appareil à décharge en comportant application |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1997986A (en) * | 1930-06-24 | 1935-04-16 | Earl R Thomas | Electric circuit controlling apparatus |
US3383541A (en) * | 1965-11-17 | 1968-05-14 | United Aircraft Corp | Glow discharge cathode having a large electron beam emitting aperture |
-
1967
- 1967-06-16 US US646677A patent/US3466487A/en not_active Expired - Lifetime
-
1968
- 1968-03-28 DE DE19681764063 patent/DE1764063B1/de active Pending
- 1968-03-29 FR FR1557568D patent/FR1557568A/fr not_active Expired
- 1968-03-29 GB GB05329/68A patent/GB1217037A/en not_active Expired
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1589006C (de) * | United Aircraft Corp.. East Hartford, Conn. (V.St.A.) | Elektrodensystem zur Erzeugung eines Elektronenstrahles | ||
FR1455620A (fr) * | 1964-12-10 | 1966-10-14 | United Aircraft Corp | Cathode creuse annulaire et appareil à décharge en comportant application |
Also Published As
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---|---|
FR1557568A (de) | 1969-02-14 |
US3466487A (en) | 1969-09-09 |
GB1217037A (en) | 1970-12-23 |
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