DE1563659C3 - - Google Patents
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- DE1563659C3 DE1563659C3 DE19511563659 DE1563659A DE1563659C3 DE 1563659 C3 DE1563659 C3 DE 1563659C3 DE 19511563659 DE19511563659 DE 19511563659 DE 1563659 A DE1563659 A DE 1563659A DE 1563659 C3 DE1563659 C3 DE 1563659C3
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05F—SYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
- G05F1/00—Automatic systems in which deviations of an electric quantity from one or more predetermined values are detected at the output of the system and fed back to a device within the system to restore the detected quantity to its predetermined value or values, i.e. retroactive systems
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- G05F1/46—Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is dc
- G05F1/52—Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is dc using discharge tubes in series with the load as final control devices
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Description
einem solchen Sinne geändert wird, daß Abweichun- der koaxial zu der Gefäßwand verlaufend befestigen,
gen der Ausgangsspannung V 2 von ihrem Sollwert dessen Mantelfläche eine den Meßspannungsteiler
ausgeregelt werden. bildende Widerstandskette in wendeiförmiger Anord-Da zwecks Erzielung einer hochkonstanten Span- nung trägt. Um den durch die wendeiförmige Anordnung
Ul ein Regelverstärker großer Verstärkung S nung der einzelnen Widerstandselemente, z.B.
Verwendung finden muß, neigt die Anordnung zu Widerstandsstäbe, des Meßspannungsteilers erzielten
Regelschwingungen. Um diese zu unterdrücken, ist Vorteil eines geringen Raumbedarfs noch weiter ausder
Stabilisierkondensator C vorgesehen, der eben- zunutzen, ist es zweckmäßig, daß der Isolierzylinder
falls mit dem Gitter der Regelröhre 4 verbunden ist auf seiner Mantelfläche zur Befestigung der Wider-
und dadurch bei schnellen Schwankungen der Hoch- io standskette dienende, radial gerichtete Isolierzapfen
spannung, gegebenenfalls über einen Verstärker in trägt, von denen die in Richtung der Achse des Isoder
Regelschaltung 3, eine entsprechende Gegenwir- lierzylinders aufeinanderfolgenden in Umfangsrichkung
auslöst, tung gegeneinander versetzt sind.
Während man bisher bei Gleichspannungen in der Die Verwendung eines Isolierzylinders als Träger
Größenordnung von 100 kV, wie sie zum Betrieb 15 für den Meßspannungsteiler bietet die vorteilhafte
von Elektronenmikroskopen erforderlich sind, den Möglichkiet, den Stabilisierkondensator innerhalb
Meßspannungsteiler und den Stabilisierkondensator des Isolierzylinders anzuordnen. ..' .
in einem mit flüssigem Isoliermittel gefüllten Gefäß Insbesondere bei hohen Spannungen ist es vorteilangeordnet hat, geht die Erfindung hiervon ab und haft, mit Abgriffen des Spannungsteilers elektrisch schlägt vor, diese Teile in einem, gegebenenfalls zu- 20 verbundene rotationssymmetrische Schirmelektroden sätzlich zu einem ölgefüllten Kessel für die übrigen von auf der Mantelfläche des Isolierzylinders befind-Teile der Regelanlage vorhandenen, mit einem Iso- liehen Isolierstützen, diesen koaxial umgebend, halliergas gefüllten Gefäß anzuordnen. Dadurch sind ten zu lassen. Dadurch kann ein Glimm- oder die durch den Ladungstransport in; einem flüssigen Sprüherscheinungen ausschließender geregelter Span>Isoliermittel und die durch Induktionen am Meß- 25 nungsabbau vom hochspannungsseitigen zum erdseispannungsteiler verursachten Schwierigkeiten vermie- tigen Ende des Spannungsteilers sichergestellt werden, den.
in einem mit flüssigem Isoliermittel gefüllten Gefäß Insbesondere bei hohen Spannungen ist es vorteilangeordnet hat, geht die Erfindung hiervon ab und haft, mit Abgriffen des Spannungsteilers elektrisch schlägt vor, diese Teile in einem, gegebenenfalls zu- 20 verbundene rotationssymmetrische Schirmelektroden sätzlich zu einem ölgefüllten Kessel für die übrigen von auf der Mantelfläche des Isolierzylinders befind-Teile der Regelanlage vorhandenen, mit einem Iso- liehen Isolierstützen, diesen koaxial umgebend, halliergas gefüllten Gefäß anzuordnen. Dadurch sind ten zu lassen. Dadurch kann ein Glimm- oder die durch den Ladungstransport in; einem flüssigen Sprüherscheinungen ausschließender geregelter Span>Isoliermittel und die durch Induktionen am Meß- 25 nungsabbau vom hochspannungsseitigen zum erdseispannungsteiler verursachten Schwierigkeiten vermie- tigen Ende des Spannungsteilers sichergestellt werden, den.
Die thermische Einlaufzeit ist bedingt durch die In den Deckel s-ind bei der bevorzugten Ausfüh-Zeit
bis zum Erreichen eines Temperaturgleichge- rungsform der Erfindung isolierte Durchführungen
wichtes am Meßspannungsteiler. Diese Zeit wird bei 30 für die Hochspannungszuführung, für die Leitungen
den bekannten Anordnungen durch die große War- zum Abgriff der Teilspannungen und für die Anmekapazität
des flüssigen Isoliermittels erheblich Schlußleitungen des Stabilisierkondensators gasdicht
verlängert. Die Anordnung der erwähnten, für die eingesetzt. Dabei werden zweckmäßigerweise geGüte
der Regelung entscheidenden Bauelemente in schirmte Leitungen verwendet. Der Deckel trägt in
einem gasgefüllten Raum beseitigt die große mitzuer- 35 seiner Mitte einen Durchführungsisolator für die
wärmende Isoliermittelmasse in der Umgebung von Hochspannungszuführung.
Meßspannungsteiler und Stabilisierkondensator. . Die F i g. 2 und 3 zeigen in einem vertikalen und
Außerdem setzt bereits bei den kleinsten Erwärmun- einem horizontalen Schnitt ein Ausführungsbeispiel
gen der Widerstände des Meßspannungsteilers eine der Erfindung. In dem den topfförmigen Bodenteil
Gasströmung ein, die durch Konvektion eine schnelle 4° 20 und den Deckel 21 sowie nicht dargestellte, zwi-Abführung
der Stromwärme in den Widerständen be- sehen diesen Teilen angeordnete Dichtungen aufweiwirkt.
Der Unterschied ist so groß, daß bei Ölisolie- senden Gefäß befindet sich die allgemein mit 22 berungen'"
im beschriebenen Falle Einlaufzeiten von zeichnete Anordnung, die als elektrisch aktive EIeetwa
einer Stunde und mehr, bei Gasisolation solche mente den Meßspannungsteiler 23 und den Stabilivon
weniger als 15 bis herunter zu z.B. nur 3 Minu- 45 sierkondensator 24 enthält. Dabei ist in diesem Austen
beobachtet werden. führungsbeispiel der Meßspannungsteiler 23, wie Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, den Meß- F i g. 3 erkennen läßt, aus einer erforderlichen Anspannungsteiler
und den Stabilisierkondensator zu zahl von Widerstandsstäben 23 a in wendeiförmiger
einer an einem Deckel des Gefäßes hängenden An- Anordnung zusammengesetzt.
Ordnung zusammenzufassen. Dann ist es möglich, in 5° Der Meßspannungsteiler 23 und der Stabilisiereinfacher Weise durch Anheben des Deckels, der un- kondensator 24 sind dadurch zu einer an dem Deckel ter Verwendung geeigneter Zwischendichtungen gas- 21 befestigten Anordnung zusammengefaßt, daß drei dicht auf das topfartige Bodenteil des Gefäßes auf- Haltestreben 25, 26 und 27 in rotatiOnssymmetrisetzbar ist, alle in dem Gefäß enthaltenen Teile aus scher Anordnung vorgesehen sind und über die Bodiesem, z. B. zwecks Auswechselns oder Prüfung, 55 denplatte 28 die genannten Anordnungen in noch zu herauszunehmen. beschreibender Weise tragen. Zur Halterung der ein-Eine entsprechende konstruktive Ausführungsform zelnen Elemente 23 a des Meßspannungsteilers 23 der Erfindung sieht vor, daß an dem Deckel über dient der auf die Bodenplatte 28 aufgesetzte Isolier-Haltestreben eine Bodenplatte innerhalb des Gefäßes zylinder 29 mit radial auf seiner Mantelfläche stebefindlich befestigt ist und von dieser der Meßspan- 6° henden Isolierzapfen 30, deren Anordnung F i g. 3 nungsteiler und der Stabilisierkondensator zwischen erkennen läßt. Um einen Überschlag zwischen beder Bodenplatte und dem Deckel gehalten sind. Da- nachbarten Verbindungsstellen der Widerstandsstäbe bei erfüllen die Haltestreben zweckmäßigerweise zu- 23 α verschiedener Windungen ihrer wendeiförmigen gleich die weiteren Aufgaben des mechanischen Anordnung auszuschließen, sind die Isolierzapfen 30 Schutzes der aktiven Elemente der Regelanlage und 65' verschiedener Wendeln in Umfangsrichtung gegender Führung der Einheit beim Einsetzen in das Ge- einander versetzt angeordnet.
Ordnung zusammenzufassen. Dann ist es möglich, in 5° Der Meßspannungsteiler 23 und der Stabilisiereinfacher Weise durch Anheben des Deckels, der un- kondensator 24 sind dadurch zu einer an dem Deckel ter Verwendung geeigneter Zwischendichtungen gas- 21 befestigten Anordnung zusammengefaßt, daß drei dicht auf das topfartige Bodenteil des Gefäßes auf- Haltestreben 25, 26 und 27 in rotatiOnssymmetrisetzbar ist, alle in dem Gefäß enthaltenen Teile aus scher Anordnung vorgesehen sind und über die Bodiesem, z. B. zwecks Auswechselns oder Prüfung, 55 denplatte 28 die genannten Anordnungen in noch zu herauszunehmen. beschreibender Weise tragen. Zur Halterung der ein-Eine entsprechende konstruktive Ausführungsform zelnen Elemente 23 a des Meßspannungsteilers 23 der Erfindung sieht vor, daß an dem Deckel über dient der auf die Bodenplatte 28 aufgesetzte Isolier-Haltestreben eine Bodenplatte innerhalb des Gefäßes zylinder 29 mit radial auf seiner Mantelfläche stebefindlich befestigt ist und von dieser der Meßspan- 6° henden Isolierzapfen 30, deren Anordnung F i g. 3 nungsteiler und der Stabilisierkondensator zwischen erkennen läßt. Um einen Überschlag zwischen beder Bodenplatte und dem Deckel gehalten sind. Da- nachbarten Verbindungsstellen der Widerstandsstäbe bei erfüllen die Haltestreben zweckmäßigerweise zu- 23 α verschiedener Windungen ihrer wendeiförmigen gleich die weiteren Aufgaben des mechanischen Anordnung auszuschließen, sind die Isolierzapfen 30 Schutzes der aktiven Elemente der Regelanlage und 65' verschiedener Wendeln in Umfangsrichtung gegender Führung der Einheit beim Einsetzen in das Ge- einander versetzt angeordnet.
faß bzw. beim Herausnehmen aus diesem. Die Winkelabstände der Isolierzapfen sind vor-
■ Auf der Bodenplatte wird man einen Isolierzylin- zugsweise so gewählt, daß erst nach jeweils zwei Um-
laufen um die Zylinderachse die Isolierzapfen auf derselben Mantellinie des Isolierrohres liegen. Die
Zahl der Isolierzapfen je Doppelumlauf der Schraubenlinie ist also ungerade; bei dem Ausführungsbeispiel
nach F i g. 3 sind neun radiale Isolierzapf en 30 pro Doppelumlauf vorgesehen. Dadurch sind die Anschlußstellen
und die Stäbe der benachbarten 'Widerstandswindungen, z. B. 23 a, verhältnismäßig weit
voneinander entfernt. Auch die auf einer Mantellinie aufeinanderfolgenden Befestigungspunkte der Widerstandskette
sind verhältnismäßig weit voneinander entfernt.
Der Gedanke dieser Ausbildung der Erfindung ist darin zu sehen, daß trotz relativ kleiner Steigung der
durch die Widerstandselemente gebildeten Wendeln die hinsichtlich eines Überschlages besonders gefährdeten
Verbindungsstellen der einzelnen Elemente, also die Stellen der Isolierzapfen, infolge Versetzung
in Umf angsrichtung doch den zur sicheren Isolierung erforderlichen Abstand besitzen.
Der Isolierzylinder 29 trägt über den Zwischenboden 31 mittels einer Verschraubung 32 den Stabilisierkondensator
24, so daß kein zusätzlicher Platzbedarf für den Kondensator besteht.
Diese Anordnung ist über den Durchführungsisolator 32 b für die Hochspannung, der an seinem oberen
Ende 32 a eine Steckvorrichtung für das Hochspannungskabel tragen kann, sowie über weitere
nicht dargestellte, in den Deckel eingelassene gasdichte Durchführungen elektrisch mit den übrigen,
außerhalb des Gefäßes befindlichen Teilen der Regelanordnung
sowie mit den angeschlossenen Geräten verbunden.
Der Isolierzylinder 29 dient ferner dazu, einen gesteuerten Abbau der Hochspannung erzwingende
Schirmelektroden 33, 34, 35 und 36 in· zur Verhinderung von Sprüherscheinungen sicherstellender Anzahl
zu tragen. Diese Schirmelektroden umgeben die in dem Gefäß 20, 21 enthaltenen aktiven Teile der
Regelanordnung rotationssymmetrisch und sind mit geeignet gewählten Abgriffen des Meßspannungsteilers
23 elektrisch verbunden.
Die Widerstandsstäbe und ihre Verbindungsstellen brauchen nicht mehr durch Schirmelektroden geschützt
zu werden, wenn das Hochspannungspotential genügend weit abgebaut ist. Bei einer Anordnung für
ίο 100 kV Hochspannung können die Widerstandsstäbe
je nach ihrem Durchmesser ab etwa 40 bis 50 kV ungeschützt durch Schirmelektroden eingebaut werden,
was zur Kostenersparnis beiträgt.
Infolge ihrer gewählten Anordnung wirken die Haltestreben 25, 26 und 27 zugleich als käfigartiger
Schutz für die von ihnen eingeschlossenen aktiven Teile und als Führung für die so gebildete Einheit
beim Einsetzen in den Topf 20 bzw. beim Herausnehmen aus diesem. Sie können ferner dazu dienen,
Abgriffsleitungen zum Deckelteil 21 zu führen, das die entsprechenden Durchführungen aufweist.
Verständlicherweise kann es aus Platzgründen aber zweckmäßig sein, beispielsweise die Meßanschlüsse
durch in den Mantel oder den Boden des topfförmigen Teiles 20 vakuumdicht eingesetzte
Durchführungen hinauszuführen.
Zur Halterung der Schirmelektroden 34 bis 36 können zusäztliche Isolierstützen an dem Isolierzylinder 29 dienen, während die oberste Schirmelek-
trode 33 kappenartig auf dem oberen Ende des Isolierzylinders 29 aufliegt.
Als isolierendes Medium in dem Gefäß kann beispielsweise ein elektronegatives Gas, z. B. SF6, oder,
jedes sonstige zu Isolierzwecken verwendbare Gas, wie Kohlendioxyd (CO2), Stickstoff (N2), Wasserstoff
(H2) oder Luft bei Atmosphären- oder höherem Druck dienen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (10)
1. Gleich-Hochspannungsregelungsvorrich- gefüllten Kessel für die übrigen Teile der Regeltung,
insbesondere für Korpuskularstrahlgeräte, 5 schaltung vorhanden ist.
wie Elektronenmikroskope, mit einem Meßspannungsteiler zum Abgriff einer dem Istwert der
Ausgangsspannung entsprechenden, in einer Re- ·
gelschaltung mit einer einem Sollwert entspre- .'. . .
chenden Spannung zu vergleichenden Spannung io
chenden Spannung zu vergleichenden Spannung io
und einem Stabilisierkondensator zur Schwin- Die Erfindung bezieht sich auf eine Gleich-Hoch-
gungsunterdrückung, wobei der Meßspan- spannungsregelungsvorrichtung hoher Konstanz, ins-
nungsteiler und der Stabilisierkondensator in besondere für Korpuskularstrahlgeräte, wie Elektro-
einem ein Isoliermittel enthaltenden Gefäß an- nenmikroskope, mit einem Meßspannungsteiler zum
geordnet sind, dadurch gekennzeich- 15 Abgriff einer dem Istwert der Ausgangsspannung
net, daß das Gefäß gasdicht und das Isoliermit- entsprechenden, in einer Regelschaltung mit einer
tel gasförmig ist. einem Sollwert entsprechenden Spannung zu verglei-
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- chenden Spannung und einem Stabilisierkondensator
kennzeichnet, daß der Meßspannungsteiler (23) zur Schwingungsunterdrückung, wobei der Meßspan-
und der Stabilisierkondensator (24) zu einer an 20 nungsteiler und der Stabilisierkondensator in einem
einem Deckel (21) des Gefäßes hängenden An- ein Isomiermittel enthaltenden Gefäß angeordnet
Ordnung zusammengefaßt sind. sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch ge- Bisher hat man bei derartigen Reglern den Meßkennzeichnet,
daß an dem Deckel (21) über Hai- spannungsteiler und den Stabilisierkondensator
testreben (25, 26, 27) eine Bodenplatte (28) in- 25 in einem mit Öl gefüllten Gefäß angeordnet (vgl. zum
nerhalb des Gefäßes befindlich befestigt ist und Beispiel »RCA-Review«, VoLV, 1940/41, S. 293 bis
von dieser der Meßspannungsteiler (23) und der 300, und USA.-Patentschrift 2 756 350). Hierbei hat
Stabilisierkondensator (24) zwischen der Boden- man jedoch erkannt, daß infolge von Strömungsvorplatte
(28) und dem Deckel (21) gehalten sind. gangen im Isoliermittel Ladungstransporte stattfin-
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch ge- 30 den, die die Konstanz der Hochspannung beeinträchkennzeichnet,
daß auf der Bodenplatte (28) ein tigen. Im gleichen Sinn wirken elektrische Iduktionen
Isolierzylinder (29). koaxial zu der Gefäßwand auf den Meßspannungsteiler und eine lange thermiverlaufend
befestigt ist, dessen Mantelfläche eine sehe Einlaufzeit des Teilers.
den Meßspannungsteiler (23) bildende Wider- Es gehört weiterhin zum allgemeinen Stand der
Standskette in wendeiförmiger Anordnung trägt. 35 Technik, Hochspannungseinrichtungen in mit Isolier-
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch ge- gas gefüllten Behältern unterzubringen (deutsche Pakennzeichnet,
daß der Isolierzylinder (29) auf tentschrift 917 679, Patentschrift 6022 des Amtes für
seiner Mantelfläche zur Befestigung der Wider- Erfindungs-und Patentwesen in Ost-Berlin).
Standskette dienende, radial gerichtete Isolierzap- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei fen (30) trägt, von denen die in Richtung der 4° einer.Gleich-Hochspannungsregeleinrichtung der einAchse des Isolierzylinders (29) aufeinanderfol- gangs genannten Art die Konstanz der Hochspangenden in Umfangsrichtung gegeneinander ver- nung zu erhöhen und die thermische Einlaufzeit hersetzt sind. abzusetzen. Dies wird gemäß der Erfindung dadurch
Standskette dienende, radial gerichtete Isolierzap- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei fen (30) trägt, von denen die in Richtung der 4° einer.Gleich-Hochspannungsregeleinrichtung der einAchse des Isolierzylinders (29) aufeinanderfol- gangs genannten Art die Konstanz der Hochspangenden in Umfangsrichtung gegeneinander ver- nung zu erhöhen und die thermische Einlaufzeit hersetzt sind. abzusetzen. Dies wird gemäß der Erfindung dadurch
6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, da- erreicht, daß das Gefäß gasdicht und das Isoliermitdurch
gekennzeichnet, daß der Stabilisierkonden- 45 tel gasförmig ist.
sator (24) innerhalb des Isolierzylinders angeord- Das Prinzipschaltbild eines bekannten Gleichnet
ist. Hochspannungsreglers zeigt Fig. 1. Die von einer
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 Wechselspannungsquelle 1 abgegebene Wechselspanbis6,
dadurch gekennzeichnet, daß mit Abgriffen nung wird in einer Gleichrichteranordnung 2 transdes
Spannungsteilers elektrisch verbundene rota- 50 formiert, gleichgerichtet und gegebenenfalls geglättet
tionssymmetrische Schirmelektroden (33, 34, 35, und vorgeregelt. Die Gleichspannung U1 muß in der
36) von auf der Mantelfläche des Isolierzylinders nachgeschalteten Regelanordnung auf extreme Konbefindlichen
Isolierstützen, diesen koaxial umge- stanz geregelt werden. Die geregelte Spannung ist mit
bend, gehalten sind. U 2 bezeichnet. In dem dargestellten Beispiel liegt
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 55 das Hochspannungspotential an der negativen Ausb'is
7, dadurch, gekennzeichnet, daß in den Deckel "gangsklemme der Gleichrichteranordnung 2.
(21) isolierte-Durchführungen für die Hochspan- Der Meßspannungsteiler enthält die Widerstände
nungszuführung, für die Leitungen zum Abgriff Rm und Rt, von denen der letztgenannte Widerstand
der Teilspannungen und für die Anschlußleitun- Rt zum Abgriff einer dem Istwert der Ausgangsspangen
des Stabilisierkondensators (24) gasdicht ein- 60 nung U 2 entsprechenden Spannung Ut dient. Diese
gesetzt sind..... '.'.'. ' Spannung Ut wird in der Regelschaltung 3 mit einer
9. Vorrichtung nach Ansprüche, dadurch ge- Kompensationsspannung Uk verglichen. Eine etwa
kennzeichnet, daß geschirmte Leitungen verwen- vorhandene Differenz zwischen diesen beiden Spandetsind.
'"'*.'■■ nungen wird über einen in der Regelschaltung3 ent-
10. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch ge- 65 haltenen Regelverstärker der in diesem Ausführungskennzeichnet,
daß ein Durchführungsisolator beispiel als Triode ausgeführten Regelröhre 4 als Git-(326)
für die Hochspannungszufuhrung in der tersteuerspannung zugeführt. Diese Zuführung er-Deckelmitte
angeordnet ist. folgt so, daß der Widerstand der Röhre 4 jeweils in
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19511563659 DE1563659A1 (de) | 1951-01-28 | 1951-01-28 | Gleich-Hochspannungsregler hoher Konstanz,insbesondere fuer Korpuskularstrahlgeraete,wie Elektronenmikroskope |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19511563659 DE1563659A1 (de) | 1951-01-28 | 1951-01-28 | Gleich-Hochspannungsregler hoher Konstanz,insbesondere fuer Korpuskularstrahlgeraete,wie Elektronenmikroskope |
DES0101731 | 1966-01-31 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1563659A1 DE1563659A1 (de) | 1970-03-05 |
DE1563659B2 DE1563659B2 (de) | 1974-05-09 |
DE1563659C3 true DE1563659C3 (de) | 1974-12-05 |
Family
ID=25753047
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19511563659 Granted DE1563659A1 (de) | 1951-01-28 | 1951-01-28 | Gleich-Hochspannungsregler hoher Konstanz,insbesondere fuer Korpuskularstrahlgeraete,wie Elektronenmikroskope |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1563659A1 (de) |
-
1951
- 1951-01-28 DE DE19511563659 patent/DE1563659A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE1563659A1 (de) | 1970-03-05 |
DE1563659B2 (de) | 1974-05-09 |
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Date | Code | Title | Description |
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C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
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