DE1471209A1 - Verfahren zur Herstellung von Graphitlegierungen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Graphitlegierungen

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DE1471209A1
DE1471209A1 DE19631471209 DE1471209A DE1471209A1 DE 1471209 A1 DE1471209 A1 DE 1471209A1 DE 19631471209 DE19631471209 DE 19631471209 DE 1471209 A DE1471209 A DE 1471209A DE 1471209 A1 DE1471209 A1 DE 1471209A1
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graphite
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pyrolytic graphite
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Description

DH. INO. F. WUESTHOFF DIPi. ING. G. PULS BK. E. ν. PECHMANN
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8 MÜNCHEi SCHWKIGBRSTRA8SB 2 TELZFOK 22 Oe Sl nueuiiituiiin ι
FHOTKCTFiTKMT HÜKCXSM
Dr. Expl
ΪΑ-24 779
Beschreibung zu der Patentanmeldung
HIGH TEMPERATURE MATERIALS, INC. Brighton 35, Massachusetts, U.S.A,
"betreffend
Verfahren zur Herstellung von Graphitlegierungen.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Legierungen, insbesondere von pyrolytischem Graphit und mindestens einem Metall und/oder Metalloid. Die erfindungsgemäßen Graphitlegierungen enthalten insbesondere Bor und dienen zur Wärmeabschirmung.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird anhand beiliegender Figuren näher erläutert.
Fig. 1 ist ein Fließschema zur erfindungsgemäßen Herstellung von Legierungen des pyrolytischen Graphits und
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- 2 - 1Λ-24 779
Pig. 2 eine schematische Ansicht eines Halogenentwieklers, der bei dem erfindungsgemäßen Verfahren angewandt v/erden kann.
Es wurde gefunden, daß Legierungen, enthaltend pyrolytischen Graphit und ein Metall, beispielsweise ein hochwarmfestes tletall wie Wolfram, Hafnium u. ä„, oder Legierungen von pyrolytischem Graphit mit einem lletalloid, z.B. Bor oder Silicium, hergestellt v/erden können aus einer gasförmigen Metall- bzw. Iuetalloidverbindung, z.B. einem Halogenid, in Berührung mit einem gasförmigen Kohlenwasserstoff bei einer geeigneten Temperatur. Aus der großen Zahl der Legierungen des pyrolytischen Graphits, die sich in obiger Weise herstellen lassen, haben die mit Bor ein besonderes Interesse, da festgestellt werden konnte, daß diese Legierungen sehr ungewöhnliche Eigenschaften besitzen.
So ist beispielsweise die Wärmeleitfähigkeit einiger dieser Legierungen wesentlich geringer als die des pyrolytischen Graphits selbst, wenn man sie in der c-Achse, das ist die Achse senkrecht zu der Abscheidungsflache, mißt. Es ist auch interessant festzustellen, daß die elektrische Leitfähigkeit solcher Legierungen merklich größer ist als die von gewöhnlichem pyrolytischem Graphit ebenfalls in der c-Achse. ipyrolytischer Graphit ist im wesentlichen ein hochorientierter Graphit mit hexagonalem Schichtgitter, bei dem die Basen zur parallelen Ausrichtung zu der Abscheidungsfläche neigen. Der pyrolytische Graphit leitet die Elektrizi-
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tat über Ladungsträger und die Wärmeenergie durch Gitterschwingung. Es wird angenommen, daß das Legierungselement i3or im Graphitgitter sowohl an Zwischengitterplätzen als auch an Gitterplätzen eingebaut wird. Die Zwischen; ;itterstellung von Bor zwischen den Basen des Graphitgitters erliüht die Zahl der Ladungsträger je Hnumeinhc-it und damit die elektrische leitfähigkeit. Ebenso werden durch die Anwesenheit von 13or die Gitterschwingungen der Basisflächen des Graphitgitters herabgesetzt und damit die Wärmeleitfähigkeit verringert. Es wurde gefunden, daß legierungen den Strom in Richtung senkrecht zu der Abscheidungsfläche ohne wesentlichen Spannungsabfall leiten, aber gleichzeitig eine Wärmeiso1^tion gegen den Übergang einer übermäßigen Wärmemenge erfolgt.
Die erfindungsgemäß hergestellten legierungen können vielseitig angewandt werden. So kann man die Legierungen z.B. für Anwendungen oder Vorrichtungen heranziehen, wo ein Überzug oder ein freistehender Körper angestrebt wird, der hohen Temperaturen widersteht oder bei hohen Temperaturen eine bemerkenswerte Festigkeit, Gasundurchlässigkeit, Korrosionsbeständigkeit u.a. aufweist. Derartige Legierungen werden auch wegen ihrer elektrischen Eigenschaften verwendet. Ein wichtiges Anwendungsgebiet dieser Legierungen, insbesondere von Legierungen aus pyrolytischem Graphit und Bor, ist die Wärmedämmung. Es ist oft nötig, empfindliche Instrumente oder exploeionsgefährdete Vorrichtungen mit einem Schutzüberzug oder einer Abschirmung zu versehen, wel-
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ehe vor großem Temperaturwechsel schützt. Eine sehr wirksame Abschirmung kann aus legierungen, enthaltend pyrolytischen Graphit und Bor, wegen deren hervorragenden Isolationseigenschaften hergestellt werden.
Nach dem erfindungsg.emäßen Verfahren wird "bei erhöhter Temperatur und vermindertem Druck ein Kohlenwasserstoffgas und eine flüchtige Verbindung, z.B. ein Halogenid, eines Metalls oder Metalloids, wie von Bor, Silicium, Aluminium, Titan, Zirkon, Hafnium, Thor, Vanadin, Mob, Tantal, Molybdän, Wolfram, Uran u.a. zusammengebracht, wodurch sich eine Legierung aus pyrolytischem Graphit und einem Metall bzw. einem Metalloid bildet. Es ist auch möglich, an der Oberfläche eines geeigneten Trägers das Kohlenwasserstoffgas, z.B. Methan, und ein gasförmiges Metallhalogenid, z.B. Wolframhalogenid, bzw. ein gasförmiges Metalloidhalogenid, z.B. Borhalogenid, bei höherer Temperatur und vermindertem Druck zusammenzubringen, wodurch eine entsprechende Legierung auf dem Träger abgeschieden wird. Fach einer besonderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird bei erhöhter Temperatur Halogengas, s.B. Chlor, mit einem Metall bzw. Metalloid in Berührung gebracht und das gebildete Halogenid sofort bei erhöhter Temperatur und vermindertem Druck mit einem Kohlenwasserstoffgas umgesetzt. Nach einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungegemäßen Verfahrens wird Borhalogeniddampf, z.B. von Bortrichlorid, und Kohlenwasserstoffgas, z.B. Methan, bei einer Temperatur zwischen 1500 und 230O0O und einem Druck unter
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- 5 - . · 1A-24 779
ca. 20 mm Hg zusammengebracht,
Das Fließschema der Fig. 1 wird anhand der Herstellung einer Legierung aus pyrolytischem Graphit und Bor erläutert. Das Verfahren läßt sich jedoch ganz allgemein zur Herstellung der verschiedensten Legierungen des pyrolytischen Graphits anwenden.
Der zu überziehende Träger wird in dem Reaktionsofen 12 befestigt. Dieser ist ein üblicher Ofen für die Aufdampftechnik. Dann wird der Ofendruck auf ca. 20 mm Hg oder darunter gebracht und die Ofentemperatur auf ca. 1500 bis ca. 23000C gesteigert. Nachdem Druck und Temperatur eingeregelt sind, wird ein Kohlenwasserstoffgas, z.B. Methan, Erdgas, Äthan, Propan oder Benzol, aus einer geeigneten Quelle oder dem "Vorratsbehälter 14 über"Speiseleitung 16 eingeführt. Die Speiseleitung 16 führt zu einem Injektor 18 in den Ofen 12, so daß die Mündung 20 ganz in der Nähe des Trägers 10, der überzogen werden soll, liegt. An diesen Punkt wird eine gasförmige Borverbindung, wie Bortrichlorid, aus einem geeigneten Bortrichloridentwickler oder Vorratsbehälter 22 über Speiseleitung 24 eingeführt. Speiseleitung 24 ist mit einem Absperrventil 26 und den Ventilen 28 und 30, dazwischen dem Strömungsmesser 32, versehen. An dem Strömungsmesser 32 kann man die momentanen Strömungswerte ablesen. Der Ofendruck wird am Manometer 34 abgelesen. Leitung 24 ist mit dem Injektor 18 verbunden, in dem die gasförmigen Reaktionspartner vor ihrer Einführung in den Ofen
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- β - 1Α-24 779
gemischt werden. Unter diesen Bedingungen wird der freigesetzte Kohlenstoff und das Bor in Form einer Legierung von pyrolytischem Graphit und Bor auf dem Träger 10 abgeschieden. Die Abscheidung erfolgt ungefähr nach folgenden Gleichungen:
1. 3CH7, ^ pyrolytischer Graphit +
2. 6H2 + 4BCl5} Bor + 12HC1
3. Bor + pyrolytischer Graphit ) Legierung
Nach einer gewissen Zeit, d.h. wenn ein Überzug gewünschter Dicke erreicht ist, wird die Zufuhr an Reaktionspartnern abgesperrt, das System kann abkühlen und der Druck wird ausgeglichen. Der so überzogene Träger kann entweder als solcher verwendet werden, d.h. der Träger wird in eine Konstruktion eingesetzt, oder man kann den Träger aus dem Ofen nehmen, den Legierungsüberzug abheben und diesen in gewünschter Form und Größe anwenden.
Fig. 2 zeigt einen Halogenxdentwickler 36 zur Herstellung des in dem Verfahren benötigten Metall- bzw. Metalloidhalogenids. Ein derartiger Entwickler 36 weist einige Vorteile auf. So gestattet er die Herstellung und Anwendung eines im wesentlichen nicht verunreinigten Halogenide, da das einmal gebildete Halogenid sofort verbraucht wird und daher keine Möglichkeit einer Verunreinigung besteht. Darüberhinaus gestattet ein solcher Entwickler eine einfache
Handhabung des Halogenide und exakte Regelung des Gasstromes.
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Schließlich wird die Notwendigkeit einer Vorratshaltung für Halogenid vermieden und ein wirtschaftliches Arbeiten durch sofortigen Verbrauch nach der Herstellung gegeben. Nach dieser Ausführungsform wird eine Charge von feinkörnigem Material, z.B. Schwamm, Streifen, Drehspäne, Pulver, Drähte oder ähnliches, das das Halogenid des gewünschten Metalls bzw. Metalloids liefern kann, in einen verschlossenen Behälter 40, umgeben von einem Heizmantel 42, z.B. einem Widerstanderhitzer, der das Material auf t;enügend hohe Temperatur für die Halogenidbildung erhitzen kann, z.B. auf ca. 200 bis 100O0C, gefüllt. Innerhalb des Behälters 40 befindet sich das Material 38 zwischen einer porösen Auflage 41 und einer Diffusionsplatte 43. Das Material 38 kann ein als Halogenid gewünschtes Metall oder Metalloid in Form einer Verbindung, z.B. Borcarbid, oder vorzugsweise in Form des Elements selbst, und zwar Bor, Silicium, Aluminium, Titan,
Zirkon, Hafnium, Thor, Vanadin, Niob, Tantal, Molybdän, Wolfram und Uran enthalten. Über Leitung 44 wird ein Halogen, vorzugsweise Chlor, genau dosiert eingespeist und in die vorgewärmte Charge, z.B. aus Niobmetall, unter Bildung des Halogenide, z.B. Niobchlorid, geleitet. Die Halogeniddämpfe strömen über Ableitung 46 aus dem Halogenidentwickler entweder über Speiseleitung 24 der Fig. 1 oder direkt in den Injektor 18.
Das Verfahren wird durchgeführt bei einer Temperatur, bei der sich ein gasförmiger Kohlenwasserstoff in erster Linie zu pyrolytischem Graphit und nicht zu pyrolytischem
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Kohlenstoff zersetzt. Der pyrolytische Kohlenstoff hat gegenüber pyrolytischem Graphit geringere Festigkeit, Dichte und höhere Porosität. Bei der Abscheidung einer Legierung aus pyrolytischem Graphit und einem Metall bzw. Metalloid auf einem geeigneten Träger konnte gefunden werden, daß die Reaktionspartner auf eine.Temperatur zwischen ca. 1500 und 230O0C gebracht werden können, jedoch läßt sich das Verfahren vorzugsweise bei Abscheidungstemperaturen zwischen 1800 und 21000C und mit höchster Wirksamkeit insbesondere bei 195O0C durchführen.
Der Druck in- dem System wird im Hinblick auf die Gas- " verteilung über die ganze Fläche des zu überziehenden Gegenstandes gewählt. Der Ofendruck hängt daher weitgehend von Größe und Form des herzustellenden Gegenstands ab. In jedem Pail läßt sich das Verfahren bei Drucken bis ca. 20 mm Hg durchführen. Steigt der Druck über ca. 20 mm, wird eine beträchtliche Menge kohlenstoffhaltigen Rußes abgeschieden. Der bevorzugte Arbeitsdruck liegt unter ca. 10 mm Hg, wo das Verfahren hochwirksam ist und die erhaltenen Produkte qualitativ hervorragend sind.
Für das erfindungsgemäße Verfahren kann man ale Kohlenwasserstoff jedes kohlenstoffhaltige Gas verwenden, welches an einer Fläche bei der entsprechenden Zersetzungstemperatur pyrolytischen Graphit abzuscheiden in der lage ist, beispielsweise Methan, Erdgas, Ä'than, Propan und Benzol. Die angewandte Kohlenwasserstoffmenge hängt von der Temperatur
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und dem Druck in dem System und den gewünschten Eigenschaften des Endprodukts at>. Sollen hochgraphithaltige Legierungen hergestellt werden, so ist das Verhältnis von Kohlenwasserstoffgas zu Metall- "bzw. Metalloidhalogenid hoch und liegt ■beispielsweise für Legierungen mit einer Borkonzentration zwischen ca. 0,32 und 1,74 Gew.-# bei ungefähr 100 "bis 300 Mol je Mol BortriChlorid. Es ist auch wichtig festzustellen, daß die Strömungsgeschwindigkeit des Kohlenwasserstoffgases abhängig ist von der in dem System verwendeten Kohlenwasserstoff menge.
Die dem Kohlenwasserstoffgas zugeführte Metall- bzw. Metalloidverbindung soll bereits verdampft sein, so daß die Halogenidmenge dosiert und geregelt werden kann. Bortrichlorid ist ein gutes Beispiel hiefür, da es bei Raumtemperatur ein (Jas ist. Man kann jedoch auch andere Substanzen einschließlich flüchtiger Verbindungen der Metalloide - wie von Bor und Silicium - und von Metallen - wie von Wolfram, Tantal, Niob, Molybdän, Vanadin, Thor, Uran, Titan, Hafnium, Zirkon, Aluminium u.a. - verwenden. Die bevorzugten flüchtigen Verbindungen sind die Halogenide, insbesondere die Chloride. So kann man z.B. die Trichloride von Bor und Aluminium, die Tetrachloride -von Zirkon, Hafnium, Uran, Silicium, Thor und Titan, die Pentachloride von Vanadin, Niob, Molybdän und Tantal und Wolframhexachlorid sowie andere Chloride obiger Metalle verwenden. Das Verhältnis von Metall- bzw. Metalloidhalogenid zu Kohlenwasserstoffgas liegt nicht fest, sondern kann über weite Bereiche schwanken. Das genaue Mengenverhält-
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nis zu jeder Zeit hängt weitgehend von der Metall- bzw. Ketalloidmenge, die in dem Graphitgitter angestrebt wird, ab. Die Menge an Metall und/oder Metalloid, die in das Gitter von pyrolytischem Graphit eingebracht werden soll, kann von ca. 0,001 Gew.-c/o bis zu einem Betrag, der zur Herstellung einer metall- oder metalloidreichen Verbindung notwendig ist, schwanken. Ea wird vorgezogen, in das Graphitgitter insgesamt ca. 0,01 bis 5 Gew.-^ Metall und/oder Metalloid einzubringen. Man kann Legierungen des pyrοIytischen Graphits herstellen, die nur ein Metall oder Metalloid enthalten, aber auch solche mit zwei oder mehreren Metallen oder Metalloiden oder eine Mischung von mindestens einem Metall mit mindestens einem Metalloid.
Die erfindungsgemäß hergestellten Legierungen kann man für Überzüge und Körper oder Massen jeder geeigneten Größe oder Form verwenden. So kann man beispielsweise die äußeren Flächen einer Vorrichtung gegen scharfen Temperaturwechsel schützen, indem man sie mit einem Überzug geeigneter Dicke, z.B. mit einer ,Graphit-Bor-Legierung, versieht. Auf ähnliche Weise kann man einen Formkörper erhalten, wenn man eine geeignete Unterlage, z.B. Graphit, mit einer Schicht der Graphit-Bor-Legierung gewünschter Stärke versieht, woraufhin der Träger abgenommen wird. Man kann z.B. das Innere eines Graphitrohrs mit einer Graphitlegierung geeigneter Dicke überziehen und dann den Graphit entfernen, wodurch man ein selbsttragendes Legierungsrohr erhält. Kompakte Abscheidungen einer Legierung verschiedener Dicke kann man
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beispielsweise herstellen auf Platten oder Scheiben, um Halbzeug aus den Legierungen (flat stock) zu erhalten, das man als solches oder nach mechanischer Bearbeitung zu der gewünschten Form anwenden kann. Es wird auch darauf hingewiesen, daß man in ähnlicher Weise kleine Körper oder Massen für Arbeitstemperaturen über 15000C mit einer entsprechenden Legierung des pyrolytischen Graphits überziehen kann, wenn man ein Fließbettverfahren oder ein Stürzen in einer Trommel anwendet. So kann man beispielsweise Brennstoffteilchen, wie Urandicarbid, in geeigneter Dicke beispielsweise mit einer Legierung aus pyrolytischem Graphit und Zirkon oder Niob überziehen, ebenso kann man Teilchen aus nichtleitenden Stoffen in geeigneter Dicke beispielsweise mit einer Legierung aus pyrolytischem Graphit und Bor überziehen. Derartige überzogene Teilchen lassen sich beispielsweise als Widerstandselemente, z.B. in Widerständen, anwenden. Yon
den nichtleitenden Stoffen hat das Überziehen von keramischem Material, insbesondere von Glas und Oxyden, wie Quarz, Magnesia, Tonerde u.a., besondere Bedeutung. Die hier verwendete Bezeichnung "Träger" ist im weitesten Sinne gebraucht und umfaßt alle Substanzen, Massen und Körper und Materialien jeder Größe und Form.
Durch folgende Beispiele wird das erfindungsgemäße Verfahren erläutert.
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Beispiel I
Ein Graphitträger mit einer flachen Abscheidungsfläche wurde in einem Ofen - wie oben beschrieben - angeordnet und der Ofen auf einen Druck von ca. 8 mm Hg gebracht. Die Ofentemperatur wurde auf 1950.0C gesteigert und dann Methan mit einer Geschwindigkeit von 5 l/min dem Injektor zugeführt. Nachdem sich der Methanstrom stabilisiert hatte, wurde in den Injektor gleichzeitig Bortrichlorid und Kohlenwasserstoff gas eingeführt. Die Strömungsgeschwindigkeit von Bortrichlorid war ungefähr 0,03 l/min. Nach einer Abscheidung gewünschter Dicke-wurde die Zufuhr der Reaktionspartner ab- · gestellt und der Ofen konnte auf Raumtemperatur auskühlen. Nun wurde der Träger von dem legierungsüberzug abgenommen und eine Probe aus der flachen Legierungsplatte gegenüber einer flachen Probe, enthaltend nur pyrolytisehen Graphit, geprüft. Wenn nicht anders angegeben beziehen sich die Eigenschaftswerte in folgender Tabelle auf Raumtemperatur. Es wird darauf hingewiesen, daß die Eigenschaftswerte nur die anfänglichen oder vorläufigen Werte sind.
Tabelle I
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Dichte - 13 I Pyrolyt.
Graphit
Ko
(1
,20 g/ccm 0 V
I
,655
1A-24 779
Tabelle 2 (1 1,680
24,000)
0 ,55 1471209
,125 -
,000-
(0 XX
,63)
0 ,73 Legierung
mit 1,74 $> B
1. 1
(16
42 (0 ,11) 0 ,846 2,21 g/ccm
2. p
kg/cm
psi
X
2,
65 ,93) 2,600
(37,000)
3. Biegefestigkeit
in a-Achse
0P) 1, 38 ,89) Kc
(0,44)
Wärmeleitfähigkeit
bei ** 120°0 ( ~250
0F) 1, 32 (0,37)
bei ~ 2600C ( * 0F) 1, (0,49)
bei ~ 37O°C ( >- 0F) (0,57)
bei ~ 4800C ( ~
* 500
- 700
' 900
Xin Kal/m.h. 0C
c in Btu it/ft .Iu0F
Eb wurden mehrere Versuche nach den Anweisungen des Beispiels I durchgeführt, jedoch die Arbeitsbedingungen entsprechend Tabelle II jeweils verändert.
Tabelle II
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TA-24 779
Tabelle II Druck
mm Hg
Reaktionsgase 0,03 Druckx
mm Hg psi
Of enb e dingungen 4,0 Strömungsge
schwindigkeit
Τ /m-in
0,03
Temp.
0C
4,0 -L/ HJ.. 0,03 0,0
1900 4,0 4,5 0,03 0,57
1. Ί900 7,0 4,5 0,03 -1,0
2. 1950 8,0 6,0 0,03 2,0
3. 1950 8,0 5,0 0,03 2,0
4. 1950 5,5 5,0 0,03 2,3
5. 1950 4,4 5,0 ' 0,03 -1,0
6. 1980 4,0 6,0 0,03 0,0
7. 1995 4,0 5,0 0,03 -1,0
8. 2125 4,3 6,0 0,03 0,0
9. 2125 4,5 4,5 0,03 0,0
10. 2125 6,0 6,0 0,03 0,0
11. 2125 4,2 6,0 0,0
12. 2125 4,0 2,0
13. 2125 5,0
14.
OH* wurde ohne Druck eingeführt
Aus der Tabelle II geht hervor, daß die Arbeitsbedingungen innerhalb eines weiten Bereichs schwanken können, jedoch bei jedem Versuch ein sehr ähnlicher Überzug erreicht wird.
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- 15 - U-24 779
Tabelle III zeigt die Änderungen in .en Eigenschaften bei Veränderung des Borgehalts der Legierung. Die Eigenschaftswerte der Tabellen III bis VII für pyrolytischen Graphit sind Durchschnittswerte.
Tabelle III
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c-Achse
a-Achse
Tabelle III 1,74 fo B Borlegierunp; 0 ,56 io B 0,00 <$> B Ό789
2,21 0,73 1o B 2,21 2,20 . CNl -»
CO
CD
2
106
. ΙΟ"6 2,22 o,
284
0189
. ΙΟ"6
0,70
500 . 10~6
CO
Dichte (g/cnr) .600
.000)
0,02660
O,O2679fi
268 . 10~D
- 1.265
(18.000)
243 .600
,78
2.325
(33.000)
48.
6,
000
82
28.200
4,0
2
(37
47.600
6,78
26
3
Elektrischer Wider
stand Si· cn
Biegefestigkeit
kg/cm (psi)
Elastizitätsmodul
in a-Achse kg/cm
psi .
'wärmeleitfähigkeit
bei ca. 12O0C (~ 25O0P) bei ca. 26O0C (~ 50O0P) bei ca. 37O0C (~ 70O0P) ( ~ 9000P)
bei ca. 4800C
X in Kal/ia.h.0C
X x Kcxx X Kc
0,655 (0,44) 1,13 (0,76)
0,55 (0,37) 1,08 (0,70)
0,73 (0,49) 0,981 (0,66)
0,846 (0,57) 0,907 (0,61)
XX-
Zc in Btu ft/ft ,h.°P
X
2,42
Ec
(1,63)
>
I
ro
-£»
1,65 (1,11) VO
1,38 (0,93)
1,32 (0,89)
- 17 - . ■ 1A-24 779
Int Vergleich zu nicht legiertem, pyrolytischem Graphit zeigen Legierungen von pyrolytischem Graphit und Bor bemerkenswert höhere Biegefestigkeit, wie auch wesentlich geringeren elektrischen V/iderstand in der a- und c-Achse und geringere Wärmeleitfähigkeit in der e-Achse.
Trotzdem nur Legierungen mit einem Borgehalt zwischen ca. 0,32 und 1,74 Gew.-^ in obigen Beispielen untersucht wurden, ist darauf hinzuweisen, daß der Borgehalt höher oder tiefer sein kann, die bevorzugte Borkonzentration jedoch zwischen ca. 0,01 und 5 Gew.-^ liegt.
In folgenden Beispielen wird die Herstellung anderer Legierungen von pyrolytischem Graphit erläutert.
Beispiel II
Es wurde eine Versuchsserie zur Herstellung von Legierungsplatten aus pyrolytischem Graphit und Niob durchgeführt. Dabei wurde ein Chlorentwickler entsprechend Fig. für die Gewinnung von Niobchlorid verwendet, welches sofort in den Zersetzungsofen eingeführt wurde. Bei den Versuchen wurde in den Behälter 40 des Halogenentv/icklungssystems eine geeignete Menge 38 von Schwamm, Streifen, Draht oder ähnliches von Mobmetall gegeben und ein Graphitträger 10 mit ebener Abscheidungsflache in einem Ofen 12 - wie oben beschrieben - befestigt. Die Metallcharge 38 in Behälter wurde auf eine Temperatur von ca. 4000C gebracht und gleich-
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zeitig die Ofentemperatür auf ca. 2130 bis 215O0C gesteigert. Dem Injektor 18 wurde Methan mit einer Strömungsgeschwindigkeit von 3 l/min, zugeführt. Chlorgas wurde über leitung in das System 36 eingespeist, wo es mit dem erhitzten Mob in Berührung kam. Die Mobchlorid-Dämpfe strömten über Leitung 46 und Speiseleitung 24 in den Injektor 18 und wurden dabei mit dem Methan gemischt} diese LIisehung trat in den Ofen ein. Die Leitungen 46 und 24 sowie der Injektor wurden auf einer Temperatur von ca. 295 und 32O0C gehalten. Die Strömungsgeschwindigkeit des Chlors und die Chlorierungstemperatur wurde so geregelt, daß die Strömungsgeschwindigkeit von Mobchlorid über den injektor in den Ofen ungefähr zwischen 0,01 und 0,02 l/min betrug. Während der Abscheidung der Legierung an dem erhitzten Träger betrug der Druck in dem Ofen ca. 5 mm Hg. Nach einer gewissen Zeit wurde die Chlor- und 1: ethanzuf uhr abgestellt und der Ofen auf Raumtemperatur gekühlt. Bei diesen Versuchen schwankte die Abscheidungszeit zwischen ca. 19 und 24 Stunden, wobei man Legierungsüberzüge mit einer Dicke zwischen ca. 1,37 - 2,29 mm (54 - 90 mils) erhielt. Nach jedem Versuch wurde der Träger von dem Legierungsüberzug abgenommen und die Platte geprüft. Die Eigenschaften der so erhaltenen Legierungen sind in Tabelle IV zusammengestellt.
Tabelle IV
809902/078 9=
Tabelle IV
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Legierung mit I3iob
0,00 0,14 0,23 0,42 0,47 0,64 0,75 1,75 2,20 3,70
Biegefestigkeit in a-Achse ρ (ρsi) kg/cm
(10.000) 1.265
(27.200) 1.925
(27.650) 1.945
(24.125) 1.695 (23.200)1.635
(17.935) 1.360
(18.900) 1.330
(21.700) 1.525
(13.700)
(19,200) 1.300
lCnoop1 sclic Härte El.-Widerstand belastung 100 g S?. cm
c-Achse ä^-Achse c'-Ächs'e a-A'ch s e
84,0
107,5
113,7
111,5
101,0
121,5
103,5
95,5
97,9
112,5
20,0 26,9 24,9 31,6 23,8 30,2 25,0 31,0 37,4 32,8
0,700
0,642 0,550 0,605 0,542 0,530
500 550 540 550 509 580 480 473 463
483 .
-6 -6 -6 -6 -6 -6 -6
Im Vergleich zu nicht legiertem pyralytischem Graphit zeigen Legierungen von pyrolytischem Graphit und Niob höhere Biegefestigkeit, insbesondere bei niederlegierten Proben, d.h. mit einem Gehalt von unter 0,5 /S und eine merkliche Ilärtezunahme in der "a"- und "c"-Achse.
Üeispiel III
Entsprechend Beispiel II wurde eine Yersuchsserie zur Herstellung von Legierungsplatten von pyrolytischem Graphit und l.j.oly"bdän durchgeführt. Der Behälter 40 war in C1I es em Fall gefüllt mit Streifen, kleinen Stücken und ähnlichem aus Iiolybdänmetall und die Abscheidungszeiten schwankten zwischen
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ca. 20 und 30 Stunden, wodurch man Le^ierungsüberzüge mit einer Dicke von ca. 1,5 - 2,67 mm (59 bis 105 mils) erhielt. Tabelle V faßt die Eigenschaften der so erhaltenen Leg i e rungen zusamm en.
Tabelle V
Legierung Biegefestigkeit ICnoop'sche El. Widerstand
mit Lolybdän in a-Achse
io kg/cm2 (psi)
0,00
0,17
0,41
0,55
0,82
1,20
2,50
1.270 (18.000) 1.475" (21.100) 1.332 (18.972) 960 (13.650) 1.445 (20.550). 1.430 (20.300) 1.360 (19.375)
Härte, Belastung 100 g in c-Achse
84,0 73,2 86,0 93,7 86,2 82,2
102,3
in JL . cm c-Aehse a-Achse
0,700 0,563 0,578 0,572
500 710 710 586
10 10 10 10
Beispiel IV
Entsprechend Beispiel II wurde eine Versuchsserie zur Herstellung von Legierungsplatten aus pyrolytischem Graphit und Wolfram durchgeführt. Der Behälter 40 war in diesem Pail gefüllt mit Schwamm, Streifen u.ä, aus Wolframmetall, die Chlorierungstemperatur betrug ca. 395 bis 4400C, die Strömungsgeschwindigkeit von Methan 4 l/min und die Abscheidungszeiten lagen bei ungefähr 50 Stunden, wodurch man einen
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Überzug mit einer durchschnittlichen Dicke von ca. 4,57 mm (180 mils) erhielt. In Tabelle VI sind die Eigenschaften der so erhaltenen Legierungen zusammengestellt.
Tabelle VI
Legierung Biegefestigkeit Knoop'sche El. Widerstand mit Wolfram in a-Achse Härte, Be- O
Wem2 leg/cm
.cm
100 g in
c-Achse a-Achse c-Achse a-Achse
0,000 1,270 (18.000) 84,0 20,0 0,70 500 . 10"6
0,005 1.342 (19.800) 90,3 28,6 0,86 1030 . 10"6
0,010 1.255 (17.800) 90,3 27,9 0,75 860 . 10"6
0,030 935 (13.300) 93,6 35,9
0,070 1.508 (21.400) 107,0 32,5
0,100 1.072 (15.250) 93,6 29,6
Im Vergleich zu nicht legiertem pyrolytischem Graphit zeigen Legierungen von pyrolytischem Graphit und Wolfram größere Härte in der a- und c-Achse und in manchen Fällen etwas höhere Biegefestigkeit.
Beispiel V
Entsprechend Beispiel II wurde eine Versuchsserie zur Herstellung von Legierungsplatten aus pyrolytischem Graphit und Aluminium durchgeführt. Der Behälter war in diesem Fall gefüllt mit Schwamm, Streifen oder ähnlichem aus Aluminiummetall, die Strömungsgeschwindigkeit von Methan betrug 3 l/min,
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die von Aluminiumclilorid 0,05 l/min und die Absuheidungszeit war 50 Stunden, wodurch man einen Überzug mit einer durchschnittlichen Dicke von ca. 4,30 mm (169 mils) erhielt. In Tabelle YII sind die Eigenschaften der so erhaltenen Legierungen zusammengestellt.
Tabelle VII
Legierung mit Biegefestigkeit Knoop'sche El. Widerstand Aluminium in a-Achse Härte, Be- . Q m f0 kg/cm2 (psi) lastung m JC. cm
000 1 .270 (18. 000) 100 g in
c-Achse a-Achse
,0 20, 0 c-Achse ,70 500 a-Achse
ο, 002 1 .508 (21. 400) 84 ,4 24, 7 0 ,90 900 . ΙΟ"6
ο, 003 1 .900 (27. 000) 98 ,8 27, 4 0 ,88 568 . ΙΟ"6
ο, 84 0 . ΙΟ"6
Der Gehalt oder die Konzentration des Metalls bzw. Metalloids in der Legierung kann variiert werden durch geeignete Einstellung der Reaktionsmischung aus Kohlenwasserstoff und Metall- bzw. Metalloidhalogenid. Trotzdem nach obigen Tabellen Versuche mit Graphitlegierungen, enthaltend nur eine Rietall- oder Metalloidkonzentration zwischen ca. 0,002 bis 3,7 Gew.-^ untersucht wurden, ist es offensichtlich, daß der Gehalt an Legierungselementen in weiten Bereichen schwanken kann und daß man, wenn gewünscht, Legierungen mit einem höheren Gehalt an Metall bzw. Metalloid herstellen kann, als sie hier aufgeführt sind. Ebenso ist es
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klar, daß man außer den angeführten Graphitlegierungen mit nur einem einzigen 1,'etall bzw. I etalloid auch Legierungen herstellen kann, die zwei oder mehrere Legierungselemente enthalten, indem man in den Ofen zusammen mit dem Kohlenwasserstoffgas zwei oder mehrere Ilalogenide in geeigneten Mengenverhältnissen einführt.
PatentanspiUche
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Claims (5)

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung von Legierungen des pyrolytischen Graphits, dadurch gekennzeichnet, daß man bei einer Temperatur zwischen ca. 1500 und 2300 C und einem Druck unter ca. 20 mm Hg ein Kohlenwasserstoffgas und mindestens eine flüchtige Metall- und/oder Ketalloid-7erbindung, insbesondere ein Halogenid, vorzugsweise ein Chlorid von Bor, Silicium, Aluminium, Titan, Zirkon, Hafnium, Thor, Vanadin, Niob, Tantal, Molybdän, Wolfram und Uran zusammenbringt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man für die Herstellung von Graphit-Bor-Legierungen als flüchtige Borverbindung Bortrichlorid verwendet.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß man die Legierung auf einem Träger mit einer Temperatur von ca. 1500 bis 23000C abscheidet.
4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet , daß man ein Halogenid verwendet, das durch Einwirkung eines Halogens auf das Metall bzw. Metalloid erhalten wurde.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Halogen Chlor war.
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