DE1282410B - Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Messung und Steuerung der Abscheidung duenner, durch Vakuumverdampfung erzeugter Mischschichten - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Messung und Steuerung der Abscheidung duenner, durch Vakuumverdampfung erzeugter Mischschichten

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DE1282410B
DE1282410B DEC32818A DEC0032818A DE1282410B DE 1282410 B DE1282410 B DE 1282410B DE C32818 A DEC32818 A DE C32818A DE C0032818 A DEC0032818 A DE C0032818A DE 1282410 B DE1282410 B DE 1282410B
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Charles Dufour
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Alcatel Lucent SAS
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Compagnie Generale dElectricite SA
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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    • C23C14/548—Controlling the composition
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