DE1275229B - Verfahren zur UEberwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung fuer metallurgische Verfahren und Einrichtung dazu - Google Patents

Verfahren zur UEberwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung fuer metallurgische Verfahren und Einrichtung dazu

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DE1275229B DE1966J0032191 DEJ0032191A DE1275229B DE 1275229 B DE1275229 B DE 1275229B DE 1966J0032191 DE1966J0032191 DE 1966J0032191 DE J0032191 A DEJ0032191 A DE J0032191A DE 1275229 B DE1275229 B DE 1275229B
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Dr Elektro-Ing Gelli Spescha
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2232832A1 (en) * 1973-06-06 1975-01-03 Radiotechnique Compelec Discharge control in cathodic sputtering - using voltage variation on auxiliary insulated electrode to adjust gas supply
US4115828A (en) * 1977-04-05 1978-09-19 Gte Sylvania Incorporated Arc detection and control apparatus
GB8404173D0 (en) * 1984-02-17 1984-03-21 Ti Group Services Ltd Controlling current density
DE19521548A1 (de) * 1995-06-13 1996-12-19 Ipsen Ind Int Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung der elektrischen Stromdichte über einem Werkstück bei der Wärmebehandlung im Plasma

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT212954B (de) * 1953-12-09 1961-01-10 Berghaus Elektrophysik Anst Verfahren zur Schaffung einer elektrischen Glimmentladung hoher Stromstärke in einem Entladungsgefäß
AT219733B (de) * 1954-11-06 1962-02-12 Berghaus Elektrophysik Anst Einrichtung zur Durchführung von Prozessen mittels elektrischer Glimmentladungen

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT212954B (de) * 1953-12-09 1961-01-10 Berghaus Elektrophysik Anst Verfahren zur Schaffung einer elektrischen Glimmentladung hoher Stromstärke in einem Entladungsgefäß
AT219733B (de) * 1954-11-06 1962-02-12 Berghaus Elektrophysik Anst Einrichtung zur Durchführung von Prozessen mittels elektrischer Glimmentladungen

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