DE1227756B - UEberzuege aus Bornitrid - Google Patents
UEberzuege aus BornitridInfo
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
- C23C16/342—Boron nitride
Description
DEUTSCHES
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Int. Cl.:
C23c
Deutsche Kl.: 48 b-11/08
Nummer:
Aktenzeichen:
Anmeldetag:
Auslegetag:
Aktenzeichen:
Anmeldetag:
Auslegetag:
N19269VIb/48b
2. Dezember 1960
27. Oktober 1966
2. Dezember 1960
27. Oktober 1966
Die Erfindung betrifft die Verwendung von Trichlorborazol
zur Herstellung von Überzügen aus Bornitrid auf hitzebeständigen bzw. feuerfesten
Werkstoffen.
Es sind bereits Versuche unternommen worden, Bornitridüberzüge auf bestimmte Werkstoffe aufzubringen,
jedoch haben sich die bekanntgewordenen Vorschläge als äußerst schwierig und kostspielig
durchführbar erwiesen.
Bornitridüberzüge werden gewöhnlich aus mit Borchlorid beladenem Stickstoff- und/oder Wasserstoffstrom,
dem man einen Ammoniakstrom zuführt, in komplizierten Apparaturen bei 800 bis 1500° C und
darüber erhalten; jedoch bestehen die gewonnenen Überzüge üblicherweise aus Zweiphasenmischungen
von Bor mit Bornitrid.
Auch hat man vorgeschlagen, Bornitridüberzüge durch thermische Zersetzung von Borazol zu gewinnen.
Erstens ist aber Borazol durch Umsetzen von Diboran mit Ammoniak äußerst schwierig herzustellen.
Zweitens können durch Borazolzersetzung selbst im Temperaturbereich von 800 bis 1500° C nur Bornitridablagerungen
in der ungewöhnlich geringen Dichte von nur 1,6 g/cm3 erhalten werden; erst bei
1800° C entstehen Ablagerungen einer Dichte, die an den theoretisch zu erwartenden Wert von 2,27 g/cm3
herankommt. Aus diesen Gründen kann Borazol als Ausgangsstoff zur Gewinnung von Bornitridüberzügen
nicht in Betracht kommen.
Die der vorliegenden Erfindung-zugrunde liegende Aufgabenstellung besteht in der Auffindung eines
Verfahrens zur leichten Herstellung einwandfreier Bornitridüberzüge in einer einfachen und wirtschaftlichen
Weise. Überaschenderweise wurde gefunden, daß durch eine einfache thermische Zersetzung des
wesentlich leichter als Borazol zugänglichen Trichlorbenzols bei wesentlich tieferen Temperaturen Überzüge
einer dem Wert von 2,27 g/cm3 angenäherten Dichte erhältlich sind.
Bei der erfindungsgemäßen Verwendung von Trichlorborazol
verfährt man dergestalt, daß diese Verbindung thermisch unter Ausbilden von Bornitrid auf
den entsprechenden Werkstoffen zersetzt wird. Der zu überziehende Werkstoff kann hierbei z. B. in
einem Behälter angeordnet werden, der mit einem Trichlorborazol enthaltenden Gefäß in Verbindung
steht. Das Trichlorborazol wird verdampft und bei dem Inberührungkommen dieses Dampfes mit der
Oberfläche des erhitzten Werkstoffes erfolgt die Zersetzung unter Ausbilden von Bornitrid.
Man kann hierbei sowohl kontinuierlich als auch diskontinuierlich unter Normaldruck oder in einem
Überzüge aus Bornitrid
Anmelder:
National Research Development Corporation,
London
Vertreter:
Dipl.-Ing. K. A. Brose, Patentanwalt,
Pullach (Isartal), Wiener Str. 2
Als Erfinder benannt:
Paul Popper,
Thomas Alan Ingles,
Penkhull, Staffordshire (Großbritannien)
Beanspruchte Priorität:
Großbritannien vom 5. Dezember 1959 (41405)
as geschlossenen System unter von Normaldruck abweichenden
Drücken arbeiten. Die Arbeitstemperatur wird vorzugsweise über 800° C gehalten. Unter dieser
Temperatur hergestellte Überzüge neigen dazu, nicht stabil zu sein. Dieselben können jedoch gegebenenfalls
einer Nachbehandlung bei hohen Temperaturen bis zu 1700° C zwecks Stabilisieren unterworfen
werden.
Die ausgebildeten Überzüge aus Bornitrid können auf die entsprechenden erhitzten Oberflächen sowohl
elektrisch leitender als auch nichtleitender Werkstoffe aufgebracht werden, die eine indirekte Beheizung erfahren.
Bedingt durch die in Anwendung kommenden Temperaturen bei dem Aufbringen des Überzuges kann
man nur mit Werkstoffen arbeiten, die bei diesen Temperaturen in geeigneter Form vorliegen. Man
wird weiterhin darauf achten, daß der Überzug aus Bornitrid und die entsprechenden Werkstoffe nicht
so stark differierende Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzen.
Anwendungsgebiete für die erfindungsgemäß ausgebildeten Überzüge aus Bornitrid sind z. B. das Herstellen
von Isolierungen auf elektrischen Leitern für die Anwendung bei hohen Temperaturen sowie das
Herstellen von Kondensatoren. Die Überzüge aus Bornitrid können besondere Nutzanwendung als
Schichten finden, die für Kernstrahlung nicht oder
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schwer durchlässig sind. Es handelt sich hierbei um Fälle, wo der Anteil des Bor-(10)-Isotopen auf
Grund des hohen Neutroneneinfangvennögens auf sehr geringe Mengen herabgesetzt werden muß. Es
gelingt hierbei erfindungsgemäß eine elektrische Isolation mit Bor-(11)-Nitrid wirtschaftlich zu gestalten,
da nur geringe Mengen an Bor-(ll) benutzt werden und somit die Anreicherung an Bor-(11)-Isotopen
nicht so groß zu sein braucht, als wenn große Mengen an Bornitrid angewandt werden. Die Schmiereigenschaften
von Bornitridüberzügen zusammen mit deren Dichte lassen dieselben für Lager mit geringer
Reibung geeignet erscheinen, die der Einwirkung hoher Temperaturen ausgesetzt sind. Die Überzüge
aus Bornitrid erweisen sich überall dort als vorteilhaft, wo die hohe chemische Widerstandsfähigkeit
des Bornitrids von Wichtigkeit ist, wie z, B. für Tiegel und Muffeln oder zur Steigerung der Oxidationsfestigkeit von Graphit. Die einen Nitridüberzug aufweisenden
Gegenstände können weiterhin an die Stelle derjenigen treten, die auf dem teuren Wege des
Heizpressens aus Bornitrid hergestellt sind. Weiterhin ist es möglich, durch Aufbringen des Bornitrides
auf die Oberfläche oder in die Poren eines porösen Körpers eine Verringerung der Permeabilität desselben
zu erreichen oder, ein Erhöhen der Dichte desselben zu erzielen.
Der Erfindungsgegenständ wird im folgenden an
Hand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung erläutert. Die 'Zeichnung
ist ein Aufriß im Schnitt und zeigt die Vorrichtung für das Aufbringen des .Bomitridüberzuges auf
die Oberfläche eines Drahtstückes, Stange oder ähnlichen Materials!,'"die aber selbst nicht Gegenstand
der vorliegenden Erfindung ist.
Die Vorrichtung weist eine äußere Umkleidung 10 u§ einem wärmefesten Glas in Rohrform auf, die
waagerecht angeordnet ist. Es sind zwei Kohleelektroden 11,12 in das Rohr 10 von gegenüberliegenden
Enden aus eingeführt, und die halsartigen Öffnungen, durch die dieselben hindurchtreten, sind mit Tonerdezement
13 abgedichtet. Ein Gaseinlaß 14 ist an der unteren Seite des Rohrs angeordnet, in der sich ein
geschlossenes und Trichlorborazol enthaltendes Rohr 15 befindet. Das Rohr 15 weist eine lange schmale
Bohrung 15° auf, durch die der Trichlorborazoldampf auf die Probe 16 geführt wird, die zwischen
den Kohleelektroden 11, 12 gehalten wird. Es wird eine geeignete Energiequelle mit den Elektroden über
ίο die Leitungen 17 und Anschlußklemmen 18 in Verbindung
gebracht. Es wird ein Trägergas, wie z. B. Argon, durch die Einlaßöffnung 14 eingeführt. Es
liegen zwei oder mehr Gasauslässe 19, 20 an dem oberen Teil der Umkleidung 10 vor. Die Vorrichtung
wird zuerst mit Argon gespült und sodann die Probe erhitzt. Das Trichlorborazol wird sodann erhitzt, bis
das gesamte Trichlorborazol verdampft ist. Zu den in Anwendung kommenden Proben gehören Graphitstäbe,
Tantaldraht und Kupfer- sowie Nickelfolie.
Dieselben werden auf Temperaturen von 8QO bis 900° C erhitzt. Sich,.daran anschließende Wärmebehandlungen
von Graphitstäben, die in dieser Weise mit Bornitrid überzogen wurden, werden unter Stickstoff
bei Temperaturen bis zu 1700? C ausgeführt.
Das Trichlorborazol wird in.;dem ^vorliegenden
, ; Fall vermittels einer äußeren Wärmequelle, wie einem
Bunsenbrenner, verdampft. :.'*-""■
Claims (1)
- Patentanspruch:Verwendung von Trichlorborazol zur Heistellung von Überzügen- aus Bornitrid ' aufy.hitze-f beständigen bzw. feuerfesten;Werkstoffen,· ■ : ·.In Betracht gezogene Druckschriften: ■
Deutsche Patentschrift Nr. 833955; .österreichische Patentschriften Nr. 170 601, ' '176 082; ' ■ ■ ·. . :Ztschr. f. aüorg. u. ällgem. Chemie, 298 (1959), -:Heft 1/2, S. 31; . " :W. Machu, »Metallische ,Überzüge«, 1948, S. 97.Hierzu 1 Blatt Zeichnungen609708/336 10.66 © Bundesdruckerei Berlin
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB4140559A GB908860A (en) | 1959-12-05 | 1959-12-05 | Improvements in and relating to the production of boron nitride coatings |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1227756B true DE1227756B (de) | 1966-10-27 |
Family
ID=10419544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEN19269A Pending DE1227756B (de) | 1959-12-05 | 1960-12-02 | UEberzuege aus Bornitrid |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1227756B (de) |
GB (1) | GB908860A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE3640966A1 (de) * | 1986-11-29 | 1988-06-09 | Klaus Kalwar | Verfahren zur herstellung einer koronaelektrode |
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DE833955C (de) * | 1950-01-03 | 1952-03-13 | Basf Ag | Herstellung von grobkoernigen Metallpulvern |
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1959
- 1959-12-05 GB GB4140559A patent/GB908860A/en not_active Expired
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- 1960-12-02 DE DEN19269A patent/DE1227756B/de active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB908860A (en) | 1962-10-24 |
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