DE1198465B - Ionenquelle fuer feste Substanzen - Google Patents

Ionenquelle fuer feste Substanzen

Info

Publication number
DE1198465B
DE1198465B DEA38667A DEA0038667A DE1198465B DE 1198465 B DE1198465 B DE 1198465B DE A38667 A DEA38667 A DE A38667A DE A0038667 A DEA0038667 A DE A0038667A DE 1198465 B DE1198465 B DE 1198465B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
radiation
vacuum chamber
ion source
substance
housing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEA38667A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Ludolf Jenckel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ATLAS MESS und ANALYSENTECHNIK
Original Assignee
ATLAS MESS und ANALYSENTECHNIK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ATLAS MESS und ANALYSENTECHNIK filed Critical ATLAS MESS und ANALYSENTECHNIK
Priority to DEA38667A priority Critical patent/DE1198465B/de
Priority to DEA40274A priority patent/DE1214437B/de
Priority to US233204A priority patent/US3294970A/en
Priority to GB40436/62A priority patent/GB1018508A/en
Priority to FR913522A priority patent/FR1355550A/fr
Publication of DE1198465B publication Critical patent/DE1198465B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/10Ion sources; Ion guns
    • H01J49/18Ion sources; Ion guns using spark ionisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J17/00Gas-filled discharge tubes with solid cathode
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02Details
    • H01J49/10Ion sources; Ion guns
    • H01J49/16Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission
    • H01J49/161Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission using photoionisation, e.g. by laser
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2893/00Discharge tubes and lamps
    • H01J2893/0059Arc discharge tubes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND
DEUTSCHES
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Int. σ.:
HOIj
Deutschem.: 21g-21/01
Nummer: 1198 465
Aktenzeichen: A 38667 VIII c/21 g
Anmeldetag: 26. Oktober 1961
Auslegetag: 12. August 1965
Die Erfindung bezieht sich auf eine Ionenquelle für feste Substanzen, insbesondere für Massenspektrometer, bestehend aus einer Vakuumkammer und einem in dieser angeordneten und den Ionisationsraum begrenzenden Gehäuse, bei welcher die Ver- dampfung der Substanz durch die Einwirkung elektromagnetischer Strahlung und die Erzeugung der Ionen durch Ionisation der Dampfmoleküle erfolgt. Derartige Ionenquellen sind unter der Bezeichnung »Ofenionenquelle« bekannt. Dabei besteht der Nachteil, daß die Strahlungsquelle zur Erhitzung der Substanz teilweise in dem Vakuumraum und der Ionisationskammer angeordnet ist, was zur Beeinträchtigung sowohl der Arbeitsgeschwindigkeit als auch der Meßgenauigkeit führt. Insbesondere geben die innerhalb des Vakuumraumes liegenden Teile der Strahlungsquelle Veranlassung zu Verunreinigungen, die meßtechnisch nur unvollkommen erfaßt werden können und auch den Gang der Messung wesentlich verzögern.
Um diesem Mangel abzuhelfen, ist erfindungsgemäß die Strahlungsquelle außerhalb der Vakuumkammer angeordnet und optische Mittel zur Bündelung und Fokussierung der Strahlung vorgesehen, die die Strahlung durch ein Fenster in der Vakuumkammer und eine öffnung in dem Gehäuse auf die Substanz riehten. Dadurch wird erreicht, daß die Erhitzung der Probe durch eine Wärmequelle hervorgerufen wird, die eine vom Massenspektrometer völlig getrennte Baueinheit darstellt, so daß das Massenspektrometer selbst keinerlei Einrichtungen zur Erzeugung der erforderlichen Wärme zu enthalten braucht. Die Wärmequelle ist vom Massenspektrometer unabhängig und kann auch anderswo eingesetzt werden, z. B. zur Bestrahlung verschiedener Ionenquellen oder auch für Aufgaben ganz anderer Zweckbestimmung.
Vorteilhaft wird dabei von einem an sich bekannten optischen Sender (Laser) als Strahlungsquelle Gebrauch gemacht.
Die Erfindung sei an einem Ausführungsbeispiel veranschaulicht:
In der Zeichnung stellt 1 die Vakuumkammer der Ionenquelle dar, in dessenBodenla der Austrittsspalt 2 zum Trennrohr 3 eines Massenspektrometer angeordnet ist. In der Vakuumkammer der Ionenquelle ist, in der Zeichnung ganz schematisch dargestellt, das Gehäuse 4 angeordnet, das einen eigenen Träger für die zu ionisierende Substanz 5 enthält und das den Ionisationsraum begrenzt. Dieses Gehäuse kann in üblicher Weise in der zur Zeichenebene senkrechten Richtung verschiebbar und auswechselbar angeordnet sein. Zu diesem Zweck ist an die Vakuumkammer 1 eine Vakuumschleuse angeschlossen, über welche die Ionenquelle für feste Substanzen
Anmelder:
ATLAS Meß- und Analysentechnik G. m. b.H.,
Bremen, Woltmershauser Str. 442-448 a
Als Erfinder benannt:
Dr. Ludolf Jenckel, Bremen-St. Magnus
Auswechselung des Gehäuses 4 mit der zu untersuchenden Substanz erfolgt. Die Ionisation der festen oder flüssigen Substanz 5 erfolgt in üblicher Weise durch Verdampfung und Elektronenbeschuß und die ionisierten Teilchen werden durch eine in der Zeichnung ganz schematisch dargestellte Ionenoptik 6 aus dem Gehäuse 4 herausgezogen und gebündelt durch den Spalt 2 in das Trennrohr 3 des Massenspektrometer geführt. Der Elektronenbeschuß erfolgt mit Hilfe eines quer zum Ionenbündel 7 gerichteten Elektronenstrahlbündels 8, das von einer außerhalb des Gehäuses 4, aber in der Vakuumkammer 1 angeordneten Kathode 9 zu einem Elektronenauffanger 10 durch einander gegenüberliegende Fenster 11,15 des Gehäuses 4 verläuft. Die Verdampfung der Substanz 5 durch Erhitzung erfolgt durch Bestrahlung von einem optischen Sender (Laser) 12 von außerhalb der Ionenquelle 1 durch ein Fenster mit Linse 13 in der Wand 1 b der Vakuumkammer 1 und ein Fenster 14 in der Wand des Gehäuses 4. Mit Hilfe der Bestrahlung vom optischen Sender 12 aus ist es möglich, örtlich sehr hohe Wärmeenergien über die Linse 13 auf die Substanz 5 zu konzentrieren, da der optische Sender durch die Kohärenz der Strahlung ein extrem intensives und paralleles Strahlenbündel liefert, das durch eine Linse auf einen eng begrenzten Brennfleck mit hoher Energiedichte abgebildet werden kann. Die erzielten Strahlungsstärken genügen, um selbst schwer schmelzbare Substanzen augenblicklich zu schmelzen bzw. zu verdampfen.

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Ionenquelle für feste Substanzen, insbesondere für Massenspektrometer, bestehend aus einer Vakuumkammer und einem in dieser angeordneten und den Ionisationsraum begrenzenden Gehäuse, bei welcher die Verdampfung der Substanz durch die Einwirkung elektromagnetischer
509 630/231
I 198 465
Strahlung und die Erzeugung der Ionen durch Ionisation der Dampfmoleküle erfolgt, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle (12) außerhalb der Vakuumkammer (1) angeordnet ist und optische Mittel zur Bündelung und Fokussierang der Strahlung vorgesehen sind, die die Strahlung durch ein Fenster (13) in der Vakuumkammer (1) und eine Öffnung (14) in dem Gehäuse (4) auf die Substanz richten. .
2. Ionenquelle nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Anwendung eines an sich bekannten optischen Senders (LASER) als Strahlungsquelle.
In Betracht gezogene Druckschriften: USA.-Patentschrift Nr. 2 851652; Zeitschrift für Naturforschung, Bd. 11 e, S. 167/168.
1956,
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
DEA38667A 1961-10-26 1961-10-26 Ionenquelle fuer feste Substanzen Pending DE1198465B (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEA38667A DE1198465B (de) 1961-10-26 1961-10-26 Ionenquelle fuer feste Substanzen
DEA40274A DE1214437B (de) 1961-10-26 1962-05-23 Verfahren zur Ionenerzeugung in einer Funkenionenquelle fuer Massenspektroskope
US233204A US3294970A (en) 1961-10-26 1962-10-24 Means comprising a source of coherent radiant energy for the production of ions for mass spectrometry
GB40436/62A GB1018508A (en) 1961-10-26 1962-10-25 Improvements in or relating to method and arrangements for production of ions
FR913522A FR1355550A (fr) 1961-10-26 1962-10-26 Procédé et appareillage pour la production d'ions, notamment pour la spectrométrie de masse

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEA38667A DE1198465B (de) 1961-10-26 1961-10-26 Ionenquelle fuer feste Substanzen
DEA40274A DE1214437B (de) 1961-10-26 1962-05-23 Verfahren zur Ionenerzeugung in einer Funkenionenquelle fuer Massenspektroskope

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1198465B true DE1198465B (de) 1965-08-12

Family

ID=25963665

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEA38667A Pending DE1198465B (de) 1961-10-26 1961-10-26 Ionenquelle fuer feste Substanzen
DEA40274A Pending DE1214437B (de) 1961-10-26 1962-05-23 Verfahren zur Ionenerzeugung in einer Funkenionenquelle fuer Massenspektroskope

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEA40274A Pending DE1214437B (de) 1961-10-26 1962-05-23 Verfahren zur Ionenerzeugung in einer Funkenionenquelle fuer Massenspektroskope

Country Status (3)

Country Link
US (1) US3294970A (de)
DE (2) DE1198465B (de)
GB (1) GB1018508A (de)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE654594A (de) * 1963-10-28 1965-04-20
US3398322A (en) * 1964-09-17 1968-08-20 Air Force Usa High voltage switch
US3360733A (en) * 1964-11-12 1967-12-26 Boeing Co Plasma formation and particle acceleration by pulsed laser
US3406349A (en) * 1965-06-16 1968-10-15 Atomic Energy Commission Usa Ion beam generator having laseractivated ion source
FR1456884A (fr) * 1965-09-16 1966-07-08 Commissariat Energie Atomique Procédé d'obtention d'impulsions de tension élevée et dispositif en comportant application
US3677642A (en) * 1967-08-04 1972-07-18 Varian Associates Ion cyclotron resonance stimulated glow-discharge method and apparatus for spectral analysis
DE1900569C3 (de) * 1969-01-07 1976-01-08 Varian Mat Gmbh, 2800 Bremen Festkörper-Ionenquelle
US3633067A (en) * 1970-01-09 1972-01-04 Comp Generale Electricite Magneto-optically controlled ionization tube
US3710178A (en) * 1970-09-14 1973-01-09 Stanford Research Inst Spark-gap triggering system
DE2141387C3 (de) * 1971-08-18 1975-12-11 Ernst Dr. 8000 Muenchen Remy Verfahren zur auf Mikrobereiche beschränkten Verdampfung, Zerstörung, Anregung und/oder Ionisierung von Probenmaterial sowie Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
US3748475A (en) * 1972-02-17 1973-07-24 T Roberts Neutron generator axially assisted by laser
US3746860A (en) * 1972-02-17 1973-07-17 J Stettler Soft x-ray generator assisted by laser
US4217494A (en) * 1973-02-02 1980-08-12 Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. Isotope separation with improved selective ionization
US3935451A (en) * 1973-02-02 1976-01-27 Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. Method and apparatus for separating laser ionized particles from background ions
US3953731A (en) * 1973-12-27 1976-04-27 Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. Isotope separation utilizing zeeman compensated magnetic extraction
US3959649A (en) * 1973-12-27 1976-05-25 Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. Collection of ions in a plasma by magnetic field acceleration with selective polarization
IL47139A (en) * 1974-05-13 1977-07-31 Jersey Nuclear Avco Isotopes Method and apparatus for impact ionization of particles
US4000420A (en) * 1974-06-11 1976-12-28 The Board Of Trustees Of Leland Stanford Junior University Method and apparatus for separating isotopes
US4031389A (en) * 1974-06-26 1977-06-21 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Isotope separation using metallic vapor lasers
DE2540505A1 (de) * 1975-09-11 1977-03-24 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Flugzeit-massenspektrometer fuer ionen mit unterschiedlichen energien
GB1582706A (en) * 1976-04-15 1981-01-14 Unisearch Ltd Apparatus and method for separating isotopes
US4159421A (en) * 1977-02-04 1979-06-26 Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. Method and apparatus for suppressing electron generation in a vapor source for isotope separation
DE2819711C2 (de) * 1978-05-05 1984-02-16 Gesellschaft für Strahlen- und Umweltforschung mbH, 8000 München Verfahren und Vorrichtung zur Analyse einer Probe mit Hilfe gepulster Laserstrahlung
US4346330A (en) * 1980-04-14 1982-08-24 Thermo Electron Corporation Laser generated high electron density source
GB8928917D0 (en) * 1989-12-21 1990-02-28 Vg Instr Group Method and apparatus for surface analysis
US5015862A (en) * 1990-01-22 1991-05-14 Oregon Graduate Institute Of Science & Technology Laser modulation of LMI sources
DE4133121A1 (de) * 1991-10-05 1993-04-08 Inst Festkoerperphysik Und Ele Anordnung zur erzeugung einer feinfokussierten niederenergetischen ionensonde
US9236215B2 (en) * 2009-12-20 2016-01-12 HIL Applied Medical, Ltd. System for fast ions generation and a method thereof
US9048079B2 (en) * 2013-02-01 2015-06-02 The Rockefeller University Method and apparatus for improving ion transmission into a mass spectrometer

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2851652A (en) * 1956-05-21 1958-09-09 Robert H Dicke Molecular amplification and generation systems and methods

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2976413A (en) * 1956-06-25 1961-03-21 Cons Electrodynamics Corp Mass spectrometer
US3047718A (en) * 1959-11-24 1962-07-31 Gen Electric Negative ion generator

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2851652A (en) * 1956-05-21 1958-09-09 Robert H Dicke Molecular amplification and generation systems and methods

Also Published As

Publication number Publication date
US3294970A (en) 1966-12-27
GB1018508A (en) 1966-01-26
DE1214437B (de) 1966-04-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1198465B (de) Ionenquelle fuer feste Substanzen
DE3878828T2 (de) Sekundaerelektronen-detektor zur anwendung in einer gasumgebung.
DE1937482C3 (de) Mikrostrahlsonde
Tariq et al. Calcium to phosphate ratio measurements in calcium phosphates using LIBS
DE2716810A1 (de) Verfahren und einrichtung zur analyse einer probe mittels emissionsspektrographie unter verwendung eines laserstrahlenbuendels
DE2141387A1 (de) Verfahren zur auf mikrobereiche beschraenkten verdampfung, zerstoerung, anregung und/oder ionisierung von probenmaterial sowie anordnung zur durchfuehrung des verfahrens
DE102014001653A1 (de) Laserionenquelle und Schwerteilchenstrahl-Therapiegerät
DE19635645C2 (de) Verfahren für die hochauflösende Spektrenaufnahme von Analytionen in einem linearen Flugzeitmassenspektrometer
DE2331091A1 (de) Einrichtung zur bestimmung der energie geladener teilchen
DE1186952B (de) Verfahren und Vorrichtung zum Umwandeln von n- in p-leitendes Halbleitermaterial fuer Halbleiterbauelemente durch Beschuss mit einem Elektronenstrahl
DE2136460A1 (de) Röntgenstrahlenquelle
DE102015203847A1 (de) Neutral-Teilchen-Sputter-Massenspektrometer-Vorrichtung
Baker et al. Measurement of coefficients for the back-scattering of 0.5-30 keV positrons from metallic surfaces
DE69629653T2 (de) Methode zur bestimmung der ursache von defekten auf stahloberflächen
DE1648808C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen einer Dampfdichte
DE2363581C2 (de) Verfahren zur zerstörungsfreien chemischen Analyse
DE102010056321A1 (de) Partikelstrahlmikroskop
DE2420656C3 (de) Vorrichtung zur Elektronenstrahlverdampfung
DE2528596A1 (de) Verfahren zur lokalen, chemischen analyse einer festkoerperprobe
DE102017126882B3 (de) Anordnung zur Reduzierung der Raumladungswirkung in elektronen-spektroskopischen Geräten
DE102018106412B4 (de) Teilchenspektrometer und Teilchenspektrometrieverfahren
DE102017218456B3 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen von Ionenpulsen sowie deren Verwendung
DE102016112328B3 (de) Ionenmikroskopievorrichtung
DE2733427A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur untersuchung von oberflaechenvorgaengen mittels einer feldeffekt-emissionsspitze
DE102008044781A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Beschleunigung von Ionen eines Ionenstrahls