DE1900569C3 - Festkörper-Ionenquelle - Google Patents
Festkörper-IonenquelleInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Festkörper-Ionenquelle
mit Verdampfung einer festen Substanz und ionisierung der Dampfmoieküie, welche ein Vakuumgefäß
und innerhalb desselben eine mit der festen
Stanz belegte großflächige, behe.zte Unterlage,
einen zum Teil von der Unterlage begrenzten lonis.erungsraum,
auf den in einer Ionisierungszone Iomsierunesmittel
einwirken, sowie Elektroden zum Extrah.e ren der Ionen aus dem lonisierungsraum aufweist
' B„i penning-ionenquellen. die mit kalter Kathode arbeiten
is't es bekannt, eine mit der festen Substanz boleete
'großflächige Unterlage, die in unm.ttelbarer Nachbarschaft der Ionisierungszone angeordnet ist,
vorzusehen (Nuclear Instruments and Methods VoL 64, 1968 Nr 1 S. 73 bis 76). Diese lonenquellen haben den
Nachteil starker Inhomogenität der Ionenenergie und sind nur für höhere Drücke anwendbar. Außerdem ist
die Ionisierung ursächlich mit der Substanzabgabe in den lonisierungsraum verknüpft
Be; Festkörper-Ionenquellen mit einem Ofchen zur
Verdampfung der festen Substanz ist es bekannt, die Stirnfläche eines aus der Festkörpersubstanz bestehenden
Stabes durch Beschüß mit Elektronen so aufzuheizen daß sie über ihre ganze Ausdehnung auf einer
gleich hohen Temperatur gehalten wird und einen Molekularstrahl emittiert. Dabei durchqueren die zur Beheizung
dienenden Elektronen den sich bildenden Dampfstrahl und erzeugen durch Elektronenstoß Ionen
der verdampften Substanz (Experimentelle Technik der Physik Bd XI, 1963, Heft 6, S. 407 bis 415). Bei dieser
Ionenquelle ist die Verdampfung der festen Substanz und die Verdampfungstemperatur abhängig vom Ionisierungsprozeß.
Es ist ferner bekannt, als Substanzträger oder Unterlage einen Tiegel zu verwenden, der mit von den lonisierungsmitteln
getrennten Heiz- und Kühlmitteln versehen ist und über eine Vakuumschleuse mit seiner offenen
Seite dicht an die Ionisierungszone herangeführt werden kann. Dabei ist jedoch die der Ionisierungszone
zugewandte Fläche der Substanz klein zur Größe der Ionisierungszone, und es läßt sich, da die Substanz im
Tiegel im allgemeinen ein zylinderförmiges Volumen einnimmt, weder eine gleichmäßige noch eine schnell
steuerbare Verdampfung herbeiführen.
Bei Festkörper-Ionenquellen kommt es, um schnelle und exakte, leicht auswertbare Messungen durchführen
zu können, darauf an, die Verdampfung der zu untersuchenden Substanzen gleichmäßig, möglichst trägheitslos
steuerbar und wenn gewünscht, auch in schnellem Wechsel zu bewerkstelligen. Diese Voraussetzungen
werden von den bekannten Festkcrper-Ionenquellen
nicht erfüllt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Festkörper-Ionenquelle
zu schaffen, die bei leichter Auswechselbarkeit der zu untersuchenden Substanzen eine
gleichmäßige und weitgehend trägheitsfrei steuerbare Verdampfung in unmittelbarer Nähe der Ionisierungszone
ermöglicht.
Die vorliegende Aufgabe ist erfindungsgemäß dadurch gelöst worden, daß bei Verwendung einer Festkörper-Ionenquelle
der eingangs bezeichneten Art die zu verdampfende Substanz auf der großflächigen,
dünnwandigen Unterlage in dünner Schicht, deren Dikke klein ist zu ihrer Ausdehnung, aufgetragen, daß eine
von den lonisierungsmitteln unabhängige Beheizung und Kühlung vorgesehen und die Unterlage mit der
aufgetragenen Schicht durch eine Vakuumschleuse in das bzw. aus dem Vakuumgefäß ein- und ausschleusbar
ist.
Dadurch werden sowohl zeitmäßig als auch mengenmäßig gut beherrschbare Unlersuchungsbedingungen
gewonnen; es läßt sich eine schnell wirksame Beheizung und Kühlung der Unterlage erreichen, bei der die
von der Unterlage getragene Schicht den Temperaturänderungen der Unterlage ohne große Verzögerung
folgt, so daß die Probe bei Beginn jeder Messung schnell auf die Verdampfungstemperatur gebracht,
während der Messung gleichmäßig auf der gewünschten
Verdampfungstemperatur gehalten und am Ende der Messung schnell wieder unter die Verdampfungstemperatur gebracht werden kann. Um eine gute
lonenausbeute zu gewährleisten, ist es zweckmäßig, die Fläche der Unterlage und die Fläche der von ihr getragenen
Schicht größer zu machen als die ihnen zugewandte Seite der Ionisierungszone.
Als Unterlage kann ein an sich bekanntes, den Ionisierungsraum
begrenzendes Ionisierungsgehäuse dienen, wobei dieses Gehäuse vorzugsweise als ein die
Ionisierungszone konzentrisch umschließender Zylinder ausgebildet ist.
Um bei möglichst geringem Aufwand für die Heiz- und Kühlmittel eine möglichst gleich hohe Temperatur
an allen Stellen der Heizfläche bzw. Substanzschicht zu gewährleisten, besteht die Unterlage zweckmäßig aus
Material hoher Wärmeleitfähigkeit, beispielsweise aus Gold, und ist über Isolatoren aus gut wärmeleitendem
Material mit einem Kühlmittelträger verbunden.
Die Erfindung ist in der folgenden Beschreibung und der Zeichnung an Hand einiger Ausführungsbeispiele
näher erläutert. Es zeigt
F i g. 1 in schematischer Darstellung eine erste Ausführungsform mit einer Elektronenstoßionenquelle,
F i g. 2 einen Schnitt nach der Linie H-II der F i g. 1,
F i g. 3 in gleicher Darstellung wie F i g. 1 eine zweite Ausführungsform, ebenfalls mit Elektronenstoß-Ionenquelle,
F i g. 4 eine dritte Ausführungsform mit Feldionisation,
F i g. 5 eine Teilansicht für die Kühleinrichtung, wie sie für die in F i g. 1 dargestellte Ionenquelle anwendbar
ist und
Fi g. 6 einen Schnitt durch die Kühleinrichtung, wie
sie für die in F i g. 3 dargestellte Ionenquelle anwendbar ist.
Die Elektronenstoß-Ionenquelle nach F i g. 1 und 2 besteht aus einem lonisierungsraum 1. der von einem
Gehäuse 2 begrenzt wird. Das Gehäuse 2 ist mit einem Einschußfenster 3 für ein Elektronenbiindel 4 zur Ionisierung
in einer Ionisierungszone 5 und einem lonenaustrittsschlitz 6 versehen, durch den ein lonenbündel 7
dem Trennrohr 8 eines Massenspektrometer zügeführt wird.
Die zu analysierende feste Substanz wird von einer Verdampfungseinrichtung, auch Öfchen benannt, verdampft.
Dieses Öfchen besteht «ms einer proßllächigen, dünnwandigen Unterlage 10(F i g. 1,2,5), 14(F i g. 3, 6),
16 (F i g. 4), auf welche die Substanz in gleichmäßiger dünner Schicht 9 aufgetragen ist und Mitteln zur Heizung
und zur Kühlung dieser Unterlage. Die in der Zeichnung dargestellten Ausfiihrungsformen zeigen
verschiedene Gestallungen der Unterlage. In allen Ausführungsformen
besteht die Unterlage aus einer Metallwandung, die auf ihrer der Ionisierungszone 5 zugewandten
Seite die Schicht der /u verdampfenden Substanz trägt.
In der in F i g. 1 und 2 dargestellten ersten Ausführungsform
besteht die Unterlage aus einem Tablett 10 in Form einer rechteckigen ebenen Metallplatte, die
über eine herkömmliche Vakuumschleuse mit Einführungskanal 11 durch eine Schubstange 12 in Querrichtung
zum Elektronenbündel 4 ein- und ausfahrbar ist. Das Tablett 10 wird durch eine flexible Leitungsverbindung
oder durch einen Kontakt 13 beim Betrieb der Ionenquelle auf gleichem Potential gehalten wie das
Gehäuse 2.
F i g. 3 zeigt eine Ausführungsform, in der ein kreiszylindrisches,
den lonisierungsraum 1 begrenzendes Gehäuse 14 als Unterlage ausgebildet ist.
F i g. 4 veranschaulicht die Anwendung der Erfindung in einer Feldionenquelle. Dabei ist zur Feldionisation
ein feiner Wollastondraht 15 vorgesehen, der an einei Spannung von z. B. + 3 kV liegt. 16 ist eine auf
— 10 kV liegende Saugelektrode, vor der Schlitzelektroden zur Bildung des gewünschten Ionenbündels für
die folgende Massentrennung angeordnet sind.
Die Saugelektrode 16 ist im dargestellten Beispiel zugleich Unterlage für die Schicht 9 und Gehäuse zur
Begrenzung des Ionisierungsraumes 1. Zu diesem Zweck ist sie als geschlossene Schale mit etwa linsenförmigem
Querschnitt ausgebildet. Auf ihrer Rückseite ist die Saugelektrode 16 mit einem Schlitz 17 zum Einführen
des Wollastondrahtes 15 versehen, der von einem um eine Achse 18 schwenkbaren Arm getragen
wird.
In den Ausführungsbeispielen sind zur Beheizung der Unterlage Heizmittel 19 in Form einer Einrichtung zum
Elektronenbeschuß der Unterlage vorgesehen. Zum Elektronenbeschuß sind Kathoden vorgesehen, die auf
der Rückseite der dünnwandigen Unterlage außerhalb des Gehäuses 2 angeordnet sind, das in der Ausführungsform
nach F i g. 1 und 2 mit einem Heizschlitz 20 versehen ist. Um eine möglichst gleich hohe Verdampfungstemperatur
über die ganze Heizfläche zu erzielen, sind mehrere Kathoden über die Länge der Unterlage
verteilt vorgesehen, und die Unterlage besteht aus Gold, um durch die hohe Wärmeleitfähigkeit des Goldes
eine gleich hohe Verdampfungstemperatur der gesamten Unterlage bzw. der von ihr getragenen Schicht
auch bei örtlich unterschiedlicher Beheizung zu gewährleisten.
Um möglichst zu vermeiden, daß sich verdampfte Substanz bei der Ausbreitung im lonisaüonsraum 1 an
der Innenwandung des Gehäuses 2 niederschlägt, ist es vorteilhaft, das ganze Gehäuse 2 auf einer über der
Verdampfungstemperatur der Substanz liegenden Temperatur zu halten. In der Ausführungsform nach
F i g. 1 und 2 kann hierzu das Gehäuse 2 beispielsweise durch die von den Kathoden der Beheizung 19 ausgehenden
Elektronen, die außerhalb des Heizschlitzes 20 verlaufen, beheizt werden.
In den F i g. 1 bis 4 sind die Kühleinrichtungen nicht eingezeichnet.
Beispiele für die Einrichtung zur Kühlung der Unterlage sind in F i g. 5 und 6 an den Ausführungsformen
der Ionenquelle nach F i g. 1 bis 3 veranschaulicht. Bei der in F i g. 5 dargestellten Ausführungsform ist die tablettförmige
Unterlage 10 für die Schicht 9 an beiden Enden mit je einer Kühlvorrichtung verbunden. Diese
besteht aus elektrischen Isolatoren 21, 22, die gut wärmeleitend sind und auf der einen Seite fest mit der Unterlage
10 in Berührung stehen, während sich auf der anderen Seite Kühlschlangen 23 und 24 befinden. Bei
der in F i g. 6 dargestellten, der F i g. 3 entsprechenden Ausführungsform sind zur Bildung der Kühleinrichtung
an beiden Enden der auf der Innenseite die Schicht 9 tragenden Unterlage 14 ringförmige Isolatoren 25, 26
mit Kühlschlangen 27 und 28 vorgesehen.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (10)
1. Festkörper-Ionenquelle mit Verfampfung einer
festen Substanz und Ionisierung der Dampfmolekü-Ie, welche ein Vakuumgefäß und innerhalb desselben
eine mit der festen Substanz belegte großflächige, beheizte Unterlage, einem zum Teil von der Unterlage
begrenzten loriisationsraum, auf den in einer Ionisierungszone lonisierungsmittel einwirken, sowie
Elektroden zum Extrahieren der Ionen aus dem lonisierungsraum aufweist, dadurch gekennzeichnet,
daß die zu verdampfende Substanz auf der großflächigen, dünnwandigen Unterlage (10, 14,
16) in dünner Schicht (9), deren Dicke klein ist zu ihrer Ausdehnung, aufgetragen, daß eine von den
Ionisierungsmitteln unabhängige Beheizung (19) und Kühlung (21 bis 24) vorgesehen und die Unterlage
mit der aufgetragenen Schicht durch eine Vakuumschleuse in das bzw. aus dem Vakuumgefäß
ein- und ausscMeusbar ist.
2. Ionenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fläche der Unterlage (10, 14, 16)
und die Fläche der von ihr getragenen Schicht (9) größer sind als die ihnen zugewandte Seite der lonisierungszone
(5).
3. Ionenquelle nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (10) in Richtung
parallel zu ihrer der Ionisierungszone (5) zugewandten, die Substanzschicht (9) tragenden Oberfläche
verschiebbar ist.
4. Ionenquelle nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (14, 16) durch ein die
Ionisierungszone (5) umschließendes Gehäuse gebildet ist.
5. Ionenquelle nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die der Ionisierungszone
(5) zugewandte Seite der Unterlage (14, 16) gegen die Ionisierungszone (5) konkav gewölbt ist.
6. Ionenquelle nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die Unterlage aus einem kreiszylindrischen Gehäuse (14) besteht.
7. Ionenquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kühlschlange (23,
24 bzw. 27, 28) oder ein sonstiger Kühlmittelträger über Isolatoren (21. 22 bzw. 25. 26) aus gut wärmeleitendem
Material mit der Unterlage (10 bzw. 14) verbunden is':.
8. Ionenquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (10, 14.
16) aus Gold besteht.
9. Ionenquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ionisierung eine
Einrichtung zum Teilchenbeschiiß, iisbesondere Elektronenbeschuß, vorgesehen ist.
10. Ionenquelle nach einem der Ansprüche I bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß zur Ionisierung eine Einrichtung zur Bestrahlung, insbesondere mit UV-i
:s.Ht, vorgesehen ist.
i 1. Ionenquelle nach einem der Ansprüche I bis 8, fto
dadurch gekennzeichnet, daß zur Ionisierung eine Einrichtung zur Feldionisaüon vorgesehen ist.
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