DE1170088B - Verfahren zum Herstellen duenner ferro-magnetischer Filme mit einer Vorzugsrichtung der Magnetisierung - Google Patents
Verfahren zum Herstellen duenner ferro-magnetischer Filme mit einer Vorzugsrichtung der MagnetisierungInfo
- Publication number
- DE1170088B DE1170088B DEI17253A DEI0017253A DE1170088B DE 1170088 B DE1170088 B DE 1170088B DE I17253 A DEI17253 A DE I17253A DE I0017253 A DEI0017253 A DE I0017253A DE 1170088 B DE1170088 B DE 1170088B
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- magnetization
- grooves
- films
- magnetic
- preferred direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 title claims description 21
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 title claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 5
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 8
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000007779 soft material Substances 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000005417 remagnetization Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910001651 emery Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
- H01F10/14—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys containing iron or nickel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/26—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by the substrate or intermediate layers
- H01F10/28—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by the substrate or intermediate layers characterised by the composition of the substrate
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/90—Magnetic feature
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/912—Puncture healing layer
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/922—Static electricity metal bleed-off metallic stock
- Y10S428/9265—Special properties
- Y10S428/928—Magnetic property
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
- Y10T29/49069—Data storage inductor or core
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12465—All metal or with adjacent metals having magnetic properties, or preformed fiber orientation coordinate with shape
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
- Y10T428/2457—Parallel ribs and/or grooves
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
DEUTSCHES
PATENTAMT
Internat. KL: H Ol d
Deutsche Kl.: 21g-31/03
Nummer: 1 170 088
Aktenzeichen: 117253 VIII c / 21 g
Anmeldetag: 17. November 1959
Auslegetag: 14. Mai 1964
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen dünner ferromagnetischer Filme mit einer
Vorzugsrichtung der Magnetisierung in einer Dicke von etwa 1 Mikron und darunter durch Aufdampfen
oder Aufgalvanisieren des ferromagnetischen Materials auf eine mit einer größeren Anzahl paralleler
Rillen versehene Unterlage.
Für die Verwendung in den Speicher- und Steuereinrichtungen programmgesteuerter elektronischer
Rechenmaschinen und anderer Geräte zur automatischen Datenverarbeitung wurden vor einiger Zeit
dünne magnetische Filme von einigen zehntel Mikron Stärke entwickelt, die wesentlich schneller um~
magnetisiert und einfacher hergestellt werden können als die bisher verwendeten Magnetkerne mit
rechteckiger Hystereseschleife. Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, in diesen magnetischen Filmen eine
Vorzugsrichtung der Magnetisierung zu erzeugen, um deren magnetische Eigenschaften noch weiter zu
verbessern.
Es ist bekannt, Magnetfilme durch Aufdampfen oder Aufgalvanisieren des Magnetmaterials auf eine
lediglich als Träger dienende Unterlage herzustellen und die Vorzugsrichtung der Magnetisierung durch
Anlegen eines äußeren Magnetfeldes während des Aufbringens des Magnetmaterials zu erzeugen. Es ist
weiterhin bekannt, die Unterlage mit einer Anzahl paralleler Rillen zur Führung eines Magnetkopfes zu
versehen, deren Abmessungen in der Größenordnung von einigen zehntel Millimetern und darüber liegen.
Nach diesen bekannten Verfahren ist es jedoch im allgemeinen nicht möglich, stets und mit vertretbarem
Aufwand gleichmäßige Magnetfilme mit gut ausgebildeter Vorzugsrichtung herzustellen.
Gegenstand der Erfindung ist ein einfaches und reproduzierbares Verfahren zum Herstellen für
Speicher- und Steuerzwecke geeigneter dünner ferromagnetischer Filme der eingangs genannten Art,
welches diesen Nachteil nicht aufweist und es darüber hinaus ermöglicht, die Koerzitivkraft der Ummagnetisierung
dieser Magnetfilme durch Blochwandverschiebung, die meist viel kleiner ist als die
Koerzitivkraft der Ummagnetisierung durch Drehung der Elementarmagnete ihrer sogenannten Weißschen
Bezirke, größer und insbesondere größer als die Hälfte der Koerzitivkraft der Ummagnetisierung
durch Drehung zu wählen, so daß diese Magnetfilme, wie weiter unten näher erläutert, in einem nach dem
Koinzidenzstromprinzip arbeitenden Matrixspeicher verwendet werden können. Dies wird erfindungsgemäß
dadurch erreicht, daß die Abmessungen der Breite und der Tiefe der Rillen in der Unterlage etwa
Verfahren zum Herstellen dünner ferromagnetischer Filme mit einer Vorzugsrichtung
der Magnetisierung
der Magnetisierung
Anmelder:
International Business Machines Corporation,
New York, N. Y. (V. St. A.)
New York, N. Y. (V. St. A.)
Vertreter:
Dipl.-Ing. H-. E. Böhmer, Patentanwalt,
Böblingen (Württ.), Sindelfinger Str. 49
Als Erfinder benannt:
John Scott Eggenberger,
Wappingers Falls, Dutchess, N. Y.,
John Charles Lloyd,
Wappingers Falls, Dutchess, N Y.,
Robert Samuel Smith, Poughkeepsie,
Dutchess, N. Y. (V. St. A.)
John Scott Eggenberger,
Wappingers Falls, Dutchess, N. Y.,
John Charles Lloyd,
Wappingers Falls, Dutchess, N Y.,
Robert Samuel Smith, Poughkeepsie,
Dutchess, N. Y. (V. St. A.)
Beanspruchte Priorität:
V. St. v. Amerika vom 18. November 1958
(774 656)
in der Größenordnung der Dicke der Filme gewählt werden, so daß die Finne auch nach einem Aufbringen
des ferromagnetischen Materials ohne ein äußeres Magnetfeld eine Vorzugsrichtung der Magnetisierung
in Richtung der Rillen aufweisen. Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung werden die Rillen in
der Unterlage durch gleichmäßiges, leichtes Bearbeiten mit einem staubfeinen Schleifmittel (z. B. mit der
Körnung 320 nach DIN 69100) hergestellt. Die Unterlage kann dabei vor dem Anbringen der parallelen
Rillen mit einer dünnen Schicht eines weichen Materials (z. B. Kupfer) versehen werden.
Im folgenden wird die Erfindung an Hand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispieles
näher beschrieben.
Die Erfindung beruht auf der Entdeckung, daß die magnetischen Eigenschaften dünner magnetischer
Filme und vor allem die Vorzugsrichtung der Ma-
409 589/332
gnetisierung, d. h. die Richtung besonders leichter Magnetisierbarkeit, sowie die Größe der Koerzitivkraft
der Ummagnetisierung durch Blochwandverschiebung, durch die makroskopische Struktur der
Unterlage, auf der die dünne Magnetschicht abgelagert ist, beeinflußt werden können. Insbesondere
kann beobachtet werden, daß bei Ablagerung des dünnen Films auf eine Unterlage, die mit einer Vielzahl
von sehr dicht beieinanderliegenden parallelen
gnetfilme als Speicherelemente in Informationsspeichern an, die nach dem Koinzidenzstromprinzip
betrieben werden.
Bei Anwendung des Galvanisierungsverfahrens ist 5 es wichtig, die Stromdichte, bei der die Galvanisierung
stattfindet, so zu begrenzen, daß das durch den Galvanisierungsstrom induzierte magnetische Feld
nicht die Orientierung des Filmes beeinflußt, die durch die Struktur der Unterlage hervorgerufen wird.
Rillen oder Kerben versehen ist, die Achse leichter io Vorzugsweise soll die Galvanisierung bei einer Strom-Magnetisierbarkeit
sich parallel zur Richtung der dichte unter 10 mA/cm2 ausgeführt werden.
Rillen ausrichtet. Bei diesem Herstellungverfahren Das Verfahren zum Herstellen dünner ferro-
erhält man dünne magnetische Filme, deren Achse magnetischer Filme nach der Erfindung weist noch
leichter Magnetisierbarkeit in einem viel höheren einen weiteren Vorteil auf. Bekanntlich kann eine
Maße ausgerichtet ist, als es mit einem von außen 15 schnellere Umschaltung von bistabilen Magnetfilmen
angelegten orientierenden magnetischen Feld mög- entweder durch die Verwendung stärkerer Felder
lieh wäre. Darüber hinaus verändert sich die Koerzi- oder durch die Verwendung der Ummagnetisierung
tivkraft der Ummagnetisierung durch Blochwandver- durch Drehung an Stelle der bekannten Ummagneschiebung
mit den Abmessungen der Rillen, so daß tisierung durch Blochwandverschiebung erreicht
es durch dieses Verfahren ermöglicht wird, Mate- 20 werden. Bei den bisher bekannten ferromagnetischen
rialien mit einem großen Bereich von magnetischen Filmen war jedoch das Schwellenfeld, das für die
Eigenschaften herzustellen. Ummagnetisierung durch Blochwandverschiebung
F i g. 1 gibt eine schematische Darstellung einer benötigt wird, viel geringer als das Feld, das für die
mit Rillen versehenen Unterlage nach der Erfindung Ummagnetisierung durch Drehung erforderlich ist.
wieder. Obwohl die Verwendung vieler Materialien, 35 Daher konnte in Speichersystemen, die nach dem
einschließlich Glas und Kunststoff, für die Unterlage Koinzidenzstromprinzip arbeiten, in denen die Stärke
möglich ist, wird vorteilhafterweise eine Phenol- des Treiberfeldes zur vollen Auswahl durch das Erplatte
1 verwendet, die mit einer leitenden Kupfer- fordernis beschränkt wird, daß das Halbwählfeld das
schicht 2 bedeckt ist. Eine solche Unterlage kann in Schwellenfeld des Magnetfilmes nicht überschreiten
einfacher Weise mit einer Reihe von Rillen 3 der ge- 30 darf, nur die Ummagnetisierung durch Blochwandwünschten
Tiefe versehen werden, z. B. durch Be- verschiebung bei relativ schwachen Treiberfeldern
arbeiten mit einer auf einer Teilmaschine angeord- erreicht werden.
neten Schmirgelscheibe, oder unter Verwendung Bei der Verwendung einer durch Rillen aufgerauh-
einer Ätzmaschine. Es können verschiedene Schleif- ten Unterlage ist die Koerzitivkraft der Ummagnemittel
unterschiedlicher Korngröße für diesen 35 tisierung durch Blochwandverschiebung und damit
Zweck benutzt werden. Sehr gute Ergebnisse werden die entsprechende Schaltschwelle des Magnetfilmes
mit einem Schleifpapier der Körnung 320 nach höher als die eines ähnlich, jedoch unter Verwen-DIN
69100 erhalten. dung einer glatten Unterlage hergestellten Magnet-
Nachdem die Unterlage in der beschriebenen filmes. Die Schaltschwelle der Ummagnetisierung
Weise vorbereitet worden ist, wird ein dünner ferro- 40 durch Drehung bleibt jedoch etwa gleich. Bei den
magnetischer Film mit beispielsweise 80 Gewichts- Magnetfilmen nach der Erfindung überschreitet das
für die Ummagnetisierung durch Blochwandverschiebung erforderliche Schwellenfeld den halben Wert
des Feldes, das für die Ummagnetisierung durch 45 Drehung nötig ist. Daher kann in Speichersystemen,
die nach dem Koinzidenzstromprinzip arbeiten und diese Magnetfilme verwenden, zum Ummagnetisieren
durch Drehung an Stelle der Ummagnetisierung durch Blochwandverschiebung ein verstärktes Volleine
bestimmte abgelagerte Metallmenge ist die Film- 50 wählfeld benutzt werden.
stärke geringer als bei ebenen Filmen, wodurch sich Ein praktisches Beispiel zeigt die Ummagnetisie-
rungseigenschaften eines ferromagnetischen Filmes auf relativ glatter Oberfläche im Vergleich zu denjenigen
eines ferromagnetischen Filmes auf einer 55 durch Rillen aufgerauhten Unterlage. Das Schwellenfeld,
das nötig ist, um eine Ummagnetisierung durch Blochwandverschiebung zu bewirken, steigt durch die
Verwendung der aufgerauhten Unterlage von 0,9 auf 1,5 Oersted; die entsprechende Schaltkonstante sinkt
ein von außen angelegtes magnetisches Feld herge- 60 von 0,8 auf 0,6 Oersted · Mikrosekunden. Das
stellt worden sind. Der Grad, in welchem die Schleife Schwellenfeld, das nötig ist, um eine Ummagnetisiefür
die Richtung senkrecht zur Vorzugsrichtung rung durch Drehung zu bewirken, bleibt etwa gleich.
(Fig. 3) geschlossen ist, zeigt an, daß die Vorzugs- Es steigt lediglich von 2,1 auf 2,4 Oersted; die entrichtung
weitgehend mit der Richtung der Rillen auf sprechende Schaltkonstante sinkt von 0,6 auf
der Fläche der Unterlage übereinstimmt. F i g. 4 zeigt 65 0,24 Oersted · Mikrosekunden. Die Umschaltzeit jedie
Hystereseschleife in der Vorzugsrichtung. Die doch sinkt durch die Verwendung der aufgerauhten
gute Rechteckform und die scharfen Knicke der Unterlage etwa auf die Hälfte, nämlich von 800 auf
Schleife deuten die gute Verwendbarkeit dieser Ma- 400 Nanosekunden. Das Umschaltfeld wurde dabei
prozent Nickel und 20 Gewichtsprozent Eisen auf ihr abgelagert. Es sind mehrere Verfahren zur Bildung
der Magnetschicht bekannt, z. B. das Aufdampfen im Vakuum und die Galvanisierung.
F i g. 2 zeigt einen typischen durch Galvanisierung hergestellten Film. Es ist erforderlich, daß die metallische
Ablagerung 4 der welligen Form der Unterlage folgt, damit der Film einheitlich dick ist. Für
ein Magnetfilm ergibt, der eine relativ hohe Koerzitivkraft der Ummagnetisierung durch Blochwandverschiebung
hat und trotzdem ein hohes Ausgangssignal aufweist.
F i g. 3 und 4 zeigen die mit 50 Hertz aufgenommenen Hystereseschleifen von Magnetfilmen mit
Vorzugsrichtung der Magnetisierung, die unter Verwendung von mit Rillen versehenen Unterlagen ohne
in der Ebene der Magnetfilme parallel zur Vorzugsrichtung angelegt. Das Vollwählfeld betrug im Falle
der glatten Oberfläche 2,0 Oersted und im Falle der durch Rillen aufgerauhten Unterlage 2,4 Oersted.
Die gemäß dem Verfahren nach der Erfindung hergestellten dünnen ferromagnetischen Filme besitzen
also sowohl eine ausgezeichnet ausgebildete Vorzugsrichtung der Magnetisierung als auch verbesserte
Ummagnetisierungseigenschaften, die sich vor allem in der kürzeren Schaltzeit äußern.
Claims (3)
1. Verfahren zum Herstellen dünner ferromagnetischer Filme mit einer Vorzugsrichtung
der Magnetisierung in einer Dicke von etwa 1 Mikron und darunter durch Aufdampfen oder
Aufgalvanisieren des ferromagnetischen Materials auf eine mit einer größeren Anzahl paralleler
Rillen versehene Unterlage, dadurch : gekennzeichnet, daß die Abmessungen der
Breite und der Tiefe der Rillen (3) in der Unterlage (1, 2) etwa in der Größenordnung der Dicke
(8) der Filme (4) gewählt werden, so daß die Filme auch nach einem Aufbringen des ferromagnetischen
Materials ohne ein äußeres Magnetfeld eine Vorzugsrichtung der Magnetisierung in Richtung der Rillen aufweisen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Rillen in der Unterlage
durch gleichmäßiges, leichtes Bearbeiten mit einem staubfeinen Schleifmittel (z. B. mit der
Körnung 320 nach DIN 69100) hergestellt werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (1) vor dem
Anbringen der parallelen Rillen (3) mit einer dünnen Schicht (2) eines weichen Materials (z. B.
Kupfer) versehen wird.
In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschriften Nr. 135 403, 832 333;
französische Patentschriften Nr. 891 451, 966 694, 008 218.
Deutsche Patentschriften Nr. 135 403, 832 333;
französische Patentschriften Nr. 891 451, 966 694, 008 218.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
409 589/332 5.64 © Bundesdruckerei Berlin
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US774656A US3019125A (en) | 1958-11-18 | 1958-11-18 | Thin magnetic film |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1170088B true DE1170088B (de) | 1964-05-14 |
Family
ID=25101866
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEI17253A Pending DE1170088B (de) | 1958-11-18 | 1959-11-17 | Verfahren zum Herstellen duenner ferro-magnetischer Filme mit einer Vorzugsrichtung der Magnetisierung |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3019125A (de) |
DE (1) | DE1170088B (de) |
FR (1) | FR1241401A (de) |
GB (1) | GB888762A (de) |
NL (2) | NL130450C (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1282804B (de) * | 1961-11-25 | 1968-11-14 | Telefunken Patent | Ferromagnetisches Speicherelement |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3131078A (en) * | 1958-05-21 | 1964-04-28 | Lab For Electronics Inc | Random storage |
US3234525A (en) * | 1960-03-28 | 1966-02-08 | Gen Electric | Thin film devices |
GB924848A (en) * | 1960-05-27 | 1963-05-01 | Ibm | Improvements in and relating to methods of manufacturing memory arrays |
US3222657A (en) * | 1960-09-14 | 1965-12-07 | Sprague Electric Co | Magnetic device |
US3055770A (en) * | 1960-12-23 | 1962-09-25 | Ibm | Thin magnetic films |
US3211570A (en) * | 1961-12-21 | 1965-10-12 | Winfield W Salisbury | Process of making sine wave gratings |
DE1292267B (de) * | 1962-06-22 | 1969-04-10 | Siemens Ag | Magnetisches Speicherelement |
DE1258465B (de) * | 1964-09-08 | 1968-01-11 | Siemens Ag | Magnetisches Speicherelement und Verfahren zu seiner Herstellung |
US3396047A (en) * | 1964-12-18 | 1968-08-06 | Honeywell Inc | Biaxially anisotropic magnetic thin film structure with magnetic discontinuities |
US3457634A (en) * | 1966-03-29 | 1969-07-29 | Sperry Rand Corp | Method for fabricating memory apparatus |
US3471272A (en) * | 1966-09-20 | 1969-10-07 | Thin Film Inc | Magnetic storage medium |
US3548045A (en) * | 1969-10-17 | 1970-12-15 | Nemonic Data Systems Inc | Method of making a striated support for filaments |
JPS4913325B1 (de) * | 1970-05-02 | 1974-03-30 | ||
EP0081240B1 (de) * | 1981-12-09 | 1989-06-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dünnfilmmagnetkopf |
DE3374622D1 (en) * | 1982-04-14 | 1987-12-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | A playback head for perpendicular magnetic recordings |
DE3390321T1 (de) * | 1982-11-11 | 1985-01-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma, Osaka | Dünnfilm-Magnetkopf |
EP0109667B1 (de) * | 1982-11-19 | 1987-04-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetisches Aufzeichnungsmedium |
US4816933A (en) * | 1984-10-23 | 1989-03-28 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium of particular coercive force, filling ratio, and protrusions and recording/reproducing method therefor |
US4735840A (en) * | 1985-11-12 | 1988-04-05 | Cyberdisk, Inc. | Magnetic recording disk and sputtering process and apparatus for producing same |
US5082747A (en) * | 1985-11-12 | 1992-01-21 | Hedgcoth Virgle L | Magnetic recording disk and sputtering process and apparatus for producing same |
US4894133A (en) * | 1985-11-12 | 1990-01-16 | Virgle L. Hedgcoth | Method and apparatus making magnetic recording disk |
DE58902091D1 (de) * | 1988-07-14 | 1992-09-24 | Siemens Ag | Duennfilm-magnetkopf mit magnetschenkeln aus jeweils mehreren magnetischen einzelschichten. |
US5736921A (en) * | 1994-03-23 | 1998-04-07 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Magnetoresistive element |
US5585198A (en) * | 1993-10-20 | 1996-12-17 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Magnetorsistance effect element |
JPH08130337A (ja) * | 1994-09-09 | 1996-05-21 | Sanyo Electric Co Ltd | 磁気抵抗素子及びその製造方法 |
US7189583B2 (en) * | 2003-07-02 | 2007-03-13 | Micron Technology, Inc. | Method for production of MRAM elements |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE135403C (de) * | ||||
FR891451A (de) * | 1944-03-08 | |||
FR966694A (fr) * | 1948-05-14 | 1950-10-16 | Procédé de fabrication de noyaux magnétiques et noyaux obtenus par ce procédé | |
DE832333C (de) * | 1949-11-05 | 1952-02-25 | Kurd Von Haken Dipl Ing | Verfahren zur Herstellung von Magnetogrammtraegern |
FR1008218A (fr) * | 1950-01-11 | 1952-05-15 | Perfectionnement à la fabrication des bandes magnétiques portant un enregistrementsonore |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB284786A (de) * | ||||
US1820240A (en) * | 1929-03-30 | 1931-08-25 | Philip A Michell | Coil |
US2185300A (en) * | 1936-02-21 | 1940-01-02 | Bell Telephone Labor Inc | Telegraphone |
GB650675A (en) * | 1945-08-28 | 1951-02-28 | Brush Dev Co | Flexible coated magnetic record member and method of making same |
US2501126A (en) * | 1946-10-18 | 1950-03-21 | Indiana Steel Products Co | Magnetic record medium |
US2511121A (en) * | 1948-02-14 | 1950-06-13 | Bell Telephone Labor Inc | Method of recording information on stationary magnetic material |
USRE23602E (en) * | 1948-04-20 | 1952-12-23 | Magnetic sound record | |
GB670993A (en) * | 1949-06-01 | 1952-04-30 | Bayer Ag | Improvements in or relating to magnetic sound recorders |
US2844665A (en) * | 1954-04-15 | 1958-07-22 | Sound Engineering | Magnetic recording device |
US2819186A (en) * | 1956-01-19 | 1958-01-07 | Reeves Soundcraft Corp | Magnetic recording tape |
-
0
- NL NL245388D patent/NL245388A/xx unknown
- NL NL130450D patent/NL130450C/xx active
-
1958
- 1958-11-18 US US774656A patent/US3019125A/en not_active Expired - Lifetime
-
1959
- 1959-11-17 FR FR810359A patent/FR1241401A/fr not_active Expired
- 1959-11-17 DE DEI17253A patent/DE1170088B/de active Pending
- 1959-11-18 GB GB39097/59A patent/GB888762A/en not_active Expired
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE135403C (de) * | ||||
FR891451A (de) * | 1944-03-08 | |||
FR966694A (fr) * | 1948-05-14 | 1950-10-16 | Procédé de fabrication de noyaux magnétiques et noyaux obtenus par ce procédé | |
DE832333C (de) * | 1949-11-05 | 1952-02-25 | Kurd Von Haken Dipl Ing | Verfahren zur Herstellung von Magnetogrammtraegern |
FR1008218A (fr) * | 1950-01-11 | 1952-05-15 | Perfectionnement à la fabrication des bandes magnétiques portant un enregistrementsonore |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1282804B (de) * | 1961-11-25 | 1968-11-14 | Telefunken Patent | Ferromagnetisches Speicherelement |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL130450C (de) | |
FR1241401A (fr) | 1960-09-16 |
US3019125A (en) | 1962-01-30 |
GB888762A (en) | 1962-02-07 |
NL245388A (de) |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE1170088B (de) | Verfahren zum Herstellen duenner ferro-magnetischer Filme mit einer Vorzugsrichtung der Magnetisierung | |
DE2924013C2 (de) | ||
DE69324902T2 (de) | Speicherelement | |
DE69031453T2 (de) | Magnetischer Lese-/Schreibkopf und Herstellungsverfahren eines solchen Kopfes | |
DE2450364A1 (de) | Elektromagnetischer wandler | |
US3972786A (en) | Mechanically enhanced magnetic memory | |
DE2355672A1 (de) | Magnetischer wandler in duennschichttechnik | |
DE1931003C3 (de) | Magnetkopf für ein Magnetspeichergerät | |
DE3880048T2 (de) | Aufzeichnungsträger mit senkrechter Magnetisierung. | |
DE2260043B2 (de) | Magnetischer Plattenspeicher und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE1282714B (de) | Einrichtung zur Speicherung von Binaerwerten | |
DE2052710C2 (de) | Magnetischer Dünnschichtkern | |
DE1146539B (de) | Magnetische Speicher-Matrix unter Verwendung von duennem magnetischem Film | |
DE2165299C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer für Blase ndomänenanwendungsgebiete brauchbaren magnetischen Schicht | |
DE69127604T2 (de) | Dünne Schicht aus einem polykristallinen Granat für magneto-optisches Aufzeichnungsmedium | |
DE1564208A1 (de) | Verfahren zur Herstellung magnetischer Duennschicht-Film-Speicher | |
DE1260268B (de) | Verfahren zur Herstellung eines zur Speicherung von Informationen geeigneten Duennfilms aus ferromagnetischem Metall | |
DE1298140B (de) | Datenspeichereinrichtung | |
US3459517A (en) | Memory element with stacked magnetic layers | |
DE1774609C3 (de) | Magnetschichtspeicher für binäre Informationen | |
DE1115852B (de) | Verfahren zur Herstellung einer Magnetspeicherplatte mit diskreten magnetisierbaren Bereichen | |
DE1205144B (de) | Anordnung zur Umschaltung der Induktivitaet eines Gatterleiters zwischen zwei Extremwerten | |
DE2010987C3 (de) | Verfahren zum "Herstellen von Dunnschicht-Magnetköpfen mit magnetischer Anisotropie | |
DE1185741B (de) | Verfahren zur Herstellung eines schnell schaltenden bistabilen magnetischen Duennschicht-Speicherelementes | |
DE2154301A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Speicherung magnetischer Information |