DE2010987C3 - Verfahren zum "Herstellen von Dunnschicht-Magnetköpfen mit magnetischer Anisotropie - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Magnetköpfen an einem magnetischen Oberflächenspeicher, bei welchem zum Aufzeichnen und Abtasten von digitalen Signalen als Ferrit-Dünnschichtelemente mit axialer Anisotropie ausgebildete Polstükke vorgesehen sind, die unter Bildung eines der Speicheroberfläche gegenüberliegenden Arbeitsspaltes eine oder mehrere bandförmige Leiterschleifen umgeben.

Magnetköpfe für das Beschreiben und Ablesen von digitale Informationen enthaltenden Magnetbändern oder magnetischen Speicherplatten werden gewöhnlich

ίο aus vielen Einzelteilen zusammengebaut. Dieses Verfahren ist kostspielig und überdies für die Anforderungen, wie sie an Magnetsysteme von neueren Datenverarbeitungsmaschinen gestellt werden, kaum noch anwendbar. So ergibt sich einerseits aus Kostengründen ein Zwang

V) zur Massenherstellung und andererseits aus den stets steigenden Erfordernissen für höhere Speicherdichte, d. h. für schmälere und enger aneinanderliegende Magnetspuren und kleinere Bit-Längen, ein Zwang zur Miniaturisierung. Die Forderung nach kleineren Bit-Längen z. B. hat zur Folge, daß der Schreib- und Lesespalt der Magnetköpfe bis auf etwa 1 μ Breite verkleinert werden muß. Gleichzeitig zwingen die immer höheren Arbeitsgeschwindigkeiten der Datenverarbeitungsmaschinen dazu, daß auch die obere Grenzfrequenz der Magnetköpfe, die gegenwärtig etwa bei 10 MHz liegt, erhöht werden muß.

Es ist bereits bekannt (DE-PS 1166 263), die Polstücke der Magnetköpfe als Dünnschichtelemente

mit magnetischer Anisotropie auszubilden und eine bandförmige Leiterschleife in einem bestimmten Winkel zu der magnetischen Voraigsrichtung anzuordnen. Die Herstellung dieses bekannten Magnetkopfes geschieht in der Weise, daß auf einem Träger aus Glas oder Metall 5 eine aus einer Nickel-Eisen-Legierung bestehende Schicht im Vakuum aufgedampft wird und daß gleichzeitig unter der Einwirkung eines Magnetfeldes eine magnetische Vorzugsrichtung in der aufgedampften Schicht erzeugt wird. Nach dem Aufbringen einer Isolierschicht auf das so gebildete Polstück werden die Leiterschleifen durch Aufdampfen einer metallischen Schicht hergestellt Bei diesem Verfahren werden die geometrischen Strukturen der einzelnen Schichten jeweils durch Abätzen der entsprechenden Schicht ausgebildet Die derart hergestellten Magnetköpfe haben den Nachteil, daß ihre Polflächen aus relativ weichem Material bestehen, wodurch sich eine erhöhte Abnutzung ergibt

Weiterhin ist es bekannt, dünne Ferrit-Filme als Speicherelemente zu verwenden. Die magnetischen Eigenschaften derartiger Speicherelemente sind in der Zeitschrift »Journal of Applied Physics«, Mai 1960, Vol. 31, Nr. 5, Seiten 121 bis 122, beschrieben. Durch eine Veröffentlichung im IBM Technical Disclosure Bulletin, VoL 7, Nr. 11, April 1965, Seite 993, ist es auch bekannt, an den freien Enden eines U-förmigen Magnetjoches angeordnete Polstücke eines Magnetkopfes in der Weise herzustellen, daß auf ein Substratmaterial Streifen aus dünnen Ferrit-Filmen aufgeklebt werden, die ihrerseits zur Bildung eines Spaltes unter Zwischenlage eines nicht magnetischen Materials miteinander verklebt sind. Bei den bekannten Dünnschicht-Magnetköpfen bestehen Schwierigkeiten bei der notwendigen mechanischen Bearbeitung der Gleitflächen für den y> magnetischen Aufzeichnungsträger durch Polieren und Läppen; und es ist bekannt, daß sich die magnetischen Eigenschaften der magnetischen Materialien durch mechanische Deformationen leicht verschlechtern können. Auch sind die relativ aufwendigen Herstellungsprozesse, bei denen jeweils Teile der aufgedampften Strukturen wieder abgeätzt werden müssen oder Teilstrukturen miteinander verklebt werden müssen, für die kostengünstige Massenherstellung nicht sehr geeignet. 4i

Aus der DE-OS 15 14 333 ist der Gedanke bekannt, in einen magnetischen Werkstoff zur Bildung eines Spaltes einen anderen Werkstoff einzudiffundieren, derart, daß der magnetische Werkstoff mit dem eindiffundierten Material eine nicht ferro- oder ferrimagnetische Legierung im Spaltbereich bildet. Es sind jedoch keine konkreten Materialien und Verfahrensschritte bekannt.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung von Ferrit-Dünnschicht-Magnetköpfen mit magnetischer Vorzugsrichtung der Polstücke anzugeben, das sich Dank seiner Einfachheit für die Massenproduktion in der für die Herstellung von integrierten Schaltungen bekannten Technik besonders eignet.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, bo daß die Polstücke durch Aufwachsen von einkristallinen Schichten aus Zink-Ferrit auf einer einkristallinen Unterlage in der jeweiligen geometrischen Form der Polstücke entsprechenden Bereichen unter Einbettung der Leiterschleifen erzeugt werden, wobei in den t>^r) Zink-Ferrit eine den Ferrit ferromagnetisch machende Komponente eingebracht und die Kristallebene der Unterlage derart angeordnet wird, daß die sich hierbei ausbildende magnetische Vorzugsrichtung des einkristallinen, ferromagnetischen Ferrits eine bestimmte Richtung bezüglich des Arbeitsspaltes einnimmt

Das erfindungsgemäße Verfahren ist in vorteilhafter Weise so ausgebildet, daß die einkristallinen Zn-Ferritschichten in an sich bekannter Weise durch Hochtemperaturhydrolyse von Chloriden oder Bromiden der entsprechenden Komponenten oder durch oxydierende Pyrolyse von Oxalaten oder Azethylaketonaten der entsprechenden Komponenten erzeugt werden. Ein besonderer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht dabei darin, daß die die einkristallinen Zink-Ferritschichten ferromagnetisch machende Komponente durch Nickel oder Mangan gebildet wird, die entweder in Form einer entsprechenden Verbindung mit den Bildungssubstanzen beim Aufwachsen der einkristallinen Zink-Ferritschicht zugeführt oder nachträglich durch Diffusion in die gebildete Zn-Ferritschicht eingebracht wird. Das erfindungsgemäße Verfahren ist in vorteilhafter Weise so ausgestaltet daß als Unterlage für die Ausbildung der Polstücke ein Spinell-Einkristall verwendet wird, bei welchem auf einer kristallographisch geeignet orientierten Oberfläche das Aufwachsen der einkristallinen Zn-Ferritschicht durchgeführt wird.

Eine vorteilhafte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, daß auf die einkristalline Unterlage mit Hilfe einer aufgelegten, die Polstückbereiche freilegenden Maske eine erste einkristalline, ferromagnetische Ni-Zn-Ferritschicht durch Aufwachsen erzeugt wird, daß sodann die Leiterschleifen aufgebracht werden und daß danach unter erneuter Verwendung einer die Polstückbereiche freilegenden Maske eine zweite, die Leiterschleifen im Bereich des Arbeitsspaltes überdeckende, mit der ersten Ferrit-Schicht sich verbindende, einkristalline, ferromagnetische Ferritschicht durch Aufwachsen erzeugt wird.

Eine andere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß auf die einkristalline Unterlage zunächst eine durchgehende, einkristalline Zn-Ferritschicht aufgebracht wird, daß sodann unter Freilegung der Polstückbereiche mit Hilfe einer auf die Zn-Ferritschicht aufgebrachten SiO2-Maskierung in diese Bereiche Ni oder Mn eindiffundiert wird und daß nach dem anschließenden Aufbringen der Leiterschleifen das Aufwachsen der Zn-Ferritschicht und die Diffusion von Ni oder Mn mit Hilfe einer weiteren SiO2-Maskierung in den Polstückbereichen wiederholt wird.

Eine weitere, vorteilhafte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird darin gesehen, daß auf die einkristalline Unterlage zunächst eine durchgehende, einkristalline, ferromagnetische Ni-Zn-Ferritschicht aufgebracht wird, daß sodann unter Freilegung der die Polstücke umgebenden Bereiche mit Hilfe einer auf die Ferritschicht aufgebrachten SKVMaskierung durch Eindiffundieren von Zn die ferromagnetischen Eigenschaften in diesen Bereichen unwirksam gemacht werden und daß nach dem anschließenden Aufbringen der Leiterschleifen das Aufwachsen der Ni-Zn-Ferritschicht und das Eindiffundieren von Zn in die die Polstücke umgebenden Bereiche mit Hilfe einer SiO2-Maskierung zur Bildung der ferromagnetischen Polsiückbereiche wiederholt wird.

Vorteilhaft ist es bei dem erfindungsgemäßen Verfahren, daß die Leiterschleifen der Magnetköpfe durch Aufdampfen von Edelmetall die durch Masken

abgedeckte, darunterliegende Ferritschicht aufgebracht werden.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist in besonders vorteilhafter Weise für die Massenproduktion von Magnetköpfen geeignet Dabei werden die Magnetköp fe in groben Chargen auf einem Spinell-Einkristall hergestellt, und der die Unterlage bildende Kristall wird nach der Herstellung der Magnetköpfe in kleinere Einheiten mit den maschinellen Anforderungen entsprechenden Vielfach magnetköpfen zertrennt. ι ■>

Die Erfindung wird an Hand von durch die Zeichnungen erläuterten Ausführungsbeispielen beschrieben. Es zeigen

F i g, la bis Ic zur Erläuterung der Verfahrensschritte eines ersten Ausführungsbeispieles des Magnetkopfher-Stellungsverfahrens in Draufsicht eine einkristailint Unterlage, auf welche nacheinander die zur Bildung der Dünnschichtmagnetköpfe dienenden Schichten aufgebracht sind,

F i g. 2 einen Ausschnitt der fertigen Magnetkopfan-Ordnung im Schnitt entlang der Linie 2-2 in F i g. 1 c,

F i g. 3a bis 3d Schnitte entsprechend der Linie 2-2 in Fig. Ic zur Erläuterung der Verfahrensschritte eines zweiten Ausführungsbeispieles des Magnetkopfherstellungsverfahrens, bei welchem in die auf die einkristalline 2^Γ> Unterlage aufgebrachten Schichten zur Erzeugung der ferromagnetischen Bereiche Nickel eindiffundiert wird,

F i g. 4a bis 4d Schnitte entsprechend der Linie 2-2 in Fig. Ic zur Erläuterung der Verfahrensschritte eines dritten Ausführungsbeispieles des Magnetkopfherstel- jo lungsverfahrens, bei welchem in die auf die einkristalline Unterlage aufgebrachten Schichten zur Entmagnetisierung bestimmter Bereiche Zink eindiffundiert wird,

Fig.5 in schaubildlicher Ansicht ausschnittsweise, eine nach dem erfindungsgemäßen Verfahren herge- >^r> stellte integrierte Magnetkopfanordnung und

F i g. 6 ebenfalls in schaubildlicher Ansicht, eine Dünnschichtmagnetkopfanordnung mit einer anderen Anordnung des Arbeitsspalts.

In Fig. la ist mit 10 die einkristalline Unterlage w bezeichnet auf welcher in einem Massenherstellungsverfahren gleichzeitig eine sehr große Anzahl von Magnetköpfen erzeugt wird. Eine bestimmte Zahl der reihenweise angeordneten Magnetköpfe ist jeweils für einen magnetischen Oberflächenspeicher bestimmt. Als einkristalline Unterlage 10 dient ein Spinell-Einkristall, der beispielsweise so geschnitten ist, daß seine Oberfläche durch eine (HO)-Ebene gebildet wird. Auch ein Saphir-Einkristall kann als Unterlage für das Aufwachsen der Magnetkopfschichten verwendet werden.

Auf die Unterlage 10 wird eine Maske aufgebracht, die in kleinen rechteckigen Bereichen 11, in welchen die Polschuhe des Magnetkopfes gebildet werden sollen, die Oberfläche der Unterlage 10 freigibt Diese Maske kann in bekannter Weise durch eine Metallschablone oder durch eine mittels photolithographischer Verfahren aufgebrachte SiOrSchicht bestehen. Auf die freigelegten Bereiche der derart maskierten Unterlage wird nunmehr in einem Reaktionsgefäß durch Aufwachsen eine einkristalline, ferromagnetische Zink-Ferritschicht 12 aufgebracht Das einkristafline Aufwachsen erfolgt dabei entweder durch Hochtemperaturhydrolyse von Chloriden oder Bromiden von Zn, Fe und Ni oder durch oxydierende Pyrolyse der Oxalate oder der Azethylazetonate dieser Metalle. Anstelle von Nickel kann auch Mangan verwendet werden. Ein durch eines dieser Verfahren aufgewachsener, einkristalliner Zn-Ferrit ohne Zusatz von Ni oder Mn ist an sich nicht fen ornagnelibch und besitzt keine magnetische Anisotropie. Wird jedoch Nickel cder Mangan den Ausgangssubstanzen bei der Ausbildung des einkristallinen Wachstums beigegeben oder auch nachträglich in die bereits gebildete einkristalline Schicht eingebracht, so wird die gebildete einkristalline Zn-Ferritschicht ferromagnetisch und besitzt eine magnetische Vorzugsrichtung, die durch die Pfeile 13 angedeutet ist. Die ein'xristalline, ferromagnetische Schicht 12 wird in einer nicke von etwa 10 μ aufgewachsen. Danach werden durch eine weitere Maskierung die Bereiche der Leiterschleifen freigelegt und die Leiterschleifen 14 durch Aufdampfen von Edelmetall, z. B. von Platin in einer dünnen Schicht aufgebracht Die derart hergestellten Lt-iterschleifen 14 (Fig. Ib) haben eine U-förmige Gestalt. Sie überdecken mit ihrem bügeiförmigen Teil 15 die ferromagnetischen Schichten 12 teilweise unter Bildung einer gemeinsamen Kante 16, die nach der Fertigstellung des Magnetkopfes die am Aufzeichnungsträger anliegende Lauffläche begrenzt. Die freien Schenkel 17 der Leiterschleifen führen zu den Kontaktanschlüssen 18.

Nach dem Aufdampfen der Leiterschleifen wird auf die Unterlage 10 erneut eine Maske aufgelegt, welche die Bereiche U freigibt In diesen Bereichen wird nun wiederum durch Aufwachsen eine einkristalline ferromagnetische Ni-Zn-Ferritschicht 19 aufgebracht, welche die Leiterschleife 14 im Polstückbereich überdeckt und sich mit der ersten Ni-Zn-Ferritschicht 12 zu einer einkristallinen Schicht mit der durch die Pfeile 20 angedeuteten, magnetischen Vorzugsrichtung verbindet.

Die Unterlage 10 wird sodann entlang der Kante 16 abgeschliffen, wie dies in Fig. Ic angedeutet ist. Damit ist die Leiterschleife 14 im Polstückbereich unter Bildung des Arbeitsspaltes von einem ferromagnetischen Polschuh mit magnetischer Vorzugsrichtung umgeben.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel des Magnetkopfherstellungsverfahrens ist in den F i g. 3a bis 3d, die dem Schnitt 2-2 in Fig. Ic entsprechen, dargestellt. Dieses Verfahren unterscheidet sich gegenüber dem Verfahren des ersten Ausführungsbeispieles vor allem dadurch, daß die auf die einkristalline Unterlage aufgewachsenen, den Magnetkopf bildenden Schichten stets in andere Schichten eingebettet sind. Auf diese Weise können ungleichmäßige Erhöhungen auf der Unterlage 10, die zu Abflachungen der senkrechten Kanten führen (F i g. 2), vermieden werden.

Auf die gesamte Oberfläche des als Unterlage dienenden Spinell-Einkristalls, der wiederum mit 10 bezeichnet ist, wird zunächst mittels eines der genannten Verfahren eine einkristalline Zn-Ferritschicht 21 aufgewachsen. Wie bereits erwähnt, ist diese Schicht nicht ferromagnetisch und besitzt keine magnetische Vorzugsrichtung. Auf die Ferritschicht 21 wird durch Pyrolyse, Aufdampfen oder durch Kathodenzerstäubung eine SiOrScnicht 22 aufgebracht Sodann wird mittels Photolithographie und Atzen die geometrische Struktur der ersten Polstückschicht aus der SiO₂-Schicht 22 entfernt Die dadurch gebildeten öffnungen 23 dienen als Fenster für die darauffolgende Diffusion von Ni-Dampf 24 in die freiliegende Zn-Ferritschicht 21. In den durch die öffnungen 23 begrenzten Polstückbereichen 25 (F i g. 3b) wird dabei Ni-Zn-Ferrit erzeugt das ferromagnetische Eigenschaften besitzt und das, da es als Einkristall vorliegt eine

magnetische Vorzugsrichtung besitzt.

Nach der Diffusion von Ni wird die SiCVSchicht 22 vollständig abgeätzt. Auf die nunmehr die Polstückbereiche 25 enthaltende Zn-Feiriischicht 21 wird sodann unter Verwendung einer Maskierung die die Leiterschleifen 26 bildende Schicht aus Edelmetall, z. B. aus Platin, aufgebracht (F i g. 3b). Diese Leiterschleifen entsprechen in ihrer Form den Leiterschleifen 14 in Fig. 10.

Auf die einkristalline Zn-Ferritschicht 21 einschließlich der Polstückbereiche 25 und der Leiterschleifen 26 wird nunmehr, wiederum nach einem der erwähnten Verfahren, eine Zn-Ferritschicht 27 aufgebracht. Die Schicht 27 wächst auf der bereits gebildeten Zn-Ferritschicht einkristallin weiter und überdeckt auch die Leiterschleifen als einkristalline Abscheidung.

Danach wird auf die Zn-Ferritschicht 27 eine SiCVSchicht 28 aufgebracht, aus welcher mit Hilfe von Photolithographie und Ätzen die Fenster 29 in den über den Polstückbereichen 25 liegenden Bereichen herausgeätzt werden. Nunmehr werden wiederum die freiliegenden Bereiche 29 einem Ni-Dampf 30 ausgesetzt und auf eine entsprechende Temperatur erhitzt, derart, daß Ni in die Zn-Ferritschicht eindiffundiert und sich Polstückbereiche 31 bilden, die sich mit den Polstückbereichen 25 zu einem einheitlichen Polstück mit magnetischer Vorzugsrichtung vereinigen.

Nach Entfernung der SiCh-Schicht 28, eventueller Aufbringung einer geeigneten Schutzschicht und Abschleifen der Lauffläche entlang der Kante 16(Fig. Ic) ist der integrierte Vielfachmagnetkopf mit jeweils einer aus einer Windung bestehenden Leiterschleife, die von einem, eine magnetische Vorzugsrichtung aufweisenden Polstück umgeben wird, fertiggestellt.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel des Magnetkopfherstellungsverfahrens ist in den Fig.4a bis 4d dargestellt Dieses Verfahren ist dem in den F i g. 3a bis 3d veranschaulichten Ausführungsbeispiel ähnlich mit dem Unterschied, daß auf der gesamten Oberfläche der einkristallinen Unterlage 10 zunächst eine einkristalline, ferromagnetische Ni-Zn-Ferritschicht 35 durch Aufwachsen erzeugt wird. Auf diese Schicht wird wieder eine SiCVMaskierung 36 aufgebracht, jedoch in der Weise, daß die Polstückbereiche 37 durch die Maskierung abgedeckt werden und deren Umgebung freigelegt wird. Durch die derart maskierte Oberfläche wird sodann, wie durch die Pfeile 38 angedeutet, Zn in die Schicht 35 in solchem Maße eindiffundiert, daß die betreffenden Bereiche ihre ferromagnetischen Eigenschaften verlieren und nur in den Polstückbereichen 37 die ferromagnetischen Eigenschaften erhalten bleiben. Nach Entfernung der SiO2-Schicht 36 werden wie im vorherigen Ausführungsbeispiel die Leiterschleifen 39 aufgedampft. Danach wird wiederum auf die gesamte Oberfläche eine einkristalline Ni-Zn-Ferritschicht 40 aufgewachsen. Die Schicht 40 wird in den Polstückbereichen durch eine SiO₂-Maskierung 41 abgedeckt, so daß der bei der daraufhin vorgenommenen Diffusion von Zn, in F i g. 4c angedeutet durch die Pfeile 42, nur die die Polstückfelder umgebenden Bereiche entmagnetisiert werden. Nach dem Wegätzen der SKVMaskierung 41 sind sodann aus der Schicht 40 Polstückbereiche 43 herausgebildet, die sich mit den Polstückbereichen 37 zur Bildung der Polstücke vereinigt haben. Damit ist für die Magnetköpfe dieselbe geometrische Struktur wie im

ίο vorigen Ausführungsbeispiel erreicht, so daß die Magnetkopfanordnung, wie in diesem Falle, durch eventuelles Überziehen mit einer Schutzschicht und Abschleifen der Lauffläche entlang der Kante 16 fertiggestellt werden kann.

is Ein auf diese Weise hergestellter, integrierter Vielfachmagnetkopf ist in Fig.5 schaubildlich dargestellt. In dieser Figur ist die durch den Spinell-Einkristall gebildete Unterlage 10 sowie die auf ihr aufgewachsene, einkristalline Zn-Ferritschicht 45 durch strichpunktierte Linien angedeutet. Die durch Ni-haltige, ferromagnetische Bereiche in der Zn-Ferritschicht ausgebildeten Polstücke 46 umgeben die U-förmigen Leiterschleifen 47 in ihrem bügeiförmigen Bereich, während die freien Enden der Leiterschleifen zu den Anschlußstücken 48 führen. Die Stirnseite 49 der Unterlage, welche die Gleitfläche des Aufzeichnungsträgers bildet, ist mit den den Arbeitsspalt bildenden Polflächen 50 eben geschliffen. Der magnetische Kreis wird durch das in Aufzeichnungsträger induzierte Streufeld geschlossen.

Die obere Kante 51 dieser Fläche entspricht der Kante 16in Fig. 10.

Eine andere Ausführungsform eines integrierten Vielfachmagnetkopfes, der durch die beschriebenen Verfahrensschritte in entsprechend anderer Reihenfolge und mit entsprechend anderen Maskierungen hergestellt werden kann, ist in Fig.6 in einem vergrößerten Ausschnitt dargestellt. Das Leiterband 55 ist vollständig in die aufgewachsene, einkristalline Schicht 56 eingebettet. Der unterhalb der Leiterschleife 55 befindliche Teil der Schicht 56 ist als ferromagnetischer Ni-Zn-Ferrit aufgebracht worden. Der oberhalb der Leiterschleife befindliche Teil der Schicht 56 ist dagegen als nicht ferromagnetischer Zn-Ferrit aufgebracht und nachträglich durch Eindiffundieren von Ni im Polstückbereich 57 unter Abdeckung des Spaltbereichs 58 ferromagnetisch gemacht worden. In diesem Falle bildet die Oberfläche 59 die Gleitfläche des magnetischen Aufzeichnungsträgers.
Die beschriebenen Ausführungsbeispiele bezogen sich, der Einfachheit der Darstellung halber, auf Magnetköpfe mit einer Leiterschleife. Selbstverständlich können durch wiederholtes Anwenden der entsprechenden Verfahrensschritte auch Magnetköpfe mit mehreren Leiterschleifen mit oder ohne Anzapfungen hergestellt werden.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (9)

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Herstellen von Magnetköpfen an einem magnetischen Oberflächenspeicher, bei welchem zum Aufzeichnen und Abtasten von digitalen Signalen als Ferrit-Dünnschichtelemente mit axialer Anisotropie ausgebildete Polstücke vorgesehen sind, die unter Bildung eines der -Speicheroberfläche gegenüberliegenden Arbeitsspaltes eine oder mehrere bandförmige Leiterschleifen umgeben, dadurch gekennzeichnet, daß die Polstücke durch Aufwachsen von einkristallinen Schichten aus Zink-Ferrit auf einer einkristallinen Unterlage in der jeweiligen geometrischen Form der Polstücke entsprechenden Bereichen unter Einbettung der Leiterschleifen erzeugt werden, wobei in den Zink-Ferrit eine den ferrit ferromagnetisch machende Komponente eingebracht und die Kristallebene der Unterlage derart angeordnet wird, daß die sich hierbei ausbildende magnetische Vorzugsrichtung des einkristallinen, ferromagnetischen Ferrits eine bestimmte Richtung bezüglich des Arbeitsspaltes einnimmt

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die einkristallinen Zn-Ferritschichten in an sich bekannter Weise durch Hochtemperaturhydrolyse von Chloriden oder Bromiden der entsprechenden Komponenten oder durch oxydierende Pyrolyse von Oxalaten oder Azethylazetonaten der entsprechenden Komponenten erzeugt werden.

3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die die einkristallinen Zink-Ferritschichten ferromagnetisch machende Komponente durch Nickel oder Mangan gebildet wird, die entweder in Form einer entsprechenden Verbindung mit dem Bildungssubstanzen beim Aufwachsen der einkristallinen Zn-Ferritschicht zugeführt oder nachträglich durch Diffusion in die gebildete Zn-Ferritschicht eingebracht wird.

4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Unterlage (10) für die Ausbildung der Polstücke ein Spinell-Einkristall verwendet wird, bei welchem auf einer kristallographisch geordnet orientierten Oberfläche das Aufwachsen der einkristallinen Zn-Ferritschicht durchgeführt wird.

5. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß auf die einkristalline Unterlage mit Hilfe einer aufgelegten, die Polstückbereiche freilegenden Maske eine erste einkristalline, ferromagnetische Ni-Zn-Ferritschicht (12) durch Aufwachsen erzeugt wird, daß sodann die Leiterschleifen (14) aufgebracht werden und daß danach unter erneuter Verwendung einer die Polstückbereiche freilegenden Maske eine zweite, die Leiterschleifen im Bereich des Arbeitsspaltes überdeckende, mit der ersten Ferritschicht sich verbindende, einkristalline, ferromagnetische Ferritschicht (19) durch Aufwachsen erzeugt wird.

6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß auf die einkristalline Unterlage zunächst eine durchgehende, einkristalline Zn-Ferritschicht (21) aufgebracht wird, daß sodann unter Freilegung der Polstückbereiche mit Hilfe einer auf die Zn-Ferritschicht aufgebrachten SiO₂-Schicht (22) in diese Bereiche Ni oder Mn eindiffundiert wird und daß nach dem anschließenden Aufbringen der

Leiterschleifen (26) das Aufwachsen der Zn-Ferritschicht (27) und die Diffusion von Ni oder Mn mit Hilfe einer weiteren SiOrSchicht (28) in den Polstückbereichen (31) wiederholt wird.
7. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß auf die einkristalline Unterlage (10) zunächst eine durchgehende, einkristalline, ferromagnetische Ni-Zn-Feiritsfchicht (35) aufgebracht wird, daß sodann unter Freilegung der die Polstücke umgebenden Bereiche mit Hilfe einer auf die Ferritschicht aufgebrachten SiOrMaskierung (36) durch Eindiffundieren von Zn (38) die ferromagnetischen Eigenschaften in diesen Bereichen unwirksam gemacht werden und daß nach dem anschließenden Aufbringen der Leiterschleifen (39) das Aufwachsen der Ni-Zn-Ferritschicht (40) und das Eindiffundieren von Zn in die die Polstücke umgebenden Bereiche mit Hilfe einer SiO2-Maskieruiig (41) zur Bildung der Polstückbereiche (43) wiederholt wird.

8. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterschleifen der Magnetköpfe durch Aufdampfen von Edelmetall auf die durch Masken abgedeckte, darunterliegende Ferritschicht aufgebracht werden.

9. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetköpfe in großen Chargen auf einem Spinell-Einkristall hergestellt werden und daß der die Unterlage bildende Kristall

3D nach der Herstellung der Magnetköpfe in kleinere Einheiten mit den maschinellen Anforderungen entsprechenden Vielfachmagnetköpfen zertrennt wird.