DE2363123B2

DE2363123B2 - Magnetoresistiver Abtastkopf

Info

Publication number: DE2363123B2
Application number: DE2363123A
Authority: DE
Inventors: Christopher Henry Goldens Bridge Bajorek; Lubomyr Taras Briarcliff Manor Romankiw; David Alexander Somers Thompson
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1972-12-29
Filing date: 1973-12-19
Publication date: 1978-03-30
Also published as: BE808080A; CA1009749A; JPS548291B2; CH563645A5; BR7310254D0; FR2212594B1; GB1450204A; FR2212594A1; JPS501712A; AU6270973A; DE2363123C3; US3840898A; NL7317754A; IT1001110B; DE2363123A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen magnetoresistiven Abtastkopf, wie er dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 zu entnehmen ist.

Die Verwendung magnetoresistiver Bauelemente als Abtastköpfe oder Signalwandler ist allgemein bekannt, wie z. B. aus den USA-Patentschriften 34 93 694 und 36 91540. Solche Wandler können wirksam benutzt werden, wenn das Abtastelement bis zu einem Punkt in der Mitte des linearen Bereichs in seiner Widerstandskennlinie, bezogen auf magnetische Feldstärke, vormagnetisiert wird. Während das erste, oben erwähnte USA-Patent Vormagnetisierung anwendet, verwendet es dazu äußere Einrichtungen, d. h. einen Permanentmagneten oder einen Elektromagneten, die vom Abtastelement getrennt angeordnet sind. Ein nichtabgeschirmter magnetoresistiver Abtastkopf hat im allgemeinen ein geringes Auflösungsvermögen. Abschirmung und externe Vorspanneinrichtungen resultieren zwangsläufig in einer Aufzeichnungsvorrichtung, die zu groß ist, um mit den in Miniaturausführung und Massenfabrikation hergestellten Abtastköpfen für große Aufzeichnungsdichte vereinbar zu sein.

Wo ein Maximum an Empfindlichkeit und/oder ein bipolares Ausgangssignal von einem magnetoresistiven Abtastkopf verlangt sind, wird der Abtastkopf im weitgehend linearen Teil seines Betriebsbereiches mit einem konstanten Feld vormagnetisiert, um dann einem zeitveränderlichen, abzutastenden Magnetfeld überlagert zu werden. Alle bekannten Vormagnetisierungseinrichtungen sind, wie gesagt, als vom magnetoresistiven Abtastkopf unabhängig ausgebildet, so daß entweder eine große Anzahl von Herstellungsschritten erforderlich oder eine komplexe Struktur der Anordnung

unvermeidlich ist.

Bei bisher bekannten Anordnungen (GB Patentschrift 12 72 044, DE-Offenlegungsschrift 20 24 997) ist es erforderlich, eine besondere isolierende Schicht zwischen der magnetoresistiven Schicht und der permanentmagnetischen Schicht anzuordnen, was nalürlich mit entsprechendem Herstellungsaufwand verbunden ist. Andererseits ist mit der DE-Offenlegungsschrift 16 90119 eine magnetfeldabhängige Wider-Standsanordnung gezeigt, bei der ein magnetfeld-abhängiger Halbleiterkörper fest in einen Permanentmagnetkreis eingesetzt ist und zur Isolierung des Halbleiterkörpers Isolierschichten vorgesehen sind, die aus dem Eisen der anliegenden Teile des Permanentmagnetkreises durch Bildung einer isolierenden chemischen Verbindung, insbesondere Oxidierung von Eisen, gebildet sind. Auch diese Anordnung stellt ein Laminat dar, nämlich bestehend aus dem magnetfeldabhängigen Halbleiter und dem Permanentmagneten. Die hier gezeigte, magneifeJdabhängige Widerslandsanordnung ist einmal in ihrer Betriebsweise und zum anderen auch in ihrer Herstellung relativ aufwendig, da einerseits die Ausführungsform und andererseits das zum Aufbau benötigte Material in verschiedenen Abmessungen und unterschiedlichen Formen bereitgestellt werden muß. So besteht der zur Vormagnetisierung des Halbleiterkörpers erforderliche Permanentmagnetkreis aus einem Permanentmagneten, der gegenüber den übrigen Teilen des Magnetkreises, die den Halbleiterkörper umfassen,

JO kleine Permeabilität und große Koerzitivkraft besitzt. Hinzukommt, daß der Halbleiterkörper und der Erregermagnet sich an räumlich gegenüberliegenden Enden des Permanentmagnetkreises befinden. Dies alles erfordert wie gesagt zum Aufbau einen relativ großen Aufwand, wobei dann noch zum Betrieb des Bauelementes erschwerend hinzukommt, daß die erforderliche Kontaktierung an den Halbleiterkörper nicht so einfach zu bewerkstelligen ist.
Gemäß der Aufgabe vorliegender Erfindung soll

■»> jedoch unter Vermeidung obenerwähnter Nachteile eine Anordnung der eingangs genannten Art bereitgestellt werden, die eine möglichst einfache Herstellung bei geringstem Aufwand gestattet, so daß sich ein magnetischer Abtastkopf ergibt, der für eine Mikrominiaturisierung und eine Massenfertigung in hervorragender Weise geeignet ist.

Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe gelöst, wie es dem Kennzeichen des Patentanspruchs 1 zu entnehmen ist.

Der Hauptvorteil der Erfindung ist ersichtlich, da das Bauelement ohne Laminierung und/oder Zusammenbau verschiedener Teile des Magnetkreises bereitgestellt werden kann. Damit ist dann der Weg frei für eine weitgehende Miniaturisierung derart gestalteter Magnetköpfe, die auch für Anwendung bei hohen Speicherdichten von z. B. 800 Bits/cm in hervorragendem Maße geeignet sind. Die Erfindung ist also nicht darin zu sehen, daß durch Oberflächenoxidation bei einem Bauelement eine Isolierschicht hergestellt wird,

bo sondern vielmehr darin, daß zu seiner Bereitstellung ein Körper einfachster Form, bestehend aus nur einem Material, dient, der dann im Herstellungsverfahrensgang noch einer nachträglichen Oberflächenbehandlung unterzogen wird. Das gemäß der Erfindung gebildete

!'5 magnetoresistive, streifenförmige Bauelement läßt sich mit seinem Vormagnetisierungselement in ein und demselben photolithographischen Verfahrensschritt herstellen. Dadurch werden extreme Ausrichttoleran-

zen und hochgradig selektive Ätztechnik überflüssig, die sonst bei getrennter Herstellung erforderlich wären. Auch die Kontaktierung am Ni-Fe-Legierungskörper bietet keine besondere Schwierigkeiten und ist leichter herzustellen als an einem Halbleiterkörper.

Alles in allem zeigt also die Erfindung ein recht einfach herzustellendes Halbleiterbauelement, das sich auch in vorteilhafter Weise betreiben läßt.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden anschließend näher beschrieben. Es zeigt

Fig. 1 den Aufbau eines Abtastkopfes gemäß vorliegender Erfindung,

Fig.2 bis 4 einzelne Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig.5 eine typische Widerstandskennlinie eines magnetoresistiven Materials,

Fig. 6 schematisch die Verwendung des erfindungsgemäßen Abtastkopfes in einer Leseschaltung und

F i g. 7 Magnetisierungskurven über Abtastelementen zum Vergleich herkömmlicher Vormagnetisierungsarten mit solchen gemäß der Erfindung.

Fig. 5 zeigt in einer Kurve, wie Permalloymaterial aus Ni-Fe, Ni-Co, Ni-Co—Fe und dergleichen mit niedriger Koerzitivkraft in seinem Widerstand als Funktion des angelegten magnetischen Feldes verändert werden kann. Wenn ein positives Feld +H an ein solches magnetoresistives Material angelegt wird, durchläuft dieses eine Bahn ähnlich der Kurve ABC. Wenn ein negatives Magnetfeld — H angelegt wird, folgt das Material einer Bahn, die durch den Ast AB'C gekennzeichnet ist. Wenn das gewählte magnetoresistive Material im Punkt B vormagnetisiert ist, der innerhalb des linearen Teils dieser Kurve liegt, lassen sich auch kleine positive oder negative magnetische Abweichung vom Ausgangspunkt E leicht unterscheiden. Da bei Herstellung magnetischer Abtastköpfe, die Daten abfühlen, welche mit einer Dichte von etwa 800 Bit pro cm oder mehr gespeichert sind, die Abtastkopfabmessungen von wesentlicher Bedeutung sind, müssen Vormagnetisierungselement wie Abtastelement so klein wie möglich gehalten werden.

Fig. i zeigt den magnetoresistiven Abtastkopf 2 der Erfindung, in dem eingeschlossen in eine magnetische Abschirmung 8 das Streifenelement 6 aus Permalloy angeordnet ist. Der selbst vormagnetisierende Abtastkopf besteht aus einer zusammengesetzten Struktur, die noch im Zusammenhang mit den Fig. 2 bis 4 näher erläutert wird. Das das Streifenelement 6 mit den Abmessungen W, L, t von der Abschirmung 8 trennende Bauelement 10 besteht allgemein aus einem Substrat 12.

Fig.2 zeigt den grundsätzlichen Aufbau der Erfindung. Zur Bildung des gezeigten Bauelements wird dabei so vorgegangen, daß ein Permalloy-Streifenelement 6 mit der Breite W^n seinen beiden Seitenflächen so oxidiert wird, daß an diesen Flächen hartmagnetische Schichtbereiche 14 mit hohen Koerzitivkräften entstehen. Der nicht oxidierte Mittelteil 16 bleibt weichmagnetisch. Die im Mittelteil 16 gezeigten Pfeile deuten die Magnetisierungsrichtung innerhalb der hart- und weichmagnetischen Bereiche während des Betriebs an. Die Koerzitivkraft in den Schichtbereichen 14 muß so groß sein, daß die Streu- oder Datenfeldstärke übertroffen wird, die von einem hier nicht dargestellten magnetischen Speichermedium hervorgerufen werden kann. Fin solches Speichermedium kann ein Magnetband, eine zum Transport von Einzel-wanJmagnetdomänen dienende Magnetschicht und dergleichen sein. Die also eine hohe Koerzitivkraft aufweisenden Schichtbereiche 14 behalten also immer ihre Magnetisierung Mh in dargestellter Richtung bei. Der Mittelteil 16 stellt dann als magnetoresistiver Streifen das Abtastelement 16 bereit, der von den Schichtbereichen 14 so vormagnetisiert wird, daß die sonst in der leicht zu magnetisierenden Achse des magnetoresistiven Abtastelements 16 parallel zum Abtaststrom I liegende Magnetisierung innerhalb der Ebene des Abtastelements 16 um einen Winkel Θ = 45^Ο gedreht wird. Diese Magnetisierungsdrehung im magnetoresistiven Abtastelement 16 unter Einfluß der Vormagnetisierung der hartmagnetischen .Schichtbereiche 14 läßt etwa den Punkt B in der graphischen Darstellung nach Fig. 5 erreichen.

Die Abmessungen für die verschiedenen Komponenten der erfindungsgemäßen Abtastkopfes können wie folgt sein:

Das Substrat 12 kann im vorgegebenen Rahmen von beliebiger Dicke sein.

Die vormagnetisierenden Schichtbereiche 14 sind etwa 200 bis 2000 A dick.

Das Abtastelement 16 ist 50 bis 400 Ä dick.

Es ist bedeutsam, daß die vormagnetisierenden Schichtbereiche 14 neben ihren magnetischen Eigenschaften auch noch elektrisch isolierend sind.

Im Ausführungsbeispiel nach F i g. 3 ist nur ein

si» einziger stark koerzitiver Schichtbereich 14 zur Vormagnetisierung des magnetoresistiven Abtastelements 16 vorgesehen. In diesem Falle wird also anstatt der in F i g. 2 gezeigten zwei Schichtbereiche 14 nur ein einzelner Schichtbereich 14 verwendet dessen Kopp-

i~> lungsfeld zur Vormagnetisierung des Abtastelements 16 allerdings stark genug bei entsprechend hoher Koerzitivkraft sein muß. Ein Verfahren zum Bereitstellen der in F i g. 2 und 3 gezeigten Teilschichtstruktur ist im Artikel von CH. Bajorek, M. A. Nicolet und CH.

tu Wilts mit dem Titel »Preferential Oxidation of Fe in Permalloy Films«, erschienen in »Applied Physics Letters«, 15. August 1971, beschrieben. Thermische und zeitliche Kontrolle des Ausmaßes der bevorzugten Oxidation von Fe in einer Ni-Fe-Legierungsschicht gestattet die Einstellung der Stärke des Koerzitivfeldes W_cdes Anisotropiefeldes Hk und der Sättigungsmagnetisierung Min relativ großen Bereichen.

Die Oxidschicht auf der Oberseite eines oxidierten Ni- Fe-Legierungsfilmes besteht vorwiegend aus

¹Ji) Eisenoxid. Die Oxidation eines solchen Ni-Fe-Legierungsfilmes resultiert aus dem Entzug von Eisen aus der genannten Legierung, so daß deren Zusammensetzung dann tatsächlich geändert wird. Da die Werte für M. H₀ und Hk des Ni-Fe-Legierungsfilmes von der jeweiligen

">"> Zusammensetzung abhängig sind, lassen sich demnach obengenannte Parameter durch Veränderung des Oxidationsgrades entsprechend einstellen. Das Anisotropiefeld Hk für Ni-Fe-Legierungsfilme ändert sich z. B. schrittweise mit der Zusammensetzung, wenn der

w> Nickelgehalt über 80% liegt und erreicht ein Minimum, wenn der Nickelgehalt der Zusammensetzung etwa 90% ^prreicht. Andererseits sind das Koerzitivfeld H_c und die Sättigungsmagnetisierung M stark von der Zusammensetzung abhängig. Bei Veränderung des

h> Nickelgehalts von 80 auf 100% steigt die Koerzitivkraft Hc monoton von weniger als 1 Oe auf mehr als 100 Oe an, während M von 800 G auf 480 G abfällt. Eine weitere Besonderheit von Ni-Fe-Legierungsfilmep. ist darin, zu

sehen, daß die Koerzitivkraft H_c für einen Nickelgehalt von mehr als 80% außerdem noch von der Dicke des Ni-Fe-Legierungsfilmes abhängt.

So wird z. B. zur Herstellung der in F i g. 2 und 3 gezeigten Schichten eine Permalloyschicht 6 auf ein nicht dargestelltes Substrat niedergeschlagen und ein Schutzüberzug aus Photolack über einen vorher ausgewählten Teil des Streifenelements 6 angebracht. Durch Erhitzung dieser Struktur auf hohe Temperatur in sauerstoffreicher Atmosphäre wird nur der ungeschützte Teil des Streifenelements 6 oxidiert. Durch diesen Herstellungsschritt werden die Parameter H_n H* und M je nach Oxidaiionsgrad verändert. Durch diese Oxidation wird einmal die oxidierte Teilschicht des Streifenelements 6 magnetisch und zum anderen nichtleitend, so daß man keinen besonderen Isolator zwischen Teilschicht 16 und den Teilschichten 14 zu legen braucht.

Andere Behandlungen können denselben Effekt haben wie diese Oxidation: nämlich die Koerzitivkraft anzuheben. Chloride, Sulfate und andere Bestandteile erzeugen diesen Effekt auf chemischen Wege. Ätzmittel haben dieselbe Wirkung durch Aufrauhen der Oberfläche. Auch durch wahlweisen Niederschlag von Materialien, die mit der Schicht in Austausch-Wechselwirkung treten, lassen sich diese Veränderungen erzielen.

F i g. 3 zeigt, wie ein magnetoresistives Abtastelement 16 durch Anlegen eines Feldes von nur einer Seite her vormagnetisiert werden kann. Obwohl die Gleichförmigkeit der Vormagnetisierung über dem Abtastelement 16 nicht so zufriedenstellend ist wie beim oben angeführten Beispiel, ist diese Möglichkeit für einen vertikal liegenden Abtastkopf zu empfehlen, wo die untere Kante des magnetoresistiven Abtastelements 16 möglichst dicht am Aufzeichnungs- bzw. Speichermedium liegen muß. Diese Unterkante kann auch durch den letzten Schliff der Abtastkopffläche bestimmt werden.

Ähnliche Überlegungen gelten auch für die in Fig. 2 und 4 gezeigten vormagnetisierten Strukturen.

Bei Herstellung von selbstausrichtenden und vormagnetisierten magnetoresistiven Abtastköpfen 2 der hier gezeigten und beschriebenen Art verläuft das Vormagnetisierungsfeld bei Betrieb am Punkt B in Fig. 5 parallel zum Abtastfeld oder rechtwinklig zur Richtung des Abtaststromes. Um jedoch bei der magnetischen Abtastung den sogenannten Barkhausen-Effekt zu vermeiden, muß das magnetische Feld der Teilschichten 14 so orientiert sein, daß eine Komponente dieses Feldes M parallel zur Richtung des Abtaststromes im magnetoresistiven Abtastelement 16 verläuft und eine andere rechtwinklig dazu. Das Vormagnetisierfeld, das parallel zur Richtung des Abtaststromes verläuft, hilft bei Anwendung auf Einzelwandmagnetdomänen, den Effekt der Wanddomänen-Umschaltung (den Barkhaus-Effekt) im magnetoresistiven Abtastelement 16 zu vermindern.

Das Slrcifenelcment 6 besteht für gewöhnlich aus einem Material wie Permalloy, welches mit uniaxialer Anisotropie, d. h. mit einer Achse in leicht zu magnetisierender Richtung, hergestellt werden kann. Der magnetische Zustand des Abtastelemcnts bei Fehlen eines Signals vom Speichermedium wird durch innere Anisotropie, durch Formanisotropie und durch Vormagnetisierung in leicht und schwer zu magnctisicrcndc Achsrichtung bestimmt. Letztere lassen sich so auslegen, daß eine bestimmte innere Anisotropie kompensiert wird. Die Richtung der leicht zu magnetisicrcnden Achse muß daher nicht unbedingt mit der Stromrichtung übereinstimmen. Außerdem können auch isotropische, magnetoresistive Materialien mit Hk = O für die praktische Verwirklichung dieser Erfindung verwendet werden.

Bei Herstellung der in F i g. 2 bis 4 gezeigten Streifenelemente lassen sich kräftige Magnete dazu benutzen,die Vormagnetisierung Min jeden gewünschten Winkel zwischen 0 und 180° auszurichten. Durch dieses Merkmal wird vorliegende Erfindung besonders

ίο vorteilhaft, weil zur Vormagnetisierung eines Abtastelements 16 bisher nur stromführende Schichten verwendet werden, die sich dann nicht für eine derartige vorgebbare Ausrichtung des Vormagnetisierfeldes eignen.

t5 Wird eine hartmagnetische Schicht durch gegenseitige Austauschkopplung zwischen zwei Materialien erzeugt, dann hat eine solche Austauschkopplung verschiedene vorteilhafte Wirkungen für die Vormagnetisierung sehr dünner geschichteter Abtastköpfe. In machen Fällen hat der resultierende Schichtkörper eine Magnetisierungskurve, die bei sonst normalem Verlauf eine große Koerzitivkraft (H_tjaufweist.

Die Kurve in Fig. 7A zeigt die Verteilung der Magnetisierungskomponente in Richtung des Abtastfeldes auf dem Abtastkopf mit der Breite W für den Fall, daß das Abtastelement 16 in einem homogenen Vormagnetisierungsfeld liegt. Durch Entmagnetisierungseffekte sind die Kanten des Abtastelementes nicht vormagnetisiert. Daraus ergibt sich, daß Bereiche des Abtastelementes an einem anderen Punkt als in der Nähe des Punktes B von Fig. 7 betrieben werden. Die Kurve in Fig. 7B zeigt die Verteilung für die vorliegende Erfindung und die Tatsache, daß das Abtastelement 16 über seine ganze Breite gleichmäßig vormagnetisiert ist, so daß es überall im linearen Teil der Λ-H-Kurve Fig. 5, betrieben werden kann und der Wirkungsgrad des Abtastkopfes auf ein Maximum gebracht ist.

Fig.6 zeigt schematisch, wie der Abtastkopf gemäß der Erfindung mit selbstausrichtender Vormagnetisierung zum Abtasten magnetisch gespeicherter Information im Zusammenwirken mit dem Speichermedium /?; benutzt wird. Das in einem der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele ausgeführte Streifenelement 6 enthält das vormagnetisierte Abtastelement 16 in Abtaststellung zum Speichermedium m. Die Stromquelle 22 liefert über den Widerstand 24 einen Vormagnetisierungsstrom /ft an das magnetoresistive Abtastelement 16. Wenn eine Widerstandsänderung AR im Abtastelement 16 aufgrund des magnetischen Flusses in dem von ihm abgefühlten Speichermedium m auftritt, wird ein Spannungssignal h ■ 4/? erzeugt, welches über Kondensator 28 an den Verstärker 26 wcitergeleitet wird. Das verstärkte Spannungssignal wird vom Detektor 30

^r>^r> erfaßt.

Bei Abfühlung von Einzelwandmagnetdomänen können die oben für die magnetische Aufzeichnung beschriebenen Abtastköpfc im wesentlichen unverändert benutzt werden. Die in den F i g. 2 bis 4 gezeigten

wi Streifcnelemcnte können z. B. das Element 16, wie es in F i g. 1 der USA-Patentschrift 36 91 540 beschrieben ist, ersetzen. Mit vorliegender Erfindung besteht die Möglichkeit, das Abtastelement 16 in willkürlicher Richtung in der Schichtebene vorzumagnctisieren, um

i>s dessen Empfindlichkeit im Hinblick auf eine bestimmte Art des Einzelwandmagnetdomäncntransports auf ein Optimum in vorteilhafter Weise zu steigern.
Herkömmliche magnetoresistive Abtastelcmente

sind vormagnetisiert, indem sie der Wirkung eines gleichförmigen Magnetfeldes, beispielsweise von einem benachbarten Stromleiter, ausgesetzt sind, Solche Vormagnetisierfelder erzeugen jedoch eine ungleichförmige Magnetisierung des Abtastelements, und zwar wegen der Entmagnetisicrungseffekte an den Kanten des Abtastelements. An den Kanten eines Abtastelements geht nämlich die Quermagnetisierung bis zum Wert 0 zurück. Bei vorliegender Erfindung jedoch erzielt die auf selbstausrichtcnder Vormagnetisierung beruhende Methode eine entsprechend große Magnetisierung an den Kanten des magneioresistiven Abtastelements 16, so daß man gegenüber bisher eine nahezu gleichförmige Vormagnetisierung über das gesamte

Abtastelement erhält. Außerdem werden mit der erfindungsgemäßen Anordnung Probleme des Stromverbrauchs und dementsprechender Leistungsverlust weitgehend vermieden, die sonst bei Vormagnetisierung durch stromführende Strukturen auftreten und bei Anwendung der Technologie dünner Schichten zur Herstellung von Abtastköpfen fast unlösbar werden. Schließlich ist die erfindungsgemäße Struktur bei Herstellung selbstausrichtend, so daß keine genauen

ίο Ausrichtoperationen zwischen dem Vormagnetisierungselemcnt und dem magnetoresistiven Element bei den entsprechenden Verfahrensschritten vorgenommen werden müssen.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Magnetoresistiver Abtastkopf für magnetische Aufzeichnungsträger, bzw. Speichermedien, bestehend aus einer Schichtstruktur mit als Abtastelement dienender magnetoresistiver Schicht, die elektrisch isoliert von zumindest einer permanentmagnetischen, in einer Stärke vormagnetisierten Schicht bedeckt ist, welche gegenüber der Stärke von Aufzeichnungsträger bzw. Speichermedien abzutastender Magnetfelder sehr viel höher ist, dadurch gekennzeichnet, daß das magnetoresistive Abtastelement (16) und der permanentmagnetische Schichtbereich (14) Teilschichten eines einzigen Streifenelements (6) aus ursprünglich magnetoresistivem Material darstellen, indem die permanentmagnetischen Schichtbereiche (14) das Oxidationsprodukt eines selektiven Oxidationsvorgangs zur Bildung magnetisch harter Bereiche sind.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das magnetoresistive Streifenelement (6) vor Anwenden des selektiven Oxidationsvorgangs zur Bildung der permanentmagnetischen Schichtbereiche (14) insgesamt aus einer Ni-Fe-Legierung besteht.

3. Anordnung nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Abtastelement (16) zwischen zwei oxidierten permanentmagnetischen Schichtbereichen (14) liegt, die jeweils gleiche Magnetisierungsrichtung besitzen.